JPH11175727A

JPH11175727A - 検査方法および装置

Info

Publication number: JPH11175727A
Application number: JP9342731A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Kuroda; 敏裕黒田; Shinji Kanazawa; 真治金澤; Shinichi Kato; 信一加藤
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date: 1997-12-12
Filing date: 1997-12-12
Publication date: 1999-07-02

Abstract

(57)【要約】【課題】色調に依存せず行うことができる検査方法と検
査装置を提供する。【解決手段】カラーカメラから入力した画像情報を、縦
・横に分割し、それぞれの画素データ毎にＲ・Ｇ・Ｂ別
のデータとして記憶し、ｎ列１行または１列ｎ行のｉ番
目のｎ画素データのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値を全て求め、
隣接するｎ画素データ間の色空間距離Ｌを全て算出し、
その値が予め設定したスレッシュホールド値よりも大き
いもののみを抽出する第１の抽出過程と、抽出した画素
データのうち１つの画素データのＲ・Ｇ・Ｂ値と、予め
記憶していた非欠陥部分の複数の代表画素データのＲ・
Ｇ・Ｂ値を比較して同じものがなかったときにのみ、そ
の被検査画素データを抽出処理し、第１の抽出過程で抽
出された画素データを全て処理する第２の抽出過程とか
らなり、第２の抽出過程で抽出したもののみを表示する
検査方法とその方法を用いた検査装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象物のカラ
ー画像を撮影して、検査対象物に付着した異物等の欠陥
を検査する検査方法と検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ＩＣチップ等の実装に用いられ
る電子用フィルム材料の表面に付着した異物の検査を行
う場合は、欠陥箇所を白黒またはカラーカメラ等で撮影
し、欠陥箇所のみを抽出する画像処理を行い、欠陥の有
無を自動判定する欠陥検査を行っている。

【０００３】そのひとつは、カラーフィルタと白黒カメ
ラを使用した単純２値化方式で、図９に示すように、白
黒カメラ１１０のレンズ前部に、検査対象１１２の異物
欠陥１１１の異物色を含む、ある波長幅を持った波長光
のみを透過できるカラーフィルタ１１３を設けて、同フ
ィルタを透過してカメラに入光する画像を、画像処理装
置１１４によりカメラの最低受光感度を表わす黒色の場
合の０から、カメラの飽和受光感度を表わす白色の場合
の２５５までの２５６段階のカメラの受光感度別に画像
の最小画素データ単位別に分析処理を行い、図１０に示
すように前もって設定したあるカメラ感度をしきい値と
して、その値を超える情報に対して欠陥と判定を行う方
法が知られている。

【０００４】他のひとつの方法は、赤緑青色（以下、Ｒ
・Ｇ・Ｂという。）毎に異なる受光感度を備えた３つの
受光素子を有するカラーカメラを使用した色調による検
査方法である。この色調による検査方法は、図１１に示
すように、Ｒ・Ｇ・Ｂ３原色に対応する受光素子に入力
した対象の画素データが、Ｒ・Ｇ・Ｂ値を３方向に直交
する座標で表す色空間上で、あるＲ値域範囲、Ｇ値域範
囲、およびＢ値域範囲で形成された欠陥色空間内に含ま
れる場合には欠陥部と判定し、その欠陥色空間内に含ま
れなければ、良品部と判定を行う方法である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術のうち、カ
ラーフィルタと白黒カメラを使用した方法では、対象欠
陥の色調がある一定の幅に収まる場合にのみ有効であ
り、対象製品の製造工程の異なる箇所で発生した異物で
は色調も異なることが多く、かつ、こすれ、転写、堆積
などの付着にもその濃淡や色調のばらつきが多いため、
膨大な異物色の調査とデータの蓄積と、各々の異物の色
調のみを透過できるカラーフィルタの選定とが必要とな
る。さらに、さまざまの異物色調に対してフィルタを交
換しながら撮影するため、検査時間もフィルタ交換回数
に比例して長くなるという課題がある。また、様々な透
過波長特性を有する市販のフィルタとして、コダック社
製のラッテンフィルタがあるが、３８０〜７００ｎｍの
可視光域で、１１２種類しか無く、必要な透過波長特性
に合ったものは入手が困難であるという課題がある。

