JP3245066B2 - 表示パネルの欠陥検査装置 - Google Patents
表示パネルの欠陥検査装置Info
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- JP3245066B2 JP3245066B2 JP21577196A JP21577196A JP3245066B2 JP 3245066 B2 JP3245066 B2 JP 3245066B2 JP 21577196 A JP21577196 A JP 21577196A JP 21577196 A JP21577196 A JP 21577196A JP 3245066 B2 JP3245066 B2 JP 3245066B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルなどの
表示パネルの欠陥を検出する、表示パネルの欠陥検査装
置に関する。
表示パネルの欠陥を検出する、表示パネルの欠陥検査装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶パネルなどの表示パネルの欠
陥を検出するため、画面をＣＣＤカメラにて撮像した画
像を２値化して欠陥部の画像を検出していた。
陥を検出するため、画面をＣＣＤカメラにて撮像した画
像を２値化して欠陥部の画像を検出していた。
【０００３】このような従来の欠陥検査では、発光絵素
部が正方配置している画面を、受光素子が正方配置して
いるＣＣＤにて撮像すると、干渉縞（モアレ）が生じる
ことがある。これは、発光絵素と発光絵素との間、受光
素子と受光素子との間に隙間、すなわち発光や受光をし
ない部分が存在するので、撮像した画面の発光絵素数
と、ＣＣＤカメラの受光素子数との比によって発生す
る。
部が正方配置している画面を、受光素子が正方配置して
いるＣＣＤにて撮像すると、干渉縞（モアレ）が生じる
ことがある。これは、発光絵素と発光絵素との間、受光
素子と受光素子との間に隙間、すなわち発光や受光をし
ない部分が存在するので、撮像した画面の発光絵素数
と、ＣＣＤカメラの受光素子数との比によって発生す
る。
【０００４】この干渉縞を生じた画面では、画面全体の
明るさが均一でないため、画面全体を一つのしきい値に
て２値化すると、欠陥部の他に干渉縞の一部も欠陥と同
様に検出されてしまい、欠陥部のみの検出が困難とな
る。
明るさが均一でないため、画面全体を一つのしきい値に
て２値化すると、欠陥部の他に干渉縞の一部も欠陥と同
様に検出されてしまい、欠陥部のみの検出が困難とな
る。
【０００５】この干渉縞による影響を除去するには以下
の方法がある。第１の方法は、十分高い倍率、例えば、
画面の一つの発光絵素を１０×１０受光素子程度のＣＣ
Ｄ素子にて受光するように倍率を設定して撮像すると干
渉縞が生じないため、このような倍率にて検査する方法
である。
の方法がある。第１の方法は、十分高い倍率、例えば、
画面の一つの発光絵素を１０×１０受光素子程度のＣＣ
Ｄ素子にて受光するように倍率を設定して撮像すると干
渉縞が生じないため、このような倍率にて検査する方法
である。
【０００６】第２の方法は、光学レンズ系を合焦位置で
なく、焦点のあっていない（アンフォーカス）位置で撮
像を行うことによって、干渉縞の発生を抑制する方法で
ある。
なく、焦点のあっていない（アンフォーカス）位置で撮
像を行うことによって、干渉縞の発生を抑制する方法で
ある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記第
１の方法では、画面全体を検査するためには、画面を数
十に分割して撮像、検査しなければならない。このため
逐次処理では長時間を要し、並列処理では処理装置が非
常に高価となる。また、このような高倍率では、画面の
各発光絵素の間にあるマスク部分（発光しない部分）と
を識別しなければならないため、欠陥検出処理が複雑か
つ困難となる。
１の方法では、画面全体を検査するためには、画面を数
十に分割して撮像、検査しなければならない。このため
逐次処理では長時間を要し、並列処理では処理装置が非
常に高価となる。また、このような高倍率では、画面の
各発光絵素の間にあるマスク部分（発光しない部分）と
を識別しなければならないため、欠陥検出処理が複雑か
つ困難となる。
【０００８】また、上記第２の方法では、撮像した画像
がぼけることによって、干渉縞は分からなくなるが、同
時に欠陥部もぼけるため、微細または微量な欠陥部の検
