JP5239275B2 - 欠陥検出方法および欠陥検出装置 - Google Patents
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Description
この特許文献1では、検査対象点を挟んで配置される左右、上下、斜め方向の隣接する8点のうち、検査対象点との比較に用いるのに最適な2点(左右の2点、もしくは上下の2点、もしくは各斜め方向の2点のうちのいずれか)を選択し、その平均値と検査対象点の輝度データを比較して欠陥の有無を判断していた。そして、比較に最適な2点の選択は、2点の輝度データを比較し、その2点の輝度データが等しい場合は比較に最適な2点であると判断していた。
一方、前記検査対象点を通り、かつ、いずれの比較対象点も通らない線欠陥は検出される。
すなわち、前記各方法では、同じコントラストの線欠陥が存在しても、ある角度の場合は検出され、ある角度の場合は検出されず、検出感度にムラが生じる問題点があった。
本発明では、欠陥強調処理工程において、選定された検査対象画素の輝度値と、その周囲に複数配置された比較対象画素の輝度値との差である輝度差データを求め、各輝度差データのうち、値が最小となる最小輝度差を選択して前記検査対象画素の欠陥強調値としているので、検査対象画素を含み、かつ、比較対象画素は含まない欠陥、例えば面状のシミ欠陥を検出できる。
すなわち、検査対象画素部分に欠陥がなく、周囲の画素と輝度差が無い場合には、前記最小輝度差は非常に小さい値になる。また、検査対象画素に欠陥があっても、その欠陥がいずれかの比較対象画素部分まで広がっている場合には、その欠陥部分に含まれる検査対象画素および比較対象画素の輝度差は殆ど無いため、前記最小輝度差も非常に小さい値になる。
一方、検査対象画素に欠陥が存在し、かつ、周囲の比較対象画素には欠陥が無い場合、つまりシミ欠陥が比較対象画素で囲まれるエリア内に納まっている場合には、検査対象画素の輝度値は、いずれの比較対象画素の輝度値とも差があるため、最小輝度差も比較的大きな値になる。これにより、比較対象画素で囲まれるエリア内に納まる大きさのシミ欠陥が存在する場合に、最小輝度差は比較的大きな値となり、欠陥が強調されることになる。
一方、本発明のように、複数の比較対象画素を、複数の比較対象画素群に分け、各比較対象画素群毎に最小輝度差を算出している場合、各比較対象画素の位置が異なるため、一方の比較対象画素群の比較対象画素に線欠陥が重なってその線欠陥を検出できなくても、他の比較対象画素群の比較対象画素は前記線欠陥と重ならず、その線欠陥を検出できる。
このため、複数の比較対象画素群で算出された各最小輝度差の最大値を、検査対象画素の欠陥強調値とすれば、シミ欠陥および線欠陥の両方の欠陥を強調できる。特に、線欠陥は、いずれかの比較対象画素群で検出できなくても、他の比較対象画素群で検出できるため、線欠陥の角度による検出感度のムラは生じず、検出感度を向上することができる。
また、本発明では、シミ欠陥および線欠陥の両方を同時に検出できるため、シミ欠陥検出フィルタと線欠陥検出フィルタとを別々に用意して検出する場合に比べて、欠陥検出時間も短縮できる。
また、検査対象画素および比較対象画素の距離は、検出対象となるシミ欠陥の大きさに基づいて設定すればよく、通常は、各画素間の距離を4〜40画素程度、例えば7画素にすればよい。
従って、例えば、8個の比較対象画素が設けられている場合には、検査対象画素を中心とする円周方向に45度間隔で配置すればよい。この場合、検査対象画素を中心とする円周方向に1つおきに選択した4つの検査対象画素つまり90度間隔で配置された4つの検査対象画素により第1比較対象画素群を構成し、これらの第1比較対象画素群に含まれない他の4つの検査対象画素により第2比較対象画素群を構成すればよい。
