JP5647999B2 - パターンマッチング装置、検査システム、及びコンピュータプログラム - Google Patents
パターンマッチング装置、検査システム、及びコンピュータプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5647999B2 JP5647999B2 JP2012000023A JP2012000023A JP5647999B2 JP 5647999 B2 JP5647999 B2 JP 5647999B2 JP 2012000023 A JP2012000023 A JP 2012000023A JP 2012000023 A JP2012000023 A JP 2012000023A JP 5647999 B2 JP5647999 B2 JP 5647999B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- matching
- region
- area
- template
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
撮影画像には一般的に回路パターンによるエッジ803と撮影課程で画像に重畳するノイズ起因のエッジ(n1−n3)の両者が含まれている。ノイズ起因のエッジはパターンマッチングの類似度スコアを低下させる要因となる。
一般的に設計データやシミュレーションデータの回路パターンの形状と、実際の回路パターンの形状は異なる。これは、回路パターンの製造条件の変動や、シミュレーション誤差等に起因する。例えば図8のコーナ部804のような形状差がある。この形状差はパターンマッチングの類似度を低下させる要因となる。
202 電子線
203 試料
204 二次電子検出器
205 反射電子検出器1
206 反射電子検出器2
207 A/D変換器
208 メモリ
209 CPU
210 画像処理ハードウェア
211 ディスプレイ
212 撮像レシピ作成装置
Claims (17)
- サーチ画像内を、テンプレート用画像を用いたサーチを行うことによって、マッチング位置を特定する演算装置を備えたパターンマッチング装置において、
当該演算装置は、複数の評価領域を有するテンプレートを用いて、前記サーチを実行する際に、前記複数の評価領域の内、第1の領域について第1のマッチングスコアを求め、第2の領域について第2のマッチングスコアを求め、第1のマッチングスコアの影響が小さくなるように前記第1のマッチングスコアと前記第2のマッチングスコアからマッチング位置特定のためのマッチングスコアを演算することを特徴とするパターンマッチング装置。 - サーチ画像内を、テンプレート用画像を用いたサーチを行うことによって、マッチング位置を特定する演算装置を備えたパターンマッチング装置において、
当該演算装置は、複数の評価領域を有するテンプレートを用いて、前記サーチを実行する際に、前記複数の評価領域の内、欠陥位置を含む第1の領域と、当該第1の領域以外の複数の領域のマッチングスコアを演算することを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項1又は2のいずれかにおいて、
前記テンプレートは、少なくとも第1の領域と、当該第1の領域とは異なる位置の第2の領域を有し、前記演算装置は、当該第1の領域と第2の領域のそれぞれで前記サーチ画像との一致度を判定することを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項1又は2のいずれかにおいて、
前記テンプレートは、少なくとも第1の領域と、当該第1の領域とは異なる位置の第2の領域を有し、前記演算装置は、当該第1の領域と第2の領域のそれぞれで、前記サーチ画像内のエッジと当該テンプレート内のエッジとの距離を測定することを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項1又は2のいずれかにおいて、
前記テンプレートは、少なくとも第1の領域と、当該第1の領域とは異なる位置の第2の領域を有し、前記演算装置は、当該第1の領域の第1のマッチングスコアと、当該第2の領域の第2のマッチングスコアを演算することを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項5において、
前記演算装置は、前記第1のマッチングスコアと、第2のマッチングスコアの合成マッチングスコアを算出することを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項1又は2のいずれかにおいて、
前記評価領域には当該評価領域内にて点対称及び/又は線対称の図形が含まれることを特徴とするパターンマッチング装置。 - 請求項1又は2のいずれかにおいて、
前記評価領域には、光学シミュレーション、或いは外観検査装置によって求められる欠陥位置が含まれることを特徴とするパターンマッチング装置。 - サーチ画像内を、テンプレート用画像を用いたサーチを行うことによって、マッチング位置を特定する検査システムにおいて、
欠陥の発生が予測される部分、欠陥の存在が確認された部分を含む第1の領域と、当該第1の領域とは異なる第2の領域を有するテンプレートを用いてパターンマッチングを行う演算装置を備え、当該演算装置は、当該第2の領域を含む複数の領域の複数のマッチングスコアの評価に基づいて、マッチング位置を特定することを特徴とする検査システム。 - コンピュータに、サーチ画像内を、テンプレート用画像を用いたサーチを行わせることによってマッチング位置を特定させるコンピュータプログラムにおいて、
当該プログラムは前記コンピュータに、複数の評価領域を有するテンプレートを用いたサーチを実行させる際に、前記複数の領域の内、第1の領域について第1のマッチングスコアを求めさせ、第2の領域について第2のマッチングスコアを求めさせ、第1のマッチングスコアの影響が小さくなるように前記第1のマッチングスコアと前記第2のマッチングスコアからマッチング位置特定のためのマッチングスコアを演算させることを特徴とするコンピュータプログラム。 - コンピュータに、サーチ画像内を、テンプレート用画像を用いたサーチを行わせることによってマッチング位置を特定させるコンピュータプログラムにおいて、
当該プログラムは前記コンピュータに、複数の評価領域を有するテンプレートを用いたサーチを実行させる際に、前記複数の評価領域の内、欠陥位置を含む第1の領域と、当該第1の領域以外の複数の領域のマッチングスコアを演算させることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項10又は11のいずれかにおいて、
前記テンプレートは、少なくとも第1の領域と、当該第1の領域とは異なる位置の第2の領域を有し、前記プログラムは、前記コンピュータに、当該第1の領域と第2の領域のそれぞれで前記サーチ画像との一致度を判定させることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項10又は11のいずれかにおいて、
前記テンプレートは、少なくとも第1の領域と、当該第1の領域とは異なる位置の第2の領域を有し、前記プログラムは、前記コンピュータに、当該第1の領域と第2の領域のそれぞれで、前記サーチ画像内のエッジと当該テンプレート内のエッジとの距離を測定させることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項10又は11のいずれかにおいて、
前記テンプレートは、少なくとも第1の領域と、当該第1の領域とは異なる位置の第2の領域を有し、前記プログラムは、前記コンピュータに、当該第1の領域の第1のマッチングスコアと、当該第2の領域の第2のマッチングスコアを演算させることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項14において、
