JP6690316B2 - シート状の被検査体の欠陥検査装置、欠陥検査方法及び欠陥検査システム - Google Patents
シート状の被検査体の欠陥検査装置、欠陥検査方法及び欠陥検査システム Download PDFInfo
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Description
合は横スジ、欠陥候補ブロックが縦方向にならんでいる場合は縦スジ、欠陥候補ブロックが塊まっている場合は、ムラ欠陥などとし、ブロック毎の分散(の総和)を基準としている。そのため、欠陥毎のフィルタ処理・積分処理・平均化などは不要で、アルゴリズムを軽量化し、かつ、検査毎に異なるアルゴリズムではないため、計算量を少なくしたことに特徴がある。
Claims (7)
- 撮影装置から取り込んだシート状の被検査体の撮影画像を用いて、シート状の被検査体の検査を行うシート状の被検査体の欠陥検査装置であって、
前記シート状の被検査体の撮影画像を所定の縦及び横方向画素数でブロックに分割するブロック分割部と、
各ブロック内の縦方向の画素値に基づき縦方向分散を、前記各ブロック内の横方向の画素値に基づき横方向分散を、前記各ブロック内の斜め方向の画素値に基づき斜め方向分散をそれぞれ算出する算出部と、
前記縦方向分散、前記横方向分散、及び、前記斜め方向分散の総和をシート状の被検査体の欠陥判定の評価量として当該ブロックの欠陥候補判定を行い、欠陥候補判定されたブロックの長さ又は面積に基づきシート状の被検査体の欠陥判定を行う欠陥判定部と、
を有するシート状の被検査体の欠陥検査装置。 - 請求項1に記載されたシート状の被検査体の欠陥検査装置において、
前記欠陥判定部は、前記総和が所定の閾値よりも大きいとき、当該ブロックを欠陥候補ブロックと判定するシート状の被検査体の欠陥検査装置。 - 請求項2に記載されたシート状の被検査体の欠陥検査装置において、
前記欠陥候補ブロックをラベリングするラベリング処理部を有し、
前記欠陥判定部は、前記ラベリング処理部によるラベリングされた前記欠陥候補ブロックの縦又は横方向における長さ、又は面積に基づきシート状の被検査体の欠陥種別を判定するシート状の被検査体の欠陥検査装置。 - 前記撮影画像は、カラー画像であり、
前記画素値は、輝度値又はRGB値のうち、少なくともいずれか1つの値である請求項1乃至3のいずれか一項に記載のシート状の被検査体の欠陥検査装置。 - 撮影装置から取り込んだシート状の被検査体の撮影画像を用いて、シート状の被検査体の検査を行うシート状の被検査体の欠陥検査方法であって、
前記シート状の被検査体の撮影画像を所定の縦及び横方向画素数でブロックに分割するブロック分割工程と、
各ブロック内の縦方向の画素値に基づき縦方向分散を、前記各ブロック内の横方向の画素値に基づき横方向分散を、各ブロック内の斜め方向の画素値に基づき斜め方向分散をそれぞれ算出する算出工程と、
前記縦方向分散、前記横方向分散、及び、前記斜め方向分散の総和をシート状の被検査体の欠陥判定評価量として当該ブロックの欠陥候補判定を行い、欠陥候補判定されたブロックの長さ又は面積に基づきシート状の被検査体の欠陥判定を行う欠陥判定工程と、
を有するシート状の被検査体の欠陥検査方法。 - 請求項5に記載されたシート状の被検査体の欠陥検査方法であって、
前記総和が所定の閾値よりも大きいとき、欠陥候補ブロックと判定されるブロックをラベリングするラベリング処理工程を有し、
前記欠陥判定工程では、前記ラベリング処理工程によるラベリングされた前記欠陥候補ブロックの縦又は横方向における長さ、又は面積に基づきシート状の被検査体の欠陥種別を判定するシート状の被検査体の欠陥検査方法。 - 撮影装置と、前記撮影装置から取り込んだシート状の被検査体の撮影画像を用いて、シート状の被検査体の検査を行うシート状の被検査体の欠陥検査装置とを有する欠陥検査システムであって、
前記シート状の被検査体の撮影画像を所定の縦及び横方向画素数でブロックに分割するブロック分割部と、
各ブロック内の縦方向の画素値に基づき縦方向分散を、前記各ブロック内の横方向の画素値に基づき横方向分散を、各ブロック内の斜め方向の画素値に基づき斜め方向分散をそれぞれ算出する算出部と、
前記縦方向分散、前記横方向分散、及び、前記斜め方向分散の総和をシート状の被検査体の欠陥判定の評価量として当該ブロックの欠陥候補判定を行い、欠陥候補判定されたブロックの長さ又は面積に基づきシート状の被検査体の欠陥判定を行う欠陥判定部と、
を有するシート状の被検査体の欠陥検査システム。
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