【０００６】一方、色調による検査方法は、前述のカラ
ーフィルタを使用した方法に比べ、カラーフィルタ自体
の機械的な交換時間が、透過波長をＲ・Ｇ・Ｂ各色の強
度の組み合わせにより画像処理の世界で、自在に仮想の
カラーフィルタを作成・設定できるので省略できるが、
それでも、膨大な異物色の調査とデータの蓄積を必要と
し、効率的でないという課題がある。

【０００７】本発明は、異物の色調に依存せず行うこと
ができる検査方法と検査装置を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の検査方法は、カ
ラーカメラから入力した画像情報を、縦・横に分割し、
それぞれの画素データ毎にＲ・Ｇ・Ｂ別のデータとして
記憶し、ｎ列１行または１列ｎ行のｎ画素データのＲ・
Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi、Ｇi、Ｂiをそれぞれ求め、iを０
から順次増加して全ての入力した画素データのｎ画素ご
とのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値を求め、隣接するｎ画素デー
タ間の色空間距離Ｌ＝（（Ｒi−Ｒi+1）²＋（Ｇi−Ｇi+
1）²＋（Ｂi−Ｂi+1）²）^1/2を全て算出し、その値が予
め設定したスレッシュホールド値よりも大きいもののみ
を抽出する第１の抽出過程と、抽出したｎ画素データの
うち１つの画素データのＲ・Ｇ・Ｂ値と、予め記憶して
いた非欠陥部分の代表画素データのＲ・Ｇ・Ｂ値を比較
して同じものがなかったときにのみ、その被検査画素デ
ータを抽出処理する第２の抽出過程とからなり、第２の
抽出過程で抽出したもののみを表示することを特徴とす
る。

【０００９】この第１の抽出過程において、ｎ列１行ま
たは１列ｎ行のｎ画素データのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒ
i、Ｇi、Ｂiをそれぞれ求め、隣接するｎ列１行または
１列ｎ行のｎ画素データのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi+
1、Ｇi+1、Ｂi+1をそれぞれ求め、隣接するｎ画素デー
タ間の色空間距離Ｌ＝（（Ｒi−Ｒi+1）²＋（Ｇi−Ｇi+
1）²＋（Ｂi−Ｂi+1）²）^1/2を算出し、その値が予め設
定したスレッシュホールド値よりも大きいもののみを抽
出し、iを０から順次増加して全ての入力した画素デー
タを抽出処理することもできる。

【００１０】このときに、予め記憶していた非欠陥部分
の代表画素データのＲ・Ｇ・Ｂ値に、誤差範囲を持たせ
れば、カメラの暗電流のばらつきや感度のばらつきに影
響されず、好ましい。

【００１１】また、第１の抽出過程において、色空間距
離のスレッシュホールド値を高めに設定しておき、第２
の抽出過程が終了したときに、表示された画像が欠陥で
ないときには、その画像が抽出されたときの色空間距離
よりもスレッシュホールド値を低く設定した後に、再び
第１の抽出過程から行えば、欠陥部分の見逃しが少なく
なり、好ましい。さらには、再び行う抽出のときに、最
初の抽出過程で抽出されなかったものを予め除去してお
くこともでき、効率の上で好ましい。

【００１２】この検査方法を実現するための装置とし
て、カラーカメラと、カラーカメラから入力した画像情
報を、縦・横に分割し、それぞれの画素データ毎にＲ・
Ｇ・Ｂ別のデータとして記憶する手段と、その記憶した
画素データのうちｎ列１行または１列ｎ行のｎ画素デー
タのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi、Ｇi、Ｂiをそれぞれ求
め、iを０から順次増加して全ての入力した画素データ
のｎ画素ごとのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値を求め、隣接する
ｎ画素データ間の色空間距離Ｌ＝（（Ｒi−Ｒi+1）²＋
（Ｇi−Ｇi+1）²＋（Ｂi−Ｂi+1）²）^1/2を算出し、そ
の値が予め設定したスレッシュホールド値よりも大きい
もののみを抽出する第１の抽出過程を行うシーケンス
と、抽出した画素データのうち１つの画素データのＲ・
Ｇ・Ｂ値と、予め記憶していた非欠陥部分の代表画素デ
ータのＲ・Ｇ・Ｂ値を比較して同じものがなかったとき
にのみ、その被検査画素データを抽出処理する第２の抽
出過程を行うシーケンスと、第２の抽出過程で抽出し記
憶したデータのみを表示する表示手段を有することを特
徴とする。このときに、この第１の抽出過程を行うシー
ケンスにおいて、ｎ列１行または１列ｎ行のｎ画素デー
タのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi、Ｇi、Ｂiをそれぞれ求
め、隣接するｎ列１行または１列ｎ行のｎ画素データの
Ｒ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi+1、Ｇi+1、Ｂi+1をそれぞれ
求め、隣接するｎ画素データ間の色空間距離Ｌ＝（（Ｒ
i−Ｒi+1）²＋（Ｇi−Ｇi+1）²＋（Ｂi−Ｂi+1）²）^1/2
を算出し、その値が予め設定したスレッシュホールド値
よりも大きいもののみを抽出し、iを０から順次増加し
て全ての入力した画素データを抽出処理するシーケンス
とすることもできる。

【００１３】予め記憶していた非欠陥部分の代表画素デ
ータのＲ・Ｇ・Ｂ値に、誤差範囲を持たせるシーケンス
を有することもでき、装置のばらつきを吸収でき好まし
い。

【００１４】色空間距離のスレッシュホールド値を、検
査前に設定入力するシーケンスを有することもでき、検
査によってその値を変えることができ、好ましい。

【００１５】第２の抽出過程が終了した後に、全ての抽
出した画素データを表示すると共に、再び色空間距離の
スレッシュホールド値を設定し直して、再び行うことの
可否を問い合わせる表示を行うシーケンスを有すること
もでき、その製品について初めて行う検査にも適用でき
好ましい。

【００１６】再び抽出を行うときに、最初の抽出過程で
抽出されなかったものを予め除去しておくシーケンスを
有することもでき、効率の上で好ましい。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明の、カラーカメラには通常
の３板式のカラーカメラを使用することができる。ま
た、カメラは、二次元の画像を取り込むエリア方式と一
次元の画像を取り込むライン方式の両方式に対して適用
できる。素子の価格が低廉なライン方式カメラによる一
次元の画像の場合は、線上の画像を取り込むことと、１
画素分移動してこれを繰り返すことで二次元画像を得る
ことができるが、検査対象がフィルムのように連続して
巻き取るものの場合には、フィルム幅方向を横切るよう
に移動して撮像していれば、フィルムを巻き取りながら
二次元画像を取り込むことができる。さらに、カラー画
像情報の取得は、カラーカメラの他にカラースキャナか
らの情報や、家庭用ビデオカメラからの情報をデジタル
処理して取り込む場合や、ハンディタイプのデジタルカ
メラからの情報においても適用できる。さらに、欠陥情
報は異物の付着に限定されず、傷、汚れ、染み、変色等
のカラー色調欠陥全てに適用できる。このカラーカメラ
から入力した画像情報を、縦・横に分割し、それぞれの
画素データ毎にＲ・Ｇ・Ｂ別のデータとして記憶する手
段としては、パソコンやミニコンに使用されるソフトウ
エアとメモリー装置を使用することができ、解像度の高
いものであれば、より小さな異物の検出が行えるので好
ましい。

【００１８】その記憶した画素データのうちｎ列１行ま
たは１列ｎ行のｎ画素データのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒ
i、Ｇi、Ｂiをそれぞれ求め、iを０から順次増加して全
ての入力した画素データのｎ画素ごとのＲ・Ｇ・Ｂ別の
平均値を求め、隣接するｎ画素データ間の色空間距離Ｌ
＝（（Ｒi−Ｒi+1）²＋（Ｇi−Ｇi+1）²＋（Ｂi−Ｂi+
1）²）^1/2を算出し、その値が予め設定したスレッシュ
ホールド値よりも大きいもののみを抽出するシーケンス
としては、画素データを処理するプログラムを作成する
ことによって行うことができる。

【００１９】抽出したデータを記憶する手段としては、
前記の入力した画像を画素データ別に記憶するメモリ装
置と同じものが使用できるが、プログラムの上から前記
の全画素データを記憶したアドレスとは異なる箇所に記
憶することが好ましい。

