JPH0238957A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- JPH0238957A JPH0238957A JP18992588A JP18992588A JPH0238957A JP H0238957 A JPH0238957 A JP H0238957A JP 18992588 A JP18992588 A JP 18992588A JP 18992588 A JP18992588 A JP 18992588A JP H0238957 A JPH0238957 A JP H0238957A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は圧延鋼板等の移動する被検材の表面欠陥を効
率良く、且つ、高精度で検査することができるようにし
た表面欠陥検査装置の改良に間する。
率良く、且つ、高精度で検査することができるようにし
た表面欠陥検査装置の改良に間する。
圧延ラインの鋼板等の、移送中の被検材の表面欠陥の検
査は、従来、オペレータによる目視検査、レーザー光等
を被検材表面に照射して、その反射を利用して欠陥を検
査する方法、例えば、Ｑ昭５３−１２３８３．特開昭５
４−１１８２８９、特公昭５８−１４９８４等の各号報
に開示されているように、カメラとストロボにより被検
材の表面の静止画像を捕らえ、これから欠陥検査を行う
方法等がある。
査は、従来、オペレータによる目視検査、レーザー光等
を被検材表面に照射して、その反射を利用して欠陥を検
査する方法、例えば、Ｑ昭５３−１２３８３．特開昭５
４−１１８２８９、特公昭５８−１４９８４等の各号報
に開示されているように、カメラとストロボにより被検
材の表面の静止画像を捕らえ、これから欠陥検査を行う
方法等がある。
上記目視検査は、被検材のラインスピードが一定値以上
となると見逃しが増加し、未検査の状態に近くなるとい
う問題点がある。 又、レーザー光等の反射を利用した欠陥検査装置は、被
検材の表面欠陥の種類によっては、必ずしも目視検査と
比較して優れた合致率を示すものではなく、ある程度の
誤判定を許容しながら使用しなければならないという問
題点がある。 又、前記カメラとストロボを利用した表面欠陥検査方法
は、これのみでは被検材の表面における欠陥の有無が不
明であるため、被検材の全長に渡って検査したり、表面
欠陥がある部分のみを抽出して表面欠陥検査を行うこと
ができないという問題点がある。
となると見逃しが増加し、未検査の状態に近くなるとい
う問題点がある。 又、レーザー光等の反射を利用した欠陥検査装置は、被
検材の表面欠陥の種類によっては、必ずしも目視検査と
比較して優れた合致率を示すものではなく、ある程度の
誤判定を許容しながら使用しなければならないという問
題点がある。 又、前記カメラとストロボを利用した表面欠陥検査方法
は、これのみでは被検材の表面における欠陥の有無が不
明であるため、被検材の全長に渡って検査したり、表面
欠陥がある部分のみを抽出して表面欠陥検査を行うこと
ができないという問題点がある。
この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであ
って、移動する鋼板等の被検材の表面欠陥を高速で、且
つ高精度に検査することができるようにした表面欠陥検
査装置を提供することを目的とする。
って、移動する鋼板等の被検材の表面欠陥を高速で、且
つ高精度に検査することができるようにした表面欠陥検
査装置を提供することを目的とする。
この発明は、移動する被検材の表面に光線を照射し、そ
の反射状態に基づき該被検材の表面欠陥を検出する検出
器と、この検出器により得られた表面欠陥検出信号に基
づき、該表面欠陥の種類及びグレードを計算するための
計算機と、この計算機から出力される表面欠陥の種類及
びグレード信号に基づいて、！！影が必要な欠陥に光を
照射する投光器及びその照射タイミングで該欠陥を撮影
するカメラと、を有して表面欠陥検査装置を構成するこ
とによって上記目的を達成するものである。
の反射状態に基づき該被検材の表面欠陥を検出する検出
器と、この検出器により得られた表面欠陥検出信号に基
づき、該表面欠陥の種類及びグレードを計算するための
計算機と、この計算機から出力される表面欠陥の種類及
びグレード信号に基づいて、！！影が必要な欠陥に光を
照射する投光器及びその照射タイミングで該欠陥を撮影
するカメラと、を有して表面欠陥検査装置を構成するこ