出が困難となる。
がぼけることによって、干渉縞は分からなくなるが、同
時に欠陥部もぼけるため、微細または微量な欠陥部の検
出が困難となる。
【０００９】そこで本発明は、上記従来の問題点を解消
すべくなされたものであり、干渉縞が発生するような低
倍率であっても、かつ合焦点の光学レンズ系を用いて、
表示パネルの画面の干渉縞が生じた画像から欠陥部のみ
を正確に検出する表示パネルの欠陥検査装置を提供する
ことを目的とする。
すべくなされたものであり、干渉縞が発生するような低
倍率であっても、かつ合焦点の光学レンズ系を用いて、
表示パネルの画面の干渉縞が生じた画像から欠陥部のみ
を正確に検出する表示パネルの欠陥検査装置を提供する
ことを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明の請求項１に記載の表示パネルの欠陥検査装
置は、表示パネルを点灯させる点灯手段と、表示パネル
の画面を撮像する撮像手段と、この撮像手段にて前記表
示パネルの画面を撮像した際に生じた干渉縞の間隔デー
タを入力するためのデータ入力手段と、撮像された前記
表示パネルの画面の検査対象画素の明るさと、前記デー
タ入力手段から入力された干渉縞の間隔データだけ離れ
た位置の画素の明るさとの差分を求める差分処理手段
と、この差分処理手段の求めた差分に基づき、前記表示
パネルの明るさを所定の値と比較して欠陥部を検出する
欠陥検出手段とを具備することを特徴とする構成を有す
る。
め、本発明の請求項１に記載の表示パネルの欠陥検査装
置は、表示パネルを点灯させる点灯手段と、表示パネル
の画面を撮像する撮像手段と、この撮像手段にて前記表
示パネルの画面を撮像した際に生じた干渉縞の間隔デー
タを入力するためのデータ入力手段と、撮像された前記
表示パネルの画面の検査対象画素の明るさと、前記デー
タ入力手段から入力された干渉縞の間隔データだけ離れ
た位置の画素の明るさとの差分を求める差分処理手段
と、この差分処理手段の求めた差分に基づき、前記表示
パネルの明るさを所定の値と比較して欠陥部を検出する
欠陥検出手段とを具備することを特徴とする構成を有す
る。
【００１１】本発明の請求項２に記載の表示パネルの欠
陥検査装置は、請求項１に記載の表示パネルの欠陥検査
装置を構成する手段において、前記差分処理手段が、撮
像された前記表示パネルの画面の検査対象画素の明るさ
の２倍から、前記干渉縞の間隔データだけ前後に離れた
位置の画素の明るさをそれぞれ減算処理して差分を求め
ることを特徴とする。
陥検査装置は、請求項１に記載の表示パネルの欠陥検査
装置を構成する手段において、前記差分処理手段が、撮
像された前記表示パネルの画面の検査対象画素の明るさ
の２倍から、前記干渉縞の間隔データだけ前後に離れた
位置の画素の明るさをそれぞれ減算処理して差分を求め
ることを特徴とする。
【００１２】上記の構成によって、本発明の請求項１に
記載の表示パネルの欠陥検査装置は、撮像画像の検査対
象画素の明るさと、干渉縞の間隔データだけ離れた位置
の画素の明るさとの差分を求めることによって、撮像し
た画像から干渉縞を除去するので、表示パネルの欠陥を
正確に検出することができる。
記載の表示パネルの欠陥検査装置は、撮像画像の検査対
象画素の明るさと、干渉縞の間隔データだけ離れた位置
の画素の明るさとの差分を求めることによって、撮像し
た画像から干渉縞を除去するので、表示パネルの欠陥を
正確に検出することができる。
【００１３】本発明の請求項２に記載の表示パネルの欠
陥検査装置は、撮像画像の検査対象画素の明るさの２倍
から、干渉縞の間隔データだけ前後に離れた位置の画素
の明るさをそれぞれ減算処理して差分を求めるので、表
示パネルの輝度むらによる影響を排除することができ
る。
陥検査装置は、撮像画像の検査対象画素の明るさの２倍
から、干渉縞の間隔データだけ前後に離れた位置の画素
の明るさをそれぞれ減算処理して差分を求めるので、表
示パネルの輝度むらによる影響を排除することができ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明の表示パネ
ルの欠陥検査装置の機能ブロック図である。液晶パネル
点灯制御部２は、液晶パネル１０を点灯し、バックライ
ト１は、液晶パネル１０を照明する。液晶パネル点灯制
御部２とバックライト１とで点灯手段を構成する。
施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明の表示パネ
