JP2000036048A - 明暗検査装置および明暗検査方法 - Google Patents
明暗検査装置および明暗検査方法Info
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- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 低コントラストを有する欠陥を明暗の区別を
つけて検出することができ、また一つの欠陥が従来のよ
うに二つの欠陥に分裂することもなく、欠陥を的確に検
出することができる明暗検査装置を得る。 【解決手段】 被検査物を撮像して画像データを得、こ
の画像データにより構成される画像を、等面積を有する
メッシュに分割するとともに、分割された各メッシュに
おいて画像データの加算を行って積分画像を得、この積
分画像に対し、所定のメッシュ間隔毎に差分演算を行っ
て微分画像を得、この微分画像より得られる値を所定値
と比較することにより、被検査物の明度が部分的に異な
る部分を欠陥として検出するとともに、積分画像の平均
値を算出し、この平均値と、欠陥が検出される差分演算
が行われた二つのメッシュにおける前記積分画像の値と
に基づいて、欠陥の明暗を判定するようにした。
つけて検出することができ、また一つの欠陥が従来のよ
うに二つの欠陥に分裂することもなく、欠陥を的確に検
出することができる明暗検査装置を得る。 【解決手段】 被検査物を撮像して画像データを得、こ
の画像データにより構成される画像を、等面積を有する
メッシュに分割するとともに、分割された各メッシュに
おいて画像データの加算を行って積分画像を得、この積
分画像に対し、所定のメッシュ間隔毎に差分演算を行っ
て微分画像を得、この微分画像より得られる値を所定値
と比較することにより、被検査物の明度が部分的に異な
る部分を欠陥として検出するとともに、積分画像の平均
値を算出し、この平均値と、欠陥が検出される差分演算
が行われた二つのメッシュにおける前記積分画像の値と
に基づいて、欠陥の明暗を判定するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一定の幅を有し、
一方向に移動する紙、フィルム、不織布などの無地物ロ
ール（ウェッブ）をカメラで撮像し、その撮像データに
基づいて、うす汚れ、すきむら等、ウェッブの低いコン
トラストを有する明暗欠陥を検査する明暗検査装置およ
び明暗検査方法に関し、特に、低いコントラストを有す
る明暗欠陥における明暗判定をも行えるようにした明暗
検査装置およびその方法に関するものである。
一方向に移動する紙、フィルム、不織布などの無地物ロ
ール（ウェッブ）をカメラで撮像し、その撮像データに
基づいて、うす汚れ、すきむら等、ウェッブの低いコン
トラストを有する明暗欠陥を検査する明暗検査装置およ
び明暗検査方法に関し、特に、低いコントラストを有す
る明暗欠陥における明暗判定をも行えるようにした明暗
検査装置およびその方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の低コントラストの明暗を検
出する明暗検査装置として、特公平７−９９３５５号公
報に記載された明暗検査装置を示すブロック図である。
この明暗検査装置１１は、エリアセンサ１３と、エリア
センサ１３の出力側に接続された輝度情報加算部１５
と、輝度情報加算部１５の出力側に接続された変化量算
出部１７と、変化量算出部１７の出力側に接続された検
出部１９と、これらエリアセンサ１３、加算部１５、変
化量算出部１７、及び検出部１９の出力側に接続された
表示部２１とから構成されている。
出する明暗検査装置として、特公平７−９９３５５号公
報に記載された明暗検査装置を示すブロック図である。
この明暗検査装置１１は、エリアセンサ１３と、エリア
センサ１３の出力側に接続された輝度情報加算部１５
と、輝度情報加算部１５の出力側に接続された変化量算
出部１７と、変化量算出部１７の出力側に接続された検
出部１９と、これらエリアセンサ１３、加算部１５、変
化量算出部１７、及び検出部１９の出力側に接続された
表示部２１とから構成されている。
【０００３】エリアセンサ１３は、被検査物であるウェ
ッブを撮像して二次元に整列配置された複数の画素毎の
輝度情報を得る。
ッブを撮像して二次元に整列配置された複数の画素毎の
輝度情報を得る。
【０００４】輝度情報加算部１５は、エリアセンサ１３
によって得られた画素毎の輝度情報を縦横複数の画素行
列からなる図５に示されるような格子に切り分け、その
各格子内の各画素の輝度情報を加算して格子毎の輝度加
算値を求める。
によって得られた画素毎の輝度情報を縦横複数の画素行
列からなる図５に示されるような格子に切り分け、その
各格子内の各画素の輝度情報を加算して格子毎の輝度加
算値を求める。
【０００５】変化量算出部１７は、各格子間での輝度加
算値の水平方向の変化量および垂直方向の変化量を３行
３列の行列内で求める。検出部１９は、変化量算出部１
