JP3234636B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被検査物上の異物、汚
れ、キズ、黒点、ピンホール、フィッシュアイ等の欠陥
を検出して良または不良と判定する欠陥検査装置に関す
る。
れ、キズ、黒点、ピンホール、フィッシュアイ等の欠陥
を検出して良または不良と判定する欠陥検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、フィルムや不織布等の被検査物
上の欠陥を検査する場合、ラインイメージセンサにより
被検査物の表面を走査して走査ラインにおける一次元画
像を読み取り、この読み取り信号のレベルを所定値と比
較して２値化することが行われる。しかしながら、図５
（ａ）に示すように１つの欠陥の一部がくびれて細くな
っていたり、読み取り濃度が薄かったり、欠陥が斜め方
向の場合には、この原画像を「１」と「０」で２値化す
ると図５（ｂ）に示すように、くびれて細い欠陥部分等
が「０」と２値化されるので実際には１つの欠陥が読み
取り後は２つの欠陥として検出され、正確に検査するこ
とができなくなる。
上の欠陥を検査する場合、ラインイメージセンサにより
被検査物の表面を走査して走査ラインにおける一次元画
像を読み取り、この読み取り信号のレベルを所定値と比
較して２値化することが行われる。しかしながら、図５
（ａ）に示すように１つの欠陥の一部がくびれて細くな
っていたり、読み取り濃度が薄かったり、欠陥が斜め方
向の場合には、この原画像を「１」と「０」で２値化す
ると図５（ｂ）に示すように、くびれて細い欠陥部分等
が「０」と２値化されるので実際には１つの欠陥が読み
取り後は２つの欠陥として検出され、正確に検査するこ
とができなくなる。
【０００３】従来、この種の欠陥検査装置では、１つの
欠陥の一部がくびれて細くなっていたり、読み取り濃度
が薄かったり、欠陥が斜め方向の場合にも正確に検査す
ることができるように、画像データをメモリに記憶して
画素を膨張または圧縮して判定するように構成されてい
る。
欠陥の一部がくびれて細くなっていたり、読み取り濃度
が薄かったり、欠陥が斜め方向の場合にも正確に検査す
ることができるように、画像データをメモリに記憶して
画素を膨張または圧縮して判定するように構成されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の欠陥検査装置では、画素を膨張または圧縮する場合
に、メモリに記憶された画像データを複数回参照しなけ
ればならず、例えば長手状の被検査物が副走査方向に搬
送されてリアルタイムで処理しなければならない場合に
対処することができないという問題点がある。
来の欠陥検査装置では、画素を膨張または圧縮する場合
に、メモリに記憶された画像データを複数回参照しなけ
ればならず、例えば長手状の被検査物が副走査方向に搬
送されてリアルタイムで処理しなければならない場合に
対処することができないという問題点がある。
【０００５】本発明は上記従来の問題点に鑑み、被検査
物表面の１つの欠陥の一部がくびれて細くなっていた
り、読み取り濃度が薄かったり、欠陥が斜め方向の場合
に、リアルタイムで１つの欠陥と判定することができる
欠陥検査装置を提供することを目的とする。
物表面の１つの欠陥の一部がくびれて細くなっていた
り、読み取り濃度が薄かったり、欠陥が斜め方向の場合
に、リアルタイムで１つの欠陥と判定することができる
欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、連結性処理がリアルタイム性を有すること
に鑑みて、欠陥の２値化信号を２系統で交互にランレン
グス符号化してランレングス符号をこの２系統で交互に
処理して前記欠陥を膨張し、かつ連結性処理することに
より欠陥の状態を分類し、この分類された欠陥データに
基づいて被検査物の欠陥が１つか否かを判断するように
したものである。すなわち本発明によれば、被検査物の
表面を走査して、走査ラインにおける一次元画像を読み
取り、信号を出力するラインイメージセンサと、前記ラ
インイメージセンサからの信号のレベルを所定値と比較
して２値化することにより前記被検査物表面の欠陥を検
出する２値化手段と、前記２値化手段により２値化され
た信号を２系統で交互にランレングス符号化する符号化