【００２０】この第１の抽出過程において、ｎ列１行ま
たは１列ｎ行のｎ画素データのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒ
i、Ｇi、Ｂiをそれぞれ求め、隣接するｎ列１行または
１列ｎ行のｎ画素データのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi+
1、Ｇi+1、Ｂi+1をそれぞれ求め、隣接するｎ画素デー
タ間の色空間距離Ｌ＝（（Ｒi−Ｒi+1）²＋（Ｇi−Ｇi+
1）²＋（Ｂi−Ｂi+1）²）^1/2を算出し、その値が予め設
定したスレッシュホールド値よりも大きいもののみを抽
出し、iを０から順次増加して全ての入力した画素デー
タを抽出処理する第１の抽出過程を行うシーケンスとし
ては、プログラムを作成することによって実行できる。

【００２１】抽出した画素データのうち１つの画素デー
タのＲ・Ｇ・Ｂ値と、予め記憶していた非欠陥部分の複
数の代表画素データのＲ・Ｇ・Ｂ値を比較して同じもの
がなかったときにのみ、その画素データを抽出処理する
シーケンスとしては、まず、非欠陥部分の代表画素デー
タを作り記憶するプログラムと、抽出した画素データと
比較するプログラムと、比較した結果同じものがなかっ
たもののみを記憶するプログラムから構成することがで
きる。

【００２２】この非欠陥部分の代表画素データを作り記
憶するプログラムには、前記のカラーカメラを介して非
欠陥部分を入力して得られた画素データを使用すること
ができ、代表画素データは、例えば、多くの画素データ
からランダムに選択する方法、あるいは、Ｒ・Ｇ・Ｂ別
にヒストグラムを作成して、もっとも頻度の高い色調か
ら順に所望の範囲の上位の頻度出現した色調を選択する
方法、などから適宜選択することができる。このとき
に、選択した色調を一定の範囲内であれば一つの色調＋
誤差範囲としておくこともでき、微妙な光の反射の加減
などを許容するように判定することができ好ましい。

【００２３】そのデータを記憶する手段としては前述の
メモリ装置が使用でき、第１の抽出過程で抽出された画
素データを全て処理するのは、データがなくなるまで繰
り返し行えばよく、第２の抽出過程で抽出し記憶したデ
ータのみを表示する表示手段としては、例えば、ＣＲＴ
がある。

【００２４】プログラムによって、色空間距離のスレッ
シュホールド値を、検査前に設定入力することもでき、
第２の抽出過程が終了した後に、全ての抽出した画素デ
ータを表示すると共に、再び色空間距離のスレッシュホ
ールド値を設定し直して、再び行うことの可否を問い合
わせる表示を行うこともできる。

【００２５】

【実施例】以下、ＩＣチップ等の実装に用いられる電子
用フィルム材料の欠陥検査作業に適用した一実施例を、
図面を参照して説明する。本実施例は、図１に示すよう
に、１．カラーカメラから入力した画像情報を、縦・横
に分割し、それぞれの画素データ毎にＲ・Ｇ・Ｂ別のデ
ータとして記憶する「カラーカメラによる検査製品の撮
像」過程と、２．ｎ列１行または１列ｎ行のｎ画素デー
タのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi、Ｇi、Ｂiをそれぞれ求
め、iを０から順次増加して全ての入力した画素データ
のｎ画素ごとのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値を求める「ｎ画素
データ色調算出」過程と、３．隣接するｎ画素データ間
の色空間距離Ｌ＝（（Ｒi−Ｒi+1）²＋（Ｇi−Ｇi+1）²
＋（Ｂi−Ｂi+1）²）^1/2を算出する「色空間距離算出」
過程と、４．その値が予め設定したスレッシュホールド
値よりも大きいもののみを抽出する「色調差の大きいデ
ータの抽出」過程とからなる第１の抽出過程と、５．予
め、非欠陥部分を撮像してＲ・Ｇ・Ｂ値を記憶しておく
「良品データ採集」過程と、６．採集したデータを用い
て代表画素データを作成する「良品データの代表値化」
過程と、前記第１の抽出過程で抽出した画素データのう
ち１つの画素データのＲ・Ｇ・Ｂ値と、良品データの代
表値のＲ・Ｇ・Ｂ値と比較して同じものがなかったとき
にのみ、その画素データを抽出処理する「良品色調フィ
ルタ」過程、すなわち第２の抽出過程とからなり、第２
の抽出過程で抽出したもののみを表示するものである。