７によって求められた垂直方向の変化量と、水平方向の
変化量を基にウェッブの斑（低コントラスト明暗部分）
を検出する。
算値の水平方向の変化量および垂直方向の変化量を３行
３列の行列内で求める。検出部１９は、変化量算出部１
７によって求められた垂直方向の変化量と、水平方向の
変化量を基にウェッブの斑（低コントラスト明暗部分）
を検出する。
【０００６】変化量算出部１７は、輝度加算値の水平方
向および垂直方向の変化量を検出するため差分処理を行
っており、微分フィルタを構成している。
向および垂直方向の変化量を検出するため差分処理を行
っており、微分フィルタを構成している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来の明
暗検査装置は、うす汚れ、すきむら等の低コントラスト
の明暗を検出できるが、変化量算出部において微分処理
を行い、得られた値の大きさに基づいて低コントラスト
明暗欠陥を検出しているので、このように検出された欠
陥が明るい明欠陥なのか、暗い暗欠陥なのか判定するこ
とができない。また、微分処理により欠陥の端部で微分
値が上下に突出するので一つの欠陥が二つの欠陥に分裂
し、一つの欠陥を二つの欠陥に誤検出する場合もある。
暗検査装置は、うす汚れ、すきむら等の低コントラスト
の明暗を検出できるが、変化量算出部において微分処理
を行い、得られた値の大きさに基づいて低コントラスト
明暗欠陥を検出しているので、このように検出された欠
陥が明るい明欠陥なのか、暗い暗欠陥なのか判定するこ
とができない。また、微分処理により欠陥の端部で微分
値が上下に突出するので一つの欠陥が二つの欠陥に分裂
し、一つの欠陥を二つの欠陥に誤検出する場合もある。
【０００８】そこで、本発明は、かかる従来の問題点を
解決し、低コントラストを有する欠陥を明暗の区別をつ
けて検出することができ、また一つの欠陥が従来のよう
に二つの欠陥に分裂することもなく、欠陥を的確に検出
することができる明暗検査装置、および明暗検査方法を
得ることを目的としている。
解決し、低コントラストを有する欠陥を明暗の区別をつ
けて検出することができ、また一つの欠陥が従来のよう
に二つの欠陥に分裂することもなく、欠陥を的確に検出
することができる明暗検査装置、および明暗検査方法を
得ることを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明における明暗検査装置は、被検査物を撮像
し、その画像データに基づいて、前記被検査物の明暗を
検査する明暗検査装置であって、前記被検査物を撮像し
画像データを出力する撮像装置と、前記撮像装置より出
力される画像データにより構成される画像を、等面積を
有するメッシュに分割するとともに、分割された各メッ
シュにおいて画像データの加算を行って積分画像を得る
積分画像算出部と、前記積分画像算出部により得られる
積分画像に対し、所定のメッシュ間隔毎に差分演算を行
って微分画像を得る微分画像算出部と、前記微分画像算
出部により得られる値を所定値と比較することにより、
被検査物の明度が部分的に異なる部分を欠陥として検出
する欠陥検出部と、前記積分画像算出部により得られる
前記積分画像の平均値を算出する平均値算出部と、前記
平均値算出部により得られる平均値と、前記欠陥検出部
により欠陥が検出される前記差分演算が行われた二つの
メッシュにおける前記積分画像の値とに基づいて、前記
欠陥検出部により検出された欠陥の明暗を判定する明暗
判定部とを備えてなるものである。
ため、本発明における明暗検査装置は、被検査物を撮像
し、その画像データに基づいて、前記被検査物の明暗を
検査する明暗検査装置であって、前記被検査物を撮像し
画像データを出力する撮像装置と、前記撮像装置より出
力される画像データにより構成される画像を、等面積を
有するメッシュに分割するとともに、分割された各メッ
シュにおいて画像データの加算を行って積分画像を得る
積分画像算出部と、前記積分画像算出部により得られる
積分画像に対し、所定のメッシュ間隔毎に差分演算を行
って微分画像を得る微分画像算出部と、前記微分画像算
出部により得られる値を所定値と比較することにより、
被検査物の明度が部分的に異なる部分を欠陥として検出
する欠陥検出部と、前記積分画像算出部により得られる
前記積分画像の平均値を算出する平均値算出部と、前記
平均値算出部により得られる平均値と、前記欠陥検出部
により欠陥が検出される前記差分演算が行われた二つの
メッシュにおける前記積分画像の値とに基づいて、前記
欠陥検出部により検出された欠陥の明暗を判定する明暗
判定部とを備えてなるものである。
【００１０】また、本発明における明暗検査装置におい
て、前記明暗判定部は、前記二つのメッシュにおける前
記積分画像の値それぞれから前記積分画像の平均値を減
算した場合に、それら減算値の絶対値の一方が他方の絶
対値以上であり、かつその一方の絶対値に対応するメッ
シュにおける前記積分画像の値から前記積分画像の平均