手段と、前記符号化手段により符号化されたランレング
ス符号を、前記２系統で交互に処理し、連続する複数の
走査ラインにわたり、前記欠陥に対し主走査方向と副走
査方向の膨張処理をして連結性処理することにより欠陥
の状態を分類する分類手段とを有する欠陥検査装置が提
供される。また、本発明によれば、前記分類手段により
分類された欠陥データに基づいて被検査物の欠陥が１つ
か否かを判定する判定手段を更に有する前記欠陥検査装
置が提供される。
するために、連結性処理がリアルタイム性を有すること
に鑑みて、欠陥の２値化信号を２系統で交互にランレン
グス符号化してランレングス符号をこの２系統で交互に
処理して前記欠陥を膨張し、かつ連結性処理することに
より欠陥の状態を分類し、この分類された欠陥データに
基づいて被検査物の欠陥が１つか否かを判断するように
したものである。すなわち本発明によれば、被検査物の
表面を走査して、走査ラインにおける一次元画像を読み
取り、信号を出力するラインイメージセンサと、前記ラ
インイメージセンサからの信号のレベルを所定値と比較
して２値化することにより前記被検査物表面の欠陥を検
出する２値化手段と、前記２値化手段により２値化され
た信号を２系統で交互にランレングス符号化する符号化
手段と、前記符号化手段により符号化されたランレング
ス符号を、前記２系統で交互に処理し、連続する複数の
走査ラインにわたり、前記欠陥に対し主走査方向と副走
査方向の膨張処理をして連結性処理することにより欠陥
の状態を分類する分類手段とを有する欠陥検査装置が提
供される。また、本発明によれば、前記分類手段により
分類された欠陥データに基づいて被検査物の欠陥が１つ
か否かを判定する判定手段を更に有する前記欠陥検査装
置が提供される。
【０００７】
【作用】本発明では上記構成を有するので、欠陥の２値
化信号が２系統でランレングス符号化されて、このラン
レングス符号を２系統で交互に処理し、欠陥の膨張処理
を行ってリアルタイム性を有する連結性処理で欠陥の状
態が分類され、この分類により被検査物の欠陥が１つか
否かが判定される。したがって、１つの欠陥の一部がく
びれて細くなっていたり、読み取り濃度が薄かったり、
欠陥が斜め方向の場合に、リアルタイムで１つの欠陥と
判定することができる。
化信号が２系統でランレングス符号化されて、このラン
レングス符号を２系統で交互に処理し、欠陥の膨張処理
を行ってリアルタイム性を有する連結性処理で欠陥の状
態が分類され、この分類により被検査物の欠陥が１つか
否かが判定される。したがって、１つの欠陥の一部がく
びれて細くなっていたり、読み取り濃度が薄かったり、
欠陥が斜め方向の場合に、リアルタイムで１つの欠陥と
判定することができる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１は、本発明に係る欠陥検査装置の一実施例を
示すブロック図、図２は、欠陥のパターンを分類して示
す説明図、図３は、ランレングス符号をライン間で連結
性処理する場合のアルゴリズムを説明するためのフロー
チャート、図４は、欠陥の判定処理を示す説明図であ
る。
する。図１は、本発明に係る欠陥検査装置の一実施例を
示すブロック図、図２は、欠陥のパターンを分類して示
す説明図、図３は、ランレングス符号をライン間で連結
性処理する場合のアルゴリズムを説明するためのフロー
チャート、図４は、欠陥の判定処理を示す説明図であ
る。
【０００９】図１において、ラインＣＣＤカメラ１によ
り撮像された被検査物の画像は、画像処理装置２により
処理されて被検査物の欠陥が検査される。ラインＣＣＤ
カメラ１は例えば８１９２画素以下の素子を有し、ま
た、画像処理装置２は例えば三菱レイヨン株式会社製Ｌ
ＳＣ−１００型のものが用いられる。ラインＣＣＤカメ
ラ１により撮像された信号は、Ａ／Ｄコンバータ３によ
り例えば８ビットのディジタルデータに変換され、この
ディジタルデータは、メモリ６（閾値メモリ１１）の画
素毎の閾値に基づいてコンパレータ４により２値化され
て欠陥の幅が検出され、この２値化データがランレング
ス符号化回路５によりランレングス符号化される。
り撮像された被検査物の画像は、画像処理装置２により
処理されて被検査物の欠陥が検査される。ラインＣＣＤ
カメラ１は例えば８１９２画素以下の素子を有し、ま
た、画像処理装置２は例えば三菱レイヨン株式会社製Ｌ
