JP2005121546A - 欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】参照画像データに基づいてパターンの幅を複数の方向に対して計測し、前記参照画像データを前記パターンの前記各方向に対する幅に応じた明度に変換して、前記各方向に対応する複数のスキャン画像データを作成する第1の工程と、前記複数のスキャン画像データを比較し、これらスキャン画像データから最も小さな明度である最小明度を選び出して幅画像データを作成する第2の工程と、被検査画像データと前記参照画像データに基づいて欠陥部分を抽出し、前記欠陥部分を前記パターンの幅が最小明度となる方向に対して測定したサイズを明度に変換して欠陥サイズ画像データを作成する第3の工程と、前記欠陥サイズ画像データと前記幅画像データとに基づいて前記欠陥部分に対する欠陥判定を行う第4の工程とを具備する。
【選択図】 図1
Description
Claims (6)
- パターンが描かれた被検査体を撮像して取得した被検査画像データと参照画像データとに基づいて前記被検査体の欠陥検査を行う欠陥検査方法において、
前記参照画像データに基づいて前記パターンの幅を複数の方向に対して計測し、前記参照画像データを前記パターンの前記各方向に対する幅に応じた明度に変換して、前記各方向に対応する複数のスキャン画像データを作成する第1の工程と、
前記複数のスキャン画像データを比較し、これらスキャン画像データから最も小さな明度である最小明度を選び出して幅画像データを作成する第2の工程と、
前記被検査画像データと前記参照画像データに基づいて欠陥部分を抽出し、前記欠陥部分を前記パターンの幅が最小明度となる方向に対して測定したサイズを明度に変換して欠陥サイズ画像データを作成する第3の工程と、
前記欠陥サイズ画像データと前記幅画像データとに基づいて前記欠陥部分に対する欠陥判定を行う第4の工程と、
を具備することを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記第1の工程では、前記パターンの幅を少なくとも縦方向、横方向、及び斜め方向に対して計測して縦スキャン画像データ、横スキャン画像データ、及び斜めスキャン画像データを作成することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。
- 前記第1の工程では、前記斜めスキャン画像データのうち、連続的に明度が変化している部分の明度を0とすることを特徴とする請求項2記載の欠陥検査方法。
- 前記第1の工程では、複数のパターンが交差する交差部分の明度を0として、前記第2の工程では、前記交差部分に対して前記縦スキャン画像データと前記横スキャン画像データのみに基づいて前記幅画像データを作成することを特徴とする請求項2記載の欠陥検査方法。
- 前記第1の工程では、前記縦スキャン画像データ及び横スキャン画像データの少なくとも一方に基づいて前記パターンの理想的な最小明度を求め、実際の最小明度と前記理想的な最小明度との差が所定値を超えているとき、対応する部分の明度を0にすることを特徴とする請求項2記載の欠陥検査方法。
- パターンが描かれた被検査体を撮像して取得した被検査画像データと参照画像データとに基づいて前記被検査体の欠陥検査を行う欠陥検査方法において、
前記参照画像データを、複数の方向に対して測定された前記パターンの幅のうち、最小幅となる方向に応じた明度に変換して方向画像データを作成する第1の工程と、
前記参照画像データを前記パターンの前記最小幅に応じた明度に変換し、この明度に応じた各欠陥検出感度の各サイズ判定領域を有する感度画像データを作成する第2の工程と、
前記被検査画像データと前記参照画像データとに基づいて欠陥部分を抽出し、前記パターンの最小幅となる方向に対して測定された前記欠陥部分のサイズを明度に変換して欠陥サイズ画像データを作成する第3の工程と、
前記欠陥サイズ画像データと前記感度画像データとを比較して前記欠陥部分に対する欠陥判定を行う第4の工程と、
を具備することを特徴とする欠陥検査方法。
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