値を減算した結果、すなわち、前記減算値が零以上であ
ることを条件に、該一方の絶対値に対応するメッシュに
おける欠陥が明欠陥であると判定するものである。
て、前記明暗判定部は、前記二つのメッシュにおける前
記積分画像の値それぞれから前記積分画像の平均値を減
算した場合に、それら減算値の絶対値の一方が他方の絶
対値以上であり、かつその一方の絶対値に対応するメッ
シュにおける前記積分画像の値から前記積分画像の平均
値を減算した結果、すなわち、前記減算値が零以上であ
ることを条件に、該一方の絶対値に対応するメッシュに
おける欠陥が明欠陥であると判定するものである。
【００１１】さらに、本発明における明暗検査装置にお
いて、前記明暗判定部は、前記二つのメッシュにおける
前記積分画像の値それぞれから前記積分画像の平均値を
減算した場合に、それら減算値の絶対値の一方が他方の
絶対値以上であり、かつその一方の絶対値に対応するメ
ッシュにおける前記積分画像の値から前記積分画像の平
均値を減算した結果が負であることを条件に、該一方の
絶対値に対応するメッシュにおける欠陥が暗欠陥である
と判定するものである。
いて、前記明暗判定部は、前記二つのメッシュにおける
前記積分画像の値それぞれから前記積分画像の平均値を
減算した場合に、それら減算値の絶対値の一方が他方の
絶対値以上であり、かつその一方の絶対値に対応するメ
ッシュにおける前記積分画像の値から前記積分画像の平
均値を減算した結果が負であることを条件に、該一方の
絶対値に対応するメッシュにおける欠陥が暗欠陥である
と判定するものである。
【００１２】また、本発明における明暗検査方法は、被
検査物を撮像し、その画像データに基づいて、前記被検
査物の明暗を検査する明暗検査方法であって、前記被検
査物を撮像して画像データを得るステップと、画像デー
タにより構成される画像を、等面積を有するメッシュに
分割するとともに、分割された各メッシュにおいて画像
データの加算を行って積分画像を得るステップと、積分
画像に対し、所定のメッシュ間隔毎に差分演算を行って
微分画像を得るステップと、前記微分画像より得られる
値を所定値と比較することにより、被検査物の明度が部
分的に異なる部分を欠陥として検出するステップと、前
記積分画像の平均値を算出するステップと、前記平均値
と、前記欠陥が検出される前記差分演算が行われた二つ
のメッシュにおける前記積分画像の値とに基づいて、欠
陥の明暗を判定するステップとを備えてなるものであ
る。
検査物を撮像し、その画像データに基づいて、前記被検
査物の明暗を検査する明暗検査方法であって、前記被検
査物を撮像して画像データを得るステップと、画像デー
タにより構成される画像を、等面積を有するメッシュに
分割するとともに、分割された各メッシュにおいて画像
データの加算を行って積分画像を得るステップと、積分
画像に対し、所定のメッシュ間隔毎に差分演算を行って
微分画像を得るステップと、前記微分画像より得られる
値を所定値と比較することにより、被検査物の明度が部
分的に異なる部分を欠陥として検出するステップと、前
記積分画像の平均値を算出するステップと、前記平均値
と、前記欠陥が検出される前記差分演算が行われた二つ
のメッシュにおける前記積分画像の値とに基づいて、欠
陥の明暗を判定するステップとを備えてなるものであ
る。
【００１３】このような構成によれば、低コントラスト
を有する欠陥を明暗の区別をつけて検出することがで
き、また一つの欠陥が従来のように二つの欠陥に分裂す
ることもなく、欠陥を的確に検出することができる。
を有する欠陥を明暗の区別をつけて検出することがで
き、また一つの欠陥が従来のように二つの欠陥に分裂す
ることもなく、欠陥を的確に検出することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態における
明暗検査装置として、ウェッブ検査における明暗欠陥検
査装置を示す機能ブロック図である。この明暗欠陥検査
装置は、一定幅を有し、一方向に移動する被検査物であ
るウェッブ２を撮像するラインセンサカメラ１と、カメ
ラ１の撮像領域を照光する照明装置３と、カメラ１によ
り撮像された撮像データを処理して、明暗欠陥を検査す
る画像処理装置４とを備えている。
を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態における
明暗検査装置として、ウェッブ検査における明暗欠陥検
査装置を示す機能ブロック図である。この明暗欠陥検査
装置は、一定幅を有し、一方向に移動する被検査物であ
るウェッブ２を撮像するラインセンサカメラ１と、カメ
ラ１の撮像領域を照光する照明装置３と、カメラ１によ
り撮像された撮像データを処理して、明暗欠陥を検査す
る画像処理装置４とを備えている。
【００１５】ラインセンサカメラ１は、ライン上に配列
された例えば１０２４個の受光素子（ＣＣＤ）から構成
され、そして、ウェッブの幅方向（わたり方向Ｗ）中央
部の上方において、ウェッブの幅方向に対してカメラ１