ルの欠陥検査装置の機能ブロック図である。液晶パネル
点灯制御部２は、液晶パネル１０を点灯し、バックライ
ト１は、液晶パネル１０を照明する。液晶パネル点灯制
御部２とバックライト１とで点灯手段を構成する。
【００１５】ＣＣＤアレイカメラ３は、液晶パネル１０
の画面を撮像し、画像メモリ４に記録する。ＣＣＤアレ
イカメラ３と画像メモリ４とで撮像手段を構成する。
の画面を撮像し、画像メモリ４に記録する。ＣＣＤアレ
イカメラ３と画像メモリ４とで撮像手段を構成する。
【００１６】差分処理部５は、画像メモリ４に記録され
た画像に対して、欠陥検出制御部６の制御に応じた差分
処理を行う。欠陥検出制御部６は、液晶パネル点灯制御
部２と差分処理部５を制御し、液晶パネル１０の画面の
欠陥を検出する。差分処理部５と欠陥検出制御部６と
は、マイクロコンピュータなどによって構成される。
た画像に対して、欠陥検出制御部６の制御に応じた差分
処理を行う。欠陥検出制御部６は、液晶パネル点灯制御
部２と差分処理部５を制御し、液晶パネル１０の画面の
欠陥を検出する。差分処理部５と欠陥検出制御部６と
は、マイクロコンピュータなどによって構成される。
【００１７】モニタ７は、ＣＣＤアレイカメラ３にて撮
像された液晶パネル１０の画面の画像を表示し、データ
入力部８は、画面に生じた干渉縞の間隔データを入力す
る。データ入力部８はキーボードなどによって構成され
る。
像された液晶パネル１０の画面の画像を表示し、データ
入力部８は、画面に生じた干渉縞の間隔データを入力す
る。データ入力部８はキーボードなどによって構成され
る。
【００１８】次に液晶パネル１０の欠陥検査の手順を説
明する。まず液晶パネル点灯制御部２は、液晶パネル１
０を検査用の画面に点灯し、バックライト１にて照明す
る。この液晶パネル１０の画面は、ＣＣＤアレイカメラ
３にて撮像され、画像メモリ４に記録される。
明する。まず液晶パネル点灯制御部２は、液晶パネル１
０を検査用の画面に点灯し、バックライト１にて照明す
る。この液晶パネル１０の画面は、ＣＣＤアレイカメラ
３にて撮像され、画像メモリ４に記録される。
【００１９】この画像メモリ４に記録された画像は、差
分処理部５および欠陥検出制御部６を経由して、モニタ
７に映し出される。図２は、この映し出された液晶パネ
ル１０の画面を示し、干渉縞が生じている。この干渉縞
の間隔をモニタ７上のカーソルにて測定し、測定された
干渉縞の間隔データＰを、データ入力部８から入力す
る。
分処理部５および欠陥検出制御部６を経由して、モニタ
７に映し出される。図２は、この映し出された液晶パネ
ル１０の画面を示し、干渉縞が生じている。この干渉縞
の間隔をモニタ７上のカーソルにて測定し、測定された
干渉縞の間隔データＰを、データ入力部８から入力す
る。
【００２０】欠陥検出制御部６は、この干渉縞の間隔デ
ータＰを、差分処理部５に与える。差分処理部５は、画
像メモリ４に格納されている画面の各画素の明るさｆ
（ｘ，ｙ）に対し、干渉縞の間隔データＰを用いて、次
式によって、新たな画像ｆ1（ｘ，ｙ）を求める。
ータＰを、差分処理部５に与える。差分処理部５は、画
像メモリ４に格納されている画面の各画素の明るさｆ
（ｘ，ｙ）に対し、干渉縞の間隔データＰを用いて、次
式によって、新たな画像ｆ1（ｘ，ｙ）を求める。
【００２１】ｆ1（ｘ，ｙ）＝２×ｆ（ｘ，ｙ）−ｆ
（ｘ−ｐ，ｙ）−ｆ（ｘ＋ｐ，ｙ） ただしｆ（ｘ−ｐ，ｙ）およびｆ（ｘ＋ｐ，ｙ）は、検
査対象画素の明るさｆ（ｘ，ｙ）に対し、干渉縞を横切
る方向に±ｐだけ距離の離れた位置の画素の明るさを表
す。
（ｘ−ｐ，ｙ）−ｆ（ｘ＋ｐ，ｙ） ただしｆ（ｘ−ｐ，ｙ）およびｆ（ｘ＋ｐ，ｙ）は、検
査対象画素の明るさｆ（ｘ，ｙ）に対し、干渉縞を横切
る方向に±ｐだけ距離の離れた位置の画素の明るさを表
す。
【００２２】図３（ａ）は、画像メモリ４から読み出し
た画像ｆ（ｘ，ｙ）と、その横断面Ａの輝度グラフを示
す。この干渉縞が発生した画像ｆ（ｘ，ｙ）では、干渉
縞の間隔Ｐだけ離れた位置の画素はほぼ同じ明るさとな
り、干渉縞の間隔Ｐの周期で繰り返される。画像に干渉
縞が存在するため、欠陥部の識別が困難である。
た画像ｆ（ｘ，ｙ）と、その横断面Ａの輝度グラフを示
す。この干渉縞が発生した画像ｆ（ｘ，ｙ）では、干渉
縞の間隔Ｐだけ離れた位置の画素はほぼ同じ明るさとな
り、干渉縞の間隔Ｐの周期で繰り返される。画像に干渉
縞が存在するため、欠陥部の識別が困難である。
【００２３】また画像ｆ（ｘ，ｙ）の横断面Ａの輝度グ
