JPS61245045A - 金属帯の表面欠陥自動検査方法 - Google Patents

金属帯の表面欠陥自動検査方法

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JPS61245045A
JPS61245045A JP8711585A JP8711585A JPS61245045A JP S61245045 A JPS61245045 A JP S61245045A JP 8711585 A JP8711585 A JP 8711585A JP 8711585 A JP8711585 A JP 8711585A JP S61245045 A JPS61245045 A JP S61245045A
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正 松岡
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    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
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    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles

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  • Pathology (AREA)
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、連続処理ラインを通板するステンレス網帯等
の金属帯の表面の欠陥を自動的に検査し、その金属帯の
単位当たりの欠陥種別の決定と等級(クラス)格付けの
決定ができるようにした表面欠陥自動検査方法に関する
〔従来技術〕
例えば、ステンレス鋼等を含む金属帯の製造ラインでは
、金属鋼帯を、圧延、焼鈍、酸洗等の各工程を経て製造
している。圧延後に金属帯の変形した結晶粒を再結晶さ
せ軟化するために焼鈍炉で加熱し、その焼鈍によって付
着したスケール等を除去するために酸洗工程で脱スケー
ルを行い、更に水洗し乾燥させて、コイルとして巻き込
み、更に幾多の工程を経由して、最終製品を得ているが
、これら各工程の段階で、その鋼の表裏面の状態を目視
によって検査して、その表裏面にどのような疵やスケー
ル等の欠陥がどの程度(型中軽度)存在するかによって
、最終製品の単位長さ毎に等級の格付けを行っている。
このように、鋼帯の表裏面の欠陥の検査を、従来では人
間の目視によっていたために、人的コストがかかり、ま
た検査結果がその検査者の体調等の影響を受けることを
避けることができなかった。
また、この種の検査場所は必ずしも良好な作業環境では
なく、できるだけ人的配置を避けることも要請されてい
た。
〔発明の目的〕
本発明はかかる点に鑑みて成されたもので、その目的は
、目視と同程度の検査を行うことができ、しかも欠陥の
種別及び欠陥の程度に拘わらず、その欠陥の等級重み値
で評価し等級格付けができるようにした金属帯の表面欠
陥自動検査方法を提供することである。
【発明の構成〕
このために本発明の表面欠陥自動検査方法は、通板する
金属帯の表面の欠陥を検出して、該検出信号から上記金
属帯の等級評価単位区画内における全部の欠陥種別判定
単位区画の欠陥マツプを作成すると共に欠陥の程度に応
じて各欠陥に重み付けをして量子化し、且つ上記欠陥マ
ツプからヒストグラムを作成して上記欠陥種別判定単位
区画ごとのプロフィールを作成し、該プロフィールによ
り上記欠陥種別判定単位区画から1種の種別の欠陥を判
定し、上記欠陥の量子化値の加算値から上記欠陥判定単
位区画当たりの上記欠陥の種別ごとの等級重み値を決め
、上記等級評価単位区画当たりの欠陥種別の決定及び等
級格付けの決定を行う方法であって、 上記欠陥の量子化値の加算値を、欠陥の種別に対応した
方法で得て、上記各種別の欠陥ごとに上記加算値を等級
分頻して、該分類した各等級に応じて、異なる種別の欠
陥を同一程度の欠陥と見做せるようにし、さらに欠陥の
程度を評価できるよう上記等級重み値を配分し、上記等
級評価単位区画当たりの等級格付けを、上記等級重み値
の加算値を等級格付は基準と比軟して決定するように構
成している。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例について詳細に説明する。
