JPH1074262A - スジキズ検査方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低コントラストで微細なスジキズであっても
容易に検出できるスジキズ検査方法及びその装置を得
る。 【解決手段】 欠陥データの幅を拡大するミクロフィル
タ部２５とある程度の幅がある欠陥データをムラとして
検出するムラフィルタ部２７とを直列接続する。そし
て、ミクロフィルタ部２５が画像入力部２２からのライ
ンセンサカメラ３が撮像した画像データを取り込むこと
によって、低コントラストな微細なスジキズのデータ幅
を拡大して直接、ムラフィルタ部２６に出力する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、低コントラストで
幅が狭く搬送方向に長いなスジキズを容易に検出するス
ジキズ検査方法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、紙、フィルム、鋼板等のシート
状の物を加工する製造ラインにおいては、キズ、凹凸、
汚れ、異物等の欠陥があるかどうかを検査する必要があ
る。このような欠陥を検査するには、一般に搬送されて
くるシートの上にラインセンサカメラを設けてシートを
撮像する。そして、このラインセンサカメラが撮影した
映像信号を画像処理して欠陥を強調する。

【０００３】この画像処理は、ラインセンサカメラから
の映像信号をデジタル変換した画像データに対して、微
細欠陥はミクロフィルタ処理により検出し（特開平７−
２２５１９６号参照）、模様等の明るいムラ又は汚れ等
の暗いムラをムラフィルタ処理により検出していた（特
開平６−３２３９５４号参照）。即ち、欠陥の種類に応
じて異なる検査手法を用いて検査を行っていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ミクロ
フィルタ処理というのは、画素間の濃度情報の変化量を
強調し、この変化量を平均化している。

【０００５】そして、求めた平均化された変化量の差が
所定のしきい値以上を微細欠陥として検出するものであ
る。

【０００６】つまり、ミクロフィルタ処理による判定
は、一画素の濃度値の差を強調し、この差が所定以上の
とき欠陥と判定するものであるから、ある程度の差がな
いと検出できない。

【０００７】例えば、低コントラストで幅が狭く搬送方
向に長いスジキズ等は、濃度値が微少であるから差が微
少となってしきい値以上とはならないので検出ができな
い。

【０００８】従って、ミクロフィルタでは低コントラス
トの欠陥は検出できないという問題点があった。

【０００９】また、ムラフィルタ処理というのは、画素
の濃度情報である画像データを、縦横それぞれ所定数の
画素行列からなる格子に分割し、その各格子内の各画素
の濃度情報を積分してムラを強調し、更に積分値間の差
分を求めることにより、求めた差分量が所定以上のとき
にムラと判定するものである。

【００１０】つまり、ムラフィルタ処理は、複数の画素
の濃度値を積分し、その差をムラとしているので、ある
程度の面積がないとムラが検出されないという問題点が
あった。

【００１１】本発明は以上の問題点を解決するためにな
されたもので、低コントラストで幅が狭く搬送方向に長
いスジキズであっても容易に検出できるスジキズ検出方
法及びその装置を得ることを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１のスジキズ検査
方法は、シート状の被検査物を搬送させながら被検査物
を撮像し、この撮像信号を変換して得られた画素毎の画
像データを利用して得られた欠陥データから、被検査物
上に形成された直線状のスジキズの有無を検査する検査
方法において、画像データの各画素間の濃度情報の変化
量を強調する第１の工程と、第１の工程により強調され
た複数のデータを加算する第２の工程と、第２の工程に
より加算されたデータ間の変化量を求める第３の工程
と、第３の工程で求められた変化量から所定閾値と比較
してスジキズを検出する第４の工程からなることを要旨
とする。

【００１３】請求項１のスジキズ検査方法においては、
被検査物の画像データの各画素間の濃度情報の変化量が
強調され、この強調された変化量のデータが加算され
て、所定閾値と比較されてスジキズが検出される。

【００１４】請求項２のスジキズ検査方法は、第２の工
程は、複数のデータを被検査物体の搬送方向のデータ数
を搬送方向に直交する方向のデータ数より大なるように
格子状に切り出し、この格子内の加算値を算出する工程
を含むことを要旨とする。

【００１５】請求項２においては、被検査物体の搬送方
向のデータ数が搬送方向に直交する方向のデータ数より
大なるように格子状に切り出され、この格子内の加算値
が算出される。

