JP5155938B2 - パターン輪郭検出方法 - Google Patents
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Description
検査対象パターンの画像データを取得して前記検査対象パターンの画像中の輪郭点を検出し、
グルーピング処理により前記輪郭点から複数の輪郭線を生成し、前記検査対象パターンの外側エッジおよび内側エッジのいずれか一方およびいずれか他方の候補となる第1および第2の輪郭線グループの組合せでそれぞれ構成され、生成された複数の輪郭線を互いに異なる態様でそれぞれ二分する複数の輪郭線グループペアを生成し、前記輪郭線グループペア毎に第1および第2の輪郭線グループ間で形状のマッチングを行い、前記形状マッチングで得られた前記複数の輪郭線グループペアのマッチングスコアのうち、最良のマッチングスコアを与える輪郭線グループペアを構成する第1および第2の輪郭線グループのいずれか一方を前記検査対象パターンの輪郭として特定する、パターン輪郭検出方法が提供される。
図1は、本発明の第1の実施の形態によるパターン輪郭検出方法の概略手順を示すフローチャートである。
図6は、本発明の第2の実施の形態によるパターン輪郭検出方法の概略手順を示すフローチャートである。図1と図6との対比により明らかなように、本実施形態の特徴点は、ステップS12とステップS16の手順にあり、その他の手順は、図1の対応する手順の番号に単に10を加算したものと実質的に同一である。従って、以下では、ステップS12とステップS16の手順について説明する。
EG1〜EG8:第1の輪郭線グループ
EG9〜EG16:第2の輪郭線グループ
Claims (5)
- 検査対象パターンの画像データを取得して前記検査対象パターンの画像中の輪郭点を検出し、
グルーピング処理により前記輪郭点から複数の輪郭線を生成し、
前記検査対象パターンの外側エッジおよび内側エッジのいずれか一方およびいずれか他方の候補となる第1および第2の輪郭線グループの組合せでそれぞれ構成され、生成された複数の輪郭線を互いに異なる態様でそれぞれ二分する複数の輪郭線グループペアを生成し、
前記輪郭線グループペア毎に第1および第2の輪郭線グループ間で形状のマッチングを行い、
前記形状マッチングで得られた前記複数の輪郭線グループペアのマッチングスコアのうち、最良のマッチングスコアを与える輪郭線グループペアを構成する第1および第2の輪郭線グループのいずれか一方を前記検査対象パターンの輪郭として特定する、
パターン輪郭検出方法。 - 前記形状のマッチングは、形状の一致度を指標に行われ、
前記最良のマッチングスコアとは最大の形状一致度をいう、
ことを特徴とする請求項1に記載のパターン輪郭検出方法。 - 前記形状のマッチングは、形状の分散値を指標に行われ、
前記最良のマッチングスコアとは最小の分散値をいう、
ことを特徴とする請求項1に記載のパターン輪郭検出方法。 - 前記最良のマッチングスコアを与える輪郭線グループペアを構成する第1および第2の輪郭線グループのそれぞれについて輪郭点の強度の平均値が算出され、算出された平均値のいずれか大きい方またはいずれか小さい方が前記検査対象パターンの輪郭として特定される、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のパターン輪郭検出方法。
- 前記輪郭点は、輪郭モデルとのマッチングにより検出され、
前記最良のマッチングスコアを与える輪郭線グループペアを構成する第1および第2の輪郭線グループのそれぞれについて輪郭モデルとのマッチングの際に得られるマッチングスコアの平均値が算出され、算出された平均値のいずれか大きい方またはいずれか小さい方が前記検査対象パターンの輪郭として特定される、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のパターン輪郭検出方法。
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