JP3202330B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被検査物上の異物、汚
れ、キズ、黒点、ピンホール、フイッシュアイ等の欠陥
を検出して良または不良と判定する欠陥検査装置に関す
る。
れ、キズ、黒点、ピンホール、フイッシュアイ等の欠陥
を検出して良または不良と判定する欠陥検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の欠陥検査装置は、ライン
ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサにより被検査物
からの反射光や透過光を撮像してこの撮像信号を微分処
理し、微分処理により得られる欠陥の幅とそのライン数
に応じた面積で欠陥を良（ＯＫ）または不良（ＮＧ）と
判定するように構成されている。
ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサにより被検査物
からの反射光や透過光を撮像してこの撮像信号を微分処
理し、微分処理により得られる欠陥の幅とそのライン数
に応じた面積で欠陥を良（ＯＫ）または不良（ＮＧ）と
判定するように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の欠陥検査装置では、欠陥の大きさのみでＯＫかＮＧ
かを判定するので、単独ではＯＫと判定されるべき小さ
な欠陥が密集してＮＧと判定すべき場合にＮＧと判断す
ることができず、逆に、この密集した欠陥をＮＧと判断
するために大きさの判定用閾値を小さくすると、ＯＫと
判定されるべき小さな欠陥をＮＧと判断するという問題
点がある。
来の欠陥検査装置では、欠陥の大きさのみでＯＫかＮＧ
かを判定するので、単独ではＯＫと判定されるべき小さ
な欠陥が密集してＮＧと判定すべき場合にＮＧと判断す
ることができず、逆に、この密集した欠陥をＮＧと判断
するために大きさの判定用閾値を小さくすると、ＯＫと
判定されるべき小さな欠陥をＮＧと判断するという問題
点がある。
【０００４】図３は一例として、フィルムや不織布等の
被検査物１８における３種類の欠陥２２〜２４を示し、
この欠陥２２〜２４は、所定サイズ以上の孤立した欠陥
である異物２２と、所定サイズ未満の微小異物が密集し
た欠陥２３と、所定サイズ未満の孤立した微小異物２４
に分類される。この場合、欠陥２４は所定サイズ未満で
あるのでＯＫと判定されるべきであり、大きな異物２２
と密集微小異物２３はＮＧと判定されるべきである。
被検査物１８における３種類の欠陥２２〜２４を示し、
この欠陥２２〜２４は、所定サイズ以上の孤立した欠陥
である異物２２と、所定サイズ未満の微小異物が密集し
た欠陥２３と、所定サイズ未満の孤立した微小異物２４
に分類される。この場合、欠陥２４は所定サイズ未満で
あるのでＯＫと判定されるべきであり、大きな異物２２
と密集微小異物２３はＮＧと判定されるべきである。
【０００５】本発明は上記従来の問題点に鑑み、リアル
タイム処理により、単独では良と判定されるべき大きさ
の欠陥が密集して不良と判定されるべき欠陥を識別する
ことができる欠陥検査装置を提供することを目的とす
る。
タイム処理により、単独では良と判定されるべき大きさ
の欠陥が密集して不良と判定されるべき欠陥を識別する
ことができる欠陥検査装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、欠陥の一次元座標を示す２値化信号を２系
統に分けてランレングス符号化して、このランレングス
符号を連続する複数の走査ラインにわたり各系統で交互
に連結性処理することにより所定サイズ以上の孤立欠陥
を判定するとともに、所定の領域における所定サイズ未
満の微小異物が密集した状態を判定するので、この総面
積と欠陥の個数に基づいて良または不良と判定するよう
にしたものである。すなわち本発明によれば、被検査物
の表面を走査して、走査ラインにおける一次元画像を読
み取りアナログ信号を出力するラインイメージセンサ
と、前記ラインイメージセンサからのアナログ信号のレ
ベルを所定値と比較して２値化することにより前記被検
査物表面の欠陥を検出する２値化手段と、前記２値化手
段により２値化された信号を所定の処理単位で格納する
２系統のランレングスバッファと、前記２系統のランレ
ングスバッファの各系統を切り替えるランレングスバッ
ファ系列切替指定部と、前記２系統のランレングスバッ
ファに格納された前記２値化された信号を、各系統で交
互に処理し、ランレングス符号化する符号化手段と、前