同様に、12個の比較対象画素が設けられている場合には、検査対象画素を中心とする円周方向に30度間隔で配置すればよい。この場合、検査対象画素を中心とする円周方向に2つおきに選択した4つの検査対象画素つまり90度間隔で配置された4つの検査対象画素により第1〜3の比較対象画素群をそれぞれ構成すればよい。
同様に、16個の比較対象画素が設けられている場合には、検査対象画素を中心とする円周方向に22.5度間隔で配置すればよい。この場合、検査対象画素を中心とする円周方向に3つおきに選択した4つの検査対象画素つまり90度間隔で配置された4つの検査対象画素により第1〜4の比較対象画素群をそれぞれ構成すればよい。
例えば、検査対象画素を挟んで上下および左右に設けられた4つの比較対象画素によって第1比較対象画素群を構成し、検査対象画素を挟んで右斜め上、右斜め下、左斜め上、左斜め下に設けられた4つの比較対象画素によって第2比較対象画素群を構成すればよい。
4個の比較対象画素を備える2つの比較対象画素群を設定すれば、最小限の比較対象画素によってシミ欠陥および線欠陥を検出できる。このため、フィルタによる欠陥検出処理も短時間で行うことができる。
なお、欠陥候補領域は、互いに隣接する欠陥候補画素をまとめて一つの欠陥候補領域と設定すればよい。
また、欠陥候補領域の特徴量としては、例えば、欠陥候補として切り出した領域の面積と、平均輝度、最大輝度に基づいて判別すればよい。
この欠陥検出装置においても、前記欠陥検出方法と同様の作用効果を奏することができる。
図1は本発明の第1実施形態に係る欠陥検出装置の構成を示すブロック図である。
本実施形態の欠陥検出装置は、フレキシブル基板や、液晶パネル(TFTパネル)、半導体ウェハなどの被検査物1の欠陥を検出するものである。被検査物1は、XYステージ2上に載置され、平面的に移動可能に構成されている。
欠陥検出装置は、顕微鏡4、CCDカメラ5、コンピュータ装置6、表示装置7を備えていえる。
CCDカメラ5は、顕微鏡4を介して被検査物1を撮影する撮像手段である。
コンピュータ装置6は、CCDカメラ5を制御し、被検査物1を検出する画像処理手段である。表示装置7は、コンピュータ装置6に接続された液晶ディスプレイなどの表示装置である。
比較対象画素群設定手段612は、選定された検査対象画素の中心から所定距離離れた比較対象画素を検査対象画素の周囲に複数配置し、これらの比較対象画素を複数の比較対象画素群に分けて設定する比較対象画素群設定工程を実施するものである。
最小輝度差算出手段613は、比較対象画素群に含まれる各比較対象画素の輝度値と、前記検査対象画素の輝度値との差である輝度差データを求め、それらの輝度差データのうち、値が最小となる最小輝度差を比較対象画素群毎に求める最小輝度差算出工程を実施するものである。
欠陥強調値算出手段614は、比較対象画素群毎に算出された最小輝度差のうち、値が最大となる最小輝度差を前記検査対象画素の欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程を実施するものである。
また、欠陥強調処理手段61で処理された画像に対し、メディアンフィルタなどを適用してノイズ除去処理を行ってから、欠陥抽出手段62による欠陥候補抽出処理を実行してもよい。
図2はこの実施の形態の欠陥検出装置の動作を説明するためのフローチャートである。図2に示す動作はコンピュータ装置6上で実行されるプログラムにより実現されている。
なお、被検査物1が液晶パネルなどの表示パネルの場合、表示パネル上に特定の画像パターンを表示させ、欠陥を検出しやすいようにしてもよい。例えば、暗欠陥を検出しやすいように全画面を白表示する全白画面パターン、明欠陥を検出しやすいように全画面を黒表示する全黒画面パターン、中間調の画面パターン等があり、検出したい欠陥種類に応じて適宜設定すればよい。
本実施形態では、CCDカメラ5の各撮像画素単位で対象画素を選定するようにされている。
すなわち、比較対象画素群設定手段612は、図4に示すように、検査対象画素Oを中心とする円周方向に8個の比較対象画素S1〜S8を設定し、さらに、これらの比較対象画素S1〜S8を2つの比較対象画素群に分けて設定している。
具体的には、検査対象画素Oを挟んで上下(縦方向)に比較対象画素S1,S5が配置され、検査対象画素Oを挟んで左右(横方向)に比較対象画素S7,S3が配置されている。また、検査対象画素Oを挟んで斜め方向(右斜め上から左斜め下方向)に比較対象画素S2,S6が配置され、検査対象画素Oを挟んで斜め方向(左斜め上から右斜め下方向)に比較対象画素S8,S4が配置されている。
そして、各比較対象画素S1およびS5、比較対象画素S2およびS6、比較対象画素S3およびS7、比較対象画素S4およびS8は、検査対象画素Oを中心とした点対称位置に設定されている。
本実施形態では、検査対象画素Oから約7画素離れた位置に略円形状に各比較対象画素S1〜S8を配置している。
F3=O−S3 (式2)
F5=O−S5 (式3)
F7=O−S7 (式4)
D1=Min(F1,F3,F5,F7) (式5)
さらに、最小輝度差算出手段613は、以下の式10を用いて、第2の比較対象画素群の各輝度差データF2,F4,F6,F8のうち、値が最小となる最小輝度差D2を求める。
F4=O−S4 (式7)
F6=O−S6 (式8)
F8=O−S8 (式9)
D2=Min(F2,F4,F6,F8) (式10)
これに対し、背景よりも暗い暗欠陥を強調する場合には、逆に比較対象画素S1〜S8の輝度値S1〜S8から検査対象画素Oの輝度値を引いて輝度差データF1〜F8を求めればよい。具体的には次の式11〜18を用いて輝度差データF1〜F8を求めればよい。
F3=S3−O (式12)
F5=S5−O (式13)
F7=S7−O (式14)
F2=S2−O (式15)
F4=S4−O (式16)
F6=S6−O (式17)
F8=S8−O (式18)
以上により欠陥強調処理工程ST2が終了する。
すなわち、欠陥抽出手段62は、明欠陥強調画像が生成されている場合には明欠陥を切り出す閾値を設定し、暗欠陥強調画像が生成されている場合には暗欠陥を切り出す閾値を設定し、各欠陥強調画像から各欠陥候補の領域を切り出す。この際、欠陥抽出手段62は、明欠陥強調結果に対しては明欠陥閾値以上の領域を明欠陥領域として検出し、暗欠陥強調結果に対しては暗欠陥閾値以上の領域を暗欠陥領域として検出する。
ここで、各閾値は、画像の状況に合わせて最適な値を設定すればよい。例えば、欠陥強調画像の平均値と、その標準偏差を求め、以下の式で閾値を設定してもよい。
暗欠陥閾値 bslevel=avr(暗)+α2・σ(暗)+β2
また、各欠陥強調画像には負になる部分も存在しているが、その負になる部分は、明欠陥強調では暗欠陥の成分、暗欠陥強調では明欠陥の成分であるので、平均値や標準偏差を計算する場合には、負の値を省いて計算している。
欠陥判別手段63で求められた欠陥ランクは、表示装置7に表示され、検査員は被検査物1の欠陥ランクを容易に把握することができる。
また、各フィルタの距離設定(検査対象画素Oと比較対象画素S1〜S8との距離設定)は31画素とし、検出対象は暗欠陥成分とした。
このため、暗欠陥強調画像110では、検査対象画素Oと、各比較対象画素S1〜S8とが線欠陥上に配置されると、その輝度差データの最小値は非常に小さくなり、欠陥でない部分と同じような結果になる。このため、暗欠陥強調画像110において、上下方向、左右方向、斜め45度方向の線欠陥は、欠陥を適切に強調することができず、線欠陥を検出することができない。
すなわち、第1の比較対象画素群においては、検査対象画素Oに対して比較対象画素S1,S3,S5,S7が上下左右に配置されているため、上下方向および左右方向の線欠陥は検出できないが、斜め45度位置には比較対象画素が設定されていないため、斜め45度方向の線欠陥は確実に強調できる。
