JPH0739999B2 - 欠陥検出方法 - Google Patents
欠陥検出方法Info
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- JPH0739999B2 JPH0739999B2 JP3024123A JP2412391A JPH0739999B2 JP H0739999 B2 JPH0739999 B2 JP H0739999B2 JP 3024123 A JP3024123 A JP 3024123A JP 2412391 A JP2412391 A JP 2412391A JP H0739999 B2 JPH0739999 B2 JP H0739999B2
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- image
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- video camera
- data
- inspection area
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- G06T7/001—Industrial image inspection using an image reference approach
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- G06T2207/30164—Workpiece; Machine component
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ビデオカメラが捕えた
画像信号に基づいてコンピュータ等により被検査物の欠
陥を自動的に検出する装置に用いて好適な欠陥検出方法
に関する。
画像信号に基づいてコンピュータ等により被検査物の欠
陥を自動的に検出する装置に用いて好適な欠陥検出方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＣＣＤ等の固体撮像素子を用いた
ビデオカメラで被検査物の光像を撮像し、各素子におい
て得られた光電変換信号をデジタル化して、そのデータ
をコンピュータ等で解析することにより被検査物の表面
の欠陥（傷、汚れ等）を検出することが広く行われてい
る。この場合、欠陥であると判定する方法としては、上
述のデータを予め定めた閾値と比較する方法が簡便であ
り、この方法が最も普通に行われている。
ビデオカメラで被検査物の光像を撮像し、各素子におい
て得られた光電変換信号をデジタル化して、そのデータ
をコンピュータ等で解析することにより被検査物の表面
の欠陥（傷、汚れ等）を検出することが広く行われてい
る。この場合、欠陥であると判定する方法としては、上
述のデータを予め定めた閾値と比較する方法が簡便であ
り、この方法が最も普通に行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、被検査
物の表面に存在する欠陥としての傷や汚れ等は、それぞ
れその明暗のコントラストが異なるので、画面上の明暗
比を数値化してそれにより欠陥を検出する従来の方法で
は、他の良品面と比較して明暗比の差の少ない汚れ等は
検出することが困難であった。すなわち、通常画面上で
明暗差の大きい黒点等の欠陥は、背景と比較して上述の
データ値の差が大きいので検出は容易であるが、背景と
比較して明暗差の少ない薄い汚れ等は、たとえその部分
の面積が大きくても、背景とのデータ値の差が少ないの
で検出が困難である。
物の表面に存在する欠陥としての傷や汚れ等は、それぞ
れその明暗のコントラストが異なるので、画面上の明暗
比を数値化してそれにより欠陥を検出する従来の方法で
は、他の良品面と比較して明暗比の差の少ない汚れ等は
検出することが困難であった。すなわち、通常画面上で
明暗差の大きい黒点等の欠陥は、背景と比較して上述の
データ値の差が大きいので検出は容易であるが、背景と
比較して明暗差の少ない薄い汚れ等は、たとえその部分
の面積が大きくても、背景とのデータ値の差が少ないの
で検出が困難である。