【００１６】請求項３のスジキズ検査方法は、第１の工
程は、強調された変化量を平均化して欠陥データの幅を
拡大する工程を含むことを要旨とする。

【００１７】請求項３においては、ラインセンサカメラ
で撮影した被検査物の撮像信号の変化量が平均化され
て、その欠陥データが拡大される。

【００１８】請求項４のスジキズ検査装置は、シート状
の被検査物を搬送させながら被検査物を撮像し、この撮
像信号を変換して得られた画素毎の画像データを利用し
て得られた欠陥データから、被検査物上に形成された直
線状のスジキズの有無を検査するスジキズ検査装置にお
いて、画像データの各画素毎の濃度情報を格納する記憶
手段と、画像データの各画素間の濃度情報の変化量を強
調する第１の変化量算出手段と、第１の変化量算出手段
により得られた複数の変化量を被検査物の搬送方向のデ
ータ数を搬送方向に直交する方向のデータ数より大なる
ように格子状に切り出し、この格子内の変化量を算出す
る第２の変化量算出手段と、第２の変化量算出手段によ
り得られた変化量と所定の閾値を比較する比較手段とを
具備することを要旨とする。

【００１９】請求項４のスジキズ検査装置においては、
ラインセンサカメラで撮影した被検査物の撮像信号が画
像データに変換されると、画像データ毎の各画素間の濃
度情報の変化量が強調されて出力される。そして、この
強調された変化量のデータが加算されて、所定閾値と比
較されてスジキズが検出される。

【００２０】請求項５のスジキズ検査装置は、第１の変
化量算出手段は、算出された変化量を平均化する手段を
具備することを要旨とする。

【００２１】請求項５のスジキズ検査装置おいては、第
１の変化量演算手段が入力された画像データの１画素間
毎の濃度情報の変化量が平均化される。

【００２２】

【発明の実施の形態】図１は本実施の形態のスジキズ検
査装置の概略構成図である。図１のスジキズ検査装置１
は、シート２上を撮影するラインセンサカメラ３と、ラ
インセンサカメラ３が撮像する撮像ラインの近傍に設け
られ、照明用電源４からの電力に基づいた光を照射する
照明器５と、ラインセンサカメラ３より上流の位置に設
けられ、シート２を検出するセンサ７と、センサ７がシ
ートを検出したとき、ラインセンサカメラ３からの映像
信号を所定ライン分毎に取り込み、取り込んだライン分
の画像データからスジキズ（低コントラストなスジキズ
を含む）を検出し、この検出結果をパソコン９及びプリ
ンタ１０に出力する検査制御装置１１とを備えている。

【００２３】また、検査制御装置１１には、シート２の
画像を表示するモニタ１２が備えられている。

【００２４】上記のようなスジキズ検査装置１の検査制
御装置１１は、図１に示すように、エンコーダ２１と、
画像入力部２２と、フレームメモリ２４と、ミクロフィ
ルタ部２５と、ムラフィルタ部２６と、欠陥判定部２７
とを備えている。前述のエンコーダ２１は、一定間隔の
パルス信号を出力する。

【００２５】また、エンコーダ２１は、センサ７がシー
ト２を検出すると、画像分解幅の幅のパルス信号を画像
入力部２２に出力する。

【００２６】画像入力部２２は、エンコーダ２１からの
パルス信号の入力に伴って、ラインセンサカメラ３から
の１ライン毎の映像信号とエンコーダ２１からのパルス
信号との同期を取り、１ライン分のデジタルの画像デー
タ（画素の濃度）を出力する。

【００２７】ミクロフィルタ部２５は、画像入力部２２
からの画素間の濃度情報の変化量を強調し、この変化量
を平均化している。この結果、欠陥（微小な凹凸、ピン
ホール等の輪郭）を強調したデータを出力する。

【００２８】ムラフィルタ部２６は、画素の濃度情報で
ある画像データを、縦横それぞれ所定数の画素行列から
なる格子に分割し、その各格子内の各画素の濃度情報を
積分してムラを強調している。

【００２９】欠陥判定部２７は、ムラフィルタ部２６で
強調されたムラが所定長さを有しているとき、スジキズ
と判定する。

【００３０】また、欠陥判定部２７は、検査結果をパソ
コン９に検査結果を出力したり、もしくはプリンタ１０
に出力する。

【００３１】次に、図１に示したシート２をラインセン
サカメラ３で画像を取り込む状態を図２に示した。即
ち、シート２は矢印の方向に搬送している。スジキズ２
８は、図のように、搬送方向に平行な細くて長い直線状
のキズ又は欠陥を対象とする。特に本発明においては、
このスジキズとその周囲のコントラスト比が低い場合で
あっても良好にこのスジキズを検出することが可能とし
た。また、図２のＡ−Ａ線は、ラインセンサカメラ３に
より撮像される箇所を示したものである。