第1図はその一実施例の検査装置全体を示すブロック図
である。おな、ここでは金属帯の片面について欠陥を検
査し、欠陥の種別を選定すると共に、等級格付けを決定
する場合について述べる。両面の欠陥を検査する場合は
同様な装置を両面に配置すれば良い。
Aはステンレス鋼等の金属帯1の表面の疵やスケール等
の欠陥を検出する検出部であり、レーザビーム発振器2
、その発振器2からのレーザビームを反射させ金属帯1
の表面に対して通板方向Xと交差する方向Yにスキャン
させる回転多面鏡3、金属帯1でのビームスポットの欠
陥による散乱或いは吸収により変化する反射ビームを受
光して倍増するフォトマルチプライヤ4、そのフォトマ
ルチプライヤ4の前面に配置された絞り用の空間フィル
タ5、及びフォトマルチプライヤ4の出力信号を増幅す
るプリアンプ(前置増幅器)6より構成されている。
Bは検出部Aで得られた検出信号を処理して欠陥の判定
・種別分類・等級評価等のために使用する標準信号を作
成するための標準信号処理部である。この部分Bは、プ
リアンプ6の出力信号を増幅するメインアンプ(主増幅
器) 7、検出信号のレベル変動を規制するAGC回路
(自動利得調整回路)8、そのAGC回路8.からの信
号を微分するフィルタ回路9、そのフィルタ回路9から
の信号を正側3レベル(V4〜V6)で、負側も3レベ
ル(Vl〜V3)で弁別し、弁別レベル毎の出力を出す
弁別回路10、その弁別回路10からの出力の内の所定
の出力のみを取り出すゲート回路11、及びそのゲート
回路11にゲート信号を与えるブランキングコントロー
ル回路12より構成されている。
Cは後記する欠陥種別判定単位区画のプロフィール前処
理回路であり、標準信号処理部Bで弁別された信号から
欠陥の程度によって重みを異ならせて付ける量子化回路
13、及び欠陥種別判定単位区画内における欠陥頻度数
から形成したヒストグラムにより欠陥のプロフィールを
作成するプロフィール作成回路14より構成されている
Dはソフトウェア処理部であり、プロフィールから欠陥
の特徴(欠陥の長さ、欠陥の幅、欠陥の面積、欠陥の発
生位置、程度側の欠陥部分の面積その他)を抽出する特
徴抽出部15、欠陥の種別をアルゴリズムによって判定
する欠陥種別判定部16、及び上記した欠陥種別判定単
位区画が複数集合してなる等級格付は評価単位区画の等
級判定部17より構成されている。
さて、本実施例では、金属帯1の検査による格付けを行
う等級評価単位区画(以下、評価単位区画と称する。)
を、第2図に示すように、幅W1長さlの区画Qとする
。例えば−事例として、W=1m、j!=1mとする。
そして、その評価単位区画Qを16等分割して、幅×W
、長さχlの区画を欠陥種別判定単位区画(以下、判定
単位区画と称する。)qとして、この判定単位区画qご
とに、量子化、プロフィール作成、特徴抽出、欠陥種別
判定を行い、合計16個の判定単位区画95つまり1個
の評価単位区画Q毎に等級格付けの決定を行う。
第3図は検出信号を示すものである。AGC回路8の出
力は、第3図(a)に示すように、スキャン幅(W)に
対応する時間Twだけレベルが立上り、金属帯1の面の
欠陥の種類及び程度に応じて、ビーム吸収部分子0″、
r1’、γ2゛、γ3°と、ビーム散乱部分子1’、γ
4゛、γ5゛、γ6゛が現れる。例えば、その欠陥が引
っ掻き疵の場合には散乱して検出レベルが高くなり、ス
ケールが付着している場合には吸収されて検出レベルが
低くなる。そして、吸収程度が高くなるほど検出レベル
は低下し、散乱程度が高くなるほど検出レベルは高くな
る。
第3図(alに示す信号をフィルタ9を通過させて微分
すると、第3図(b)に示すような信号となり、各欠陥
部分子0゛〜γ7゛及びスキャンの開始と終了部分に対
応するパルスγO〜γ9が得られる。
この信号を弁別回路10で弁別すると、許容できるノイ
ズレベルVl、V4内にあるパルスγ0と17は除去さ
れる。パルスγ1とT4はレベルv1とv2の間、v4
とv5の間にあるので、軽度の欠陥を示すパルスとして
採取され、パルスγ2とT5はレベルv2とv3の間、
v5と■6の間にあるので、中度の欠陥を示すパルスと
して採取され、パルスT3、T6、γ8、γ9はレベル
73以上、76以上であるので重度の欠陥として採取さ
れる。
よって、弁別回路10からは、第3図(C)に示すよう
にγ1〜γ6、γ8、γ9に対応するパルスが出てゲー
