JP2000221139A - 欠陥検出装置 - Google Patents

欠陥検出装置

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JP2000221139A
JP2000221139A JP11021392A JP2139299A JP2000221139A JP 2000221139 A JP2000221139 A JP 2000221139A JP 11021392 A JP11021392 A JP 11021392A JP 2139299 A JP2139299 A JP 2139299A JP 2000221139 A JP2000221139 A JP 2000221139A
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Hiroshi Sasaki
宏 佐々木
Koji Kobayashi
孝次 小林
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Azbil Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 検査対象物の照度の違いに影響されずに欠陥
を高精度で検出する。搬送されてくる検査対象物を一時
的に止めることなく欠陥を検出する。複数種類の検査対
象物に対して、複数種類分の検査対象物の正常な画像を
登録することなく、またこれから検査する対象物の種類
を判別することなく、欠陥を検出する。 【解決手段】 検査対象物(錠剤のブリスタパックの裏
面に貼られたアルミ箔)1−1の表面の第1の領域S1
と第2の領域S2の画像を取り込み、この取り込んだ画
像を位相限定相関法(フーリエ変換→合成→位相限定→
逆フーリエ変換→相関値の算出)によって照合し、この
照合過程で得られる相関値に基づいて検査対象物1−1
の表面に欠陥が生じているか否かを判定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、錠剤のブリスタ
パックの裏面に貼られたアルミ箔のしわなどを検出する
ために用いて好適な欠陥検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】錠剤のブリスタパックの裏面に貼られた
アルミ箔の正常な状態を図15(a)に示す。製造過程
において、ブリスタパック1の裏面に貼られたアルミ箔
1−1には、図15(b)に示すようにしわ1−2が生
じることがある。このしわ1−2の有り無しの判定は、
従来、検査員が目視によって行っていた。最近、照合装
置を用い、このしわの検査を自動化しようと試みられて
いる。例えば、検査対象物である正常なアルミ箔1−1
の表面の画像を登録しておき、それに対応する検査時の
アルミ箔1−1の画像とを画像の特徴情報に基づいてパ
ターン照合し、合致すれば正常、合致しなければ欠陥が
存在すると判定する。これにより、検査の自動化が可能
となり、検査員が不要となる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような欠陥検出装置によると、登録時と検査時の照度
などの環境が異なると照合精度が大きく低下し、誤判定
を生じる虞れがある。また、登録画像と照合画像との位
置合わせが厳しく、検査対象物がコンベア等の搬送装置
によって運ばれてくる場合には位置合わせのために一時
的に搬送装置を止めなければならない。更に、同一の搬
送装置によって複数種類の検査対象物が運ばれてくる場
合は、予め複数種類分の検査対象物の正常な画像を登録
しておく必要があり、作業が面倒である。また、これか
ら検査する対象物の種類はどれなのか判別する手段また
は装置が必要となり、装置構成が複雑化する。
【0004】本発明はこのような課題を解決するために
なされたもので、第1の目的は、検査対象物の照度の違
いに影響されずに欠陥を高精度で検出することのできる
欠陥検出装置を提供することにある。第2の目的は、搬
送されてくる検査対象物を一時的に止めることなく欠陥
を検出することのできる欠陥検出装置を提供することに
ある。第3の目的は、複数種類の検査対象物に対して、
複数種類分の検査対象物の正常な画像を登録することな
く、またこれから検査する対象物の種類をどれなのか判
別することなく、欠陥を検出することのできる欠陥検出
装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、検査対象物の表面の第1の領域と