ラフを見ると、バックライト１にて照明された液晶パネ
ル１０の画面には、輝度むらがあることが分かる。この
輝度むらによる影響を排除するため、上記式に示される
ように検査対象画素の明るさの２倍から、干渉縞の間隔
Ｐだけ前後に離れた位置の画素の明るさをそれぞれ減算
処理して差分を求める。これによって、照明むらなどに
よる、画面の輝度むらによる影響を排除することができ
る。
ラフを見ると、バックライト１にて照明された液晶パネ
ル１０の画面には、輝度むらがあることが分かる。この
輝度むらによる影響を排除するため、上記式に示される
ように検査対象画素の明るさの２倍から、干渉縞の間隔
Ｐだけ前後に離れた位置の画素の明るさをそれぞれ減算
処理して差分を求める。これによって、照明むらなどに
よる、画面の輝度むらによる影響を排除することができ
る。
【００２４】図３（ｂ）は、新たに求めた画像ｆ
1（ｘ，ｙ）と、その横断面Ａ1の輝度グラフを示し、画
像から干渉縞のみが除去され、欠陥部が強調されてい
る。この新たな画像ｆ1（ｘ，ｙ）に対し、差分処理部
５は、２値化処理を行い、ｆ2（ｘ，ｙ）を求める。
1（ｘ，ｙ）と、その横断面Ａ1の輝度グラフを示し、画
像から干渉縞のみが除去され、欠陥部が強調されてい
る。この新たな画像ｆ1（ｘ，ｙ）に対し、差分処理部
５は、２値化処理を行い、ｆ2（ｘ，ｙ）を求める。
【００２５】図３（ｃ）は、２値化した画像ｆ2（ｘ，
ｙ）と、その横断面Ａ2の輝度グラフを示し、欠陥部の
みを容易に抽出できることを示している。
ｙ）と、その横断面Ａ2の輝度グラフを示し、欠陥部の
みを容易に抽出できることを示している。
【００２６】欠陥検出制御部６は、差分処理部５にて求
められた２値化した画像ｆ2（ｘ，ｙ）を用いて、各画
素の明るさが設定された値よりも大きいか否かを比較し
て、液晶パネル１０の画面の欠陥の有無を検出する。そ
して有りの場合は、さらにその個数、大きさなどを検出
する。
められた２値化した画像ｆ2（ｘ，ｙ）を用いて、各画
素の明るさが設定された値よりも大きいか否かを比較し
て、液晶パネル１０の画面の欠陥の有無を検出する。そ
して有りの場合は、さらにその個数、大きさなどを検出
する。
【００２７】以上説明したように本発明は、簡易な構成
にて、液晶パネル１０の画面を撮像した画像の各画素に
対して、画面上に生じた干渉縞の間隔だけ離れた位置の
画素との差分を求めることによって、撮像した画像から
干渉縞を除去することができる。このため、２値化する
ことによって、欠陥部のみを強調した画像を容易に得る
ことができ、干渉縞を有する画像からでも微細、微弱な
欠陥を正確に検出することができる。
にて、液晶パネル１０の画面を撮像した画像の各画素に
対して、画面上に生じた干渉縞の間隔だけ離れた位置の
画素との差分を求めることによって、撮像した画像から
干渉縞を除去することができる。このため、２値化する
ことによって、欠陥部のみを強調した画像を容易に得る
ことができ、干渉縞を有する画像からでも微細、微弱な
欠陥を正確に検出することができる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明の請求項１に
記載の表示パネルの欠陥検査装置は、撮像画像の検査対
象画素の明るさと、干渉縞の間隔データだけ離れた位置
の画素の明るさとの差分を求めることによって、撮像し
た画像から干渉縞を除去することができる。このため、
欠陥部のみを強調した画像を容易に得ることができ、干
渉縞を有する画像からでも表示パネルの微細、微弱な欠
陥を正確に検出することができる。
記載の表示パネルの欠陥検査装置は、撮像画像の検査対
象画素の明るさと、干渉縞の間隔データだけ離れた位置
の画素の明るさとの差分を求めることによって、撮像し
た画像から干渉縞を除去することができる。このため、
欠陥部のみを強調した画像を容易に得ることができ、干
渉縞を有する画像からでも表示パネルの微細、微弱な欠
陥を正確に検出することができる。
【００２９】本発明の請求項２に記載の表示パネルの欠
陥検査装置は、撮像画像の検査対象画素の明るさの２倍
から、干渉縞の間隔データだけ前後に離れた位置の画素
の明るさをそれぞれ減算処理して差分を求める。このた
め、照明むらなどによる、表示パネルの輝度むらによる
影響を排除することができる。
陥検査装置は、撮像画像の検査対象画素の明るさの２倍
から、干渉縞の間隔データだけ前後に離れた位置の画素
の明るさをそれぞれ減算処理して差分を求める。このた
め、照明むらなどによる、表示パネルの輝度むらによる