ＳＣ−１００型のものが用いられる。ラインＣＣＤカメ
ラ１により撮像された信号は、Ａ／Ｄコンバータ３によ
り例えば８ビットのディジタルデータに変換され、この
ディジタルデータは、メモリ６（閾値メモリ１１）の画
素毎の閾値に基づいてコンパレータ４により２値化され
て欠陥の幅が検出され、この２値化データがランレング
ス符号化回路５によりランレングス符号化される。
【００１０】メモリ６は論理指定部７と、ライン数指定
部８と、ランレングスバッファ９と、ランレングスバッ
ファ系列切替指定部１０と、閾値メモリ１１と基準値メ
モリ１２を有し、ＣＰＵ（中央処理装置）１５の主メモ
リが用いられる。論理指定部７には予め、検出される欠
陥が白（＝「０」）か黒（＝「１」）かに応じてセット
され、ライン数指定部８には予め、ランレングス符号化
回路５の処理単位のライン数がセットされる。ランレン
グスバッファ９は、例えば１２８ｋＢの容量のものが２
系統用いられ、ランレングス符号化回路５が符号化し、
ＣＰＵ１５が連結性処理するために各系統が交互に用い
られる。ランレングスバッファ系列切替指定部１０に
は、ランレングス符号化回路５が用いるランレングスバ
ッファ９の系統がセットされる。
部８と、ランレングスバッファ９と、ランレングスバッ
ファ系列切替指定部１０と、閾値メモリ１１と基準値メ
モリ１２を有し、ＣＰＵ（中央処理装置）１５の主メモ
リが用いられる。論理指定部７には予め、検出される欠
陥が白（＝「０」）か黒（＝「１」）かに応じてセット
され、ライン数指定部８には予め、ランレングス符号化
回路５の処理単位のライン数がセットされる。ランレン
グスバッファ９は、例えば１２８ｋＢの容量のものが２
系統用いられ、ランレングス符号化回路５が符号化し、
ＣＰＵ１５が連結性処理するために各系統が交互に用い
られる。ランレングスバッファ系列切替指定部１０に
は、ランレングス符号化回路５が用いるランレングスバ
ッファ９の系統がセットされる。
【００１１】閾値メモリ１１には予め、ラインＣＣＤカ
メラ１の素子間の感度ばらつきや、主走査方向の照明ム
ラやレンズの歪みを補正するためにラインＣＣＤカメラ
１の素子毎の２値化用閾値が設定される。基準値メモリ
１２は、透過率または反射率が均一な被検査物を予め読
み取った際の各画素のレベルデータを記憶し、この各画
素のレベルデータと透過率または反射率の積が閾値とし
て閾値メモリ１１に格納される。したがって、コンパレ
ータ４は、ラインＣＣＤカメラ１の素子間の感度ばらつ
きや、照明ムラやレンズの歪みを補正して各画素を２値
化することができる。
メラ１の素子間の感度ばらつきや、主走査方向の照明ム
ラやレンズの歪みを補正するためにラインＣＣＤカメラ
１の素子毎の２値化用閾値が設定される。基準値メモリ
１２は、透過率または反射率が均一な被検査物を予め読
み取った際の各画素のレベルデータを記憶し、この各画
素のレベルデータと透過率または反射率の積が閾値とし
て閾値メモリ１１に格納される。したがって、コンパレ
ータ４は、ラインＣＣＤカメラ１の素子間の感度ばらつ
きや、照明ムラやレンズの歪みを補正して各画素を２値
化することができる。
【００１２】この画像処理装置２はまた、後述するよう
な連結性処理と欠陥の個数の判定を行うための検査プロ
グラムを実行するＣＰＵ１５と、この検査プログラム等
が予め格納されたＲＯＭ（リードオンリメモリ）１４
と、ＣＰＵ１５の作業エリア等を有するＲＡＭ（ランダ
ムアクセスメモリ）１３と、ホストコンピュータ１７と
の間で検査条件や検査結果等のデータを転送するための
ＧＰＩＢインタフェース１６を有する。ホストコンピュ
ータ１７では、この欠陥検査装置の検査条件が設定され
たり、検査結果が表示等される。
な連結性処理と欠陥の個数の判定を行うための検査プロ
グラムを実行するＣＰＵ１５と、この検査プログラム等
が予め格納されたＲＯＭ（リードオンリメモリ）１４
と、ＣＰＵ１５の作業エリア等を有するＲＡＭ（ランダ
ムアクセスメモリ）１３と、ホストコンピュータ１７と
の間で検査条件や検査結果等のデータを転送するための
ＧＰＩＢインタフェース１６を有する。ホストコンピュ
ータ１７では、この欠陥検査装置の検査条件が設定され
たり、検査結果が表示等される。
【００１３】つぎに、検査処理を説明する。走行する帯
状の被検査物の表面をラインＣＣＤカメラ１が被検査物
の幅方向に走査して一次元画像を読み取った場合、その