第2の領域の画像を取り込み、この取り込んだ第1の領
域の画像と第2の領域の画像とにフーリエ変換を施し両
者の相関をとって照合し、この照合過程で得られる相関
値に基づいて検査対象物の表面に欠陥が生じているか否
かを判定するようにしたものである。この発明によれ
ば、検査対象物の表面の第1の領域と第2の領域の画像
とが取り込まれ、この取り込まれた第1の領域の画像と
第2の領域の画像とが位相限定相関法(フーリエ変換→
合成→位相限定→逆フーリエ変換→相関値の算出)など
によって照合され、この照合過程で得られる相関値に基
づいて検査対象物の表面に欠陥が生じているか否かが判
定される。
【0006】この発明において、検査対象物の表面の第
1の領域と第2の領域の画像を取り込む撮像手段は、検
査対象物の表面の第1の領域の画像を取り込む第1の撮
像手段と、前記検査対象物の表面の第2の領域の画像を
取り込む第2の撮像手段とで構成するようにしてもよ
く、1つの撮像手段で構成するようにしてもよい。1つ
の撮像手段で構成する場合には、検査対象物の表面の第
1の領域と第2の領域を共に含む領域の画像を取り込
み、この取り込んだ画像から第1の領域と第2の領域の
画像とを抽出し、この抽出した第1の領域の画像と第2
の領域の画像とを位相限定相関法などによって照合す
る。また、検査対象物が搬送されてくる場合には、検査
対象物の搬送方向に対して直角方向に並んだ表面の領域
を第1の領域および第2の領域として取り込む。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施の形態に基づ
き詳細に説明する。図1はこの発明の一実施の形態を示
す欠陥検出装置の構成図である。
【0008】〔実施の形態1〕同図において、2−1は
第1のカメラ、2−2は第2のカメラ、3は計算装置で
ある。カメラ2−1,2−2はコンベア4によって搬送
されてくるブリスタパック1の上面に配置されている。
ブリスタパック1はその裏面に貼られたアルミ箔(検査
対象物)1−1を上面として搬送されてくる。検査対象
物1−1の表面には同一パターンP1が縦横方向に繰り
返し印刷されている。
【0009】カメラ2−1,2−2は、検査対象物1−
1の搬送方向に対して直角方向に並んだ方形領域を第1
の領域S1および第2の領域S2として取り込むよう
に、その撮影範囲が調整されている。また、第1の領域
S1および第2の領域S2はその面積が等しく、検査対
象物1−1の搬送過程において、その面積内に同時に同
じパターンが入るものとしてその撮影範囲が調整されて
いる。例えば、図2(a),(b)に示すように、第1
の領域S1にパターンP1が4つ入る時、第2の領域S
2にもパターンP1が4つ入るものとして、その撮影範
囲が調整されている。
【0010】図3は計算装置3の内部構成の要部を示す
ブロック図である。計算装置3はCPU3−1とA/D
変換器3−2,3−3とRAM3−4とROM3−5と
I/O(入出力装置)3−6とを備えている。計算装置
3はカメラ2−1,2−2からの映像信号(アナログ信
号)を入力とし、検査対象物1−1の表面にしわが有る
か無いかの判定を行い、その判定結果をしわ検出出力と
して出力する。
【0011】図4は計算装置3におけるCPU3−1が
行う特有の処理動作を示すフローチャートである。CP
U3−1は、搬送されてくる検査対象物1−1上のパタ
ーンP1が第1の領域S1および第2の領域S2に同時
に4つ入るタイミングで(図2(a),(b)参照)、
カメラ2−1,2−2からの映像信号をA/D変換器3
−2,3−3を介して同時に取り込む(ステップ40
1)。すなわち、正常であればそのパターンが一致する
検査対象物1−1の表面の第1の領域S1の画像と第2
の領域S2の画像とを、デジタル値に変換された画像デ
ータf1(領域S1)およびf2(領域S2)として同
時に取り込む。
【0012】そして、取り込んだ画像データf1に対し
て2次元離散的フーリエ変換を施し、フーリエ画像デー
タF1を得る(ステップ402)。また、取り込んだ画
像データf2に対して2次元離散的フーリエ変換を施
し、フーリエ画像データF2を得る(ステップ40
3)。
【0013】なお、2次元離散的フーリエ変換について
は、例えば「コンピュータ画像処理入門、日本工業技術
センター編、総研出版(株)発行、P.44〜45(文
献1)」等に説明されている。