とによって上記目的を達成するものである。
この発明においては、先ず、被検材の表面欠陥を検出器
によって検出し、その検出信号に基づいて計算機により
表面欠陥の種類及びグレードを１次判定し、然る後、撮
影が必要な表面欠陥のみ投光器及びカメラを利用して撮
影し静止画像を得て、この静止画像に基づき、検査員が
２次判定を行う。
によって検出し、その検出信号に基づいて計算機により
表面欠陥の種類及びグレードを１次判定し、然る後、撮
影が必要な表面欠陥のみ投光器及びカメラを利用して撮
影し静止画像を得て、この静止画像に基づき、検査員が
２次判定を行う。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
この実施例は、第１図に示されるように、圧延ラインに
おける鋼板１０の表面にレーザー又は光を照射し、その
反射光を受光する投受光器を含み、前記反射光に基づい
て鋼板１０の表面欠陥を検出する検出器１２と、この検
出器１２により得られた表面欠陥検出信号をハード的に
処理するための欠陥検出回路１４と、この欠陥検出回路
１４からの信号を取込み、ソフト的に処理し、表面欠陥
の種類及びグレードの判定を行う計算１１６と、この計
Ｘ機１６から出力される表面欠陥の種類及びグレード信
号に基づいて、！！影が必要な欠陥に光を照射するスト
ロボ１８及びその照射タイミングで該欠陥を撮影するカ
メラ２０及びこれらを制御する制御回路２２を含む欠陥
検査装置２４とを含んで構成されている。 この欠陥検査装置２４は、他に、画像処理回路２６、画
像入出力回路２８、タイミング制ｔＭ回路１８Ａ及び２
ＯＡと、モニタ３０とキーボード３２が含まれている。 ス前記計’ｌ−１１４１６には該計Ｘ機で判定された表
面欠陥の情報を表示するためのＣＲＴ１６Ａ及びこのＣ
ＲＴ１６Ａに表示された表面欠陥の情報に対して欠陥検
査装置２４で検査するか否かを検査員が入力するための
キーボード１６Ｂとが接続されている。 更に、計算機１６には、パルス発生器３４から出力され
るパルス信号が入力されるようになっている。 このパルス発生器３４は、鋼板１０に対してスリップが
発生しないように転接するロール３６に連結され、該ロ
ール３６の回転数に対応してパルス信号を出力するもの
である。 前記欠陥検査装置２４における制＃回路２２は、計算８
１１１６から入力される表面欠陥情報及び、計算機１６
が、パルス発生器３４からのパルス信号に基づいて、検
出器１２により検出された表面欠陥のトラッキングによ
り、該表面欠陥がストロボ１８及びカメラ２０の位置に
到達したというタイミング信号に基づいて、タイミング
制御回路１８Ａ、２ＯＡを介してストロボ１８及びカメ
ラ２０を作動させるものである。 又、前記画像入出力回路２８は、カメラ２０によって得
られた鋼板１０表面欠陥の画像情報を取込むものである
。 又画像処理回路２６は、画像入出力回路２８に取込まれ
た画像信号に基づき、欠陥判定等の画像処理を行うと共
に、モニタ３０に欠陥画像を静止画像として表示させる
ものである。 前記キーボード３２は、モニタ３０に表示された欠陥画
像により、表面欠陥の種類グレード等の２次判定がなさ
れた後、その判定結果を、検査員により画像処理回路２
６、制御回路２２を経て計Ｘａｌ１６に入力させるもの
である。 次に上記実施例に係る表面欠陥検査装置により鋼板１０
の表面欠陥を検査する過程につき説明する。 鋼板１０が、圧延ラインにおいて第１区の左方に移動し
ている間、検出器１２はその表面にレーザー又は光を投
光し、且つ、その反射光を受光器により受光して、反射
状態から、鋼板１０の表面にある欠陥を検出し、欠陥検
出回路１４を経て計算機１６に表面欠陥情報を出力する
。 計算機１６は、欠陥検出回路１４からの信号を処理し、
検出した表面欠陥の種類及びグレードの判定（１次判定
）を行う。 一方、計算機１６は、パルス発生器３４で入力されるパ
ルス信号に基づき、検出器１２が検出した表面欠陥が、
検出点ＸＯから、カメラ２０の撮影ポイントＸ、に到達
するまでの距離ｘの間トラッキングし、カメラ２０とス
トロボ１８のタイミング合わせ時間を考慮して該表面欠
陥が前記撮影ポイントＸａの少し前に到達した時点で、
欠陥検査装！２４における制御回路２２にタイミング信
号を出力する。 ここで、計＄１１６で１次判定された表面欠陥の情報は
、ＣＲＴ１６Ａに表示され、ＣＲＴ１６Ａに表示された
表面欠陥情報に対して検査員が予めキーボード１６Ｂに
より設定しである条件に基づき計Ｘ機１６から制御回路