読み取りにより得られるアナログ信号のレベルは、例え
ば異物の位置においては異物の幅と反射レベルに応じて
低くなる。なお、ラインＣＣＤカメラ１の出力信号レベ
ルが画素毎に異なるが、これはラインＣＣＤカメラ１の
素子間の感度ばらつきや、照明ムラやレンズの歪みに基
づくものであり、コンパレータ４が閾値メモリ１１の各
画素毎の閾値により２値化することにより補正される。
状の被検査物の表面をラインＣＣＤカメラ１が被検査物
の幅方向に走査して一次元画像を読み取った場合、その
読み取りにより得られるアナログ信号のレベルは、例え
ば異物の位置においては異物の幅と反射レベルに応じて
低くなる。なお、ラインＣＣＤカメラ１の出力信号レベ
ルが画素毎に異なるが、これはラインＣＣＤカメラ１の
素子間の感度ばらつきや、照明ムラやレンズの歪みに基
づくものであり、コンパレータ４が閾値メモリ１１の各
画素毎の閾値により２値化することにより補正される。
【００１４】そして、コンパレータ４により２値化され
たデータは、異物の幅に応じたパルス幅となり、この幅
がランレングス符号化回路５により符号化され、ＣＰＵ
１５により後述するような連結性処理が行われる。なお
連結性処理とは、複数の連続する走査ラインにおけるデ
ータ間で比較しつつ処理することをいう。ここで、記号
ｓ（＝スタート）を欠陥の始点座標とし、記号ｅ（＝エ
ンド）を終点座標とすると、欠陥データは次のようなラ
ンレングス符号で表される。 ａis：ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の始点座標 ａie：ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の終点座標 ｂjs：ｎ行目のｊ番目の欠陥の始点座標 ｂje：ｎ行目のｊ番目の欠陥の終点座標
たデータは、異物の幅に応じたパルス幅となり、この幅
がランレングス符号化回路５により符号化され、ＣＰＵ
１５により後述するような連結性処理が行われる。なお
連結性処理とは、複数の連続する走査ラインにおけるデ
ータ間で比較しつつ処理することをいう。ここで、記号
ｓ（＝スタート）を欠陥の始点座標とし、記号ｅ（＝エ
ンド）を終点座標とすると、欠陥データは次のようなラ
ンレングス符号で表される。 ａis：ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の始点座標 ａie：ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の終点座標 ｂjs：ｎ行目のｊ番目の欠陥の始点座標 ｂje：ｎ行目のｊ番目の欠陥の終点座標
【００１５】図２は一例として２行分（２走査ライン）
の欠陥データを示し、この欠陥は４種類のパターンに分
類される。すなわち、連続パターンでは、１つの欠陥が
行間で図２中に矢印で示す副走査方向に連続しており、
収束パターンでは、前の行の複数（図では２個）の欠陥
が次の行において１つの欠陥に収束しており、分散パタ
ーンでは、前の行の１つの欠陥が次の行において複数
（図では２個）の欠陥に分散しており、消滅パターンで
は前の行の１つの欠陥が次の行において消滅している。
の欠陥データを示し、この欠陥は４種類のパターンに分
類される。すなわち、連続パターンでは、１つの欠陥が
行間で図２中に矢印で示す副走査方向に連続しており、
収束パターンでは、前の行の複数（図では２個）の欠陥
が次の行において１つの欠陥に収束しており、分散パタ
ーンでは、前の行の１つの欠陥が次の行において複数
（図では２個）の欠陥に分散しており、消滅パターンで
は前の行の１つの欠陥が次の行において消滅している。
【００１６】図３は、このパターンを分類するために、
ｎ−１行目とｎ行目の欠陥データのパターンを比較し、
連続、収束、分散、消滅の４つのパターンに分類し、消
滅時にその欠陥の測定が終了する連結性処理のアルゴリ
ズムを示すフローチャートである。まず、ステップＳ１
においてｎ−１行目の欠陥を示すカウンタｉを「０」に
セットし、ｎ行目の欠陥を示すカウンタｊを「１」にセ
ットし、続くステップＳ２においてカウンタｉを１つイ
ンクリメントし、また、カウンタｊを１つデクリメント
する。
ｎ−１行目とｎ行目の欠陥データのパターンを比較し、
連続、収束、分散、消滅の４つのパターンに分類し、消
滅時にその欠陥の測定が終了する連結性処理のアルゴリ
ズムを示すフローチャートである。まず、ステップＳ１
においてｎ−１行目の欠陥を示すカウンタｉを「０」に
セットし、ｎ行目の欠陥を示すカウンタｊを「１」にセ
ットし、続くステップＳ２においてカウンタｉを１つイ
ンクリメントし、また、カウンタｊを１つデクリメント
する。
【００１７】そして、ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の始点
座標ａisがＣＣＤカメラ１の画素数＋１でない場合にス
テップＳ４以下に進み、連続、収束、分散、消滅の４つ
のパターンに分類する処理を実行する。なお、この処理
では上記ランレングス符号に対して欠陥の幅が中間的に
用いられる。 ａia＝ａie−ａis（ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の幅） ｂja＝ｂje−ｂjs（ｎ行目のｊ番目の欠陥の幅）
座標ａisがＣＣＤカメラ１の画素数＋１でない場合にス
テップＳ４以下に進み、連続、収束、分散、消滅の４つ
のパターンに分類する処理を実行する。なお、この処理
では上記ランレングス符号に対して欠陥の幅が中間的に
用いられる。 ａia＝ａie−ａis（ｎ−１行目のｉ番目の欠陥の幅） ｂja＝ｂje−ｂjs（ｎ行目のｊ番目の欠陥の幅）
【００１８】まず、ステップＳ４においてｎ行目のｊ番
目の欠陥の幅ｂjaが「０」か否かを判別し、「０」の場
合にステップＳ５においてカウンタｊを１つデクリメン
トしてステップＳ４に戻り、カウンタｊが示す欠陥の幅
ｂjaが「０」でなくなるまでこの処理を繰り返す。そし
て、欠陥の幅ｂjaが「０」でなくなると、ステップＳ６
においてｂjs＜ａie＋ｗ、かつｂje＞ａis−ｗか、すな
わちｎ−１行目の欠陥の幅を左右にそれぞれ−ｗ、＋ｗ
画素分だけ膨張した後ａi＝ｂjか否かを判別することに
より上の行の欠陥と連結しているかを判別し、ａi＝ｂj
の場合にステップＳ７において収束パターンと判定し、
ステップＳ１３に進む。なお図３においてａi＝ｂjと
は、ｎ行目のランレングス符号ｂjとｎ−１行目のラン
レングス符号ａiが連結、すなわち１つの欠陥であるこ
とを示している。また、このステップＳ７では、後述す
るような副走査方向の膨張処理を主走査方向と同様に共
に行って判定する。
目の欠陥の幅ｂjaが「０」か否かを判別し、「０」の場
合にステップＳ５においてカウンタｊを１つデクリメン
トしてステップＳ４に戻り、カウンタｊが示す欠陥の幅
ｂjaが「０」でなくなるまでこの処理を繰り返す。そし
て、欠陥の幅ｂjaが「０」でなくなると、ステップＳ６
においてｂjs＜ａie＋ｗ、かつｂje＞ａis−ｗか、すな
わちｎ−１行目の欠陥の幅を左右にそれぞれ−ｗ、＋ｗ
画素分だけ膨張した後ａi＝ｂjか否かを判別することに
より上の行の欠陥と連結しているかを判別し、ａi＝ｂj
の場合にステップＳ７において収束パターンと判定し、
ステップＳ１３に進む。なお図３においてａi＝ｂjと
は、ｎ行目のランレングス符号ｂjとｎ−１行目のラン
レングス符号ａiが連結、すなわち１つの欠陥であるこ
とを示している。また、このステップＳ７では、後述す
るような副走査方向の膨張処理を主走査方向と同様に共
に行って判定する。
【００１９】ステップＳ６においてａi＝ｂjでない場合
には、ステップ８においてカウンタｊを１つインクリメ
ントした後、ステップＳ９において欠陥の幅ｂjaが
「０」か否かを判別し、「０」の場合にステップＳ８に
戻り、カウンタｊが示す欠陥の幅ｂjaが「０」でなくな
るまでこの処理を繰り返す。そして、欠陥の幅ｂjaが
「０」でなくなると、ステップＳ１０においてステップ
Ｓ６に示す主走査方向と副走査方向の膨張処理を行った
後ａi＝ｂjか否かを判別し、ａi＝ｂjでない場合にステ
ップＳ１１において消滅パターンと判定し、ステップＳ
２に戻る。
には、ステップ８においてカウンタｊを１つインクリメ
ントした後、ステップＳ９において欠陥の幅ｂjaが
「０」か否かを判別し、「０」の場合にステップＳ８に
戻り、カウンタｊが示す欠陥の幅ｂjaが「０」でなくな
るまでこの処理を繰り返す。そして、欠陥の幅ｂjaが
「０」でなくなると、ステップＳ１０においてステップ
Ｓ６に示す主走査方向と副走査方向の膨張処理を行った
後ａi＝ｂjか否かを判別し、ａi＝ｂjでない場合にステ