【0014】そして、CPU3−1は、ステップ402
で得たフーリエ画像データF1とステップ403で得た
フーリエ画像データF2とを合成し(ステップ40
4)、合成フーリエ画像データF3(u,v)=F1*
(u,v)・F2(u,v)を得る。なお、この式にお
いて、「*」は複素共役を表し、(u,v)はフーリエ
空間であることを示す。
【0015】そして、CPU3−1は、この合成フーリ
エ画像データF3に対して位相限定処理を行い(ステッ
プ405)、フーリエ画像データF4(u,v)=F3
(u,v)/|F3(u,v)|を得る。すなわち、合
成フーリエ画像データF3の全ての振幅を1として、位
相のみの合成フーリエ画像データF4を得る。
【0016】なお、必ずしも振幅を1としなくてもよ
く、log処理や√処理等によって振幅を抑制するよう
にしてもよい。振幅抑制の一形態として全ての振幅を1
にすると、すなわち位相のみとすると、log処理や√
処理等に比べ、計算量を減らすことができるという利点
とデータが少なくなるという利点がある。
【0017】振幅抑制処理を施した合成フーリエ画像デ
ータF4ではフーリエ画像データF1とF2の採取時の
照度差による影響が少なくなる。すなわち、振幅抑制処
理を行うことにより、各画素のスペクトラム強度が抑圧
され、飛び抜けた値がなくなり、より多くの情報が有効
となる。
【0018】ステップ405で位相限定処理(振幅を
1:特開平9−22406号参照)を行った後、CPU
3−1は、その位相限定された合成フーリエ画像データ
F4に逆フーリエ変換を施し(ステップ406)、合成
逆フーリエ画像データf4を得る。
【0019】そして、CPU3−1は、この合成逆フー
リエ画像データf4より、maxx, yf4(x,y)と
して相関値を算出する(ステップ407)。ここで、m
axx ,yはすべてのx,yに対する最大値を表す。
【0020】なお、ステップ407では相関値をf4
(x,y)の最大値としたが、次のような方法で相関値
を求めてもよい。すなわち、合成逆フーリエ画像データ
f4より所定の相関成分エリアの各画素の相関成分の強
度(振幅)をスキャンし、各画素の相関成分の強度のヒ
ストグラムを求め、このヒストグラムより相関成分の強
度の高い上位n画素を抽出し、この抽出したn画素の相
関成分の強度の平均を相関値として求める。
【0021】ステップ407で相関値を求めた後、CP
U3−1は、その相関値と予め定められているしきい値
とを比較し(ステップ408)、相関値がしきい値より
大きければ、検査対象物1−1の表面の第1の領域S1
内のパターンと第2の領域S2内のパターンとが一致し
ており(図2(a),(b)参照)、正常であると判定
する。この場合、I/O・3−6を介して、「0」レベ
ルのしわが無い旨の検出出力を出力する(ステップ40
9)。
【0022】相関値がしきい値以下であれば、検査対象
物1−1の表面の第1の領域S1内のパターンと第2の
領域S2内のパターンとが一致せず(図5(a),
(b)参照)、異常であると判定する。この場合、I/
O・3−6を介して、「1」レベルのしわが有る旨の検
出出力を出力する(ステップ410)。
【0023】この欠陥検出装置100では、カメラ2−
1,2−2を介して同時に取り込んだ画像データf1,
f2を用いて欠陥検出を行うので、検査対象物1−1に
対する照度変化に影響されずに欠陥を高精度で検出する
ことができる。また、この欠陥検出装置100では、取
り込んだ画像データf1とf2とを位相限定相関法(フ
ーリエ変換→合成→位相限定→逆フーリエ変換→相関値
の算出)によって照合するようにしているので、同時に
取り込んだ画像データf1,f2に照度の違いがあった
としても、この照度の違いに影響されずに欠陥を高精度
で検出することができる。
【0024】なお、画像データf1,f2は同時に取り
込まれるので、照度の違いはそれほどないと考えられ
る。従って、必ずしも位相限定相関法によって照合しな
くてもよく、log処理や√処理を採用しての照合方法
としてもよく、振幅抑制処理(位相限定を含む)自体を
省略するようにしてもよい。
【0025】また、この欠陥検出装置100では、カメ
ラ2−1,2−2を介して同時に取り込んだ画像データ
f1とf2とにフーリエ変換を施し両者の相関をとって
照合するようにしているので、搬送されてくる検査対象
物1−1を一時的に止めることなく、欠陥を高精度で検
出することができる。
【0026】すなわち、この欠陥検出装置100では、
画像データf1とf2とにフーリエ変換を施し両者の相
関をとって照合するため、第1の領域S1と第2の領域
S2に同じパターンが入っていればよく、多少ずれてい
ても照合精度が落ちないので、位置合わせのために一時
的にコンベア4を止める必要がない。例えば、図6
(a),(b)に示すように、領域S1でのパターンと
領域S2でのパターンが左右に多少ずれていても、相関
値のピークの位置がずれるだけで、相関値のピークの値
は影響を受けない。
【0027】なお、例えば図7(a),(b)に示すよ
うに、領域S2でのパターンが大きく上下にずれた場合
には、領域S1でのパターンと領域S2でのパターンと
が一致しないので、照合精度は落ちる。また、検査対象
物1−1が図8(a)に示すようなパターンを有するも
のであれば(△と○とでパターンが異なる)、図8
(b)に示すように領域S1,S2を定めることによ
り、上述と同様にして欠陥を検出することができる。
【0028】また、領域S1と領域S2とは、完全に一
致しなければ多少重なっていてもよい。すなわち、図9
(a)に示すように、その一部を重複して領域S1,S
2を設定してもよい。この場合、図9(b)および
(c)に示すように、カメラ2−1より領域S1の画像
を取り込み、カメラ2−2により領域S2の画像を取り
込み、この取り込んだ画像に基づいて欠陥検出を行う。
【0029】また、この欠陥検出装置100では、検査
対象物が替わった場合でも、上述と同様にして欠陥の検
出を行うことができる。このため、複数種類の検査対象
物に対して、複数種類分の検査対象物の正常な画像を登
録する必要がなく、またこれから検査する対象物の種類
をどれなのか判別する必要もない。なお、検査対象物が
大きく異なる場合には、カメラ2−1,2−2の撮影範
囲の調整を行うことで対処できる。
【0030】図10に計算装置3の内部構成の別の例を
示す。この計算装置3’では、A/D変換器3−2,3
−3の後段にフレームメモリ(FM)3−7,3−8を
設け、A/D変換器3−2,3−3にてA/D変換され
た画像データをフレーム単位で取り込むようにしてい
る。また、この計算装置3’では、FFT演算プロセッ
サ3−9を設け、このFFT演算プロセッサ3−9によ
って2次元離散的フーリエ変換を施すようにしている。
【0031】〔実施の形態2〕実施の形態1では2台の
カメラ2−1,2−2を設置した。これに対して、実施
の形態2では、図11に示すように1台のカメラ2しか
設置しない。この場合、カメラ2は、実施の形態1で説
明した第1の領域S1および第2の領域S2を共に含む
領域(包括画像領域)S3の画像を取り込むように、そ
の撮影範囲を調整する。
【0032】図12は図11における計算装置5の内部
構成の要部を示すブロック図である。計算装置5はCP
U5−1とA/D変換器5−2とRAM5−3とROM
5−4とI/O(入出力装置)5−5とを備えている。
計算装置5はカメラ2からの映像信号(アナログ信号)
を入力とし、検査対象物1−1の表面にしわが有るか無
いかの判定を行い、その判定結果をしわ検出出力として
出力する。
【0033】図13は計算装置5におけるCPU5−1
が行う特有の処理動作を示すフローチャートである。C
PU5−1は、搬送されてくる検査対象物1−1上のパ
ターンP1が第1の領域S1および第2の領域S2に同
時に4つ入るタイミングで(図2(a),(b)参
照)、カメラ2からの映像信号をA/D変換器5−2を
介して取り込む(ステップ301)。すなわち、正常で
あればそのパターンが一致する検査対象物1−1の表面
の第1の領域S1の画像と第2の領域S2の画像とを含
む包括画像領域S3の画像データf0を取り込む。
【0034】そして、この取り込んだ画像データf0か
ら領域S1の画像データと領域S2の画像データとを抽
出し、画像データf1(領域S1)およびf2(領域S
2)とする(ステップ302)。
【0035】そして、この抽出した画像データf1に対
して2次元離散的フーリエ変換を施し、フーリエ画像デ
ータF1を得る(ステップ303)。また、抽出した画
像データf2に対して2次元離散的フーリエ変換を施
し、フーリエ画像データF2を得る(ステップ30
4)。
【0036】以下、実施の形態1と同様にし、図4に示
したステップ404に対応するステップ305において
合成フーリエ画像データF3を得、ステップ405に対
応するステップ306で位相限定処理を行い、ステップ
406に対応するステップ307で逆フーリエ変換を行
い、ステップ407に対応するステップ308で相関値
の算出を行う。そして、この算出した相関値から、正常
・異常を判定する(ステップ309)。
【0037】相関値がしきい値よりも大きければ、検査
対象物1−1の表面の第1の領域S1内のパターンと第
2の領域S2内のパターンとが一致しており、正常であ
ると判定する。この場合、I/O・5−5を介して、
「0」レベルのしわが無い旨の検出出力を出力する(ス
テップ310)。
【0038】相関値がしきい値以下であれば、検査対象
物1−1の表面の第1の領域S1内のパターンと第2の
領域S2内のパターンとが一致せず、異常であると判定
する。この場合、I/O・5−5を介して、「1」レベ
ルのしわが有る旨の検出出力を出力する(ステップ31
1)。
【0039】図14に計算装置5の内部構成の別の例を
示す。この計算装置5’では、A/D変換器5−2の後
段にフレームメモリ(FM)5−6を設け、A/D変換
器5−2にてA/D変換された画像データをフレーム単
位で取り込むようにしている。また、この計算装置5’
では、FFT演算プロセッサ5−7を設け、このFFT
演算プロセッサ5−7によって2次元離散的フーリエ変
換を施すようにしている。
【0040】この実施の形態2の欠陥検出装置200で
は、実施の形態1の欠陥検出装置100がカメラを2台
必要していたのに対して、1台でよく、コストの低減を
図ることができる。また、2台のカメラの向きや位置合
わせが不要なので、設定が容易となる。
【0041】また、実施の形態1の欠陥検出装置100
では、領域S1,S2内に同じパターンが入るタイミン
グがずれる場合、カメラ2−1と2−2からの画像の取
り込みタイミングを合わせる必要があるが、この欠陥検
出装置200では、包括領域S3の画像を取り込むの
で、S1,S2の切り出し領域を変えるのみで対応する
ことができる。
【0042】なお、実施の形態1の欠陥検出装置100
では、カメラを2台使用しているので、同一条件でカメ
ラ1台の場合と比べて画像の解像度が高まり、より精密
な検査が可能であるという利点がある。
【0043】また、上述した実施の形態1や2では、ブ
リスタパックの裏面に貼られたアルミ箔のしわを欠陥と
して検出するようにしたが、必ずしも検査対象物はブリ
スタパックの裏面に貼られたアルミ箔に限るものではな
く、壁紙、トイレットペーパ、プリント板、生地などの
検査にも使用することができ、検査対象物は無地であっ
てもよい。
【0044】また、上述した実施の形態1や2では、領
域S1,S2を検査対象物1−1の搬送方向に対して直
角方向に並んだ方形領域として定めたが、この領域S
1,S2は方形に限られるものでないことは言うまでも
ない。また、領域S1,S2を検査対象物1−1の搬送
方向に対して直角方向に並べなくてもよく、搬送方向に
対して平行にするなどとしてもよい。また、上述した実
施の形態1や2では、搬送されてくる検査対象物に対し
て欠陥検出を行うようにしたが、静止している検査対象
物に対しても同様にして欠陥検出を行うことが可能であ
る。
【0045】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように本
発明によれば、検査対象物の表面の第1の領域と第2の
領域の画像とが取り込まれ、この取り込まれた第1の領
域の画像と第2の領域の画像とが位相限定相関法(フー
リエ変換→合成→位相限定→逆フーリエ変換→相関値の
算出)などによって照合され、この照合過程で得られる
相関値に基づいて検査対象物の表面に欠陥が生じている
か否かが判定されるものとなり、検査対象物の照度の違
いに影響されずに欠陥を高精度で検出することができる
ようになる。また、搬送されてくる検査対象物を一時的
に止めることなく、欠陥を検出することができるように
なる。また、複数種類の検査対象物に対して、複数種類
分の検査対象物の正常な画像を登録することなく、また
これから検査する対象物の種類をどれなのか判別するこ
となく、欠陥を検出することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施の形態を示す欠陥検出装置の
構成図(実施の形態1)である。
【図2】 この欠陥検出装置において定められる第1の
領域S1および第2の領域S2にパターンP1が4つ入
った時の状態を示す図である。
【図3】 この欠陥検出装置における計算装置の内部構
成の要部を示すブロック図である。
【図4】 この計算装置におけるCPUが行う特有の処
理動作を示すフローチャートである。
【図5】 第1の領域S1のパターンと第2の領域S2
のパターンとが一致していない状態を示す図である。
【図6】 第1の領域S1でのパターンと第2の領域S
2でのパターンが左右に多少ずれている状態を示す図で
ある。
【図7】 第2の領域S2でのパターンが大きく上下に
ずれた状態を示す図である。
【図8】 異なるパターンを有する検査対象物に対する
領域S1,S2の設定例を示す図である。
【図9】 その一部を重複して領域S1,S2を設定し
た例を示す図である。
【図10】 この欠陥検出装置における計算装置の内部
構成の別の例を示す図である。
【図11】 本発明の他の実施の形態を示す欠陥検出装
置の構成図(実施の形態1)である。
【図12】 この欠陥検出装置における計算装置の内部
構成の要部を示すブロック図である。
【図13】 この計算装置におけるCPUが行う特有の
処理動作を示すフローチャートである。
【図14】 この欠陥検出装置における計算装置の内部
構成の別の例を示す図である。
【図15】 錠剤のブリスタパックの裏面に貼られたア
ルミ箔の正常な状態および欠陥(しわ)が生じた状態を
示す図である。
【符号の説明】
1…ブリスタパック、1−1…アルミ箔(検査対象
物)、1−2…しわ、2,2−1,2−2…カメラ、
3,3’,5,5’…計算装置、4…コンベア、S1…
第1の領域、S2…第2の領域、P1…同一パターン、
S3…包括画像領域、3−1,5−1…CPU、3−
2,3−3,5−2…A/D変換器、3−4,5−3…
RAM、3−5,5−4…ROM、3−6,5−5…入
出力装置(I/O)、3−7,3−8,5−6…フレー
ムメモリ(FM)、3−9,5−7…FFT演算プロセ
ッサ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G051 AA01 AA02 AA90 AB10 AB20 AC21 CA04 EA12 EC07 EC10 ED11 5B057 AA02 BA02 CC03 CD01 CG05 DA03 DB02 DB09 DC22 5L096 AA06 BA03 BA18 FA23 FA34

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検査対象物の表面の第1の領域と第2の
    領域の画像を取り込む撮像手段と、 この撮像手段によって取り込まれた第1の領域の画像と
    第2の領域の画像とにフーリエ変換を施し両者の相関を
    とって照合する照合手段と、 この照合手段の照合過程で得られる相関値に基づいて前
    記検査対象物の表面に欠陥が生じているか否かを判定す
    る欠陥判定手段とを備えたことを特徴とする欠陥検出装
    置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記撮像手段は、前
    記検査対象物の表面の第1の領域の画像を取り込む第1
    の撮像手段と、前記検査対象物の表面の第2の領域の画
    像を取り込む第2の撮像手段とで構成されていることを
    特徴とする欠陥検出装置。
  3. 【請求項3】 請求項1において、前記撮像手段は、前
    記検査対象物の表面の第1の領域と第2の領域を共に含
    む領域の画像を取り込み、前記照合手段は前記撮像手段
    によって取り込まれた画像から前記第1の領域と第2の
    領域の画像とを抽出し、この抽出した第1の領域の画像
    と第2の領域の画像とにフーリエ変換を施し両者の相関
    をとって照合することを特徴とする欠陥判定装置。
  4. 【請求項4】 搬送されてくる検査対象物の表面の第1
    の領域と第2の領域の画像を取り込む撮像手段と、 この撮像手段によって取り込まれた第1の領域の画像と
    第2の領域の画像とにフーリエ変換を施し両者の相関を
    とって照合する照合手段と、、 この照合手段の照合過程で得られる相関値に基づいて前
    記検査対象物の表面に欠陥が生じているか否かを判定す
    る欠陥判定手段とを備え、 前記撮像手段は、前記検査対象物の搬送方向に対して直
    角方向に並んだ領域を前記第1の領域および第2の領域
    として取り込むことを特徴とする欠陥検出装置。
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