【００２６】この第１の抽出過程では、以下に示すよう
に実現したものである。１．「カラーカメラによる検査製品の撮像」過程では、
図２（ａ）に示すような検査対象品の検査を、図２
（ｂ）に示すように、一部を拡大して撮像し、２．「ｎ画素データ色調算出」過程では、図３に示すよ
うに、１列８行の８画素について、Ｒ・Ｇ・Ｂ値の平均
値を算出する。３．「色空間距離算出」過程では、このようにして得た
平均値を、隣接する８画素の平均値のそれぞれの差△
Ｒ、△Ｇ、△Ｂを算出し、そして、ＲＧＢ色空間距離Ｌ
を次の式で求める作業を全ての８画素データブロックに
対して計算する。Ｌ＝〔（△Ｒ）²＋（△Ｇ）²＋（△Ｂ）²〕^1/2 ４．「色調差の大きいデータの抽出」過程では、図４に
全ての上記式で求めた色調差を、その８画素分の相対位
置に合わせて表示したように、その色調差を求め、図中
「欠陥箇所」と示したように、大きな色調の変化のある
欠陥箇所を選択することができるよう、一定のスレッシ
ュホールド値よりも大きいもののみを抽出する。このよ
うにして得られた第１の抽出過程での抽出した画素デー
タは、図５に示すように、良品部分と、実際の欠陥個所
とを含んだものである。次に、第２の抽出過程である
が、これを、以下のように実現したものである。５．「良品データ採集」過程では、図６（ａ）に示すよ
うな、図２（ａ）に示した検査対象製品と同じ方法で、
拡大鏡を使用して目視で充分に検査された良品を、検査
対象品と同じようにして、図６（ｂ）に示すように、一
部を拡大して撮像し、６．「良品データの代表値化」過程では、良品カラー情
報に含まれる全画素データの各ＲＧＢ値の集合体を作成
し、図７に示すように、良品情報のルックアップテーブ
ル（以下良品ＬＵＴと略す）を得る。７．「良品色調フィルタ」では、第１の抽出過程で抽出
された８画素データに含まれる画素データを一画素づ
つ、良品ＬＵＴと比較する。このときに、良品ＬＵＴ
は、Ｒデータ、Ｇデータ、Ｂデータにおいて、それぞれ
に最大値と最小値を有するデータである。また、カラー
カメラの機種によっては、暗電流と呼ばれるカメラに蓋
をした状態におけるＲＧＢ検出値に、受光感度フルスケ
ールの２〜３％の誤差が含まれることがあるので、良品
ＬＵＴ自体に誤差が含まれるため、良品ＬＵＴの各ＲＧ
Ｂセット値自体にＲＧＢ軸の±方向に誤差と同量の幅を
持たせることにより、カメラ自体の感度誤差による検査
の偏りを無くし、得られたカメラ感度誤差包含タイプの
良品ＬＵＴを使用することで、良品箇所を欠陥と判定す
る誤認判定割合を低減できた。この抽出された８画素デ
ータに含まれる画素データが、良品ＬＵＴ内に含まれる
かどうかチェックして、含まれる場合は、その画像デー
タを除去し、含まれない場合には残し、全ての第１の抽
出過程で抽出された画素データについて処理したもの
が、図８に示すように、実際の欠陥個所と一致したもの
であった。

【００２７】本実施例のカラー欠陥検出方法によれば、
製品のカラー画像情報を取り込み、カラー画像情報内の
色調ばらつきの有る箇所を抽出した後に、良品の色調ば
らつき箇所を除去することで、欠陥箇所のみを抽出する
ようにしたため、検査員が行っている良品情報の学習機
能と、微細な色調差を検出する機能を合わせ持つことが
でき、従来のような、異物自体の膨大な調査を不要と
し、良品箇所の製造ロット単位での色調変化にも追従で
き、紫〜赤色までの全ての色調欠陥を１回の検査判定時
間内で処理できる。さらに、カメラから得られる画像情
報は、照明自体の経時変化により変動が考えられるが、
一定の照明使用時間間隔で良品画像情報の再度記憶を行
うことにより、安定した欠陥検出を照明の寿命まで継続
可能である。

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によっ
て、色調に依存せず行うことができる検査方法と検査装
置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の方法を説明するためのフローチャート
である。

【図２】（ａ）は本発明の一実施例の「カラーカメラに
よる検査製品の撮像」過程を説明するための撮像した画
像であり、（ｂ）はその拡大図である。

【図３】本発明の一実施例の「ｎ画素データ色調算出」
過程を説明するための概念図である。

【図４】本発明の一実施例の「色空間距離算出」過程を
説明するための画像である。

【図５】本発明の一実施例の「色調差の大きいデータの
抽出」過程を説明するための画像である。

【図６】本発明の一実施例の「良品データ採集」過程を
説明するための撮像した画像であり、（ｂ）はその拡大
図である。

【図７】本発明の一実施例の「良品データの代表値化」
過程を説明するためのモデル図である。

【図８】本発明の効果を説明するための「良品色調フィ
ルタ」過程の結果を示す画像である。

【図９】従来例を示す斜視図である。

【図１０】従来例の方法を説明するための線図である。

【図１１】他の実施例を説明するための線図である。

【符号の説明】

１．カラーカメラによる検査製品の撮像２．ｎ画素データ色調算出３．色空間距離算出４．色調差の大きいデータの抽出５．良品データ採集６．良品データの代表値化７．良品色調フィルタ１１０．白黒カメラ１１１．異物欠陥１１２．検査対象１１３．カラーフィルタ１１４．画像処理装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】カラーカメラから入力した画像情報を、縦
・横に分割し、それぞれの画素データ毎にＲ・Ｇ・Ｂ別
のデータとして記憶し、ｎ列１行または１列ｎ行のｎ画
素データのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi、Ｇi、Ｂiをそれ
ぞれ求め、iを０から順次増加して全ての入力した画素
データのｎ画素ごとのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均を全て求め、
隣接するｎ画素データ間の色空間距離Ｌ＝（（Ｒi−Ｒi
+1）²＋（Ｇi−Ｇi+1）²＋（Ｂi−Ｂi+1）²）^1/2を全て
算出し、それぞれの色空間距離が予め設定したスレッシ
ュホールド値よりも大きいもののみを抽出処理する第１
の抽出過程と、抽出したｎ画素データのうち１つの画素
データのＲ・Ｇ・Ｂ値と、予め記憶していた非欠陥部分
の代表画素データのＲ・Ｇ・Ｂ値とを比較して同じもの
がなかったときにのみ、その画素データを抽出処理する
第２の抽出過程とからなり、第２の抽出過程で抽出した
もののみを表示することを特徴とする検査方法。
【請求項２】カラーカメラから入力した画像情報を、縦
・横に分割し、それぞれの画素データ毎にＲ・Ｇ・Ｂ別
のデータとして記憶し、ｎ列１行または１列ｎ行のｎ画
素データのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi、Ｇi、Ｂiをそれ
ぞれ求め、隣接するｎ列１行または１列ｎ行のｎ画素デ
ータのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi+1、Ｇi+1、Ｂi+1をそ
れぞれ求め、隣接するｎ画素データ間の色空間距離Ｌ＝
（（Ｒi−Ｒi+1）²＋（Ｇi−Ｇi+1）²＋（Ｂi−Ｂi+1）
²）^1/2を算出し、その値が予め設定したスレッシュホー
ルド値よりも大きいもののみを抽出し、iを０から順次
増加して全ての入力した画素データを抽出処理する第１
の抽出過程と、抽出したｎ画素データのうちの１つの画
素データのＲ・Ｇ・Ｂ値と、予め記憶していた非欠陥部
分の代表画素データのＲ・Ｇ・Ｂ値を比較して同じもの
がなかったときにのみ、その画素データを抽出処理する
第２の抽出過程とからなり、第２の抽出過程で抽出した
もののみを表示することを特徴とする検査方法。