記符号化手段により符号化されたランレングス符号を、
各系統で交互に処理し、連続する複数の走査ラインにわ
たり連結性処理することにより所定サイズ以上の孤立欠
陥を判定するとともに、所定の領域における所定サイズ
未満の微小異物が密集した状態を判定する演算手段と、
この面積と検出された欠陥の個数とから良または不良と
を判定する判定手段とを有する欠陥検査装置が提供され
る。
するために、欠陥の一次元座標を示す２値化信号を２系
統に分けてランレングス符号化して、このランレングス
符号を連続する複数の走査ラインにわたり各系統で交互
に連結性処理することにより所定サイズ以上の孤立欠陥
を判定するとともに、所定の領域における所定サイズ未
満の微小異物が密集した状態を判定するので、この総面
積と欠陥の個数に基づいて良または不良と判定するよう
にしたものである。すなわち本発明によれば、被検査物
の表面を走査して、走査ラインにおける一次元画像を読
み取りアナログ信号を出力するラインイメージセンサ
と、前記ラインイメージセンサからのアナログ信号のレ
ベルを所定値と比較して２値化することにより前記被検
査物表面の欠陥を検出する２値化手段と、前記２値化手
段により２値化された信号を所定の処理単位で格納する
２系統のランレングスバッファと、前記２系統のランレ
ングスバッファの各系統を切り替えるランレングスバッ
ファ系列切替指定部と、前記２系統のランレングスバッ
ファに格納された前記２値化された信号を、各系統で交
互に処理し、ランレングス符号化する符号化手段と、前
記符号化手段により符号化されたランレングス符号を、
各系統で交互に処理し、連続する複数の走査ラインにわ
たり連結性処理することにより所定サイズ以上の孤立欠
陥を判定するとともに、所定の領域における所定サイズ
未満の微小異物が密集した状態を判定する演算手段と、
この面積と検出された欠陥の個数とから良または不良と
を判定する判定手段とを有する欠陥検査装置が提供され
る。
【０００７】
【作用】本発明では上記構成を有するので、１つの走査
ラインにおける複数の欠陥の各幅が２系統に分かれてラ
ンレングス符号で表され、このランレングス符号を連続
する複数の走査ラインにわたって各系統で交互に連結性
処理することにより、所定サイズ以上の孤立欠陥を判定
するとともに、所定の領域における所定サイズ未満の微
小異物が密集した状態を判定するので、この面積と数に
基づいて良または不良と判定され、したがって、リアル
タイム処理により単独では良と判定されるべき大きさの
欠陥が密集して不良と判定されるべき欠陥を識別して不
良と判断することができる。
ラインにおける複数の欠陥の各幅が２系統に分かれてラ
ンレングス符号で表され、このランレングス符号を連続
する複数の走査ラインにわたって各系統で交互に連結性
処理することにより、所定サイズ以上の孤立欠陥を判定
するとともに、所定の領域における所定サイズ未満の微
小異物が密集した状態を判定するので、この面積と数に
基づいて良または不良と判定され、したがって、リアル
タイム処理により単独では良と判定されるべき大きさの
欠陥が密集して不良と判定されるべき欠陥を識別して不
良と判断することができる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１は、本発明に係る欠陥検査装置の一実施例を
示すブロック図、図２は、図１の欠陥検査装置が適用さ
れた不織布欠陥検査装置の全体構成を示す説明図、図３
は、欠陥の一例を示す説明図、図４は、ランレングス符
号化処理を示す説明図、図５は、欠陥のパターンを分類
して示す説明図、図６は、ランレングス符号をライン間
で連結性処理する場合のアルゴリズムを説明するための
ＮＳチャートである。
する。図１は、本発明に係る欠陥検査装置の一実施例を
示すブロック図、図２は、図１の欠陥検査装置が適用さ
れた不織布欠陥検査装置の全体構成を示す説明図、図３
は、欠陥の一例を示す説明図、図４は、ランレングス符
号化処理を示す説明図、図５は、欠陥のパターンを分類
して示す説明図、図６は、ランレングス符号をライン間
で連結性処理する場合のアルゴリズムを説明するための
ＮＳチャートである。
【０００９】図１において、ラインＣＣＤカメラ１によ
り撮像された被検査物の画像は、画像処理装置２により
処理されて被検査物の欠陥が検査される。ラインＣＣＤ
カメラ１は例えば８１９２画素以下の素子を有し、ま
た、画像処理装置２は例えば三菱レイヨン株式会社製Ｌ
ＳＣ−１００型のものが用いられる。ラインＣＣＤカメ
ラ１により撮像された信号は、Ａ／Ｄコンバータ３によ
り例えば８ビットのディジタルデータに変換され、この