【０００４】この場合、強いて差の少ないデータ値によ
りこの薄い汚れを検出しようとすると、他の良品部分で
ありながら背景とのわずかな光量変化を引き起こすしわ
や凹凸の部分も不良として検出してしまい、不良部分と
判定すべき薄い汚れの部分のみを正確に検出することが
できず、検査実施後の良品の歩留りが悪くなるという新
たな問題が生じてしまう。
りこの薄い汚れを検出しようとすると、他の良品部分で
ありながら背景とのわずかな光量変化を引き起こすしわ
や凹凸の部分も不良として検出してしまい、不良部分と
判定すべき薄い汚れの部分のみを正確に検出することが
できず、検査実施後の良品の歩留りが悪くなるという新
たな問題が生じてしまう。
【０００５】本発明は、従来例のかかる点に鑑みてなさ
れたもので、その目的とするところは、汚れ等の背景に
比較して明暗コントラストの低い欠陥を安定かつ確実に
検出しうる欠陥検出方法を提供することにある。
れたもので、その目的とするところは、汚れ等の背景に
比較して明暗コントラストの低い欠陥を安定かつ確実に
検出しうる欠陥検出方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、例えば図１な
いし図５に示すように、被検査物を照射して得られた光
像をビデオカメラ１で撮像し、このビデオカメラ１にて
得られた画像信号に基づいて被検査物の欠陥の検出を行
う欠陥検出方法において、この画像信号による画面２上
に所定の大きさを有し互いに隣接する２個の検査領域
Ｌ，Ｒを設け、これら２個の検査領域Ｌ，Ｒ内の明るさ
をそれぞれ積分する処理を全画面にわたって行い、ビデ
オカメラによる検査領域毎にこれら積分値の差が予め定
められた閾値を越える場合に欠陥があると判定するよう
にしたものである。
いし図５に示すように、被検査物を照射して得られた光
像をビデオカメラ１で撮像し、このビデオカメラ１にて
得られた画像信号に基づいて被検査物の欠陥の検出を行
う欠陥検出方法において、この画像信号による画面２上
に所定の大きさを有し互いに隣接する２個の検査領域
Ｌ，Ｒを設け、これら２個の検査領域Ｌ，Ｒ内の明るさ
をそれぞれ積分する処理を全画面にわたって行い、ビデ
オカメラによる検査領域毎にこれら積分値の差が予め定
められた閾値を越える場合に欠陥があると判定するよう
にしたものである。
【０００７】
【作用】上述の構成を有する本発明にあっては、２個の
検査領域Ｌ，Ｒの明るさをそれぞれ積分するので、個々
の素子に対応するデータ値が小さい場合であっても、各
検査領域Ｌ，Ｒ内の積分値はそれぞれ大きくなる。従っ
て、明暗コントラストは低いが面積の大きい欠陥、例え
ば汚れ等に対し本発明の方法を適用した場合、従来の方
法に比べ、欠陥として判別すべき部分と判別すべきでな
い部分とのデータ値の差を大きくとることができる。
また、検査領域Ｌ，Ｒ毎に欠陥の判定が終了するため、
高速な判定検出処理が可能となる。
検査領域Ｌ，Ｒの明るさをそれぞれ積分するので、個々
の素子に対応するデータ値が小さい場合であっても、各
検査領域Ｌ，Ｒ内の積分値はそれぞれ大きくなる。従っ
て、明暗コントラストは低いが面積の大きい欠陥、例え
ば汚れ等に対し本発明の方法を適用した場合、従来の方
法に比べ、欠陥として判別すべき部分と判別すべきでな
い部分とのデータ値の差を大きくとることができる。
また、検査領域Ｌ，Ｒ毎に欠陥の判定が終了するため、
高速な判定検出処理が可能となる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明に係る欠陥検出方法の一実施例
について図面を参照して説明する。図１は実施例のブロ
ック図であり、図２はその動作の説明を分かり易くする
ためにビデオカメラが撮像する画面上で格子状に構成さ
れている画素子の配列を示したものである。
について図面を参照して説明する。図１は実施例のブロ
ック図であり、図２はその動作の説明を分かり易くする
ためにビデオカメラが撮像する画面上で格子状に構成さ
れている画素子の配列を示したものである。
【０００９】図１において１は被検査物（図示せず）を
撮像するための公知のビデオカメラを示し、２はビデオ
カメラ１が撮像した画面上を水平方向に画素子Ａ0 から