のラインが平行となるよう配置されている。また、照明
装置３は、ウェッブ２の下方に配置され、カメラ１の撮
像領域Ｒをウェッブ裏面より照光する。
された例えば１０２４個の受光素子（ＣＣＤ）から構成
され、そして、ウェッブの幅方向（わたり方向Ｗ）中央
部の上方において、ウェッブの幅方向に対してカメラ１
のラインが平行となるよう配置されている。また、照明
装置３は、ウェッブ２の下方に配置され、カメラ１の撮
像領域Ｒをウェッブ裏面より照光する。
【００１６】図１において、画像処理装置４は、カメラ
１の出力側に接続された画像入力部５と、画像入力部５
の出力側に接続された積分演算部６と、積分演算部６の
出力側に接続された微分演算部（フィルタ）７と、微分
演算部７の出力側に接続された欠陥検出部８と、積分演
算部６の出力側に接続された平均値算出部９と、平均値
算出部９および欠陥検出部８の出力側に接続された明暗
判定部１０とを備えて構成される。
１の出力側に接続された画像入力部５と、画像入力部５
の出力側に接続された積分演算部６と、積分演算部６の
出力側に接続された微分演算部（フィルタ）７と、微分
演算部７の出力側に接続された欠陥検出部８と、積分演
算部６の出力側に接続された平均値算出部９と、平均値
算出部９および欠陥検出部８の出力側に接続された明暗
判定部１０とを備えて構成される。
【００１７】画像入力部５は、カメラ１から出力される
画像信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器５ａ、およびＡ
／Ｄ変換された画像信号を複数スキャンにわたり格納
し、画像データとして記憶するメモリ５ｂを備え、カメ
ラ１による画像信号を画像処理装置４内に取り込む。
画像信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器５ａ、およびＡ
／Ｄ変換された画像信号を複数スキャンにわたり格納
し、画像データとして記憶するメモリ５ｂを備え、カメ
ラ１による画像信号を画像処理装置４内に取り込む。
【００１８】以下に実施の形態の動作について図２を用
いて説明する。図２はメモリ５ｂに取り込まれた画像デ
ータを示している。図２において横軸（ｘ軸）はライン
センサカメラ１による１回のスキャンにより得られるデ
ータ位置を示し、ｘ座標はラインセンサ位置、すなわち
ウェッブの幅方向への位置座標に対応している。
いて説明する。図２はメモリ５ｂに取り込まれた画像デ
ータを示している。図２において横軸（ｘ軸）はライン
センサカメラ１による１回のスキャンにより得られるデ
ータ位置を示し、ｘ座標はラインセンサ位置、すなわち
ウェッブの幅方向への位置座標に対応している。
【００１９】本実施の形態ではｘ＝０がウェッブの幅方
向の一端を示し、ｘ＝Ｍがウェッブの他端を示してい
る。なお、本実施の形態ではＭに１０２３（センサ数１
０２４）を採用している。
向の一端を示し、ｘ＝Ｍがウェッブの他端を示してい
る。なお、本実施の形態ではＭに１０２３（センサ数１
０２４）を採用している。
【００２０】縦軸（ｙ軸）はラインセンサカメラ１によ
るスキャンナンバを示しており、図２ではスキャンナン
バ０〜１１を示している。スキャンナンバ０は１回目の
スキャンを示している。また、図２において、ｕはｘ座
標をｍ個（例えば８個）ずつまとめてナンバを付した場
合の各ナンバを示している。またｖはｙ座標をｎ個（例
えば８個）ずつまとめてナンバを付した場合の各ナンバ
を示している。これにより、ｕ，ｖ座標は図３に示され
るように、全画像データ（画素）をｍ×ｎ個のメッシュ
に区分けした場合における各メッシュ座標を表す。すな
わち、ｕ，ｖはガウスの記号を［ ］を用いると、それ
ぞれ次式で表される。
るスキャンナンバを示しており、図２ではスキャンナン
バ０〜１１を示している。スキャンナンバ０は１回目の
スキャンを示している。また、図２において、ｕはｘ座
標をｍ個（例えば８個）ずつまとめてナンバを付した場
合の各ナンバを示している。またｖはｙ座標をｎ個（例
えば８個）ずつまとめてナンバを付した場合の各ナンバ
を示している。これにより、ｕ，ｖ座標は図３に示され
るように、全画像データ（画素）をｍ×ｎ個のメッシュ
に区分けした場合における各メッシュ座標を表す。すな
わち、ｕ，ｖはガウスの記号を［ ］を用いると、それ
ぞれ次式で表される。
【００２１】
【数１】 ｕ＝［ｘ／ｍ］ （１） ｖ＝［ｙ／ｎ］ （２）
【００２２】なお、この実施の形態ではｍ，ｎを８とし
ているが、これらの値は、低コントラストの明暗欠陥の
大きさにより、任意に変更することができ、欠陥面積が
大きくなれば、それにしたがって、ｍ，ｎの値を大きく
する。
ているが、これらの値は、低コントラストの明暗欠陥の
大きさにより、任意に変更することができ、欠陥面積が
大きくなれば、それにしたがって、ｍ，ｎの値を大きく
する。
【００２３】図１に示された積分演算部６は、図２に示
される画像データを、図３に示された画素数ｍ×ｎ個ず