ディジタルデータは、メモリ６（閾値メモリ１１）の画
素毎の閾値に基づいてコンパレータ４により２値化され
て欠陥の幅が検出され、この２値化データがランレング
ス符号化回路５によりランレングス符号化される。
り撮像された被検査物の画像は、画像処理装置２により
処理されて被検査物の欠陥が検査される。ラインＣＣＤ
カメラ１は例えば８１９２画素以下の素子を有し、ま
た、画像処理装置２は例えば三菱レイヨン株式会社製Ｌ
ＳＣ−１００型のものが用いられる。ラインＣＣＤカメ
ラ１により撮像された信号は、Ａ／Ｄコンバータ３によ
り例えば８ビットのディジタルデータに変換され、この
ディジタルデータは、メモリ６（閾値メモリ１１）の画
素毎の閾値に基づいてコンパレータ４により２値化され
て欠陥の幅が検出され、この２値化データがランレング
ス符号化回路５によりランレングス符号化される。
【００１０】メモリ６は論理指定部７と、ライン数指定
部８と、ランレングスバッファ９と、ランレングスバッ
ファ系列切替指定部１０と、閾値メモリ１１と基準値メ
モリ１２を有し、ＣＰＵ（中央処理装置）１５の主メモ
リが用いられる。論理指定部７には予め、検出される欠
陥が白（＝「０」）か黒（＝「１」）かに応じてセット
され、ライン数指定部８には予め、ランレングス符号化
回路５の処理単位のライン数がセットされる。ランレン
グスバッファ９は、例えば１２８ＫＢの容量のものが２
系統用いられ、ランレングス符号化回路５が符号化し、
ＣＰＵ１５が連結性処理するために各系統が交互に用い
られる。ランレングスバッファ系列切替指定部１０に
は、ランレングス符号化回路５が用いるランレングスバ
ッファ９の系統がセットされる。
部８と、ランレングスバッファ９と、ランレングスバッ
ファ系列切替指定部１０と、閾値メモリ１１と基準値メ
モリ１２を有し、ＣＰＵ（中央処理装置）１５の主メモ
リが用いられる。論理指定部７には予め、検出される欠
陥が白（＝「０」）か黒（＝「１」）かに応じてセット
され、ライン数指定部８には予め、ランレングス符号化
回路５の処理単位のライン数がセットされる。ランレン
グスバッファ９は、例えば１２８ＫＢの容量のものが２
系統用いられ、ランレングス符号化回路５が符号化し、
ＣＰＵ１５が連結性処理するために各系統が交互に用い
られる。ランレングスバッファ系列切替指定部１０に
は、ランレングス符号化回路５が用いるランレングスバ
ッファ９の系統がセットされる。
【００１１】閾値メモリ１１には予め、ラインＣＣＤカ
メラ１の素子間の感度ばらつきや、主走査方向の照明ム
ラやレンズの歪みを補正するためにラインＣＣＤカメラ
１の素子毎の２値化用閾値が設定される。基準値メモリ
１２は、透過率または反射率が均一な被検査物を予め読
み取った際の各画素のレベルデータを記憶し、この各画
素のレベルデータと透過率または反射率の積が閾値とし
て閾値メモリ１１に格納される。したがって、コンパレ
ータ４は、ラインＣＣＤカメラ１の素子間の感度ばらつ
きや、照明ムラやレンズの歪みを補正して各画素を２値
化することができる。
メラ１の素子間の感度ばらつきや、主走査方向の照明ム
ラやレンズの歪みを補正するためにラインＣＣＤカメラ
１の素子毎の２値化用閾値が設定される。基準値メモリ
１２は、透過率または反射率が均一な被検査物を予め読
み取った際の各画素のレベルデータを記憶し、この各画
素のレベルデータと透過率または反射率の積が閾値とし
て閾値メモリ１１に格納される。したがって、コンパレ
ータ４は、ラインＣＣＤカメラ１の素子間の感度ばらつ
きや、照明ムラやレンズの歪みを補正して各画素を２値
化することができる。
【００１２】この画像処理装置２はまた、後述するよう
な連結性処理と欠陥の良否の判定を行うための検査プロ
グラムを実行するＣＰＵ１５と、この検査プログラム等
が予め格納されたＲＯＭ（リードオンリメモリ）１４
と、ＣＰＵ１５の作業エリア等を有するＲＡＭ（ランダ
ムアクセスメモリ）１３と、ホストコンピュータ１７と
の間で検査条件や検査結果等のデータを転送するための
ＧＰＩＢインタフェース１６を有する。ホストコンピュ
ータ１７では、この欠陥検査装置の検査条件が設定され
たり、検査結果が表示等される。
な連結性処理と欠陥の良否の判定を行うための検査プロ
グラムを実行するＣＰＵ１５と、この検査プログラム等
が予め格納されたＲＯＭ（リードオンリメモリ）１４
と、ＣＰＵ１５の作業エリア等を有するＲＡＭ（ランダ
ムアクセスメモリ）１３と、ホストコンピュータ１７と
の間で検査条件や検査結果等のデータを転送するための
ＧＰＩＢインタフェース１６を有する。ホストコンピュ