【００３２】図３（ａ）は、図２に示したスジキズ２８
をラインセンサカメラ３を用いて、Ａ−Ａ線上で撮像し
た１ラインの画像信号を示したものであり、検査制御装
置１１に入力される。即ち、図３（ａ）は横軸にシート
幅をとり、縦軸に明るさをとったもので、この信号の上
部にスジキズ２８を表す信号が認められる。しかしなが
ら、このスジキズ２８を表す信号は周囲のキズのない部
分の信号と比較してその明るさの差、幅の差、即ちコン
トラスト差が小さく、前述したミクロフィルタ処理又は
ムラフィルタ処理のいずれを利用してもその検出は困難
であった。

【００３３】図３（ｂ）は、図３（ａ）に示した画像信
号をシートの搬送とともに、順次撮像ラインがずれて後
述するフレームメモリ２４に取り込まれたデータ構造を
模式的に示したものである。即ち、図３（ｂ）は格子状
になっているが、各格子は１画素に相当している。ま
た、図の横方向はシート２の幅方向を示し、図の縦方向
はシート２の搬送方向を示すものである。各格子の中に
記載されたデータは、明るさ又は暗さの程度を示す。最
も暗い状態を０とし、最も明るい状態を２５５の数字で
示す。図３（ｂ）は、図２のスジキズ２８を対象とし、
図３（ａ）に示した画像信号を例にしたデータ構造であ
る。即ち、図３（ｂ）において、スジキズ２８の列には
直線的にデータ１４５が格納されており、その他の列に
はデータ１５０等が格納されている。このスジキズ２８
の列は、スジキズ２８の明るさに相当しており、その周
囲は正規の領域を表している。このようにスジキズ２８
の明るさと正規の領域の明るさの差は極めて低く、即ち
低コントラスト状態である。

【００３４】次に検査制御装置１１の詳細を図１により
説明する。画像入力部２２は、Ａ／Ｄ変換器、シェーデ
ィング補正手段、射影演算手段、輝度補正手段等を備え
ている。

【００３５】このような画像入力部２２は、シート２が
センサ７により検出されて、パルスコントローラ２１か
らパルス信号が入力すると、ラインセンサカメラ３から
の映像信号とパルス信号とを同期を取ってデジタル化し
た後に、シェーディング補正と射影補正と輝度補正とを
行った画像データを送出する。

【００３６】ミクロフィルタ部２５は、図４に示すよう
に、変化量演算を行う空間フィルタである３行３列の縦
ソーベルフィルタ３１と平均値を算出する平均値フィル
タ３２とから構成されている。

【００３７】このようなミクロフィルタ部２５は、縦ソ
ーベルフィルタ３１を用いて３行３列の９つの格子領域
の垂直方向及び水平方向の濃度の変化量を求めて、それ
ぞれの変化量を画素毎に加算し、加算した変化量の平均
値を平均値フィルタ３２を用いて求める。平均値は、３
行３列の９つの格子領域の中心画素の変化量の平均とす
ることによって、スジキズ２８の水平方向即ちシート２
の幅方向の輪郭を強調することができる。

【００３８】縦ソーベルフィルタ３１は、図５に示すよ
うに、３行３列の各格子の左列に上から−１、−２、−
１が、真ん中の列に０、０、０が、そして右列に上から
１、２、１がそれぞれ設定されている。

【００３９】例えば、任意の画素Ｌｉｊの水平方向の変
化量Ｈiｊは、図６に示すように画素Ｌｉｊを中心とし
た３行３列の９つの格子の濃度情報を基に、図５に示す
縦ソーベルフィルタ３１が以下に示す式（１）によって
求められる。

【００４０】

【数１】 Ｈ_ij＝｜−Ｌ_j-1,j-1＋Ｌ_j+1,j-1 −２Ｌ_i-1,j＋２Ｌ_i+1,j −Ｌ_i-1,j+1＋ｌ_i+1,j+1｜ …式（１） 上記式（１）によって、水平方向の変化量Ｈｉｊが求め
られる。

