JPH071236B2 - 表面欠陥検査装置 - Google Patents

表面欠陥検査装置

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JPH071236B2
JPH071236B2 JP63189925A JP18992588A JPH071236B2 JP H071236 B2 JPH071236 B2 JP H071236B2 JP 63189925 A JP63189925 A JP 63189925A JP 18992588 A JP18992588 A JP 18992588A JP H071236 B2 JPH071236 B2 JP H071236B2
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JP
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surface defect
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JP63189925A
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秀和 三宅
豈彦 増野
節男 女鹿
利一 貝原
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川崎製鉄株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
この発明は圧延鋼板等の移動する被検材の表面欠陥を効
率良く、且つ、高精度で検査することができるようにし
た表面欠陥検査装置の改良に関する。
【従来の技術】
圧延ラインの鋼板等の、移送中の被検材の表面欠陥の検
査は、従来、オペレータによる目視検査、レーザー光等
を被検材表面に照射して、その反射を利用して欠陥を検
査する方法、例えば、特開昭53−12383、特開昭54−118
289、特公昭58−14984等の各号報に開示されているよう
に、カメラとストロボにより被検材の表面の静止画像を
捕らえ、これから欠陥検査を行う方法等がある。 又、例えば特開昭53−84793号公報に開示されるよう
に、テレビカメラによる探傷を2段階で行い、第1段階
で疵の大小及びその位置を検出し、その検出信号に基づ
いて第2段階で再探傷を行うテレビカメラによる探傷方
法及び装置がある。
【発明が解決しようとする課題】
上記目視検査は、被検材のラインスペードが一定値以上
となると見逃しが増加し、未検査の状態に近くなるとい
う問題点がある。 又、レーザー光等の反射を利用した欠陥検査装置は、被
検材の表面欠陥の種類によつては、必ずしも目視検査と
比較して優れた合致率を示すものではなく、ある程度の
誤判定を許容しながら使用しなければならないという問
題点がある。 又、前記カメラとストロボを利用した表面欠陥検査方法
は、これのみでは被検材の表面における欠陥の有無が不
明であるため、被検材の全長に渡つて検査したり、表面
欠陥がある部分のみを抽出して表面欠陥検査を行うこと
ができないとう問題点がある。 又、前記特開昭53−84793号公報に開示された方法及び
装置の場合、探傷の第1段階及び第2段階を共にテレビ
カメラで行うので、検出精度が低く、又、常温の被検
材、特に高速移動する被検材の場合、得られる映像があ
くまでも動画であるので、探傷精度を高くすることがで
きず、常温の被検材の表面欠陥を検出することが非常に
困難であり、又、第1段階で得られる動画としての画像
も不鮮明であるので、検出精度が低く、このため第2段
階での検査対象となる疵の数を多くして、探傷の見逃し
を防止しなければならないので、検査員の作業負担を大
きく軽減することができないという問題点がある。
【発明の目的】
この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであ
つて、移動する鋼板等の被検材の表面欠陥を高速で、且
つ高精度に検査することができると共に検査員の負担を
大幅に軽減できるようにした表面欠陥検査装置を提供す
ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
この発明は、移動する被検材の表面に光線を照射し、そ
の反射状態に基づき該被検材の表面欠陥を検出する検出
器と、この検出器により得られた表面欠陥検出信号に基
づき、該表面欠陥の種類及びグレードを計算して1次判
定すると共に、該1次判定結果により得られた表面欠陥
の種類及びグレードと、表面欠陥の種類及びグレードの
組み合わせに対する2次判定撮影の要否が予め設定され
ているマトリツクス情報とに従つて、2次判定撮影の要
否判定を行うための計算機と、前記マトリツクス情報、