２２に送られる。 制御回路２２は、計算機１６から入力されるタイミング
信号に基づき、当該表面欠陥がカメラ２０の撮影ポイン
トＸｃＬに到達した時点で、タイミング制御回路１８Ａ
、２ＯＡを介して、ストロボ１８を発光させ、同時に、
カメラ２０により、肩板１０の表面欠陥を撮影させる。 カメラ２０で撮影された鋼板１０の表面欠陥情報は、画
像として画像入出力回路２８に取込まれ、この画像入出
力回路２８に取込まれた画像は画像処理回路２６で欠陥
判定等の画像処理が行われ、更にモニタ３０に表面欠陥
が静止画像として表示される。 このようにして、モニタ３０に静止画像として表示され
た表面欠陥画像は、検査員により表面欠陥の種類、グレ
ード等の２次判定を受ける。 検査員はその２次判定の結果を、キーボード３２から正
確な表面欠陥情報として、再度計算８！１１６に入力す
る。この入力された表面欠陥情報は、事前に計算１１６
で１次判定された表面欠陥情報とを突合わせがなされる
。 前記計算機１６の１次判定結果は、例えば第２図に示さ
れるように、ＣＲＴ１６Ａに表示される。 即ち、第２図のマトリックスは、纒軸に欠陥グレード、
横軸に欠陥種類を表示するもので、マトリックス中のＹ
ＥＳ、Ｎｏは、計算８１１６からカメラ２０及びストロ
ボ１８を利用した欠陥検査装置２４に対して検出した欠
陥を出力する（ＹＥＳ）か否（ＮＯ）かを表示するもの
で、Ｓる。 第２図の表示例では、計３Ｅ機１６による判定が、点状
欠陥イ、欠陥グレードがＣ１とされ、マトリックスに従
い欠陥情報は出力される（ＹＥＳ）ことどなる。 ここで、前記マトリックス内のＹＥＳ又はＮ。 の判定は、検査員による目視の判定結果と一致するよう
に設定する。 例えばマトリックス内を全てＹＥＳと設定すると、検出
器１２によって検出された全ての表面欠陥の情報が制御
回路２２′に送られて、カメラ２０によって撮影され、
モニタ３０に表示される。逆にマトリックス内を全てＮ
、Ｏと設定すれば、全ての欠陥清報が送られないので、
カメラ２０によって撮影されることはない。 ここで、上記実施例において、第２図に示されるマトリ
ックスにおける欠陥グレードの例として、軽欠陥から重
大欠陥を、Ａ〜ＥのＩｆ序で表示するようにしたが、−
数的に、重大欠陥は検出器１２、欠陥検出口ＦＩ＠１４
の検出に基づき、計３Ｅ機１６の１次判定でほぼ検出す
ることができ、該計算機１６の判定も比較的正確である
。 従って外観検査基準が比較的緩い場合このような重大欠
陥は、検査負荷を考慮して通常検査具による２次判定の
頻度を少なくすることができる。 しかしながら、外観検査基準が厳しい場合、微少欠陥等
の、第２図のマトリックスにおいてはグレードＡ、Ｂの
軽欠陥の場合でも、製品の品質保証上必ず判定を要する
ものであり、計算機１６による１次判定結果は参考とし
て、最終的に検査員の２次判定が必要となる。 従って、このような場合は、第２図のマトリックスのよ
うに、ＣＲＴ１６．Ａを設定しておけば、計算機１６に
よる１次判定に曖昧さを多く含んだ欠陥について欠陥画
像を撮影し、検査員による２次判定結果を最終判定とし
た検査を行うことができる。 又この実施例においては、モニタ３０に表示された欠陥
画像に基づく、検査員の２次判定結果が、キーボード３
２から制御回路２２を経て計算機１６に送られるので、
これと１次判定結果を突合わせることにより、オンライ
ンで学習することにより１次判定結果の向上を図ること
ができる。 なお上記実施例は圧延ラインにおける肩板１０の表面欠
陥を検査する場合についてのものであるが、本発明はこ
れに限定されるものでなく、鋼板以外の移動する被検材
の表面における表面欠陥を検査する場合につき一般的に
適用されるものである。 【発明の効果１ 本発明は上記のように構成したので、計算楓からの欠陥
情報出力時のみ投光器及びカメラにより表面欠陥の画像
を撮影し、検査員がこの画像を検査するだけで足りるの
で、能率の良い検査を行うことができ、又検査員は表面
欠陥を現す静止画像のみをチエツクするので、検査可能
なラインスピードの制限を解除することができ、更に、
２次判定で検査員による静止画像に基づく正確な表面欠
陥検査を得られるのみならず、計Ｋｍにより学習するこ
とで１次判定の精度向上を図ることができ、その結果、
連続焼鈍ラインのような中間工程で、従来、外観検査基
準の厳しい製品をｍ整等の次工程に送って検査していた
らのを、送る必要がなくなり、工程の短縮、歩留りの向
上、次工程の簡略化、省力等の優れた効果を有する。
おける鋼板１０の表面にレーザー又は光を照射し、その