ータ１７では、この欠陥検査装置の検査条件が設定され
たり、検査結果が表示等される。
【００１３】つぎに、図２を参照して不織布欠陥検査装
置の全体構成を説明すると、まず帯状の被検査物１８は
副走査方向（矢印方向）に移動し、また、光ファイバ等
の照明１９により照明されてその幅方向の反射光がライ
ンＣＣＤカメラ１により読み取られる。なお、この読み
取り位置には被検査物１８の厚さ斑による反射率変化を
防止するために、反射率が被検査物１８とほぼ同程度の
白バック部材２０が配置され、この白バック部材２０は
例えばテフロンシートが用いられる。ホストコンピュー
タ１７は画像処理装置２からＮＧ信号を受信すると、ラ
ベラ２１を駆動することによりＮＧのラベルを被検査物
１８の欠陥エリア近傍に貼付する。
置の全体構成を説明すると、まず帯状の被検査物１８は
副走査方向（矢印方向）に移動し、また、光ファイバ等
の照明１９により照明されてその幅方向の反射光がライ
ンＣＣＤカメラ１により読み取られる。なお、この読み
取り位置には被検査物１８の厚さ斑による反射率変化を
防止するために、反射率が被検査物１８とほぼ同程度の
白バック部材２０が配置され、この白バック部材２０は
例えばテフロンシートが用いられる。ホストコンピュー
タ１７は画像処理装置２からＮＧ信号を受信すると、ラ
ベラ２１を駆動することによりＮＧのラベルを被検査物
１８の欠陥エリア近傍に貼付する。
【００１４】この被検査物１８は図３に示すように、所
定サイズ以上の孤立した欠陥である異物２２と、所定サ
イズ未満の微小異物が密集した欠陥２３と、所定サイズ
未満の孤立した微小異物２４を有する可能性があり、こ
の場合、欠陥２４は所定サイズ未満であるのでＯＫ（良
品）と判定されるべきであり、異物２２と密集微小異物
２３はＮＧと判定されるべきである。
定サイズ以上の孤立した欠陥である異物２２と、所定サ
イズ未満の微小異物が密集した欠陥２３と、所定サイズ
未満の孤立した微小異物２４を有する可能性があり、こ
の場合、欠陥２４は所定サイズ未満であるのでＯＫ（良
品）と判定されるべきであり、異物２２と密集微小異物
２３はＮＧと判定されるべきである。
【００１５】つぎに、図４を参照して検査処理を説明す
る。図４（ａ）に示すように異物２２〜２４を有する被
検査物１８の表面をラインＣＣＤカメラ１が幅方向に走
査して一次元画像を読み取った場合、その読み取りによ
り得られるアナログ信号のレベルは図４（ｂ）に示すよ
うに、異物の位置においては異物の幅と反射レベルに応
じて低くなる。なお、ラインＣＣＤカメラ１の出力信号
レベルが画素毎に異なる理由は、ラインＣＣＤカメラ１
の素子間の感度ばらつきや、照明ムラやレンズの歪みに
基づくものであり、これはコンパレータ４が閾値メモリ
１１の各画素毎の閾値により２値化することにより補正
される。
る。図４（ａ）に示すように異物２２〜２４を有する被
検査物１８の表面をラインＣＣＤカメラ１が幅方向に走
査して一次元画像を読み取った場合、その読み取りによ
り得られるアナログ信号のレベルは図４（ｂ）に示すよ
うに、異物の位置においては異物の幅と反射レベルに応
じて低くなる。なお、ラインＣＣＤカメラ１の出力信号
レベルが画素毎に異なる理由は、ラインＣＣＤカメラ１
の素子間の感度ばらつきや、照明ムラやレンズの歪みに
基づくものであり、これはコンパレータ４が閾値メモリ
１１の各画素毎の閾値により２値化することにより補正
される。
【００１６】そして、コンパレータ４により２値化され
たデータは、異物の幅に応じたパルス幅となり、この幅
がランレングス符号化回路５により符号化され、ＣＰＵ
１５により連結性処理が行われて複数の欠陥の合計面積
が算出される。なお連結性処理とは複数の連続する走査
ラインにおけるデータをライン間で比較しつつ処理する
ことを言う。ここで、図４に示す記号ｓ（＝スタート）
を欠陥の始点座標とし、記号ｅ（＝エンド）を終点座標
とすると、欠陥データは次のようなランレングス符号で
表される。なお以下において走査ラインを行ということ
もある。 ａis：ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の始点座標 ａie：ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の終点座標 ｂjs：ｎ行目のｊ番目の欠陥の始点座標 ｂje：ｎ行目のｊ番目の欠陥の終点座標
たデータは、異物の幅に応じたパルス幅となり、この幅
がランレングス符号化回路５により符号化され、ＣＰＵ
１５により連結性処理が行われて複数の欠陥の合計面積
が算出される。なお連結性処理とは複数の連続する走査