及び、前記計算機による前記1次判定の結果を表示する
手段と、前記要否判定の結果に基づいて、撮影が必要な
欠陥に光を照射する投光器及びその照射タイミングで該
欠陥を静止画として撮影するカメラと、前記カメラで撮
影された欠陥画像を表示する手段と、該欠陥画像に基づ
き、又、前記マトリツクス情報及び前記1次判定結果の
表示を参照しつつ行つた、検査員による表面欠陥の種類
及びグレードの2次判定結果を入力する手段と、を有し
て表面欠陥検査装置を構成することによつて上記目的を
達成するものである。
【作用】
この発明においては、先ず、被検材の表面欠陥を検出器
によつて検出し、その検出信号に基づいて計算機により
表面欠陥の種類及びグレードを1次判定し、又、該1次
判定結果を用いた予め2次判定撮影の要否が設定されて
いるマトリツクス情報に基づいた2次判定撮影の要否判
定を行う。然る後、前記要否判定に従い、撮影が必要な
表面欠陥のみ投光器及びカメラを利用して撮影し静止画
像を得て、この静止画像に基づき、検査員が2次判定を
行う。
【実施例】
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。 この実施例は、第1図に示されるように、圧延ラインに
おける鋼板10の表面にレーザー又は光を照射し、その反
射光を受光する投受光器を含み、前記反射光に基づいて
鋼板10の表面欠陥を検出する検出器12と、この検出器12
により得られた表面欠陥検出信号をハード的に処理する
ための欠陥検出回路14と、この欠陥検出回路14からの信
号を取込み、ソフト的に処理し、表面欠陥の種類及びグ
レードの判定を行う計算機16と、この計算機16から出力
される表面欠陥の種類及びグレード信号に基づいて、撮
影が必要な欠陥に光を照射するストロボ18及びその照射
タイミングで該欠陥を撮影するカメラ20及びこれらを制
御する制御回路22を含む欠陥検査装置24とを含んで構成
されている。 この欠陥検査装置24は、他に、画像処理回路26、画像入
出力回路28、タイミング制御回路18A及び20Aと、モニタ
30とキーボード32が含まれている。 又前記計算機16には該計算機で判定された表面欠陥の情
報を表示するためのCRT16A及びこのCRT16Aに表示された
表面欠陥の情報に対して欠陥検査装置24で検査するか否
かを検査員が入力するためのキーボード16Bとが接続さ
れている。 更に、計算機16には、パルス発生器34から出力されるパ
ルス信号が入力されるようになつている。 このパルス発生器34は、鋼板10に対してスリツプが発生
しないように転接するロール36に連結され、該ロール36
の回転数に対応してパルス信号を出力するものである。 前記欠陥検査装置24における制御回路22は、計算機16か
ら入力される表面欠陥情報及び、計算機16が、パルス発
生器34からのパルス信号に基づいて、検出器12により検
出された表面欠陥のトラツキングにより、該表面欠陥が
ストロボ18及びカメラ20の位置に到達したというタイミ
ング信号に基づいて、タイミング制御回路18A、20Aを介
してストロボ18及びカメラ20を作動させるものである。 又、前記画像入出力回路28は、カメラ20によつて得られ
た鋼板10表面欠陥の画像情報を取込むものである。 又画像処理回路26は、画像入出力回路28に取込まれた画
像信号に基づき、欠陥判定等の画像処理を行うと共に、
モニタ30に欠陥画像を静止画像として表示させるもので
ある。 前記キーボード32は、モニタ30に表示された欠陥画像に
より、表面欠陥の種類グレード等の2次判定がなされた
後、その判定結果を、検査員により画像処理回路26、制
御回路22を経て計算機16に入力させるものである。 次に上記実施例に係る表面欠陥検査装置により鋼板10の
表面欠陥を検査する過程につき説明する。 鋼板10が、圧延ラインにおいて第1図の左方に移動して
いる間、検出器12はその表面にレーザー又は光を投光
し、且つ、その反射光を受光器により受光して、反射状
態から、鋼板10の表面にある欠陥を検出し、欠陥検出回
路14を経て計算機16に表面欠陥情報を出力する。 計算機16は、欠陥検出回路14からの信号を処理し、検出
した表面欠陥の種類及びグレードの判定(1次判定)を
行う。 一方、計算機16は、パルス発生器34で入力されるパルス
信号に基づき、検出器12が検出した表面欠陥が、検出点
Xoから、カメラ20の撮影ポイントXaに到達するまでの距
離xの間トラツキングし、カメラ20とストロボ18のタイ
ミング合わせ時間を考慮して該表面欠陥が前記撮影ポイ
ントXaの少し前に到達した時点で、欠陥検査装置24にお
ける制御回路22にタイミング信号を出力する。 ここで、計算機16で1次判定された表面欠陥の情報は、
CRT16Aに表示され、CRT16Aに表示された表面欠陥情報に
対して、検査員が予めキーボード16Bにより設定してあ
る後述する2次判定撮影の要否の条件に基づき、計算機
16から制御回路22に送られる。 制御回路22は、計算機16から入力されるタイミング信号
に基づき、当該表面欠陥がカメラ20の撮影ポイントXa
到達した時点で、タイミング制御回路18A、20Aを介し
て、ストロボ18を発光させ、同時に、カメラ20により、
鋼板10の表面欠陥を撮影させる。 カメラ20で撮影された鋼板10の表面欠陥情報は、画像と
して画像入出力回路28に取込まれ、この画像入出力回路
28に取込まれた画像は画像処理回路26で欠陥判定等の画
像処理が行われ、更にモニタ30に表面欠陥が静止画像と
して表示される。 このようにして、モニタ30に静止画像として表示され
た、2次判定を目的として撮影された表面欠陥画像は、
検査員により表面欠陥の種類、グレード等の2次判定を
受ける。 検査員はその2次判定の結果を、キーボード32から正確
な表面欠陥情報として、再度計算機16に入力する。この
入力された表面欠陥情報は、事前に計算機16で1次判定
された表面欠陥情報との突合わせがなされる。 前記計算機16の1次判定結果は、例えば第2図に示され
るように、CRT16Aに表示される。 即ち、第2図のマトリツクスは、縦軸に欠陥グレード、
横軸に欠陥種類を表示するもので、マトリツクス中のYE
S、NOは、計算機16からカメラ20及びストロボ18を利用
した欠陥検査装置24に対して検出した欠陥を出力する
(YES)か否(NO)かを表示するものである。即ち、欠
陥グレード及び欠陥種類の組み合わせに対する、2次判
定を行う欠陥検査装置24への出力の有無が設定され、2
次判定撮影の要否が設定されたマトリツクス情報、及
び、1次判定結果を表示するものである。 第2図の表示例では、計算機16による判定が、点状欠陥
イ、欠陥グレードがC、とされ、マトリツクスに従い欠
陥情報は出力される(YES)こととなる。 ここで、前記マトリツクス内のYES又はNOの判定は、検
査員による目視の判定結果と一致するように設定する。 例えばマトリツクス内を全てYESと設定すると、検出器1
2によつて検出された全ての表面欠陥の情報が制御回路2
2に送られて、カメラ0によつて撮影され、モニタ30に
表示される。逆にマトリツクス内を全てNOと設定すれ
ば、全ての欠陥情報が送られないので、カメラ20によつ
て撮影されることはない。即ち、マトリツクス内のYES
やNOは、2次判定に要する撮影の要否に関する設定と言
うことができる。 ここで、上記実施例において、第2図に示されるマトリ
ツクスにおける欠陥グレードの例として、軽欠陥から重
大欠陥を、A〜Eの順序で表示するようにしたが、一般
的に、重大欠陥は検出器12、欠陥検出回路14の検出に基
づき、計算機16の1次判定でほぼ検出することができ、
該計算機16の判定も比較的正確である。 従つて外観検査基準が比較的緩い場合このような重大欠
陥は、検査負荷を考慮して通常検査員による2次判定の
頻度を少なくすることができる。 しかしながら、外観検査基準が厳しい場合、微少欠陥等
の、第2図のマトリツクスにおいてはグレードA、Bの
軽欠陥の場合でも、製品の品質保証上必ず判定を要する
ものであり、計算機16による1次判定結果は参考とし
て、最終的に検査員の2次判定が必要となる。 従つて、このような場合は、第2図のマトリツクスのよ
うに、CRT16Aを設定しておけば、計算機16による1次判
定に曖昧さを多く含んだ欠陥について欠陥画像を撮影
し、検査員による2次判定結果を最終判定とした検査を
行うことができる。 又この実施例においては、モニタ30に表示された欠陥画
像に基づく、検査員の2次判定結果が、キーボード32か
ら制御回路22を経て計算機16に送られるので、これと1
次判定結果を突合わせることにより、オンラインで学習
することにより1次判定結果の向上を図ることができ
る。 なお上記実施例は圧延ラインにおける鋼板10の表面欠陥
を検査する場合についてのものであるが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、鋼板以外の移動する被検材
の表面における表面欠陥を検査する場合につき一般的に
適用されるものである。
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、計算機からの欠陥
情報出力時のみ投光器及びカメラにより表面欠陥の静止
画像を撮影し、検査員がこの画像を検査するだけで足り
るので、能率の良い検査を行うことができ、又検査員は
表面欠陥を現す静止画像のみをチエツクするので、検査
可能なラインスピードの制限を解除することができ、更
に、2次判定で検査員による静止画像に基づく正確な表
面欠陥検査を得られるのみならず、計算機により学習す
ることで1次判定の精度向上を図ることができ、その結
果、連続焼鈍ラインのような中間工程で、従来、外観検
査基準の厳しい製品を精整等の次工程に送つて検査して
いたものを、送る必要がなくなり、工程の短縮、歩留り
の向上、次工程の簡略化、省力等の優れた効果を有す
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る表面欠陥検査装置の実施例を示す
ブロック図、第2図は同実施例における計算機の判定結
果を示す線図である。 10……鋼板、12……検出器、14……欠陥検出回路、16…
…計算機、18……ストロボ、20……カメラ、22……制御
回路、24……欠陥検出装置、26……画像処理回路、28…
…画像入出力回路、34……パルス発生器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 貝原 利一 千葉県千葉市川崎町1番地 川崎製鉄株式 会社千葉製鉄所内 (56)参考文献 特開 昭53−84793(JP,A) 特開 昭59−90035(JP,A) 特開 昭61−245045(JP,A)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】移動する被検材の表面に光線を照射し、そ
    の反射状態に基づき該被検材の表面欠陥を検出する検出
    器と、 この検出器により得られた表面欠陥検出信号に基づき、
    該表面欠陥の種類及びグレードを計算して1次判定する
    と共に、該1次判定結果により得られた表面欠陥の種類
    及びグレードと、表面欠陥の種類及びグレードの各組み
    合わせに対する2次判定撮影の要否が予め設定されてい
    るマトリツクス情報とに従つて、2次判定撮影の要否判
    定を行うための計算機と、 前記マトリツクス情報、及び、前記計算機による前記1
    次判定の結果を表示する手段と、 前記要否判定の結果に基づいて、撮影が必要な欠陥に光
    を照射する投光器及びその照射タイミングで該欠陥を静
    止画として撮影するカメラと、 前記カメラで撮影された欠陥画像を表示する手段と、 該欠陥画像に基づき、又、前記マトリツクス情報及び前
    記1次判定結果の表示を参照しつつ行つた、検査員によ
    る表面欠陥の種類及びグレードの2次判定結果を入力す
    る手段と、を有し、前記2次判定を行つた場合には、該
    2次判定に基づいて最終判定をするようにしたことを特
    徴とする表面欠陥検査装置。
JP63189925A 1988-07-29 1988-07-29 表面欠陥検査装置 Expired - Lifetime JPH071236B2 (ja)

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JPH0238957A JPH0238957A (ja) 1990-02-08
JPH071236B2 true JPH071236B2 (ja) 1995-01-11

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006071376A (ja) * 2004-08-31 2006-03-16 Horiba Ltd 分析システム、分析装置、コンピュータプログラム、及び記録媒体

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7186054B2 (ja) * 2018-10-11 2022-12-08 神鋼検査サービス株式会社 欠陥検出支援装置、該方法および該プログラム

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5384793A (en) * 1976-12-29 1978-07-26 Ishikawajima Harima Heavy Ind Crack detecting method by television camera and apparatus for carrying out the method
JPS5990035A (ja) * 1982-11-15 1984-05-24 Kawasaki Steel Corp 走行金属ストリツプの表面欠陥検査方法
JPS61245045A (ja) * 1985-04-23 1986-10-31 Nisshin Steel Co Ltd 金属帯の表面欠陥自動検査方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006071376A (ja) * 2004-08-31 2006-03-16 Horiba Ltd 分析システム、分析装置、コンピュータプログラム、及び記録媒体

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