影響を排除することができる。
【図１】本発明の実施の形態の表示パネルの欠陥検査装
置の機能ブロック図である。
置の機能ブロック図である。
【図２】液晶パネル１０の撮像画面に生じた干渉縞を示
す図である。
す図である。
【図３】（ａ）は、画像ｆ（ｘ，ｙ）とその横断面Ａの
輝度を示し、（ｂ）は、画像ｆ1（ｘ，ｙ）とその横断
面Ａ1の輝度を示し、（ｃ）は、画像ｆ2（ｘ，ｙ）とそ
の横断面Ａ2の輝度を示す図である。
輝度を示し、（ｂ）は、画像ｆ1（ｘ，ｙ）とその横断
面Ａ1の輝度を示し、（ｃ）は、画像ｆ2（ｘ，ｙ）とそ
の横断面Ａ2の輝度を示す図である。
１ バックライト ２ 液晶パネル点灯制御部 ３ ＣＣＤアレイカメラ ４ 画像メモリ ５ 差分処理部 ６ 欠陥検出制御部 ７ モニタ ８ データ入力部 １０ 液晶パネル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 11/00 - 11/08 G01N 21/84 - 21/958 G02F 1/13 G01B 11/00 - 11/30
Claims (2)
- 【請求項１】 表示パネルを点灯させる点灯手段と、 表示パネルの画面を撮像する撮像手段と、 この撮像手段にて前記表示パネルの画面を撮像した際に
生じた干渉縞の間隔データを入力するためのデータ入力
手段と、 撮像された前記表示パネルの画面の検査対象画素の明る
さと、前記データ入力手段から入力された干渉縞の間隔
データだけ離れた位置の画素の明るさとの差分を求める
差分処理手段と、 この差分処理手段の求めた差分に基づき、前記表示パネ
ルの明るさを所定の値と比較して欠陥部を検出する欠陥
検出手段とを具備することを特徴とする表示パネルの欠
陥検査装置。 - 【請求項２】 前記差分処理手段が、撮像された前記表
示パネルの画面の検査対象画素の明るさの２倍から、前
記干渉縞の間隔データだけ前後に離れた位置の画素の明
るさをそれぞれ減算処理して差分を求めることを特徴と
する請求項１に記載の表示パネルの欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21577196A JP3245066B2 (ja) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | 表示パネルの欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21577196A JP3245066B2 (ja) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | 表示パネルの欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062302A JPH1062302A (ja) | 1998-03-06 |
| JP3245066B2 true JP3245066B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=16677959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21577196A Expired - Fee Related JP3245066B2 (ja) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | 表示パネルの欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3245066B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103529571B (zh) * | 2013-10-25 | 2016-01-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 液晶面板离子检测装置及检测方法 |
-
1996
- 1996-08-15 JP JP21577196A patent/JP3245066B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1062302A (ja) | 1998-03-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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