Ａn まで走査し、さらに順次移動して画素子Ｂ0 からＢ
n ，Ｃ0 からＣn ，‥‥と繰り返し走査を行うことを示
す説明用画面である。３はＡ／Ｄコンバータで、ビデオ
カメラ１に接続され、各画素子の電位をデジタル値で表
されるデータ信号（ａ0 〜ａn ，ｂ0 〜ｂn ‥‥）に変
換するものである。Ａ／Ｄコンバータ３は遅延回路４Ａ
の入力側の端子に接続され、さらに遅延回路４Ａは、デ
ータ・シフトレジスタ５の端子に接続されている。遅延
回路４Ａとしては、例えばＬＳＩのラインフィルタ（又
はデジタル・フィルタ・プロセッサ）として市販されて
いるものを使用し、データ・シフトレジスタ５にはＬＳ
Ｉのデジタルフィルタ（又はデジタル・シグナル・プロ
セッサ）として市販されているものを使用すれば良い。
撮像するための公知のビデオカメラを示し、２はビデオ
カメラ１が撮像した画面上を水平方向に画素子Ａ0 から
Ａn まで走査し、さらに順次移動して画素子Ｂ0 からＢ
n ，Ｃ0 からＣn ，‥‥と繰り返し走査を行うことを示
す説明用画面である。３はＡ／Ｄコンバータで、ビデオ
カメラ１に接続され、各画素子の電位をデジタル値で表
されるデータ信号（ａ0 〜ａn ，ｂ0 〜ｂn ‥‥）に変
換するものである。Ａ／Ｄコンバータ３は遅延回路４Ａ
の入力側の端子に接続され、さらに遅延回路４Ａは、デ
ータ・シフトレジスタ５の端子に接続されている。遅延
回路４Ａとしては、例えばＬＳＩのラインフィルタ（又
はデジタル・フィルタ・プロセッサ）として市販されて
いるものを使用し、データ・シフトレジスタ５にはＬＳ
Ｉのデジタルフィルタ（又はデジタル・シグナル・プロ
セッサ）として市販されているものを使用すれば良い。
【００１０】遅延回路４Ａは、データ信号を１水平走査
分の時間だけ遅延させて出力するものであり、データ・
シフトレジスタ５はビデオカメラ１の走査に同期してデ
ジタル信号をレジスタユニットの間を順次シフトして次
へ送るものである。レジスタユニットは、ｘ0 から
ｘ5 、ｙ0 からｙ5 、ｚ0 からｚ5 と３列１８個のユニ
ットで構成されており、また各レジスタユニットはそれ
ぞれがタップ（図示せず）によって保持しているデータ
信号を外部へ取り出すことが出来るようになっている。
分の時間だけ遅延させて出力するものであり、データ・
シフトレジスタ５はビデオカメラ１の走査に同期してデ
ジタル信号をレジスタユニットの間を順次シフトして次
へ送るものである。レジスタユニットは、ｘ0 から
ｘ5 、ｙ0 からｙ5 、ｚ0 からｚ5 と３列１８個のユニ
ットで構成されており、また各レジスタユニットはそれ
ぞれがタップ（図示せず）によって保持しているデータ
信号を外部へ取り出すことが出来るようになっている。
【００１１】本実施例においては、所定の検査領域を水
平方向に３素子、垂直方向に３素子、即ち３×３（９素
子）の２組（９素子×２）の隣接した格子状の領域を設
定したと仮定した場合について説明するが、それぞれ検
査目的に応じて検査領域を２×２（４素子）あるいは４
×４（１６素子）に設定する場合でも同様な回路構成を
作り得ることは明白であろう。
平方向に３素子、垂直方向に３素子、即ち３×３（９素
子）の２組（９素子×２）の隣接した格子状の領域を設
定したと仮定した場合について説明するが、それぞれ検
査目的に応じて検査領域を２×２（４素子）あるいは４
×４（１６素子）に設定する場合でも同様な回路構成を
作り得ることは明白であろう。
【００１２】遅延回路４Ａの出力側の端子は、遅延回路
４Ａと同じ構成の遅延回路４Ｂの入力側の端子とデータ
・シフトレジスタ５の端子Ｙとに接続され、さらに、遅
延回路４Ｂの出力側の端子は、データ・シフトレジスタ
５の端子Ｚに接続されている。そして、データ・シフト
レジスタ５の左側に位置するレジスタユニットＸ0 〜Ｘ
2 ，Ｙ0 〜Ｙ2 ，Ｚ0 〜Ｚ2 は積算器６Ａに接続され、
また右側に位置するレジスタユニットＸ3 〜Ｘ5 ，Ｙ3
〜Ｙ5 ，Ｚ3 〜Ｚ5 は積算器６Ｂに接続されている。さ
らに、積算器６Ａ，６Ｂは減算器７に接続され、減算器
７は、閾値設定器９に接続した比較器８に接続されてい
る。
４Ａと同じ構成の遅延回路４Ｂの入力側の端子とデータ
・シフトレジスタ５の端子Ｙとに接続され、さらに、遅