ト11に送出されるが、このゲート11は第3図(d)
に示すようなタイミングのブランキングパルスによって
そのゲートが開かれるので、採取されるパルスは、第3
図(e)に示すように、パルスγ1〜T6に対応するパ
ルスのみとなり、パルスγ8、γ9に対応するパルスは
除去される。即ち、スキャンして得られた信号から、最
大でも、重度欠陥、中度欠陥、軽度欠陥の3種類の正側
、負側の欠陥を示す検出パルスが、標準信号として得ら
れる。
量子化回路13では、WWx%lの判定単位区画qを、
例えば長さ5龍、幅4.2鶴の折目を単位とした量子化
単位区画q′に細分し、その個々の量子化単位区画の内
に欠陥があるか、あればどのような程度の欠陥かを検出
し、その欠陥程度が軽度の場合は重み付けを「1」、中
度の場合は「3」重度の場合は「5」として、量子化す
る。
第5図は量子化された判定単位区画qに対応する欠陥マ
ツプを示している。量子化単位区画q′である折目は表
示の関係上から拡大されている。
黒塗り部分が欠陥のあった場所を示し、その各黒塗りの
量子化単位区画q′ごとに上記した重み付けが行われる
プロフィール作成回路14は、上記第5図に示した判定
単位区画の長さ方向C’Alの方向)において、幅方向
(AWの方向)の単位枡目当たり、欠陥が何回発生して
いるかの頻度を示すヒストグラムにより、第6図に示す
ようなプロフィールを作成する。ここでは、単に欠陥の
有無のヒストグラムを作成するのみであり、重み付けは
考慮しない。
第6図は第5図に示したように欠陥の発生している判定
単位区画qから作成したヒストグラムである。このプロ
フィールより、欠陥の長さ、欠陥の幅、欠陥部分の位置
、点状欠陥数、線状欠陥数、欠陥部分の面積、判定単位
区画q当たりの欠陥部分の合計面積の各々を算出するこ
とができる。
また、前記した量子化したデータを加味使用することに
より、軽度の欠陥部分の発生頻度、中度の欠陥部分の発
生頻度、重度の欠陥部分の発生頻度の各々を算出するこ
ともできる。各発生頻度は、合計面積として表すことが
できる。
第4図は軽度の欠陥部分の合計面積をR1(或いはR4
)で、中度の欠陥部分の合計面積をR2(或いはR5)
で、重度の欠陥部分の合計面積R3(或いはR6)で表
したものである。ここでは面積R1(R4)が一番大き
い例を示している。
ここにおける面積R1は第3図で説明した吸収欠陥パル
スγ1の発生頻度に対応し、他の面積R2〜R6も各々
欠陥パルスγ2〜γ6の発生頻度に対応している。
そこで、上記ヒストグラムの特徴から最長欠陥、最広幅
欠陥の欠陥候補を抽出し、その欠陥候補部分の重み付は
加算値PH1を算出する。例えば第6図のヒストグラム
ではその特徴が高さにあるので、その欠陥候補である斜
線部分Gに対応する第5図の各量子化単位区画q′部分
の各重み付けを考慮した量子化値の加算値PH1を算出
する。この加算値PH1は、 PH1=ρ1・R1+ρ2・R2+ρ3・R3+ρ4・
R4+ρ5・R5+ρ6・R6但し、ρは重み付は係数
で、ρ1.ρ4=1、ρ2.ρ5=3、ρ3.ρ6=5
である。R1−R6は上記した面積(頻度)である。
次に、第5図に示したような判定単位区画qの全体に発
生している欠陥について上記同様に各量子化単位区画q
′部分の各重み付けを考慮した量子化値の加算値である
PH2を算出する。
PH2=ρ工・U1+ρ2・U2+ρ3・U3+ρ4・
U4+ρ5・U5+ρ6・U6但し、U1〜U6は上記
したR1−R6と同様な面積(頻度)であるが、このP
H2は、PHIがヒストグラムの一番特徴ある欠陥候補
部分についてのみ重み付けするのに比較して、判定単位
区画q全面について重み付けするので、区別するために
U1〜U6とした。
以上のようにして得られた加算値PHI、PH2は、当
該判定単位区画qの評価値を決める要因として後記する
ように使用される。
第7図は判定単位区画q当たりの欠陥の種類を判定する
ための欠陥種別判定アルゴリズムのフローチャートを示
すものであり、第6図に示したようなヒストグラムの特
徴から判定される。
まず、ヒストグラムから、 H・・・最大高さ S・・・代表的欠陥(候補)の面積 SA・・・ヒストグラムの合計面積(全欠陥の面積)H
l・・・頻度3の高さ R2・・・頻度10の高さ Wl・・・3単位の幅 W2・・・5単位の幅 W・・・H/3の高さにおける幅の単位数点状欠陥数N
1・・・H1以下の高さで且つwl以下幅を満足する点
の数 線状欠陥数N2・・・H2以上の高さで且つW2以下の