一方、第2の比較対象画素群においては、検査対象画素Oに対して比較対象画素S2,S4,S6,S8が斜め45度方向に配置されているため、斜め45度方向の線欠陥は検出できないが、上下左右位置には比較対象画素が設定されていないため、上下方向および左右方向の線欠陥は確実に強調できる。
従って、各比較対象画素群における最小輝度差D1,D2の値が大きいものを選択することで、それぞれの比較対象画素群で検出された線欠陥が合成され、疑似欠陥として描画した様々な角度の線欠陥を検出できることを検証できた。
(1)欠陥強調処理手段61は、検査対象画素Oの周囲に複数の上記比較対象画素S1〜S8を配置し、かつ、これらの上記比較対象画素S1〜S8を2つの比較対象画素群に分けて設定し、前記検査対象画素Oの輝度値と、各比較対象画素S1〜S8の輝度値との差を求め、比較対象画素群ごとに輝度差データが最も小さい最小輝度差D1,D2を算出し、これらの最小輝度差D1,D2のうち、値が大きいものを検査対象画素Oの欠陥強調値としている。
このため、各比較対象画素群において最小輝度差を求めることで、各比較対象画素群において、前記検査対象画素Oを含み、かつ、比較対象画素で囲まれる領域内にあるシミ欠陥と、各検査対象画素Oおよびいずれかの比較対象画素を通る線欠陥以外の線欠陥とを強調することができる。
そして、各比較対象画素群は、比較対象画素の位置が互いに異なるため、一方の比較対象画素群では強調できない線欠陥も、他方の比較対象画素群において強調できるため、各比較対象画素群の最小輝度差のうち、値が大きいものを検査対象画素Oの欠陥強調値とすることで、シミ欠陥および線欠陥を強調して検出することができる。
このため、本実施形態では、線欠陥の角度によって検出できたり、できなかったりすることが無く、欠陥の検出感度を向上できる。
その上、シミ欠陥および線欠陥の両方を同時に検出できるため、シミ欠陥検出用フィルタによるシミ欠陥検出処理と、線欠陥検出用フィルタによる線欠陥検出処理とをそれぞれ別々に行う場合に比べて、欠陥検出処理時間も短縮することができる。
例えば、欠陥を強調するためのフィルタにおける検査対象画素Oと比較対象画素S1〜S8との距離は、前記実施形態のものに限らず、検出対象となるシミ欠陥の大きさに応じて設定すればよい。
例えば、図8に示すように、12個の比較対象画素S11〜S14,S21〜S24,S31〜S34を設け、検査対象画素Oを中心とする円周方向において90度間隔で配置された各比較対象画素S11〜S14,S21〜S24,S31〜S34毎に比較対象画素群を構成して、3つの比較対象画素群を設けた欠陥強調フィルタを用いてもよい。
この場合、各比較対象画素群において各比較対象画素S11〜S18、S21〜S28は45度間隔で配置されるため、90度間隔で配置される前記実施形態などに比べると、検出できる線欠陥の幅寸法が小さくなる。つまり、線欠陥を検出する場合には、線欠陥が各比較対象画素間の隙間を通る必要がある。このため、45度間隔で比較対象画素が配置されると、それらの隙間を通る線欠陥の幅寸法も小さくなる。従って、検出する線欠陥の幅寸法を制限する場合には、図10のようなフィルタを利用すればよい。
但し、比較対象画素が増えると、その分、処理に時間が掛かるため、比較対象画素の数は、8,12,16個のいずれかが好ましい。
Claims (5)
- 被検査物を撮像した撮像画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理工程と、
前記欠陥強調処理工程で得られた各画素の欠陥強調値に基づいて欠陥を検出する欠陥検出工程とを有し、
前記欠陥強調処理工程は、
前記撮像画像において検査対象画素を順次選定する検査対象画素選定工程と、
