JP2008058124A - 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】従来、人間がマウスでクリックして設定していたCell Mat Areaの区別をCell Mat Areaと非Cell Mat AreaのGray Levelの分布特徴の差を用いてImageをスキャンして、その結果からCell Mat Areaと非Cell Mat Areaを分ける方法を取った。具体的にはCell Matの始点と終点を区別するための基準になる閾値をMemory CellだけあるArea で計算した後、その閾値を適用して始点と終点を探してそのそれぞれを繋げてCell Area を作成した。
【選択図】図1
Description
Matと次のCell Mat の距離を人間が手動で測って、そのCell Matの繰り返し特性を調べた後、人間の目で確認したCell Matの始端と終端をマウスでクリックしてそれを数分だけN倍にコピーする方法が使われていた。
Recipeを作成する時も簡単に、早く検査領域設定を作成することができる。しかもGray
Level 特性分析によって検査領域を設定するのでCell MatのEdgeまで正確に設定することができ、Cell Mat Edgeの検査まで可能になることである。また、Recipe作成にかかる時間と手間も大幅に短縮することが期待できる。
18、及び図7の45)と終点(図1の5,19〜28及び図7の46)を区別する必要がある。
Level の閾値が必要になる。この閾値を求めるAreaをAuto Threshold Search Areaと呼び、この指定だけを人間がMemory Cell Matを探して指定する。図1にはこのAuto
Threshold Search Areaを6に示して、さらに6を拡大して図2の29に示した。
Search Areaで32の一番下のLineからGray Levelを取ってX Pixel位置に対するGray
LevelをCell Pitch 単位で行列にして図3に示したように並べる。このデータを集めてグラフと式に示したのが図2の33のグラフと図3の式である。ただ、33に示したグラフと図3に示した式は一つのCell Pitch ではn個のPixelを持つという前提の上で書いてある。また図3の式ではn個のPixelで構成されたCell Pitchがm個存在することで行列を並べたものである。
Levelを求めてGL_Matrix_Max(1) とGL_Matrix_Min(1) にする。また同じくGL_Matrix_
Max(2),GL_Matrix_Max(3),,,,,, GL_MATRIX_MAX(N)及びGL_Matrix_Min(2), GL_Matrix_Min(3),,,,,, GL_Matrix_Min(n)までを求める。
Lineの閾値として使われる。
(P Pixel)を図1の7に示したように1Die分スキャンする。
3PixelがCell_Thresholdを超えなかったらそのPixelを始点候補を現すS_Pixel_Candidateと定義する。そしてS_Pixel_Candidate が含まれたCell Pitchの次のCell Pitch比較結果のPixelの90%が閾値を超えていない比較結果になった場合に、このPixelをS_Pixel に定義する。そして続けてCell Pitch間の比較を1Dieの最後まで比較すると複数のS_Pixelを探し出すことができる。
Thresholdを超えたらそのPixelを終点候補を現すE_Pixel_Candidate と定義する。その後、E_Pixel_Candidateが含まれたCell Pitchの次のCell Pitchの比較結果のPixelの90%が閾値を超えたらE_Pixelに定義して1Dieの最後までのCell Pitch比較で複数のE_
Pixelを探し出す。
Cell Pitchの次のCell Pitch 比較結果のPixelの90%が閾値を超えない条件を10%ずつさげてS_Pixelを検出する。
Pixel 検出ループに戻って閾値(Cell_Treshold_Line1)を超える連続3Pixelの条件に合ったE_Pixelが含まれたCell Pitchの次のCell Pitch比較結果のPixelの90%が閾値を超えるべき条件を10%ずつさげてE_Pixelを検出する。
Cell Matの始点、46…TDI像で表したCell Matの終点。
Claims (11)
- 半導体ウェハ上に形成された、複数のセルを備えるダイのグレイレベルを該ダイを横断する方向で検出する第1のステップと、
前記複数のセル毎に予め定めたセル閾値を超えないピクセルを検出する第2のステップと、
前記セル閾値を超えないピクセルが予め定めた数だけ連続した場合、連続するピクセルの最初の点を始点候補として登録する第3のステップと、
前記始点候補が含まれたセルの、次のセルのピクセルが予め定めた比率以下で前記セル閾値を超えない場合に、前記始点候補を始点と確定する第4のステップと、
前記第2のステップから第4のステップを繰り返して、検査対象のダイのセル毎の始点を定める第5のステップと、
を含むことを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項1記載の欠陥検査方法において、
前記第4のステップで、前記始点候補が含まれたセルの、次のセルのピクセルが予め定めた比率以下で前記セル閾値を超えた場合は、前記始点候補をキャンセルして、前記第2のステップにより次の始点候補を検出することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項1または2記載の欠陥検査方法において、
更に前記複数のセル毎に予め定めたセル閾値を超えるピクセルを検出する第6のステップと、
前記セル閾値を超えるピクセルが予め定めた数だけ連続した場合、連続するピクセルの最初の点を終点候補として登録する第7のステップと、
前記終点候補が含まれたセルの、次のセルのピクセルが予め定めた比率以上で前記セル閾値を超えた場合に、前記終点候補を終点と確定する第8のステップと、
前記第6のステップから第8のステップを繰り返して、検査対象のダイのセル毎の終点を定める第9のステップと、
を含むことを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項3記載の欠陥検査方法において、
前記第2〜第5のステップと、前記第6〜第9のステップとを並行して実行することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項4記載の欠陥検査方法において、
前記ダイを横断する方向で検出する第1のステップをセルピッチ毎に繰り返すことを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項5記載の欠陥検査方法において、
更に、該ダイを横断する方向とはほぼ直角方向でダイのグレイレベルを検出し、その後、前記第2〜第9のステップを実行してセルの始点と終点を確定することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項6記載の欠陥検査方法において、
セル毎に得られたセルの始点と終点を連結して、該始点と終点の間をセル毎にセルマットと定義することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項7記載の欠陥検査方法において、
セルマット領域とセルマット以外の領域により予め欠陥の検査条件を設定し、セル毎にセルマットと定義された領域とセルマット以外の部分において、予め設定した欠陥の検査条件により欠陥検査を実行することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項1記載の予め定めた比率が90%以上であることを特徴とする欠陥検査方法。
- 請求項1記載の予め定めた数が3以上であることを特徴とする欠陥検査方法。
- 請求項1〜8のいずれかの方法を実行するソフトウェアを備えた演算手段を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
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