延回路４Ｂの出力側の端子は、データ・シフトレジスタ
５の端子Ｚに接続されている。そして、データ・シフト
レジスタ５の左側に位置するレジスタユニットＸ0 〜Ｘ
2 ，Ｙ0 〜Ｙ2 ，Ｚ0 〜Ｚ2 は積算器６Ａに接続され、
また右側に位置するレジスタユニットＸ3 〜Ｘ5 ，Ｙ3
〜Ｙ5 ，Ｚ3 〜Ｚ5 は積算器６Ｂに接続されている。さ
らに、積算器６Ａ，６Ｂは減算器７に接続され、減算器
７は、閾値設定器９に接続した比較器８に接続されてい
る。
【００１３】次に、データ信号（ａ0 〜ａn ，‥‥）の
回路内における動作を図２により説明する。図２におい
ては、ビデオカメラ１の撮像画面の画素子が水平方向に
Ａ0 〜Ａn ，Ｂ0 〜Ｂn ，Ｃ0 〜Ｃn ，‥‥に配列され
ている状態を示している。ここで、それぞれの画素子の
発生した電位がＡ／Ｄコンバータ３によりデジタル値に
変換されたデータ信号をａ0 〜ａn ，ｂ0 〜ｂn ，‥‥
とする。従って、ビデオカメラ１がその画素子Ａ0 〜Ａ
n ，Ｂ0 〜Ｂn ，Ｃ0 〜Ｃn ，‥‥を走査をする間、そ
れに従ってＡ／Ｄコンバータからデータ信号ａ0 〜
ａn ，ｂ0 〜ｂn ，‥‥が出力される。
回路内における動作を図２により説明する。図２におい
ては、ビデオカメラ１の撮像画面の画素子が水平方向に
Ａ0 〜Ａn ，Ｂ0 〜Ｂn ，Ｃ0 〜Ｃn ，‥‥に配列され
ている状態を示している。ここで、それぞれの画素子の
発生した電位がＡ／Ｄコンバータ３によりデジタル値に
変換されたデータ信号をａ0 〜ａn ，ｂ0 〜ｂn ，‥‥
とする。従って、ビデオカメラ１がその画素子Ａ0 〜Ａ
n ，Ｂ0 〜Ｂn ，Ｃ0 〜Ｃn ，‥‥を走査をする間、そ
れに従ってＡ／Ｄコンバータからデータ信号ａ0 〜
ａn ，ｂ0 〜ｂn ，‥‥が出力される。
【００１４】図１に戻って説明すると、Ａ／Ｄコンバー
タ３から出力されたデータ信号は、順次ａ0 〜ａn ，ｂ
0 〜ｂn ，‥‥の順でデータ・シフトレジスタ５のＸ端
子と遅延回路４の入力側の端子に加えられる。従って、
データ信号が遅延回路４Ａ，４Ｂ及びデータ・シフトレ
ジスタ５を通過し、データ・シフトレジスタ５のレジス
タユニットｚ5 にデータ信号ａ0 が到達したときの各レ
ジスタユニットにおけるデータ信号の配列は図２に示す
ようになる。
タ３から出力されたデータ信号は、順次ａ0 〜ａn ，ｂ
0 〜ｂn ，‥‥の順でデータ・シフトレジスタ５のＸ端
子と遅延回路４の入力側の端子に加えられる。従って、
データ信号が遅延回路４Ａ，４Ｂ及びデータ・シフトレ
ジスタ５を通過し、データ・シフトレジスタ５のレジス
タユニットｚ5 にデータ信号ａ0 が到達したときの各レ
ジスタユニットにおけるデータ信号の配列は図２に示す
ようになる。
【００１５】すなわち、図２の(1) の太実線で囲んだ２
個の検査領域Ｌ，Ｒ内の画素子Ａ0 〜Ａ2 ，Ｂ0 〜
Ｂ2 ，Ｃ0 〜Ｃ2 ，Ａ3 〜Ａ5 ，Ｂ3 〜Ｂ5 ，Ｃ3 〜Ｃ
5 に対応するデータ信号が順次水平に配列されることに
なる。そして、引き続きレジスタユニットｚ5 にデータ
信号ａ1 が送られてきたときには、図２の(2) の状態に
なり、画素子Ａ1 〜Ａ3 ，Ｂ1 〜Ｂ3 ，Ｃ1 〜Ｃ3 ，Ａ
4 〜Ａ6 ，Ｂ4 〜Ｂ6 ，Ｃ4 〜Ｃ6に対応するデータ信
号が順次水平に配列される。続いて同様にデータ信号ａ
2 が送られてきて(3) に示す状態になる。この動作は、
あたかも２個の検査領域Ｌ，Ｒで画面を走査しているこ
とに等しい。１水平走査分を終了すると次の水平走査、
即ち図２の(4) のように画素子Ｂ0 から始めて同様な動
作を繰り返し、２個の検査領域Ｌ，Ｒで画面全体の走査
を行う。
個の検査領域Ｌ，Ｒ内の画素子Ａ0 〜Ａ2 ，Ｂ0 〜
Ｂ2 ，Ｃ0 〜Ｃ2 ，Ａ3 〜Ａ5 ，Ｂ3 〜Ｂ5 ，Ｃ3 〜Ｃ
5 に対応するデータ信号が順次水平に配列されることに
なる。そして、引き続きレジスタユニットｚ5 にデータ
信号ａ1 が送られてきたときには、図２の(2) の状態に
なり、画素子Ａ1 〜Ａ3 ，Ｂ1 〜Ｂ3 ，Ｃ1 〜Ｃ3 ，Ａ
4 〜Ａ6 ，Ｂ4 〜Ｂ6 ，Ｃ4 〜Ｃ6に対応するデータ信
号が順次水平に配列される。続いて同様にデータ信号ａ
2 が送られてきて(3) に示す状態になる。この動作は、
あたかも２個の検査領域Ｌ，Ｒで画面を走査しているこ
とに等しい。１水平走査分を終了すると次の水平走査、
即ち図２の(4) のように画素子Ｂ0 から始めて同様な動
作を繰り返し、２個の検査領域Ｌ，Ｒで画面全体の走査
を行う。
【００１６】このような走査を行いながら、各レジスタ
ユニットのデータはタップによって外部に取り出せるの
で、２個の検査領域Ｌ，Ｒのデータをそれぞれ積算器６
Ａ及び６Ｂに取り込みそれぞれのデータの総和値を計算
する。
ユニットのデータはタップによって外部に取り出せるの
で、２個の検査領域Ｌ，Ｒのデータをそれぞれ積算器６
Ａ及び６Ｂに取り込みそれぞれのデータの総和値を計算
する。
【００１７】次に、２個のデータの総和値を減算器７に
送って２個のデータの総和値の差を求め、比較器８に送
る。ここで閾値設定器９において予め定められた閾値と
減算器７によって求められた２個のデータの総和値の差
を比較し、総和値の差が閾値を超えた場合に欠陥である
とする判定信号を出力する。２個のデータの総和値の差
は、絶対値として閾値と比較する。
送って２個のデータの総和値の差を求め、比較器８に送
る。ここで閾値設定器９において予め定められた閾値と
減算器７によって求められた２個のデータの総和値の差
を比較し、総和値の差が閾値を超えた場合に欠陥である
とする判定信号を出力する。２個のデータの総和値の差
は、絶対値として閾値と比較する。
【００１８】図３の(1) は、被検査物の表面の小さい黒
点、(2) は薄い汚れではあるが面積が大きいので欠陥と
判定すべきものを、それぞれ画素子の図の上に重ねて表
したものである。図４は、図中のＰ‥‥Ｑの素子列のと
ころを電位レベルで示したものである。背景のレベルが
明るくこれを〔零〕レベルと仮定すると、黒点や汚れの
レベル値は暗いのでマイナス値を取る。ここで、黒点の
レベルを〔−５〕、汚れのレベルを〔−１〕と仮定し、
これを２個の検査領域Ｌ，Ｒ内で示すと図５の(1) 及び
(2) のようになる。図の(1) は黒点の部分、(2) は汚れ
の部分を示したものである。従って、図５(1) において
は２個の検査領域Ｌ，Ｒ内の総和の差は〔５〕となり、
(2) においては
点、(2) は薄い汚れではあるが面積が大きいので欠陥と
判定すべきものを、それぞれ画素子の図の上に重ねて表
したものである。図４は、図中のＰ‥‥Ｑの素子列のと
ころを電位レベルで示したものである。背景のレベルが
明るくこれを〔零〕レベルと仮定すると、黒点や汚れの
レベル値は暗いのでマイナス値を取る。ここで、黒点の
レベルを〔−５〕、汚れのレベルを〔−１〕と仮定し、
これを２個の検査領域Ｌ，Ｒ内で示すと図５の(1) 及び
(2) のようになる。図の(1) は黒点の部分、(2) は汚れ
の部分を示したものである。従って、図５(1) において
は２個の検査領域Ｌ，Ｒ内の総和の差は〔５〕となり、
(2) においては
〔９〕となる。この場合に閾値設定器９
の閾値を例えば〔６〕〜〔８〕に設定しておけば、黒点
を無視して汚れの部分のみを検出することが出来る。
の閾値を例えば〔６〕〜〔８〕に設定しておけば、黒点
を無視して汚れの部分のみを検出することが出来る。
【００１９】図５(1) 及び(2) においては背景のレベル
を
を
〔０〕と仮定したが、背景のレベルが少し暗く例えば
〔−１〕に変化した場合、背景に対する黒点或は汚れの
レベル差が同じ（〔−５〕及び〔−１〕）であるとする
と、その実値は（〔−６〕及び〔−２〕）となる。従っ
て、図５(3) 及び(4) に示すように、２個の検査領域内
の総和の差が〔５〕及び
〔−１〕に変化した場合、背景に対する黒点或は汚れの
レベル差が同じ（〔−５〕及び〔−１〕）であるとする
と、その実値は（〔−６〕及び〔−２〕）となる。従っ
て、図５(3) 及び(4) に示すように、２個の検査領域内
の総和の差が〔５〕及び
〔９〕となって図５(1) 及び
(2) の場合と同様になり、背景のレベルの変化があって
も安定な判定処理のもとに汚れを検出することが出来る
ことを示している。
(2) の場合と同様になり、背景のレベルの変化があって
も安定な判定処理のもとに汚れを検出することが出来る