反射光を受光する投受光器を含み、前記反射光に基づい
て鋼板１０の表面欠陥を検出する検出器１２と、この検
出器１２により得られた表面欠陥検出信号をハード的に
処理するための欠陥検出回路１４と、この欠陥検出回路
１４からの信号を取込み、ソフト的に処理し、表面欠陥
の種類及びグレードの判定を行う計算１１６と、この計
Ｘ機１６から出力される表面欠陥の種類及びグレード信
号に基づいて、！！影が必要な欠陥に光を照射するスト
ロボ１８及びその照射タイミングで該欠陥を撮影するカ
メラ２０及びこれらを制御する制御回路２２を含む欠陥
検査装置２４とを含んで構成されている。 この欠陥検査装置２４は、他に、画像処理回路２６、画
像入出力回路２８、タイミング制ｔＭ回路１８Ａ及び２
ＯＡと、モニタ３０とキーボード３２が含まれている。 ス前記計’ｌ−１１４１６には該計Ｘ機で判定された表
面欠陥の情報を表示するためのＣＲＴ１６Ａ及びこのＣ
ＲＴ１６Ａに表示された表面欠陥の情報に対して欠陥検
査装置２４で検査するか否かを検査員が入力するための
キーボード１６Ｂとが接続されている。 更に、計算機１６には、パルス発生器３４から出力され
るパルス信号が入力されるようになっている。 このパルス発生器３４は、鋼板１０に対してスリップが
発生しないように転接するロール３６に連結され、該ロ
ール３６の回転数に対応してパルス信号を出力するもの
である。 前記欠陥検査装置２４における制＃回路２２は、計算８
１１１６から入力される表面欠陥情報及び、計算機１６
が、パルス発生器３４からのパルス信号に基づいて、検
出器１２により検出された表面欠陥のトラッキングによ
り、該表面欠陥がストロボ１８及びカメラ２０の位置に
到達したというタイミング信号に基づいて、タイミング
制御回路１８Ａ、２ＯＡを介してストロボ１８及びカメ
ラ２０を作動させるものである。 又、前記画像入出力回路２８は、カメラ２０によって得
られた鋼板１０表面欠陥の画像情報を取込むものである
。 又画像処理回路２６は、画像入出力回路２８に取込まれ
た画像信号に基づき、欠陥判定等の画像処理を行うと共
に、モニタ３０に欠陥画像を静止画像として表示させる
ものである。 前記キーボード３２は、モニタ３０に表示された欠陥画
像により、表面欠陥の種類グレード等の２次判定がなさ
れた後、その判定結果を、検査員により画像処理回路２
６、制御回路２２を経て計Ｘａｌ１６に入力させるもの
である。 次に上記実施例に係る表面欠陥検査装置により鋼板１０
の表面欠陥を検査する過程につき説明する。 鋼板１０が、圧延ラインにおいて第１区の左方に移動し
ている間、検出器１２はその表面にレーザー又は光を投
光し、且つ、その反射光を受光器により受光して、反射
状態から、鋼板１０の表面にある欠陥を検出し、欠陥検
出回路１４を経て計算機１６に表面欠陥情報を出力する
。 計算機１６は、欠陥検出回路１４からの信号を処理し、
検出した表面欠陥の種類及びグレードの判定（１次判定
）を行う。 一方、計算機１６は、パルス発生器３４で入力されるパ
ルス信号に基づき、検出器１２が検出した表面欠陥が、
検出点ＸＯから、カメラ２０の撮影ポイントＸ、に到達
するまでの距離ｘの間トラッキングし、カメラ２０とス
トロボ１８のタイミング合わせ時間を考慮して該表面欠
陥が前記撮影ポイントＸａの少し前に到達した時点で、
欠陥検査装！２４における制御回路２２にタイミング信
号を出力する。 ここで、計＄１１６で１次判定された表面欠陥の情報は
、ＣＲＴ１６Ａに表示され、ＣＲＴ１６Ａに表示された
表面欠陥情報に対して検査員が予めキーボード１６Ｂに
より設定しである条件に基づき計Ｘ機１６から制御回路
２２に送られる。 制御回路２２は、計算機１６から入力されるタイミング
信号に基づき、当該表面欠陥がカメラ２０の撮影ポイン
トＸｃＬに到達した時点で、タイミング制御回路１８Ａ
、２ＯＡを介して、ストロボ１８を発光させ、同時に、
カメラ２０により、肩板１０の表面欠陥を撮影させる。 カメラ２０で撮影された鋼板１０の表面欠陥情報は、画
像として画像入出力回路２８に取込まれ、この画像入出
力回路２８に取込まれた画像は画像処理回路２６で欠陥
判定等の画像処理が行われ、更にモニタ３０に表面欠陥
が静止画像として表示される。 このようにして、モニタ３０に静止画像として表示され
た表面欠陥画像は、検査員により表面欠陥の種類、グレ
ード等の２次判定を受ける。 検査員はその２次判定の結果を、キーボード３２から正
確な表面欠陥情報として、再度計算８！１１６に入力す