ラインにおけるデータをライン間で比較しつつ処理する
ことを言う。ここで、図４に示す記号ｓ（＝スタート）
を欠陥の始点座標とし、記号ｅ（＝エンド）を終点座標
とすると、欠陥データは次のようなランレングス符号で
表される。なお以下において走査ラインを行ということ
もある。 ａis：ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の始点座標 ａie：ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の終点座標 ｂjs：ｎ行目のｊ番目の欠陥の始点座標 ｂje：ｎ行目のｊ番目の欠陥の終点座標
【００１７】図５は一例として２行分の欠陥データを示
し、この欠陥は４種類のパターンに分類される。すなわ
ち、連続パターンでは、１つの欠陥が行間で矢印で示す
副走査方向に連続しており、収束パターンでは、前の行
の複数（図では２個）の欠陥が次の行において１つの欠
陥に収束しており、分散パターンでは、前の行の１つの
欠陥が次の行において複数（図では２個）の欠陥に分散
しており、消滅パターンでは前の行の１つの欠陥が次の
行において消滅している。図６はこの各パターンを決定
するアルゴリズムを示すものである。図中三角形で示さ
れる部分は判断ステップであり、ｙ，ｎはイエス、ノー
を表している。従って例えばａiとｂjを比較して、前者
の方が小さければ消滅と、両者が等しければ連続と判断
される。そして、後述するように、各パターン毎の面
積、すなわち所定の領域における複数の欠陥の面積を算
出するために、上記ランレングス符号に対して次のよう
な欠陥の幅データが中間的に用いられる。 ａia＝ａie−ａis（ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の幅） ｂja＝ｂje−ｂjs（ｎ行目のｊ番目の欠陥の幅）
し、この欠陥は４種類のパターンに分類される。すなわ
ち、連続パターンでは、１つの欠陥が行間で矢印で示す
副走査方向に連続しており、収束パターンでは、前の行
の複数（図では２個）の欠陥が次の行において１つの欠
陥に収束しており、分散パターンでは、前の行の１つの
欠陥が次の行において複数（図では２個）の欠陥に分散
しており、消滅パターンでは前の行の１つの欠陥が次の
行において消滅している。図６はこの各パターンを決定
するアルゴリズムを示すものである。図中三角形で示さ
れる部分は判断ステップであり、ｙ，ｎはイエス、ノー
を表している。従って例えばａiとｂjを比較して、前者
の方が小さければ消滅と、両者が等しければ連続と判断
される。そして、後述するように、各パターン毎の面
積、すなわち所定の領域における複数の欠陥の面積を算
出するために、上記ランレングス符号に対して次のよう
な欠陥の幅データが中間的に用いられる。 ａia＝ａie−ａis（ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の幅） ｂja＝ｂje−ｂjs（ｎ行目のｊ番目の欠陥の幅）
【００１８】つぎに、図５に示す連続、収束、分散、消
滅のパターンに応じて所定の領域において次のような処
理を行う。 連続、収束の場合：ｂja＝ｂja＋ａia 分散の場合 ：ｂja＝ｂja＋ｂj-1a 消滅の場合 ：その欠陥の測定を終了 すなわち、連続、収束パターンではｎ行目の欠陥が１つ
であるので、その欠陥の幅ｂjaに対してｎ−１行目の欠
陥の幅ａiaを加算することにより面積を求め、分散パタ
ーンではｎ行目の欠陥が複数であるので、その欠陥の幅
ｂjaに対してｎ行目の直前の欠陥の幅ｂj-1aを加算する
ことにより面積を求める。そして、１行分のＣＣＤカメ
ラ１の各画素についてこの処理を繰り返し、この１行分
の処理が完了するとｎ行目のｊ番目のランレングス符号
ｂjをｎ−１行目のｉ番目のランレングス符号ａiに移動
してセットすることにより、行毎に繰り返す。
滅のパターンに応じて所定の領域において次のような処
理を行う。 連続、収束の場合：ｂja＝ｂja＋ａia 分散の場合 ：ｂja＝ｂja＋ｂj-1a 消滅の場合 ：その欠陥の測定を終了 すなわち、連続、収束パターンではｎ行目の欠陥が１つ
であるので、その欠陥の幅ｂjaに対してｎ−１行目の欠
陥の幅ａiaを加算することにより面積を求め、分散パタ
ーンではｎ行目の欠陥が複数であるので、その欠陥の幅
ｂjaに対してｎ行目の直前の欠陥の幅ｂj-1aを加算する
ことにより面積を求める。そして、１行分のＣＣＤカメ
ラ１の各画素についてこの処理を繰り返し、この１行分
の処理が完了するとｎ行目のｊ番目のランレングス符号
ｂjをｎ−１行目のｉ番目のランレングス符号ａiに移動
してセットすることにより、行毎に繰り返す。
【００１９】そして、ＣＰＵ１５は、所定のライン数の
領域においてこの連結性処理に基づいた複数の欠陥の面
積と個数を各判定用閾値と比較してＯＫかＮＧかを判定
し、判定結果をホストコンピュータ１７に伝送する。す
なわち、この例では上記演算によって得られる面積とし
て表される欠陥の面積が、所定値以上であれば、かかる
欠陥が１つであってもＮＧとし、面積がこの所定値より
小さい場合であっても、そのような欠陥が所定個数以上
ならＮＧとする。このようにＣＰＵ１５は図６に示され
るアルゴリズムを含む所定のプログラムに従って動作
し、演算手段及び判定手段として機能する。
領域においてこの連結性処理に基づいた複数の欠陥の面
積と個数を各判定用閾値と比較してＯＫかＮＧかを判定
し、判定結果をホストコンピュータ１７に伝送する。す
なわち、この例では上記演算によって得られる面積とし
て表される欠陥の面積が、所定値以上であれば、かかる
欠陥が１つであってもＮＧとし、面積がこの所定値より
小さい場合であっても、そのような欠陥が所定個数以上
ならＮＧとする。このようにＣＰＵ１５は図６に示され
るアルゴリズムを含む所定のプログラムに従って動作
し、演算手段及び判定手段として機能する。
【００２０】したがって、上記実施例によれば、欠陥の
面積と個数に基づいて真の欠陥か否かを判定するので、
図３に示す所定サイズ以上の孤立した欠陥２２はもちろ
ん、所定サイズ未満の微小異物が密集した欠陥２３をＮ
Ｇと判定することができ、また、所定サイズ未満の孤立
した微小異物２４をＯＫと判定することができる。
面積と個数に基づいて真の欠陥か否かを判定するので、
図３に示す所定サイズ以上の孤立した欠陥２２はもちろ
ん、所定サイズ未満の微小異物が密集した欠陥２３をＮ
Ｇと判定することができ、また、所定サイズ未満の孤立
した微小異物２４をＯＫと判定することができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の欠陥の各幅が２系統に分かれてランレングス符号
化され、これを各系統で交互に連結性処理することによ
り所定サイズ以上の孤立欠陥を判定するとともに、所定
の領域における所定サイズ未満の微小異物が密集した状
態を判定するので、この面積と欠陥の個数に基づいて良
または不良と判定されるので、リアルタイム処理により
単独では良と判定されるべき大きさの欠陥が密集して不
良と判定されるべき欠陥を識別して不良と判断すること
ができる。
複数の欠陥の各幅が２系統に分かれてランレングス符号
化され、これを各系統で交互に連結性処理することによ
り所定サイズ以上の孤立欠陥を判定するとともに、所定
の領域における所定サイズ未満の微小異物が密集した状
態を判定するので、この面積と欠陥の個数に基づいて良
または不良と判定されるので、リアルタイム処理により
単独では良と判定されるべき大きさの欠陥が密集して不
良と判定されるべき欠陥を識別して不良と判断すること
ができる。
【図１】本発明に係る欠陥検査装置の一実施例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】図１の欠陥検査装置が適用された不織布欠陥検
査装置の全体構成を示す説明図である。
査装置の全体構成を示す説明図である。
【図３】欠陥の一例を示す説明図である。
【図４】ランレングス符号化処理を示す説明図である。
【図５】ライン間の欠陥のパターンを示す説明図であ
る。
る。
【図６】ランレングス符号をライン間で連結性処理する
場合のアルゴリズムを説明するためのＮＳチャートであ
る。
場合のアルゴリズムを説明するためのＮＳチャートであ
る。
１ ラインＣＣＤカメラ ４ コンパレータ（２値化手段） ５ ランレングス符号化回路 ６ メモリ １５ ＣＰＵ（演算手段，判定手段） １８ 被検査物 ２２〜２４ 欠陥
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−245045（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−84147（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−103487（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−67159（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 G06T 1/00 - 9/40