選定された検査対象画素の中心から所定距離離れた比較対象画素を検査対象画素の周囲に複数配置し、前記比較対象画素を複数の比較対象画素群に分けて設定する比較対象画素群設定工程と、
比較対象画素群に含まれる各比較対象画素の輝度値と、前記検査対象画素の輝度値との差である輝度差データを求め、前記輝度差データのうち、値が最小となる最小輝度差を比較対象画素群毎に求める最小輝度差算出工程と、
比較対象画素群毎に算出された最小輝度差のうち、値が最大となる最小輝度差を前記検査対象画素の欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程とを備え、
前記比較対象画素群設定工程は、
前記複数の比較対象画素として、4×n個(nは2以上の整数)の比較対象画素を選定し、
前記比較対象画素を、前記検査対象画素を中心とする円周方向において90度間隔で配置された4個の比較対象画素毎に選択して各比較対象画素群を設定することを特徴とする欠陥検出方法。 - 請求項1に記載の欠陥検出方法において、
前記比較対象画素群設定工程は、
前記複数の比較対象画素として、検査対象画素を中心とする円周方向において45度間隔で配置された8個の比較対象画素を選定し、
前記8個の比較対象画素を、検査対象画素を中心とする円周方向において90度間隔で配置された4個の比較対象画素毎に選択して第1比較対象画素群および第2比較対象画素群を設定することを特徴とする欠陥検出方法。 - 請求項1または請求項2に記載の欠陥検出方法において、
前記最小輝度差算出工程は、
欠陥部分の輝度が、周囲の輝度よりも高くなる明欠陥を検出する場合には、前記検査対象画素の輝度値から比較対象画素の輝度値を引いて輝度差データを求め、前記輝度差データの最小輝度差を求め、
欠陥部分の輝度が、周囲の輝度よりも低くなる暗欠陥を検出する場合には、前記比較対象画素の輝度値から検査対象画素の輝度値を引いて輝度差データを求め、前記輝度差データの最小輝度差を求めることを特徴とする欠陥検出方法。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の欠陥検出方法において、
前記欠陥検出工程は、前記検査対象画素での欠陥強調値を所定の閾値と比較して欠陥候補画素を抽出し、前記欠陥候補画素によって構成される欠陥候補領域の特徴量から欠陥内容を判別することを特徴とする欠陥検出方法。 - 被検査物を撮像した撮像画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理手段と、
前記欠陥強調処理手段で得られた各画素の欠陥強調値に基づいて欠陥を検出する欠陥検出手段とを有し、
前記欠陥強調処理手段は、
前記撮像画像において検査対象画素を順次選定する検査対象画素選定手段と、
選定された検査対象画素の中心から所定距離離れた比較対象画素を検査対象画素の周囲に複数配置し、前記比較対象画素を複数の比較対象画素群に分けて設定する比較対象画素群設定手段と、
比較対象画素群に含まれる各比較対象画素の輝度値と、前記検査対象画素の輝度値との差である輝度差データを求め、前記輝度差データのうち、値が最小となる最小輝度差を比較対象画素群毎に求める最小輝度差算出手段と、
比較対象画素群毎に算出された最小輝度差のうち、値が最大となる最小輝度差を前記検査対象画素の欠陥強調値とする欠陥強調値算出手段とを備え、
前記比較対象画素群設定手段は、
前記複数の比較対象画素として、4×n個(nは2以上の整数)の比較対象画素を選定し、
前記比較対象画素を、検査対象画素を中心とする円周方向において90度間隔で配置された4個の比較対象画素毎に選択して各比較対象画素群を設定することを特徴とする欠陥検出装置。
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