る。この入力された表面欠陥情報は、事前に計算１１６
で１次判定された表面欠陥情報とを突合わせがなされる
。 前記計算機１６の１次判定結果は、例えば第２図に示さ
れるように、ＣＲＴ１６Ａに表示される。 即ち、第２図のマトリックスは、纒軸に欠陥グレード、
横軸に欠陥種類を表示するもので、マトリックス中のＹ
ＥＳ、Ｎｏは、計算８１１６からカメラ２０及びストロ
ボ１８を利用した欠陥検査装置２４に対して検出した欠
陥を出力する（ＹＥＳ）か否（ＮＯ）かを表示するもの
で、Ｓる。 第２図の表示例では、計３Ｅ機１６による判定が、点状
欠陥イ、欠陥グレードがＣ１とされ、マトリックスに従
い欠陥情報は出力される（ＹＥＳ）ことどなる。 ここで、前記マトリックス内のＹＥＳ又はＮ。 の判定は、検査員による目視の判定結果と一致するよう
に設定する。 例えばマトリックス内を全てＹＥＳと設定すると、検出
器１２によって検出された全ての表面欠陥の情報が制御
回路２２′に送られて、カメラ２０によって撮影され、
モニタ３０に表示される。逆にマトリックス内を全てＮ
、Ｏと設定すれば、全ての欠陥清報が送られないので、
カメラ２０によって撮影されることはない。 ここで、上記実施例において、第２図に示されるマトリ
ックスにおける欠陥グレードの例として、軽欠陥から重
大欠陥を、Ａ〜ＥのＩｆ序で表示するようにしたが、−
数的に、重大欠陥は検出器１２、欠陥検出口ＦＩ＠１４
の検出に基づき、計３Ｅ機１６の１次判定でほぼ検出す
ることができ、該計算機１６の判定も比較的正確である
。 従って外観検査基準が比較的緩い場合このような重大欠
陥は、検査負荷を考慮して通常検査具による２次判定の
頻度を少なくすることができる。 しかしながら、外観検査基準が厳しい場合、微少欠陥等
の、第２図のマトリックスにおいてはグレードＡ、Ｂの
軽欠陥の場合でも、製品の品質保証上必ず判定を要する
ものであり、計算機１６による１次判定結果は参考とし
て、最終的に検査員の２次判定が必要となる。 従って、このような場合は、第２図のマトリックスのよ
うに、ＣＲＴ１６．Ａを設定しておけば、計算機１６に
よる１次判定に曖昧さを多く含んだ欠陥について欠陥画
像を撮影し、検査員による２次判定結果を最終判定とし
た検査を行うことができる。 又この実施例においては、モニタ３０に表示された欠陥
画像に基づく、検査員の２次判定結果が、キーボード３
２から制御回路２２を経て計算機１６に送られるので、
これと１次判定結果を突合わせることにより、オンライ
ンで学習することにより１次判定結果の向上を図ること
ができる。 なお上記実施例は圧延ラインにおける肩板１０の表面欠
陥を検査する場合についてのものであるが、本発明はこ
れに限定されるものでなく、鋼板以外の移動する被検材
の表面における表面欠陥を検査する場合につき一般的に
適用されるものである。 【発明の効果１ 本発明は上記のように構成したので、計算楓からの欠陥
情報出力時のみ投光器及びカメラにより表面欠陥の画像
を撮影し、検査員がこの画像を検査するだけで足りるの
で、能率の良い検査を行うことができ、又検査員は表面
欠陥を現す静止画像のみをチエツクするので、検査可能
なラインスピードの制限を解除することができ、更に、
２次判定で検査員による静止画像に基づく正確な表面欠
陥検査を得られるのみならず、計Ｋｍにより学習するこ
とで１次判定の精度向上を図ることができ、その結果、
連続焼鈍ラインのような中間工程で、従来、外観検査基
準の厳しい製品をｍ整等の次工程に送って検査していた
らのを、送る必要がなくなり、工程の短縮、歩留りの向
上、次工程の簡略化、省力等の優れた効果を有する。
第１図は本発明に係る表面欠陥検査装置の実施例を示す
ブロック図、第２図は同実施例における計算機の判定結
果を示す線図である。 １０・・・鋼板、 １２・・・検出器、 １４・・・欠陥検出回路、 １６・・・計算機、 １８・・・ストロボ、 ２０・・・カメラ、 ２２・・・制御回路、 ２４・・・欠陥検出装置、 ２６・・・画像処理回路、 ２８・・・画像入出力回路、 ３４・・・パルス発生器。 第１図 第２図
ブロック図、第２図は同実施例における計算機の判定結
果を示す線図である。 １０・・・鋼板、 １２・・・検出器、 １４・・・欠陥検出回路、 １６・・・計算機、 １８・・・ストロボ、 ２０・・・カメラ、 ２２・・・制御回路、 ２４・・・欠陥検出装置、 ２６・・・画像処理回路、 ２８・・・画像入出力回路、 ３４・・・パルス発生器。 第１図 第２図
Claims (1)