前記プログラムは、前記コンピュータに、前記第1のマッチングスコアと、第2のマッチングスコアの合成マッチングスコアを算出させることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項10又は11のいずれかにおいて、前記評価領域には当該評価領域内にて点対称及び/又は線対称の図形が含まれることを特徴とするコンピュータプログラム。
- 請求項10又は11のいずれかにおいて、前記評価領域には、光学シミュレーション、或いは外観検査装置によって求められる欠陥位置が含まれることを特徴とするコンピュータプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012000023A JP5647999B2 (ja) | 2012-01-04 | 2012-01-04 | パターンマッチング装置、検査システム、及びコンピュータプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012000023A JP5647999B2 (ja) | 2012-01-04 | 2012-01-04 | パターンマッチング装置、検査システム、及びコンピュータプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013140468A JP2013140468A (ja) | 2013-07-18 |
JP5647999B2 true JP5647999B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=49037851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012000023A Active JP5647999B2 (ja) | 2012-01-04 | 2012-01-04 | パターンマッチング装置、検査システム、及びコンピュータプログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5647999B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160104600A1 (en) * | 2014-10-14 | 2016-04-14 | Kla-Tencor Corporation | Defect Detection Using Structural Information |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015130074A (ja) * | 2014-01-07 | 2015-07-16 | リコーエレメックス株式会社 | 画像処理システムおよび画像処理方法 |
JP2015219820A (ja) * | 2014-05-20 | 2015-12-07 | 株式会社デンソー | 矩形検出装置 |
CN112837266A (zh) * | 2014-11-24 | 2021-05-25 | 基托夫系统有限公司 | 自动检查 |
JP7137487B2 (ja) * | 2019-01-22 | 2022-09-14 | 株式会社日立ハイテク | 画像評価装置及び方法 |
JP7434126B2 (ja) | 2020-09-16 | 2024-02-20 | 株式会社東芝 | 欠陥検査装置、方法およびプログラム |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5214112B2 (ja) * | 1973-02-22 | 1977-04-19 | ||
JPH0812050B2 (ja) * | 1991-06-07 | 1996-02-07 | ジューキ株式会社 | 基板マーク位置検出方式 |
JPH10213422A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Hitachi Ltd | パタ−ン検査装置 |
JP3524853B2 (ja) * | 1999-08-26 | 2004-05-10 | 株式会社ナノジオメトリ研究所 | パターン検査装置、パターン検査方法および記録媒体 |
JP4077195B2 (ja) * | 2001-12-19 | 2008-04-16 | 富士通株式会社 | 画像認識装置及びプログラム |
JP5559957B2 (ja) * | 2008-03-18 | 2014-07-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン測定方法及びパターン測定装置 |
-
2012
- 2012-01-04 JP JP2012000023A patent/JP5647999B2/ja active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160104600A1 (en) * | 2014-10-14 | 2016-04-14 | Kla-Tencor Corporation | Defect Detection Using Structural Information |
US9727047B2 (en) * | 2014-10-14 | 2017-08-08 | Kla-Tencor Corp. | Defect detection using structural information |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013140468A (ja) | 2013-07-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10445875B2 (en) | Pattern-measuring apparatus and semiconductor-measuring system | |
KR102110634B1 (ko) | 자유형의 주의 영역들을 사용한 웨이퍼 검사 | |
JP5075646B2 (ja) | 半導体欠陥検査装置ならびにその方法 | |
JP5647999B2 (ja) | パターンマッチング装置、検査システム、及びコンピュータプログラム | |
TWI475187B (zh) | Image processing devices and computer programs | |
WO2018061480A1 (ja) | パターン評価装置及びコンピュータープログラム | |
JP6063630B2 (ja) | パターン計測装置、及び半導体計測システム | |
KR101615843B1 (ko) | 반도체 계측 장치 및 기록 매체 | |
KR101945167B1 (ko) | 패턴 측정 장치 및 컴퓨터 프로그램 | |
US10317203B2 (en) | Dimension measuring apparatus and computer readable medium | |
JP5478681B2 (ja) | 半導体欠陥検査装置ならびにその方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130828 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130828 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140404 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140415 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140612 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141014 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141110 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5647999 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |