JP2012227243A - 配線検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に配線が形成された検査対象物の表面を電子カメラで撮像し、その撮像した画像に含まれる配線パターンを検出し、検出した配線パターンのうち画素の配列に対して傾斜した配線像を抽出し、その抽出した配線像の欠陥の有無を判定する。
【選択図】図2
Description
そこで、本発明が解決しようとする課題は、検査精度の向上を図ることである。
図1に示すように、配線検査装置1は、ステージ2、XYθ駆動装置3、電子カメラ(撮像装置)4、制御コンピュータ5、表示部6及び操作部7を備える。
ステージ2の上面には、検査対象物たるウエハ8が載置される。ウエハ8の表面9には、配線が形成されている。X方向及びY方向の両方に直交する軸は、ウエハ8の表面9に対しても直交する。
XYθ駆動装置3は、ステージ2をX方向、Y方向及びθ方向に移動させる。XYθ駆動装置3は、制御コンピュータ5によって制御される。
電子カメラ4は、ステージ2の上方に配置されて、下方に向いている。電子カメラ4は、ウエハ8の表面9の像を電気信号の画像として取得し、その画像を制御コンピュータ5に転送する。なお、電子カメラ4が、XYθ駆動装置によってX方向、Y方向及びθ方向に移動されてもよい。
記録媒体14は、例えば、不揮発性メモリ又はハードディスクである。
ROM13又は記録媒体14には、CPU11にとって実行可能なプログラムが格納されている。
CPU11は、ROM13又は記録媒体14に格納されたプログラムに従ってRAM12、ROM13、記録媒体14、ドライバ15、画像処理部16及び表示制御部17の制御を行うとともに、これらの間で信号・データの転送を行う。RAM12は、CPU11に作業領域を提供するものである。
表示制御部17は、表示部6に映像信号を出力する。表示部6は、入力した映像信号に従った画面を表示する。表示部6に表示される画面には、電子カメラ4によって撮像された画像が含まれる。
制御コンピュータ5は、検出した配線パターンのうち、水平方向及び垂直方向に対して傾斜した配線像を抽出する機能を有する。このような斜め抽出機能は、画像処理部16若しくはCPU11又はこれらの両方によって実現される。
制御コンピュータ5は、抽出した斜め配線の像に欠陥があるか否か、つまり斜め配線の像が途中で途切れているか否か判定する機能を有する。このような検査機能は、画像処理部16若しくはCPU11又はこれらの両方によって実現される。
制御コンピュータ5は、判定結果つまり欠陥の有無を記録媒体14に記録する機能を有する。このような機能は、プログラムに従ったCPU11の処理によって実現される。
また、制御コンピュータ5は、その判定結果を表示部6に表示する機能を有する。このような機能は、表示制御部17がCPU11によって指令されることによって表示部6に映像信号を出力することによって実現される。
なお、電子カメラ4がXYθ駆動装置によって所定角度(但し、90°の整数倍を除く。)だけ回転してもよい。
(1) 撮像された画像の中の配線パターンのうち、水平方向及び垂直方向の画素の配列方向に対して傾斜した配線の像が鮮明であり、そのような斜め配線の像のみを抽出して検査したから、検査の精度及び安定性が向上する。
(2) ウエハ8又は電子カメラ4をθ方向に回転させれば、ウエハ8又は電子カメラ4の回転前に画素の配列方向に対して水平又は垂直な配線が水平方向又は垂直方向に対して傾斜して、検査される。そのため、検査から漏れる配線が無い。
(3) ウエハ8又は電子カメラ4のθ方向の位置を変えて撮像を行って、それぞれの角度での画像認識により検査を行うため、角度ごとに画像認識性が異なる場合でも、検査不良を防ぎことができる。また、画素の配列方向に対して水平又は垂直な配線の像と画素の配列方向に対して斜めな配線の像での同じ配線幅の誤検出も防ぐことが出来るため、外観検査としての信頼性、安定性が向上する。
(4) 電子カメラ4の撮影倍率を上げずとも、誤検査を防ぐことができる。電子カメラ4の撮影倍率を上げなくても済むので、検査の処理能力の低下を招きにくい。
作業者が、ステップS2において撮像された画像であって表示部6に表示された画像から配線パターンを目視で抽出し、抽出された配線パターンに欠陥があるか否かを判定してもよい。その場合、作業者は、抽出された配線パターンのうち、水平方向及び垂直方向に対して傾斜した配線像に欠陥があるか否かを判断することになる。
ステップS10においてステージ2又は電子カメラ4をθ方向に回転させるのではなく、ウエハ8をステージ2から別のステージに載せ換えて、別の電子カメラで撮像してもよい。その場合、ウエハ8をステージ2に載せてウエハ8を撮像する際のウエハ8のθ方向の位置と、ウエハ8を別のステージに載せ換えてウエハ8を撮像する際のウエハ8のθ方向の位置とは、所定角度(但し、90°の整数倍を除く。例えば、45°。)だけずれている。また、別のステージにウエハ8を載せ換えて検査する際は、制御コンピュータ5がステップS2〜ステップS8の処理を行ってもよいし、別の制御コンピュータがステップS2〜ステップS8の処理を行ってもよい。
検査対象物としてウエハ8を挙げたが、プリント配線板、フレキシブル配線シート(FPC:Flexible printed circuits)等を検査対象物としてもよい。
上述の実施の形態では、所定角度の回転(ステップS10)が1回だけ行われたが、所定角度の回転が2回以上行われてもよい。その場合、2回目以降の各回の回転の後も、1回目の回転の後と同様に、検査(ステップS2〜ステップS8)が行われる。
以下に、この出願の願書に最初に添付した特許請求の範囲に記載された発明を付記する。付記に記載された請求項の項番は、この出願の願書に最初に添付した特許請求の範囲の通りである。
〔付記〕
<請求項1>
表面に配線が形成された検査対象物の前記表面を撮像し、
撮像した画像に含まれる配線パターンを検出し、
検出した前記配線パターンのうち撮像した前記画像の規則的な画素の配列方向に対して傾斜した配線像のみを抽出し、
抽出した前記配線像の欠陥の有無を判定することを特徴とする配線パターン検査方法。
<請求項2>
前記検査対象物又は前記撮像を行う撮像装置のいずれかを、前記検査対象物の前記表面に対して直交する軸のうち、前記検査対象物のほぼ中心を通る軸又は前記撮像装置のほぼ中心を通る軸のいずれかを中心として90°の整数倍を除く角度回転させた後、
撮像、配線パターンの検出、配線像の抽出及び欠陥の有無の判定を再び行うことを特徴とする請求項1の配線検査方法。
<請求項3>
前記検査対象物がウエハであることを特徴とする請求項1または2の配線検査方法。
<請求項4>
前記検査対象物がステージの上面に載置され、
前記ステージは、前記ステージの面と平行な一方の方向であるX方向及び前記ステージの面と平行で且つ前記X方向に対して90°回転したY方向に沿って移動可能に設けられると共に、X方向及びY方向の両方に直交する軸のうち、前記ステージのほぼ中心を通る前記軸を中心として回転可能に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項の配線検査方法。
<請求項5>
前記撮像装置がステージの上方に配置されて下方を向いている電子カメラであることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項の配線検査方法。
<請求項6>
抽出した前記配線像のエッジが途切れているか否かにより、前記欠陥の有無を判定することを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項の配線検査方法。
2 ステージ
3 XYθ駆動装置
4 電子カメラ(撮像装置)
5 制御コンピュータ
6 表示部
7 操作部
8 ウエハ
9 表面
31,41 配線パターン
32,33,42,43 配線の像
Claims (6)
- 表面に配線が形成された検査対象物の前記表面を撮像し、
撮像した画像に含まれる配線パターンを検出し、
検出した前記配線パターンのうち撮像した前記画像の規則的な画素の配列方向に対して傾斜した配線像のみを抽出し、
抽出した前記配線像の欠陥の有無を判定することを特徴とする配線検査方法。 - 前記検査対象物又は前記撮像を行う撮像装置のいずれかを、前記検査対象物の前記表面に対して直交する軸のうち、前記検査対象物のほぼ中心を通る軸又は前記撮像装置のほぼ中心を通る軸のいずれかを中心として90°の整数倍を除く角度回転させた後、
撮像、配線パターンの検出、配線像の抽出及び欠陥の有無の判定を再び行うことを特徴とする請求項1の配線検査方法。 - 前記検査対象物がウエハであることを特徴とする請求項1または2の配線検査方法。
- 前記検査対象物がステージの上面に載置され、
前記ステージは、前記ステージの面と平行な一方の方向であるX方向及び前記ステージの面と平行で且つ前記X方向に対して90°回転したY方向に沿って移動可能に設けられると共に、X方向及びY方向の両方に直交する軸のうち、前記ステージのほぼ中心を通る前記軸を中心として回転可能に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項の配線検査方法。 - 前記撮像装置がステージの上方に配置されて下方を向いている電子カメラであることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項の配線検査方法。
- 抽出した前記配線像のエッジが途切れているか否かにより、前記欠陥の有無を判定することを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項の配線検査方法。
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