ことを示している。
【００２０】以上述べたように本実施例によれば、従来
検出が極めて困難であった汚れ等、背景に比較して明暗
コントラストの薄い欠陥を、安定かつ確実に検出出来る
ようになり、この結果、検査実施後の良品の歩留りの悪
化をも防止しうる。
検出が極めて困難であった汚れ等、背景に比較して明暗
コントラストの薄い欠陥を、安定かつ確実に検出出来る
ようになり、この結果、検査実施後の良品の歩留りの悪
化をも防止しうる。
【００２１】尚、前述のごとく検査領域の大きさは検査
目的に応じて自由に設定できるから、例えば大きさの異
なる検査領域を持った処理回路を複数設け、それぞれの
検出結果によって欠陥に対する総合的な判定を行うこと
も出来る。
目的に応じて自由に設定できるから、例えば大きさの異
なる検査領域を持った処理回路を複数設け、それぞれの
検出結果によって欠陥に対する総合的な判定を行うこと
も出来る。
【００２２】また、本実施例によれば、画像処理用とし
て市販されている各種のＬＳＩ専用プロセッサを利用す
る事により、容易かつ簡便に装置を作り得るので、装置
を安価に提供することが出来る。
て市販されている各種のＬＳＩ専用プロセッサを利用す
る事により、容易かつ簡便に装置を作り得るので、装置
を安価に提供することが出来る。
【００２３】更に、本実施例の方法によれば、欠陥に対
する高速な判定検出処理が行えるので、高速でベルトコ
ンベア上を移動する被検査物の全数検査が可能となるこ
とも実用上の効果として挙げられる。
する高速な判定検出処理が行えるので、高速でベルトコ
ンベア上を移動する被検査物の全数検査が可能となるこ
とも実用上の効果として挙げられる。
【００２４】本発明の実施については、前述のごとき画
像処理専用の各種のＬＳＩプロセッサを利用し、コンピ
ュータのソフトウエアを適切にプログラムすることによ
り容易に装置を構成し得ることは明白であろう。
像処理専用の各種のＬＳＩプロセッサを利用し、コンピ
ュータのソフトウエアを適切にプログラムすることによ
り容易に装置を構成し得ることは明白であろう。
【００２５】
【発明の効果】以上述べたように本発明にあっては、画
像信号の格子状に構成されている画素子の配列におい
て、水平方向の複数の画素子と垂直方向の複数の画素子
で構成される検査領域をなす第１の画素子群と、第１の
画素子群に隣接し、該画素子群と同様の複数の画素子で
構成される検査領域をなす第２の画素子群を設定し、こ
れら２つの画素子群をそれぞれ積分する２つの積分回路
を設けて積分値を算出するようになし、ビデオカメラに
よる検査領域の走査毎に上記積分値の差が予め定められ
た閾値を越える場合に欠陥があると判定するようにした
ので、従来検出が極めて困難であった汚れなど背景に比
較して明暗コントラストの小さい欠陥を、良品の歩留り
の悪化を伴うことなく安定かつ確実に検出することがで
きる。特に、検査領域の走査毎に欠陥の判定が行えるこ
とになり、このため欠陥検出の高速な判定処理が可能と
なる。
像信号の格子状に構成されている画素子の配列におい
て、水平方向の複数の画素子と垂直方向の複数の画素子
で構成される検査領域をなす第１の画素子群と、第１の
画素子群に隣接し、該画素子群と同様の複数の画素子で
構成される検査領域をなす第２の画素子群を設定し、こ
れら２つの画素子群をそれぞれ積分する２つの積分回路
を設けて積分値を算出するようになし、ビデオカメラに
よる検査領域の走査毎に上記積分値の差が予め定められ
た閾値を越える場合に欠陥があると判定するようにした
ので、従来検出が極めて困難であった汚れなど背景に比
較して明暗コントラストの小さい欠陥を、良品の歩留り
の悪化を伴うことなく安定かつ確実に検出することがで
きる。特に、検査領域の走査毎に欠陥の判定が行えるこ
とになり、このため欠陥検出の高速な判定処理が可能と
なる。
【図１】本発明に係る欠陥検出方法の一実施例を示すブ
ロック図
ロック図
【図２】同実施例におけるデータ信号の動作を示す説明
図
図
【図３】欠陥を画素子上に重ねて表わした説明図
【図４】欠陥に係る素子列の電位レベルを示すグラフ
【図５】同実施例の欠陥判定処理を示す説明図