ップＳ１１において消滅パターンと判定し、ステップＳ
２に戻る。
【００２０】ステップＳ１０においてａi＝ｂjの場合に
は、続くステップＳ１２において連続パターンと判定す
る。ついで、ステップＳ１３においてカウンタｊをイン
クリメントした後、ステップＳ１４において欠陥の幅ｂ
jaが「０」か否かを判別し、「０」の場合にステップＳ
１３に戻り、カウンタｊが示す欠陥の幅ｂjaが「０」で
なくなるまでこの処理を繰り返す。そして、欠陥の幅ｂ
jaが「０」でなくなると、ステップＳ１５において同様
な膨張処理を行った後ａi＝ｂjか否かを同様に判別し、
ａi＝ｂjの場合にステップＳ１６において分散パターン
と判定する。
は、続くステップＳ１２において連続パターンと判定す
る。ついで、ステップＳ１３においてカウンタｊをイン
クリメントした後、ステップＳ１４において欠陥の幅ｂ
jaが「０」か否かを判別し、「０」の場合にステップＳ
１３に戻り、カウンタｊが示す欠陥の幅ｂjaが「０」で
なくなるまでこの処理を繰り返す。そして、欠陥の幅ｂ
jaが「０」でなくなると、ステップＳ１５において同様
な膨張処理を行った後ａi＝ｂjか否かを同様に判別し、
ａi＝ｂjの場合にステップＳ１６において分散パターン
と判定する。
【００２１】そして、ステップＳ１７においてカウンタ
ｊをインクリメントした後ステップＳ１５に戻り、ａi
＝ｂjでない場合にステップＳ１５からステップＳ２に
戻り、ステップＳ２〜Ｓ１７においてｎ行目のｊ番目の
欠陥についての処理を繰り返す。
ｊをインクリメントした後ステップＳ１５に戻り、ａi
＝ｂjでない場合にステップＳ１５からステップＳ２に
戻り、ステップＳ２〜Ｓ１７においてｎ行目のｊ番目の
欠陥についての処理を繰り返す。
【００２２】そして、ステップＳ３においてｎ−１行目
のｉ番目の欠陥の始点座標ａisがＣＣＤカメラ１の画素
数＋１になると、１行分の連結性処理を終了してステッ
プＳ３からステップＳ１８に分岐し、ｎ行目のランレン
グス符号ｂjをｎ−１行目のランレングス符号ａiに移動
する。
のｉ番目の欠陥の始点座標ａisがＣＣＤカメラ１の画素
数＋１になると、１行分の連結性処理を終了してステッ
プＳ３からステップＳ１８に分岐し、ｎ行目のランレン
グス符号ｂjをｎ−１行目のランレングス符号ａiに移動
する。
【００２３】つぎに、図４を参照して欠陥の個数の判断
処理を説明する。図４（ａ）において符号１８、１８′
は実際は１つの欠陥の２値画像を示し、２値化の結果こ
こでは２つの欠陥として２値化されている。また、符号
１８″は別の欠陥の２値画像を示す。したがって、欠陥
データ１８、１８′と欠陥データ１８″はそれぞれ、１
つの欠陥として判断されなければならない。
処理を説明する。図４（ａ）において符号１８、１８′
は実際は１つの欠陥の２値画像を示し、２値化の結果こ
こでは２つの欠陥として２値化されている。また、符号
１８″は別の欠陥の２値画像を示す。したがって、欠陥
データ１８、１８′と欠陥データ１８″はそれぞれ、１
つの欠陥として判断されなければならない。
【００２４】そこで、図４（ａ）に示すように濃く示さ
れる欠陥データ１８、１８′、１８″を主走査方向に±
ｗ（＝２）画素分、副走査方向にＬ（＝３）画素分膨張
し、淡く示されるデータ１９、１９′とする。この処理
は、ステップＳ６、Ｓ１０、Ｓ１５においてランレング
ス符号の水平方向の連結性判定基準をｂjs＜ａie＋ｗ、
かつｂje＞ａis−ｗとし、垂直方向の連結性判定基準
を、連結する画像が消滅後に消滅前画像を垂直方向にＬ
画素分継続することにより可能となり、ステップＳ６、
Ｓ１０、Ｓ１５においてイエスの場合にそれぞれ収束、
連続、分散の各パターンに分類される。すなわち、画素
膨張を施すことによって２つの欠陥と認識されていたも
のが１つの欠陥として認識され、かつ他の離れた欠陥と
は別個のものとして把えられている。よって図４（ａ）
の場合、欠陥の数のカウントは１９と１９′の２つとい
うこととなる。
れる欠陥データ１８、１８′、１８″を主走査方向に±
ｗ（＝２）画素分、副走査方向にＬ（＝３）画素分膨張
し、淡く示されるデータ１９、１９′とする。この処理
は、ステップＳ６、Ｓ１０、Ｓ１５においてランレング
ス符号の水平方向の連結性判定基準をｂjs＜ａie＋ｗ、
かつｂje＞ａis−ｗとし、垂直方向の連結性判定基準