【００４１】上記式（１）のように、縦ソーベルフィル
タ３１を用いた演算を、図３（ｂ）に示したデータ構造
を例に説明する。即ち、図７（ａ）の太枠で示した３行
３列に縦ソーベルフィルタ３１を用いて積和演算処理を
行う。図７の太枠で示した演算は左から右へ１画像づつ
ずらして演算し、次に１段下へずらして再度左から右へ
演算を行う。図７（ｂ）は、図７（ａ）の１つの行３３
の画像信号を表したものである。

【００４２】このようにして、９つの格子、即ち９つの
画素毎に積和演算を行った結果を図８に示す。図８
（ａ）の１つの格子には、図７（ａ）の９つの画素に対
して縦ソーベルフィルタを用いて行われた積和演算の結
果を示してある。このように、図７の画素単位の濃度値
ではコントラスト差が低いデータが、図８（ａ）に示す
ようにコントラスト差が強調されたことが分かる。図８
（ｂ）は、図８（ａ）の１つの行３４のデータを画そう
信号として表した図である。即ち、図８（ａ）の−２０
に相当する信号は、マイナス方向のピーク３４ａで表さ
れ、＋２０に相当する信号は、プラス方向のピーク３４
ｂで表わされる。

【００４３】図９は、図８のデータの絶対値を求めたも
ので、図９（ａ）がその数値であり、図９（ｂ）が画像
信号として表したものである。このようにして、図７に
示した低コントラストのスジキズデータは、図９のよう
に特徴が強調されたデータが抽出される。

【００４４】図９（ａ）に示す画像データは、更に図４
の平均値フィルタ３２を用いて平均化される。この平均
化は、図９（ａ）のデータに対して３行３列毎に平均値
を求めることにより行われる。

【００４５】図１０は、図９（ｂ）に示した平均化処理
を行う前の画像信号であるが、スジキズに相当する信号
の高さをＳ、幅をＷとし、スジキズの周囲の信号の高さ
をＮとして表してある。図１１は、平均化処理後の画像
信号を表したもので、スジキズに相当する信号の高さを
ｓ、幅をｗとし、スジキズの周囲の信号の高さをｎとし
て表してある。このようにして、より一層スジキズの特
徴が抽出され、ｎ／Ｎ＜ｓ／Ｓとなり、更にＷ／ｗとな
る。この結果、スジキズに相当する信号の幅は、平均化
を行う前と比較して拡大されることになる。しかしなが
ら、この状態でも未だ正確で十分なスジキズの抽出はで
きない。ムラフィルタ処理により本発明の効果を求める
ことができる。

【００４６】以上のようにして、平均化されたデータ
は、図１２に示したムラフィルタ部により更に処理が施
される。平均化されたデータは、図１３（ａ）に示すよ
うな格子３６の各々に格納されている。ムラセクタ加算
器３５により、６×３０格子毎の加算値Σを求め、この
加算を順次ずらせて行う。この結果、図１３（ｂ）に示
すような加算値Σの格子データが得られる。

【００４７】このように、細く長い直線状のスジキズの
特徴抽出のため、ムラ加算器３５においては、スジキズ
方向に格子データを３０と多く用い、スジキズに直交す
る方向に少ない６個の格子データを用いた。即ち、図１
３の太枠のように、縦長の領域を単位として加算を行
う。

【００４８】図１３に示した加算値シグマの格子データ
の内、例えば行３７を画像信号として表した図が図１４
である。この結果、図１３の信号のようななだらかな信
号と比較して、図１４に示すように各信号の境界が垂直
なメリハリの良い信号が得られる。

【００４９】その後、図１２の縦ソーベルフィルタ３８
を用いて変化量を算出する。この縦ソーベルフィルタ３
８は、図５に示した縦ソーベルフィルタ３１と同様なも
のである。

【００５０】例えば、任意の格子の濃度加算値Σｉｊの
水平方向の変化量Ｓｉｊは、図１３（ｂ）に示すように
濃度加算値Σｉｊを中心とした３行３列の９つの格子の
濃度加算値を基に、図５で示した縦ソーベルフィルタ３
１とを用いて以下に示す式（２）によって求める。

【００５１】

【数２】 Ｓ_ij＝｜Σ_i-1,j+1＋Σ_i+1,j-1 −２Σ_i-1,j＋２Σ_i+1,j −Σ_i-1,j+1＋Σ_i+1,j+1｜ …式（２） このように、ラインセンサカメラ２によって得られた検
査物の画素毎の濃度情報を縦横複数の画素行列からなる
格子に切り分け、その各格子内の各画素の濃度情報を加
算して格子毎の濃度加算値を求めることによりムラを強
調し、各格子間での水平方向の濃度加算値の変化量Ｓｉ
ｊを３行３列の行列内で求めることによってさらにムラ
を強調している。

【００５２】すなわち、ミクロフィルタ処理後の欠陥デ
ータを格子に配列し、その配列方向に沿って縦横ソーベ
ルフィルタによって積分することにより、スジキズの方
向性に基づいたムラ欠陥データを得ている。

【００５３】従って、図１３（ｂ）の太枠に示した３×
３の領域に対して、縦ソーベルフィルタ３８を用いて積
和演算処理を行う。この結果、図１５に示すようなスジ
キズ部分が強調且つ周囲との境界が明確になった信号が
得られる。

【００５４】（全体の動作説明）上記のように構成され
たスジキズ検査装置について図面１６を用いて動作を説
明する。

【００５５】例えば、低コントラストのスジキズ２８が
あるシート２が搬送されて、センサ７により、このシー
トが検出されると、センサ７からは検出信号が検査制御
装置１１に出力される（ステップＳＴ１）。

【００５６】この検出信号の入力に伴って、ラインセン
サカメラ３からの１ラインの映像信号を、画像入力部２
２が入力してデジタル変換した後に光学的な誤差に基づ
く補正を行った画像データを得る（ステップＳＴ２）。

【００５７】この画像データはミクロフィルタ部２５に
入力し、ミクロフィルタ部２５の変化量演算手段の縦ソ
ーベルフィルタ３１が画素の濃度情報に対して各濃度情
報間での垂直方向Ｈｉｊを３行３列の行列内で求める
（ステップＳＴ３）。

【００５８】次に、平均算出手段の平均値フィルタ３３
は、求められた各変化量を３行３列の９つの変化量の平
均値を中心画素の平均とし、これを平均変化量とする
（ステップＳＴ４）。

【００５９】従って、低コントラストな微細なスジキズ
はミクロフィルタ部２５によって数ビット拡大され、ム
ラフィルタ部２６が検出できる大きさの欠陥サイズにさ
れて出力される。

【００６０】このようなミクロフィルタ部で求められた
平均変化量をムラフィルタ部２６が入力して以下の処理
を行う。

【００６１】ムラフィルタ部２６は、ミクロフィルタ部
２５からのミクロ欠陥データをムラセクタ加算器３５で
受け、このセクタ加算器３５が濃度情報を縦横複数の画
素行列からなる格子に切り分け（ステップＳＴ５）、そ
の各格子内の各画素内の各画素の濃度情報を加算して格
子毎の濃度加算値を求める（ステップＳＴ６）。

【００６２】次にムラフィルタ部２６の変化量算出手段
３８は、各格子間の垂直方向の変化量Ｓｉｊを３行３列
の行列内で求める（ステップＳＴ７）。

【００６３】そして、欠陥判定部２７は、得られたムラ
欠陥データの縦又は横の長さを判断し、所定以上の長さ
であれば、その方向にスジキズがあると判断する（ステ
ップＳＴ８）。

【００６４】従って、ラインセンサカメラ２によって低
コントラストの微細スジキズが検出されても、直列接続
されたミクロフィルタ部２５とムラフィルタ部２６とに
より、低コントラストのスジキズが強調されて欠陥判定
部２７に出力され、所定以上の長さがあればスジキズと
判定される。

【００６５】

【発明の効果】以上のように請求項１のスジキズ検査方
法によれば、被検査物の画像データの各画素間の濃度情
報の変化量を強調し、この強調した変化量のデータを加
算して、所定閾値と比較してスジキズを検出するように
する。

【００６６】このため、低コントラストのスジキズ、小
さなムラであってもその画像データが強調されるので容
易に欠陥として検出できるという効果が得られている。

【００６７】請求項２のスジキズ検査方法によれば、被
検査物体の搬送方向のデータ数を搬送方向に直交する方
向のデータ数より大なるように格子状に切り分け、この
格子内の加算値を算出する。

【００６８】このため、小さなムラであってもそのムラ
がより強調されるという効果が得られている。

【００６９】請求項３のスジキズ検査方法によれば、ラ
インセンサカメラで撮影した被検査物の撮像信号の変化
量を平均化し、その欠陥データを拡大する。

【００７０】このため、低コントラストなスジキズであ
っても、そのスジキズの幅が拡大されるという効果が得
られている。

【００７１】請求項４のスジキズ検査装置によれば、ラ
インセンサカメラで撮影した被検査物の撮像信号を画像
データに変換した後に、画像データ毎の各画素間の濃度
情報の変化量を強調し、この強調された変化量のデータ
を加算して、所定閾値と比較してスジキズとして検出す
る。

【００７２】このため、低コントラストのスジキズであ
っても、そのスジキズが強調され、かつ小さなムラであ
ってもそのムラがより強調されるので容易に欠陥として
検出できるという効果が得られている。

【００７３】請求項５のスジキズ検査装置によれば、第
１の変化量演算手段が入力された画像データの１画素間
毎の濃度情報の変化量を平均化する。

【００７４】このため、微細欠陥であっても拡大されて
強調されるという効果が得られている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態のスジキズ検査装置の概略
構成図である。

【図２】シートのスジキズを説明する説明図である。

【図３】シートのスジキズを説明する説明図である。

【図４】ミクロフィルタ部の概略構成図である。

【図５】縦ソーベルを説明する説明図である。

【図６】ミクロフィルタ部の変化量の算出を説明する説
明図である。

【図７】ミクロフィルタ部の積和演算処理を説明する説
明図である。

【図８】ミクロフィルタ部の積和演算処理の結果を説明
する説明図である。

【図９】ミクロフィルタ部の変化量算出結果を説明する
説明図である。

【図１０】ミクロフィルタ部の平均化処理を説明する説
明図である。

【図１１】ミクロフィルタ部の平均化処理の結果を説明
する説明図である。

【図１２】ムラフィルタ部の概略構成図である。

【図１３】ムラフィルタ部の変化量の算出を説明する説
明図である。

【図１４】ムラフィルタ部の加算値の算出を説明する説
明図である。

【図１５】ムラフィルタ部の加算値の変化量を算出する
説明図である。

【図１６】本発明のスジキズ検査の流れを説明する説明
図である。

【符号の説明】

２ シート ３ ラインセンサ ４ 照明用電源 ５ 照明器 ７ センサ １１ 検査制御装置 ２１ エンコーダ ２２ 画像入力部 ２４ フレームメモリ ２５ ミクロフィルタ部 ２６ ムラフィルタ部 ２７ 欠陥判定部 ２８ スジキズ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 シート状の被検査物を搬送させながら前
   記被検査物を撮像し、この撮像信号を変換して得られた
   画素毎の画像データを利用して得られた欠陥データか
   ら、前記被検査物上に形成された直線状のスジキズの有
   無を検査する検査方法において、 前記画像データの各画素間の濃度情報の変化量を強調す
   る第１の工程と、 前記第１の工程により強調された複数のデータを加算す
   る第２の工程と、 前記第２の工程により加算されたデータ間の変化量を求
   める第３の工程と、 前記第３の工程で求められた変化量から所定閾値と比較
   してスジキズを検出する第４の工程からなることを特徴
   とするスジキズ検査方法。
2. 【請求項２】 前記第２の工程は、前記複数のデータを
   前記被検査物体の搬送方向のデータ数を搬送方向に直交
   する方向のデータ数より大なるように格子状に切り出
   し、この格子内の加算値を算出する工程を含むことを特
   徴とする請求項１記載のスジキズ検査方法。
3. 【請求項３】 前記第１の工程は、強調された変化量を
   平均化して前記欠陥データの幅を拡大する工程を含むこ
   とを特徴とする請求項１記載のスジキズ検査方法。
4. 【請求項４】 シート状の被検査物を搬送させながら前
   記被検査物を撮像し、この撮像信号を変換して得られた
   画素毎の画像データを利用して得られた欠陥データか
   ら、前記被検査物上に形成された直線状のスジキズの有
   無を検査するスジキズ検査装置において、 前記画像データの各画素毎の濃度情報を格納する記憶手
   段と、 前記画像データの各画素間の濃度情報の変化量を強調す
   る第１の変化量算出手段と、 前記第１の変化量算出手段により得られた複数の変化量
   を前記被検査物の搬送方向のデータ数を搬送方向に直交
   する方向のデータ数より大なるように格子状に切り出
   し、この格子内の変化量を算出する第２の変化量算出手
   段と、 前記第２の変化量算出手段により得られた変化量と所定
   の閾値を比較する比較手段とを具備することを特徴とす
   るスジキズ検査装置。
5. 【請求項５】 前記第１の変化量算出手段は、算出され
   た変化量を平均化する手段を具備することを特徴とする
   請求項４記載のスジキズ検査装置。