１ ビデオカメラ ３ Ａ／Ｄコンバータ ４Ａ，４Ｂ 遅延回路 ５ データ・シフトレジスタ ６Ａ，６Ｂ 積算器 ７ 減算器 ８ 比較器 ９ 閾値設定器 Ｌ，Ｒ 検査領域
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査物を照射して得られた光像をビデ
オカメラで撮像し、該ビデオカメラにて得られた画像信
号に基づいて被検査物の欠陥の検出を行う欠陥検出方法
において、上記画像信号の格子状に構成されている画素
子の配列において、水平方向の複数の画素子と垂直方向
の複数の画素子で構成される検査領域をなす第１の画素
子群と、 上記第１の画素子群に隣接し、該画素子群と同
様の複数の画素子で構成される検査領域をなす第２の画
素子群を設定し、 これら２つの画素子群をそれぞれ積分
する２つの積分回路を設けて積分値を算出するようにな
し、 上記ビデオカメラによる検査領域の走査毎に上記積
分値の差が予め定められた閾値を越える場合に欠陥があ
ると判定するようになしたことを特徴とする欠陥検出方
法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3024123A JPH0739999B2 (ja) | 1991-01-24 | 1991-01-24 | 欠陥検出方法 |
| US07/823,328 US5245424A (en) | 1991-01-24 | 1992-01-21 | Defect detection method |
| GB9201376A GB2252624A (en) | 1991-01-24 | 1992-01-22 | Defect detection by image analysis using two neighbouring inspection zones |
| DE4201935A DE4201935A1 (de) | 1991-01-24 | 1992-01-24 | Fehlerermittlungsverfahren und -vorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3024123A JPH0739999B2 (ja) | 1991-01-24 | 1991-01-24 | 欠陥検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04240557A JPH04240557A (ja) | 1992-08-27 |
| JPH0739999B2 true JPH0739999B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=12129534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3024123A Expired - Lifetime JPH0739999B2 (ja) | 1991-01-24 | 1991-01-24 | 欠陥検出方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5245424A (ja) |
| JP (1) | JPH0739999B2 (ja) |
| DE (1) | DE4201935A1 (ja) |
| GB (1) | GB2252624A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4301546C2 (de) * | 1993-01-21 | 2002-08-08 | Isra Vision Systems Ag | Einrichtung zum Prüfen von Oberflächen von Werkstücken |
| DE4322870C1 (de) * | 1993-07-09 | 1994-09-29 | Tuchenhagen Otto Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Beurteilung des Erfolges von Reinigungsprozeduren an verschmutzten Oberflächen |
| FR2754058B1 (fr) * | 1996-10-02 | 1998-12-18 | Etat Francais Laboratoire Cent | Procede de detection de defauts de surface sur une surface texturee |
| JP2002354431A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-06 | Nec Corp | 映像信号変換装置及び映像信号変換方法 |
| JP6035124B2 (ja) * | 2012-11-28 | 2016-11-30 | 株式会社メック | 欠陥検査装置、及び欠陥検査方法 |
| FR3003952B1 (fr) * | 2013-03-29 | 2016-02-12 | Snecma | Systeme de detection de defauts sur un objet |
| CN105122046B (zh) * | 2013-03-29 | 2018-01-23 | 斯奈克玛 | 用于检测物体上的缺陷方法 |
| FR3003953B1 (fr) * | 2013-03-29 | 2016-02-26 | Snecma | Systeme de detection de defauts par ultrasons sur un element tournant d'un moteur d'aeronef |
| CN105158268A (zh) * | 2015-09-21 | 2015-12-16 | 武汉理工大学 | 精冲零部件缺陷智能在线检测方法、系统及装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3775556A (en) * | 1972-07-31 | 1973-11-27 | K Nagamatsu | Ampoule inspector using a television camera |
| US4319270A (en) * | 1979-01-12 | 1982-03-09 | Kobe Steel, Ltd. | Surface inspection system for hot radiant material |
| JPS5821146A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-07 | Kirin Brewery Co Ltd | 欠陥検査方法および装置 |
| JPS5863838A (ja) * | 1981-10-14 | 1983-04-15 | Fuji Electric Co Ltd | 欠陥検出回路 |
| JPH0641924B2 (ja) * | 1988-05-27 | 1994-06-01 | 株式会社キリンテクノシステム | 壜胴部の欠陥検出装置 |
-
1991
- 1991-01-24 JP JP3024123A patent/JPH0739999B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-01-21 US US07/823,328 patent/US5245424A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-01-22 GB GB9201376A patent/GB2252624A/en not_active Withdrawn
- 1992-01-24 DE DE4201935A patent/DE4201935A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5245424A (en) | 1993-09-14 |
| GB9201376D0 (en) | 1992-03-11 |
| JPH04240557A (ja) | 1992-08-27 |
| GB2252624A (en) | 1992-08-12 |
| DE4201935A1 (de) | 1992-07-30 |
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