を、連結する画像が消滅後に消滅前画像を垂直方向にＬ
画素分継続することにより可能となり、ステップＳ６、
Ｓ１０、Ｓ１５においてイエスの場合にそれぞれ収束、
連続、分散の各パターンに分類される。すなわち、画素
膨張を施すことによって２つの欠陥と認識されていたも
のが１つの欠陥として認識され、かつ他の離れた欠陥と
は別個のものとして把えられている。よって図４（ａ）
の場合、欠陥の数のカウントは１９と１９′の２つとい
うこととなる。
【００２５】図４（ａ）に示す画素１９、１９′は、消
滅時のランレングス符号を継続した場合を示し、図４
（ｂ）に示す画素１９、１９′は、消滅時と１行前の状
態の変化を継続した場合を示す。図４（ｂ）に示す場合
には、膨張画素１９、１９′が欠陥データ１８、１８′
の方向に均一に膨張されているので、斜め方向の欠陥を
正確に判断することができる。
滅時のランレングス符号を継続した場合を示し、図４
（ｂ）に示す画素１９、１９′は、消滅時と１行前の状
態の変化を継続した場合を示す。図４（ｂ）に示す場合
には、膨張画素１９、１９′が欠陥データ１８、１８′
の方向に均一に膨張されているので、斜め方向の欠陥を
正確に判断することができる。
【００２６】そして、ＣＰＵ１５は、上記分類データに
基づいて被検査物の欠陥が１つか否かを判別してＯＫか
ＮＧかを判定し、判定結果をホストコンピュータ１７に
伝送する。
基づいて被検査物の欠陥が１つか否かを判別してＯＫか
ＮＧかを判定し、判定結果をホストコンピュータ１７に
伝送する。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
欠陥の２値化信号が２系統で交互にランレングス符号化
されて、欠陥が膨張されてリアルタイム性を有する連結
性処理で欠陥の状態が分類され、この分類により被検査
物の欠陥が１つか否かが判定されるので、１つの欠陥の
一部がくびれて細くなっていたり、読み取り濃度が薄か
ったり、欠陥が斜め方向の場合であっても、リアルタイ
ムで１つの欠陥と判定することができる。
欠陥の２値化信号が２系統で交互にランレングス符号化
されて、欠陥が膨張されてリアルタイム性を有する連結
性処理で欠陥の状態が分類され、この分類により被検査
物の欠陥が１つか否かが判定されるので、１つの欠陥の
一部がくびれて細くなっていたり、読み取り濃度が薄か
ったり、欠陥が斜め方向の場合であっても、リアルタイ
ムで１つの欠陥と判定することができる。
【図１】本発明に係る欠陥検査装置の一実施例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】欠陥のパターンを分類して示す説明図である。
【図３】ランレングス符号をライン間で連結性処理する
場合のアルゴリズムを説明するためのフローチャートで
ある。
場合のアルゴリズムを説明するためのフローチャートで
ある。
【図４】連結性処理で膨張された欠陥データを示す説明
図である。
図である。
【図５】１つの欠陥が２値化により２つの欠陥となる場
合を示す説明図である。
合を示す説明図である。
１ ラインＣＣＤカメラ ４ コンパレータ（２値化手段） ５ ランレングス符号化回路 ６ メモリ １５ ＣＰＵ（分類手段、判定手段）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−245045（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−84147（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−103487（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−67159（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 G06T 1/00 - 9/40
Claims (2)
- 【請求項１】 被検査物の表面を走査して、走査ライン
における一次元画像を読み取り、信号を出力するライン
イメージセンサと、 前記ラインイメージセンサからの信号のレベルを所定値
と比較して２値化することにより前記被検査物表面の欠
陥を検出する２値化手段と、 前記２値化手段により２値化された信号を２系統で交互
にランレングス符号化する符号化手段と、 前記符号化手段により符号化されたランレングス符号