幅を満足する線の数 孤立点数DP・・・第5図におけるマツプの頻度方向に
少なくとも片側で隣接しな い部分がある場合のその数 を抽出して、アルゴリズムの各判断ステップ21〜44
で判断させる。
このアルゴリズムは、判定単位区画qを、幅×W=25
0 mm、長さ’A j2 =250 tmとし、且つ
量子化単位区画q′の幅を4.2 tm、長さを51と
して、各種実験を繰り返して得たもので、目視による欠
陥種別判定結果とほぼ同等の判定結果を得ることができ
た。
さて、以上のようにして各々の判定単位区画qにっての
欠陥種別の判定が行われた後は、各種欠陥ごとに分けて
、前記した量子化値の加算値PHI、PH2により等級
重み値を付ける。
なお、PHI、PH2については、欠陥種別ごとに目視
判定との相関の強い方を前記アルゴリズムで選定採用す
るが、おおまかには、PH1は線状と見ることのできる
欠陥についての判定基準とし、PH2は点状或いは面状
と見ることのできる欠陥についての判定基準としている
上記した等級重み値の決定は、1個の判定単位区画qに
ついて1個とする。
次の第1表はその等級重み値を付けた表を示すものであ
る。この第1表において、Φが等級重み値であり、同一
の等級重み値でも、欠陥種別によって異なった加算値P
HI、PH2の配分範囲に割り当てられている。加算値
PHI、PH2の配分範囲は、異なる種別の欠陥相互を
比較する際に、目視で同程度の欠陥であると認定するこ
とのできる範囲として決定し、その範囲に欠陥の程度を
目視と同一レベルで評価できる共通の等級重み値Φをつ
けている。よって、欠陥の種別及び欠陥の程度如何に拘
わらず、評価単位区画Qの等級判定は、各判定単位区画
qの等級重み値Φの単純加算値にて決定することができ
る。
第2表は幅W、長さlの評価単位区画Qの等級格付は基
準を示すもので、等級基準をランクA(欠陥なし)、ラ
ンクB(良)、ランクC(普通)、ランクD(やや不良
)、ランクK(不良)、ランクJ(重大欠陥)にクラス
分けして、欠陥種別を線状(Ll〜L6)のもの、点状
(Pi〜P4)のもの、及び面状(Al−A3)のもの
ごとに、等級重み値Φの値によって分類している。ただ
、上記したように等級重み値Φを各欠陥種別に応じて配
分しているので、欠陥の種別の如何によらず、つまり線
状欠陥、点状欠陥、面状欠陥共に共通の等級重み値Φに
よって等級格付けを行うことができる。
余白 前記した16個の判定単位区画qの各々について、その
欠陥種別の認定は第7図に示したアルゴリズムから得ら
れ、また各欠陥の等級重み値Φは第1表から得られる。
そこで、次に第2表によって、その16個の判定単位区
画qで構成される評価単位区画Qの全体の等級格付けを
行う。
この格付けは、例えば第8図(a)に示すように、16
区画の全部の判定単位区画について「欠陥種別/φ」が
得られる(欠陥のない区画については得られない)と、
欠陥種別は欠陥種別ごとの等級重み値の加算値が最大の
種別の欠陥を代表欠陥種別とする。また、等級重み値Φ
は前記したように各欠陥の種別無い、種別間で対応が取
れるように設定しているので、単純加算することができ
る。
よって、第8図(a)の場合は線状欠陥であるL2、L
2、L5、L6のの等級重み値の加算値が90で最大で
あるので、代表欠陥種別が「線状欠陥」であり、等級重
み値φは合計加算でrl:l”OJとなり、等級格付け
は第2表からrDJとなる。
第8図(b)は別の例の場合を示したものである。
この例では、代表欠陥種別は「線状欠陥」、等級重み値
Φは「80」となり、格付けはrDJとなる。
第9図(a)は線、点、面等の異なる形態で発生する欠
陥の重複を許容するようにした場合の評価方法を示すも
のである。なお、第9図(a)、(blの各々は、対象
とする評価単位区画が第8図(a)、(b)と共通であ
る。第9図(a)の例では、「線状欠陥/90」、「点
状欠陥/10」、「面状欠陥/20」であり、全体を「
線状欠陥/90」として選定している。
この場合は第2表から等級格付けはrDJとなる。
第9図〜)では、全体を「線状欠陥/60」として選択
し、等級格付けは「C5」となる。
以上のように、欠陥の種別及び欠陥程度如何に拘わらず
、その欠陥を等級重み値で、且つ評価単位区画を一括し
て評価できるので、目視により近い等級格付けができる
この点、各判定単位区画qにおける欠陥種別ごとに等級
格付けを行うようになっている場合には、第10図(a