- （１）移動する被検材の表面に光線を照射し、その反射
状態に基づき該被検材の表面欠陥を検出する検出器と、
この検出器により得られた表面欠陥検出信号に基づき、
該表面欠陥の種類及びグレードを計算するための計算機
と、この計算機から出力される表面欠陥の種類及びグレ
ード信号に基づいて、撮影が必要な欠陥に光を照射する
投光器及びその照射タイミングで該欠陥を撮影するカメ
ラと、を有してなる表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63189925A JPH071236B2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63189925A JPH071236B2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0238957A true JPH0238957A (ja) | 1990-02-08 |
| JPH071236B2 JPH071236B2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=16249505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63189925A Expired - Lifetime JPH071236B2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH071236B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020060462A (ja) * | 2018-10-11 | 2020-04-16 | 神鋼検査サービス株式会社 | 欠陥検出支援装置、該方法および該プログラム |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006071376A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Horiba Ltd | 分析システム、分析装置、コンピュータプログラム、及び記録媒体 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5384793A (en) * | 1976-12-29 | 1978-07-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Crack detecting method by television camera and apparatus for carrying out the method |
| JPS5990035A (ja) * | 1982-11-15 | 1984-05-24 | Kawasaki Steel Corp | 走行金属ストリツプの表面欠陥検査方法 |
| JPS61245045A (ja) * | 1985-04-23 | 1986-10-31 | Nisshin Steel Co Ltd | 金属帯の表面欠陥自動検査方法 |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP63189925A patent/JPH071236B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5384793A (en) * | 1976-12-29 | 1978-07-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Crack detecting method by television camera and apparatus for carrying out the method |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020060462A (ja) * | 2018-10-11 | 2020-04-16 | 神鋼検査サービス株式会社 | 欠陥検出支援装置、該方法および該プログラム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH071236B2 (ja) | 1995-01-11 |
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