つのメッシュに区分けし、各メッシュにおいて、画像デ
ータ（例えば輝度情報または明度情報）を積算し積分値
Ｆ（ｕ，ｖ）で表される積分画像を得る。この積算は次
式において表される。
される画像データを、図３に示された画素数ｍ×ｎ個ず
つのメッシュに区分けし、各メッシュにおいて、画像デ
ータ（例えば輝度情報または明度情報）を積算し積分値
Ｆ（ｕ，ｖ）で表される積分画像を得る。この積算は次
式において表される。
【００２４】
【数２】 Ｆ（ｕ，ｖ）＝ΣΣｆ（ｍｕ＋ｕ´，ｎｖ＋ｖ´） （３） ここで、加算はｕ´が０からｍ−１までのｍ個につい
て、およびｖ´が０からｎ−１までのｎ個について行わ
れる。微分演算部７は、（３）式により求められた微分
画像Ｆ（ｕ，ｖ）の値を所定間隔離れた二つのメッシュ
間毎に次式で示される差分をとって、微分画像Ｄ（ｕ，
ｖ）を得る。
て、およびｖ´が０からｎ−１までのｎ個について行わ
れる。微分演算部７は、（３）式により求められた微分
画像Ｆ（ｕ，ｖ）の値を所定間隔離れた二つのメッシュ
間毎に次式で示される差分をとって、微分画像Ｄ（ｕ，
ｖ）を得る。
【００２５】
【数３】 Ｄ（ｕ，ｖ）＝｜Ｆ（ｕ＋Δｕ，ｖ＋Δｖ）−Ｆ（ｕ−Δｕ，ｖ−Δｕ）｜ （４）
【００２６】ここで、Δｕ，Δｖは差分をとる二つのメ
ッシュ間の距離を表し、この実施の形態では、例えば共
に１が用いられる場合を示している。図３においては、
Ｆ１をＦ（ｕ＋Δｕ，ｖ＋Δｖ）すなわち、Ｆ（ｕ＋
１，ｖ＋１）とすると、減算されるＦ２は、Ｆ（ｕ−Δ
ｕ，ｖ−Δｕ）すなわち、Ｆ（ｕ−１，ｖ−１）となっ
ている。
ッシュ間の距離を表し、この実施の形態では、例えば共
に１が用いられる場合を示している。図３においては、
Ｆ１をＦ（ｕ＋Δｕ，ｖ＋Δｖ）すなわち、Ｆ（ｕ＋
１，ｖ＋１）とすると、減算されるＦ２は、Ｆ（ｕ−Δ
ｕ，ｖ−Δｕ）すなわち、Ｆ（ｕ−１，ｖ−１）となっ
ている。
【００２７】欠陥検出部８は（４）式により求められた
Ｄ（ｕ，ｖ）の値が、（５）式に示されるように、所定
値Ｔ１より大きくなることを条件に、差分されたＦを示
すいずれかのメッシュに欠陥があると判定する（例え
ば、Ｆ１、Ｆ２のいずれかに欠陥があると判定する）。
Ｄ（ｕ，ｖ）の値が、（５）式に示されるように、所定
値Ｔ１より大きくなることを条件に、差分されたＦを示
すいずれかのメッシュに欠陥があると判定する（例え
ば、Ｆ１、Ｆ２のいずれかに欠陥があると判定する）。
【００２８】
【数４】 Ｄ（ｕ，ｖ）＞Ｔ１ （５）
【００２９】一方、平均値算出部９は、次式（６）によ
り、積分画像Ｆ（ｕ，ｖ）の平均Ａ（ｕ）を算出する。
り、積分画像Ｆ（ｕ，ｖ）の平均Ａ（ｕ）を算出する。
【００３０】
【数５】 Ａ（ｕ）＝（ΣＦ（ｕ，ｖ´））／Ｎ （６）
【００３１】ここで、加算はｖ´＝Ｎ・ｉからＮ・ｉ＋
Ｎ−１まで行われる。ここで、ｉは、ガウスの記号［
］を用いて、ｉ＝［ｙ／Ｎ］であらわされ、Ｎは任意
の平均長を示している。
Ｎ−１まで行われる。ここで、ｉは、ガウスの記号［
］を用いて、ｉ＝［ｙ／Ｎ］であらわされ、Ｎは任意
の平均長を示している。
【００３２】明暗判定部１０は、（５）式を満たす微分
値Ｄ（ｕ，ｖ）を得ることとなった、二つの積分画像の
値であるＦ（ｕ＋Δｕ，ｖ＋Δｖ）とＦ（ｕ−Δｕ，ｖ
−Δｕ）の値と、（６）式で求められた平均値Ａ（ｕ＋
Δｕ），Ａ（ｕ−Δｕ）を用いて、次の（７）（８）式
により、二つの積分画像の値からそれぞれの位置座標に
おける平均値を減算し、その減算値に基づいて（９）
（１０）式により明暗判定を行う。
値Ｄ（ｕ，ｖ）を得ることとなった、二つの積分画像の
値であるＦ（ｕ＋Δｕ，ｖ＋Δｖ）とＦ（ｕ−Δｕ，ｖ
−Δｕ）の値と、（６）式で求められた平均値Ａ（ｕ＋
Δｕ），Ａ（ｕ−Δｕ）を用いて、次の（７）（８）式
により、二つの積分画像の値からそれぞれの位置座標に
おける平均値を減算し、その減算値に基づいて（９）
（１０）式により明暗判定を行う。
【００３３】
【数６】 Ｄ＋＝Ｆ（ｕ＋Δｕ，ｖ＋Δｖ）−Ａ（ｕ＋Δｕ） （９） Ｄ−＝Ｆ（ｕ−Δｕ，ｖ−Δｖ）−Ａ（ｕ−Δｕ） （１０）
【００３４】そして、 １）｜Ｄ＋｜≧｜Ｄ−｜ ならばＦ（ｕ＋Δｕ，ｖ＋Δ
ｖ）を欠陥と判定し、かつＤ＋≧０の場合にその欠陥が
明欠陥であると判定し、Ｄ＋＜０の場合にその欠陥が暗
欠陥であると判定する。
ｖ）を欠陥と判定し、かつＤ＋≧０の場合にその欠陥が
明欠陥であると判定し、Ｄ＋＜０の場合にその欠陥が暗
欠陥であると判定する。
【００３５】一方、 ２）｜Ｄ＋｜＜｜Ｄ−｜ ならばＦ（ｕ−Δｕ，ｖ−Δ
ｖ）を欠陥と判定し、かつＤ−≧０の場合にその欠陥が
明欠陥であると判定し、Ｄ−＜０の場合にその欠陥が暗
欠陥であると判定する。
ｖ）を欠陥と判定し、かつＤ−≧０の場合にその欠陥が
明欠陥であると判定し、Ｄ−＜０の場合にその欠陥が暗
欠陥であると判定する。
【００３６】以上に、本発明の実施の形態を説明した
が、本発明はかかる実施の形態に限定されることはな
く、例えば、実施の形態において、ラインセンサの数は
１０２４としているが、この数に限定されることはな
く、また、ラインセンサカメラに代えて、エリアセンサ
カメラを用いても本発明の思想は何ら変わるものではな
い。
が、本発明はかかる実施の形態に限定されることはな
く、例えば、実施の形態において、ラインセンサの数は
１０２４としているが、この数に限定されることはな
く、また、ラインセンサカメラに代えて、エリアセンサ
カメラを用いても本発明の思想は何ら変わるものではな
い。
【００３７】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明は、被検
査物を撮像して画像データを得、この画像データにより
構成される画像を、等面積を有するメッシュに分割する
とともに、分割された各メッシュにおいて画像データの
加算を行って積分画像を得、この積分画像に対し、所定
のメッシュ間隔毎に差分演算を行って微分画像を得、こ
の微分画像より得られる値を所定値と比較することによ
り、被検査物の明度が部分的に異なる部分を欠陥として
検出するとともに、積分画像の平均値を算出し、この平
均値と、欠陥を構成する差分演算が行われた二つのメッ
シュにおける前記積分画像の値とに基づいて、欠陥の明
暗を判定するようにしたため、低コントラストを有する
欠陥を明暗の区別をつけて検出することができ、また一
つの欠陥が従来のように二つの欠陥に分裂することもな
く、欠陥を的確に検出することができる。
査物を撮像して画像データを得、この画像データにより
構成される画像を、等面積を有するメッシュに分割する
とともに、分割された各メッシュにおいて画像データの
加算を行って積分画像を得、この積分画像に対し、所定
のメッシュ間隔毎に差分演算を行って微分画像を得、こ
の微分画像より得られる値を所定値と比較することによ
り、被検査物の明度が部分的に異なる部分を欠陥として
検出するとともに、積分画像の平均値を算出し、この平
均値と、欠陥を構成する差分演算が行われた二つのメッ
シュにおける前記積分画像の値とに基づいて、欠陥の明
暗を判定するようにしたため、低コントラストを有する
欠陥を明暗の区別をつけて検出することができ、また一
つの欠陥が従来のように二つの欠陥に分裂することもな
く、欠陥を的確に検出することができる。
【図１】本発明の実施の形態を示す機能ブロック図であ
る。
る。
【図２】メモリに記憶される画像データ構造を示す図で
ある。
ある。
【図３】画像データをメッシュに分割した状態を示す図
である。
である。
【図４】従来の明暗検査装置を示す機能ブロック図であ
る。
る。
【図５】画像を格子状に分割した状態を示す図である。
１ ラインセンサカメラ ２ ウェッブ ３ 照明装置 ４ 画像処理装置 ５ 画像入力部 ６ 積分演算部 ７ 微分演算部 ８ 欠陥検出部 ９ 平均値算出部 １０ 明暗判定部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA34 AA40 AA41 AB20 BA20 CA03 CA04 DA05 DA06 EA08 EA09 EA12 EA14 EB01 EB02 EC03 ED07 5B057 AA20 DA03 DB02 DB09 DC22 DC32 5C054 FC01 FC05 FC12 FC16 HA05
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査物を撮像し、その画像データに基
づいて、前記被検査物の明暗を検査する明暗検査装置で
あって、 前記被検査物を撮像し画像データを出力する撮像装置
と、 前記撮像装置より出力される画像データにより構成され
る画像を、等面積を有するメッシュに分割するととも
に、分割された各メッシュにおいて画像データの加算を
行って積分画像を得る積分画像算出部と、 前記積分画像算出部により得られる積分画像に対し、所
定のメッシュ間隔毎に差分演算を行って微分画像を得る
微分画像算出部と、 前記微分画像算出部により得られる値を所定値と比較す
ることにより、被検査物の明度が部分的に異なる部分を
欠陥として検出する欠陥検出部と、 前記積分画像算出部により得られる前記積分画像の平均
値を算出する平均値算出部と、 前記平均値算出部により得られる平均値と、前記欠陥検
出部により欠陥が検出される前記差分演算が行われた二
つのメッシュにおける前記積分画像の値とに基づいて、
前記欠陥検出部により検出された欠陥の明暗を判定する
明暗判定部とを備えてなる明暗検査装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の明暗検査装置において、 前記明暗判定部は、前記二つのメッシュにおける前記積
分画像の値それぞれから前記積分画像の平均値を減算し
た場合に、それら減算値の絶対値の一方が他方の絶対値
以上であり、かつその一方の絶対値に対応するメッシュ
における前記減算値が零以上であることを条件に、該一
方の絶対値に対応するメッシュにおける欠陥が明欠陥で
あると判定する明暗検査装置。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の明暗検査装置に
おいて、 前記明暗判定部は、前記二つのメッシュにおける前記積
分画像の値それぞれから前記積分画像の平均値を減算し
た場合に、それら減算値の絶対値の一方が他方の絶対値
以上であり、かつその一方の絶対値に対応するメッシュ
における前記減算値が負であることを条件に、該一方の
絶対値に対応するメッシュにおける欠陥が暗欠陥である
と判定する明暗検査装置。 - 【請求項４】 被検査物を撮像し、その画像データに基
づいて、前記被検査物の明暗を検査する明暗検査方法で
あって、 前記被検査物を撮像して画像データを得るステップと、 画像データにより構成される画像を、等面積を有するメ
ッシュに分割するとともに、分割された各メッシュにお
いて画像データの加算を行って積分画像を得るステップ
と、 積分画像に対し、所定のメッシュ間隔毎に差分演算を行
って微分画像を得るステップと、 前記微分画像より得られる値を所定値と比較することに
より、被検査物の明度が部分的に異なる部分を欠陥とし
て検出するステップと、 前記積分画像の平均値を算出するステップと、 前記平均値と、前記欠陥が検出される前記差分演算が行
われた二つのメッシュにおける前記積分画像の値とに基
づいて、欠陥の明暗を判定するステップとを備えてなる
明暗検査方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20525298A JP4165932B2 (ja) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | 明暗検査装置および明暗検査方法 |
| US09/285,747 US6570607B1 (en) | 1998-07-21 | 1999-04-05 | Light and shade inspecting apparatus and light and shade inspecting method |
| CA002269244A CA2269244A1 (en) | 1998-07-21 | 1999-04-19 | Light and shade inspecting apparatus and light and shade inspecting method |
| DE69923118T DE69923118T2 (de) | 1998-07-21 | 1999-05-27 | Vorrichtung und Verfahren zum Feststellen von kontrastarmen Flecken |
| EP99304116A EP0974830B1 (en) | 1998-07-21 | 1999-05-27 | Apparatus and method for detecting low-contrast blemishes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20525298A JP4165932B2 (ja) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | 明暗検査装置および明暗検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000036048A true JP2000036048A (ja) | 2000-02-02 |
| JP4165932B2 JP4165932B2 (ja) | 2008-10-15 |
Family
ID=16503919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20525298A Expired - Lifetime JP4165932B2 (ja) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | 明暗検査装置および明暗検査方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6570607B1 (ja) |
| EP (1) | EP0974830B1 (ja) |
| JP (1) | JP4165932B2 (ja) |
| CA (1) | CA2269244A1 (ja) |
| DE (1) | DE69923118T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100819412B1 (ko) | 2005-08-26 | 2008-04-07 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 결함 검출 방법 및 결함 검출 장치 |
| JP2012083109A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-26 | M I L:Kk | 穴検査対象物の検査装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2184646B1 (es) * | 2001-09-21 | 2004-07-16 | Fabrica Nacional De Moneda Y Timbre-Real Casa De La Moneda | Metodo de analisis de la nubosidad visual del papel de seguridad, y dispositivo para la puesta en practica del mismo. |
| JP4247993B2 (ja) * | 2004-11-05 | 2009-04-02 | シャープ株式会社 | 画像検査装置、画像検査方法、制御プログラムおよび可読記憶媒体 |
| JP5714173B2 (ja) | 2011-03-29 | 2015-05-07 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル．ピー．Ｈｅｗｌｅｔｔ‐Ｐａｃｋａｒｄ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｃｏｍｐａｎｙ， Ｌ．Ｐ． | イメージのスクラッチの検出 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2597370B2 (ja) | 1987-10-14 | 1997-04-02 | 株式会社ヒューテック | シート状被検材の有意差検出方法 |
| US5091963A (en) | 1988-05-02 | 1992-02-25 | The Standard Oil Company | Method and apparatus for inspecting surfaces for contrast variations |
| DE69029461T2 (de) | 1989-05-31 | 1997-04-03 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Verfahren zur messung und kontrolle von texturen. |
| US5774177A (en) | 1996-09-11 | 1998-06-30 | Milliken Research Corporation | Textile fabric inspection system |
-
1998
- 1998-07-21 JP JP20525298A patent/JP4165932B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-04-05 US US09/285,747 patent/US6570607B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-04-19 CA CA002269244A patent/CA2269244A1/en not_active Abandoned
- 1999-05-27 EP EP99304116A patent/EP0974830B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-05-27 DE DE69923118T patent/DE69923118T2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100819412B1 (ko) | 2005-08-26 | 2008-04-07 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 결함 검출 방법 및 결함 검출 장치 |
| JP2012083109A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-26 | M I L:Kk | 穴検査対象物の検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4165932B2 (ja) | 2008-10-15 |
| DE69923118D1 (de) | 2005-02-17 |
| CA2269244A1 (en) | 2000-01-21 |
| EP0974830B1 (en) | 2005-01-12 |
| EP0974830A3 (en) | 2000-03-22 |
| DE69923118T2 (de) | 2005-12-29 |
| US6570607B1 (en) | 2003-05-27 |
| EP0974830A2 (en) | 2000-01-26 |
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