)、(b) (第8図(a)、0))と同一の評価単位
区画を対象としている。)に示すように、各判定単位区
画qごとにすでに最終の等級格付けを行うようになるの
で、評価単位区画Qの全体の格付けを行う場合に、数あ
る格付は値のいずれかを選択する必要があり、格付けに
優先順位をつけ(第10図(a))、また同一等級の場
合は欠陥種別に優先順位を付ける(第10図(b))よ
うにする必要があるが、評価方法が複雑となり、また目
視結果との対応が芳しくない。
〔発明の効果〕
以上から本発明によれば、通板する金属帯の表面の疵や
スケール等の欠陥部分を自動的に検出判定し、更にその
等級も自動的に選定することができるので、人的省力化
を図ることができる。
また、評価単位区画を構成する複数の判定単位区画に発
生する欠陥種別ごとに、その各種欠陥種別を目視の場合
と同様に同一レベルで評価でき、さらに欠陥の程度を目
視と同一レベルで評価できる等級重み値を設定している
ので、等級評価単位区画内に発生する全欠陥について、
その欠陥の種別如何に拘わらず、上記等級型み値を単純
加算することにより一括して等級評価を行うことができ
、目視による等級格付けと同様な等級格付けを行うこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の金属帯の表面欠陥自動検査
装置の構成図、第2図は被検査対象としての金属帯の等
級評価単位区画及び欠陥判定単位区画の説明図、第3図
は第1図の標準信号処理部Bで得られる欠陥信号の説明
図、第4図は型中軽度の欠陥の発生頻度を示すマツプ、
第5図は欠陥判定単位区画の欠陥発生個所を示す欠陥マ
ツプ、第6図は第5図をもとにして作成してヒストグラ
ム、第7図は欠陥種別判定用のアルゴリズムのフローチ
ャート、第8図(al、(bl及び第9図(a)、(b
)は本実施例の等級格付は方法の説明図、第10図(a
)、(b)は別の等級評価方法の説明図である。 特許出廟人 日新製鋼株式会社 代 理 人 弁理士 長尾常明 第3図 (e)  −一11北−肚m 第8囚    (a) L2/c (b) (b) 蜂/60 (C) (b) L2/B

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)、通板する金属帯の表面の欠陥を検出して、該検
    出信号から上記金属帯の等級評価単位区画内における全
    部の欠陥種別判定単位区画の欠陥マップを作成すると共
    に欠陥の程度に応じて各欠陥に重み付けをして量子化し
    、且つ上記欠陥マップからヒストグラムを作成して上記
    欠陥種別判定単位区画ごとのプロフィールを作成し、該
    プロフィールにより上記欠陥種別判定単位区画から1種
    の種別の欠陥を判定し、上記欠陥の量子化値の加算値か
    ら上記欠陥判定単位区画当たりの上記欠陥の種別ごとの
    等級重み値を決め、上記等級評価単位区画当たりの欠陥
    種別の決定及び等級格付けの決定を行う方法であって、 上記欠陥の量子化値の加算値を、欠陥の種別に対応した
    方法で得て、上記各種別の欠陥ごとに上記加算値を等級
    分類して、該分類した各等級に応じて、異なる種別の欠
    陥を同一程度の欠陥と見做せるようし、さらに欠陥の程
    度を評価できるよう上記等級重み値を配分し、上記等級
    評価単位区画当たりの等級格付けを、上記等級重み値の
    加算値を等級格付け基準と比較して決定するようにした
    ことを特徴とする金属帯の表面欠陥自動検査方法。
  2. (2)、上記等級評価単位区画当たりの欠陥種別の判定
    を、欠陥種別ごとの上記等級重みの加算値が最大の種別
    の欠陥として選定し、且つ等級格付けを、発生欠陥全て
    の上記等級重み値の加算値と上記等級格付け基準との比
    較で決定するようにした特許請求の範囲第1項記載の金
    属帯の表面欠陥自動検査方法。
  3. (3)、上記等級評価単位区画当たりの欠陥種別の判定
    を、欠陥種別ごとの上記等級重み値の加算値が最大の種
    別の欠陥として選定し、且つ上記等級格付けを、選定し
    た上記種別の欠陥における等級重み値の加算値と上記等
    級格付け基準との比較で決定するようにした特許請求の
    範囲第1項或いは第2項記載の金属帯の表面欠陥自動検
    査方法。
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