【請求項３】予め記憶していた非欠陥部分の複数の代表
画素データのＲ・Ｇ・Ｂ値に、誤差範囲を持たせること
を特徴とする請求項１または２に記載の検査方法。
【請求項４】第１の抽出過程において、色空間距離のス
レッシュホールド値を高めに設定しておき、第２の抽出
過程が終了したときに、表示された画像が欠陥でないと
きには、その画像が抽出されたときの色空間距離よりも
スレッシュホールド値を低く設定した後に、再び第１の
抽出過程から行うことを特徴とする請求項１〜３のうち
いずれかに記載の検査方法。
【請求項５】再び行う抽出のときに、最初の抽出過程で
抽出されなかったものを予め除去しておくことを特徴と
する請求項４に記載の検査方法。
【請求項６】カラーカメラと、カラーカメラから入力し
た画像情報を、縦・横に分割し、それぞれの画素データ
毎にＲ・Ｇ・Ｂ別のデータとして記憶する手段と、その
記憶した画素データのうちｎ列１行または１列ｎ行のｎ
画素データのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi、Ｇi、Ｂiをそ
れぞれ求め、iを０から順次増加して全ての入力した画
素データのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値をそれぞれ求め、隣接
するｎ画素データ間の色空間距離Ｌ＝（（Ｒi−Ｒi+1）
²＋（Ｇi−Ｇi+1）²＋（Ｂi−Ｂi+1）²）^1/2を全て算出
し、その値が予め設定したスレッシュホールド値よりも
大きいもののみを抽出する第１の抽出過程を行うシーケ
ンスと、抽出したｎ画素データのうち１つの画素データ
のＲ・Ｇ・Ｂ値と、予め記憶していた非欠陥部分の複数
の代表画素データのＲ・Ｇ・Ｂ値を比較して同じものが
なかったときにのみ、その被検査画素データを抽出処理
する第２の抽出過程を行うシーケンスと、第２の抽出過
程で抽出し記憶したデータのみを表示する表示手段を有
することを特徴とする検査装置。
【請求項７】カラーカメラと、カラーカメラから入力し
た画像情報を、縦・横に分割し、それぞれの画素データ
毎にＲ・Ｇ・Ｂ別のデータとして記憶する手段と、その
記憶した画素データのうちｎ列１行または１列ｎ行のｎ
画素データのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi、Ｇi、Ｂiをそ
れぞれ求め、隣接するｎ列１行または１列ｎ行のｎ画素
データのＲ・Ｇ・Ｂ別の平均値Ｒi+1、Ｇi+1、Ｂi+1を
それぞれ求め、隣接するｎ画素データ間の色空間距離Ｌ
＝（（Ｒi−Ｒi+1）²＋（Ｇi−Ｇi+1）²＋（Ｂi−Ｂi+
1）²）^1/2を算出し、その値が予め設定したスレッシュ
ホールド値よりも大きいもののみを抽出するシーケンス
と、抽出したデータを記憶する手段と、iを０から順次
増加して全ての入力した画素データを抽出処理する第１
の抽出過程を行うシーケンスと、抽出したｎ画素データ
のうち１つの画素データのＲ・Ｇ・Ｂ値と、予め記憶し
ていた非欠陥部分の代表画素データのＲ・Ｇ・Ｂ値を比
較して同じものがなかったときにのみ、その被検査画素
データを抽出処理する第２の抽出過程を行うシーケンス
と、第２の抽出過程で抽出したデータのみを表示する表
示手段を有することを特徴とする検査装置。
【請求項８】予め記憶していた非欠陥部分の代表画素デ
ータのＲ・Ｇ・Ｂ値に、誤差範囲を持たせるシーケンス
を有することを特徴とする請求項６または７に記載の検
査装置。
【請求項９】色空間距離のスレッシュホールド値を、検
査前に設定入力するシーケンスを有することを特徴とす
る請求項６〜８のうちいずれかに記載の検査装置。
【請求項１０】第２の抽出過程が終了した後に、全ての
抽出した画素データを表示すると共に、再び色空間距離
のスレッシュホールド値を設定し直して、再び行うこと
の可否を問い合わせる表示を行うシーケンスを有するこ
とを特徴とする請求項６〜９のうちいずれかに記載の検
査装置。
【請求項１１】再び抽出を行うときに、最初の抽出過程
で抽出されなかったものを予め除去しておくシーケンス
を有することを特徴とする請求項１０に記載の検査装
置。