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査物の表面を走査して、走査ライン
における一次元画像を読み取りアナログ信号を出力する
ラインイメージセンサと、 前記ラインイメージセンサからのアナログ信号のレベル
を所定値と比較して２値化することにより前記被検査物
表面の欠陥を検出する２値化手段と、 前記２値化手段により２値化された信号を所定の処理単
位で格納する２系統のランレングスバッファと、 前記２系統のランレングスバッファの各系統を切り替え
るランレングスバッファ系列切替指定部と、 前記２系統のランレングスバッファに格納された前記２
値化された信号を、各系統で交互に処理し、ランレング
ス符号化する符号化手段と、 前記符号化手段により符号化されたランレングス符号
を、各系統で交互に処理し、連続する複数の走査ライン
にわたり連結性処理することにより所定サイズ以上の孤
立欠陥を判定するとともに、所定の領域における所定サ
イズ未満の微小異物が密集した状態を判定する演算手段
と、 この面積と検出された欠陥の個数とから良または不良と
を判定する判定手段とを有する欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15852592A JP3202330B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15852592A JP3202330B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | 欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05332950A JPH05332950A (ja) | 1993-12-17 |
| JP3202330B2 true JP3202330B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=15673644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15852592A Expired - Lifetime JP3202330B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3202330B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4989453B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2012-08-01 | パナソニック株式会社 | 光透過性フィルムの欠陥検出装置 |
| JP5074998B2 (ja) * | 2008-04-24 | 2012-11-14 | パナソニック株式会社 | 透明フィルムの外観検査方法およびその装置 |
| JP6035375B1 (ja) * | 2015-06-02 | 2016-11-30 | 株式会社メック | 欠陥検査装置、及び欠陥検査方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60103487A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-07 | Ckd Corp | 形状認識装置 |
| JPS61245045A (ja) * | 1985-04-23 | 1986-10-31 | Nisshin Steel Co Ltd | 金属帯の表面欠陥自動検査方法 |
| JPS6484147A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-29 | Nippon Steel Corp | Internal quality inspecting method for metal piece |
| JP2881312B2 (ja) * | 1989-08-04 | 1999-04-12 | 三菱レイヨン株式会社 | 欠陥検査装置 |
-
1992
- 1992-05-26 JP JP15852592A patent/JP3202330B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05332950A (ja) | 1993-12-17 |
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