を、前記２系統で交互に処理し、連続する複数の走査ラ
インにわたり、前記欠陥に対し主走査方向と副走査方向
の膨張処理をして連結性処理することにより欠陥の状態
を分類する分類手段とを有する欠陥検査装置。 - 【請求項２】 前記分類手段により分類された欠陥デー
タに基づいて被検査物の欠陥が１つか否かを判定する判
定手段を更に有する請求項１に記載の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19160292A JP3234636B2 (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19160292A JP3234636B2 (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0611458A JPH0611458A (ja) | 1994-01-21 |
| JP3234636B2 true JP3234636B2 (ja) | 2001-12-04 |
Family
ID=16277373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19160292A Expired - Lifetime JP3234636B2 (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3234636B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6412895B1 (en) | 1997-10-23 | 2002-07-02 | Nec Corporation | Electrostatic ink jet printer |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3210846B2 (ja) * | 1995-09-28 | 2001-09-25 | 三菱レイヨン株式会社 | シート状物のくぼみ検出方法及びシート状物のくぼみ検出装置 |
| JP2007271487A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Nok Corp | 画像による欠陥検出方法 |
| JP2008281580A (ja) * | 2008-06-26 | 2008-11-20 | Olympus Corp | 欠陥分類装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60103487A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-07 | Ckd Corp | 形状認識装置 |
| JPS61245045A (ja) * | 1985-04-23 | 1986-10-31 | Nisshin Steel Co Ltd | 金属帯の表面欠陥自動検査方法 |
| JPS6484147A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-29 | Nippon Steel Corp | Internal quality inspecting method for metal piece |
| JP2881312B2 (ja) * | 1989-08-04 | 1999-04-12 | 三菱レイヨン株式会社 | 欠陥検査装置 |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP19160292A patent/JP3234636B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6412895B1 (en) | 1997-10-23 | 2002-07-02 | Nec Corporation | Electrostatic ink jet printer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0611458A (ja) | 1994-01-21 |
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