JPH0792106A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- JPH0792106A JPH0792106A JP24011893A JP24011893A JPH0792106A JP H0792106 A JPH0792106 A JP H0792106A JP 24011893 A JP24011893 A JP 24011893A JP 24011893 A JP24011893 A JP 24011893A JP H0792106 A JPH0792106 A JP H0792106A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高効率，高精度に表面欠陥を検査できる装置
を提供する。 【構成】 表面欠陥検査装置は、矢符方向に搬送されて
いる鋼板１の表面にレーザ光を照射して反射光からその
表面欠陥を検出する光学センサ２と、検出された表面欠
陥の種類及び等級の判定を行う欠陥検出器３と、判定結
果に基づいて再検査の要非を判断して撮像指令信号を出
力する再検査判定器４と、撮像指令信号及びパルスジェ
ネレータ６からのパルス信号に基づいて制御信号を出力
するトラッキング装置５と、前記光学センサ２の下流に
タンデムに配設され、表面欠陥にそれぞれ異なる方向か
ら投光してこれを撮像する、カラーテレビカメラ7a,7b
及びストロボ8a,8b を具備する２対の撮像装置と、カラ
ーテレビカメラ7a,7b が撮像した欠陥画像を保存する保
存装置９と、前記欠陥画像を表示する表示装置10とを備
える。
を提供する。 【構成】 表面欠陥検査装置は、矢符方向に搬送されて
いる鋼板１の表面にレーザ光を照射して反射光からその
表面欠陥を検出する光学センサ２と、検出された表面欠
陥の種類及び等級の判定を行う欠陥検出器３と、判定結
果に基づいて再検査の要非を判断して撮像指令信号を出
力する再検査判定器４と、撮像指令信号及びパルスジェ
ネレータ６からのパルス信号に基づいて制御信号を出力
するトラッキング装置５と、前記光学センサ２の下流に
タンデムに配設され、表面欠陥にそれぞれ異なる方向か
ら投光してこれを撮像する、カラーテレビカメラ7a,7b
及びストロボ8a,8b を具備する２対の撮像装置と、カラ
ーテレビカメラ7a,7b が撮像した欠陥画像を保存する保
存装置９と、前記欠陥画像を表示する表示装置10とを備
える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は搬送中の鋼板又は鋼管
等，移動している被検査材の表面欠陥を検査する装置に
関する。
等，移動している被検査材の表面欠陥を検査する装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は特開平 2−38957 号公報に記載さ
れている、従来の表面欠陥検査装置の構成を示すブロッ
ク図であり、図中21は矢符方向に搬送される鋼板であ
る。鋼板21の搬送域に臨んで、鋼板21の表面にその幅方
向に走査させつつレーザ光を照射してその反射光を受光
する光学センサ22が配置されており、光学センサ22が検
出した検出信号は欠陥検出器23に与えられる。欠陥検出
器23は与えられた検出信号から表面欠陥に関する情報を
検出してこれを計算機24へ出力し、計算機24は欠陥情報
に基づいて欠陥の種類及び等級についての１次判定を行
いその結果をＣＲＴ29に表示するようになっている。
れている、従来の表面欠陥検査装置の構成を示すブロッ
ク図であり、図中21は矢符方向に搬送される鋼板であ
る。鋼板21の搬送域に臨んで、鋼板21の表面にその幅方
向に走査させつつレーザ光を照射してその反射光を受光
する光学センサ22が配置されており、光学センサ22が検
出した検出信号は欠陥検出器23に与えられる。欠陥検出
器23は与えられた検出信号から表面欠陥に関する情報を
検出してこれを計算機24へ出力し、計算機24は欠陥情報
に基づいて欠陥の種類及び等級についての１次判定を行
いその結果をＣＲＴ29に表示するようになっている。
【０００３】鋼板21の搬送方向における光学センサ22の
下流には、鋼板21の表面欠陥を撮像すべくテレビカメラ
27及びストロボ28を具備する一対の撮像装置が配置され
ており、鋼板21に転接するロール40には鋼板21の搬送距
離を検出すべくパルスジェネレータ26が連結されてい
る。そしてパルスジェネレータ26は搬送距離に応じたパ
ルス信号を計算機24に与えるようになっている。計算機
24には光学センサ22とテレビカメラ27の撮像視野との間
の距離が予め設定されており、計算機24はパルスジェネ
レータ26からのパルス信号によって、光学センサ22にて
センシングされた鋼板21の表面欠陥がテレビカメラ27の
撮像視野に達するタイミングを算出する。
下流には、鋼板21の表面欠陥を撮像すべくテレビカメラ
27及びストロボ28を具備する一対の撮像装置が配置され
ており、鋼板21に転接するロール40には鋼板21の搬送距
離を検出すべくパルスジェネレータ26が連結されてい
る。そしてパルスジェネレータ26は搬送距離に応じたパ
ルス信号を計算機24に与えるようになっている。計算機
24には光学センサ22とテレビカメラ27の撮像視野との間
の距離が予め設定されており、計算機24はパルスジェネ
レータ26からのパルス信号によって、光学センサ22にて
センシングされた鋼板21の表面欠陥がテレビカメラ27の
撮像視野に達するタイミングを算出する。
【０００４】また計算機24にはキーボード30から欠陥の
種類毎に再検査を行うべき等級が設定されており、前述
した１次判定の結果によって再検査の要否を判断する。
そして計算機24は、再検査を要すると判断した場合、テ
レビカメラ27及びストロボ28を作動して当該表面欠陥を
撮像すべくそのタイミング信号を制御装置25に与える。
種類毎に再検査を行うべき等級が設定されており、前述
した１次判定の結果によって再検査の要否を判断する。
そして計算機24は、再検査を要すると判断した場合、テ
レビカメラ27及びストロボ28を作動して当該表面欠陥を
撮像すべくそのタイミング信号を制御装置25に与える。
【０００５】制御装置25はタイミング信号に基づいてタ
イミング制御装置33,34 を作動し、タイミング制御装置
33,34 はテレビカメラ27及びストロボ28の動作タイミン
グを制御し、これらに再検査を要する表面欠陥を撮像せ
しめる。撮像された表面欠陥の画像は画像入出力器32に
よって画像処理装置31へ出力され、ここで画像処理され
てモニタ35に静止画像として表示される。モニタ35に表
示された表面欠陥の静止画像は、検査員の観察によって
欠陥の種類及び等級についての２次判定がなされ、その
結果はキーボード36を介して計算器24に与えられるよう
になっている。
イミング制御装置33,34 を作動し、タイミング制御装置
33,34 はテレビカメラ27及びストロボ28の動作タイミン
グを制御し、これらに再検査を要する表面欠陥を撮像せ
しめる。撮像された表面欠陥の画像は画像入出力器32に
よって画像処理装置31へ出力され、ここで画像処理され
てモニタ35に静止画像として表示される。モニタ35に表
示された表面欠陥の静止画像は、検査員の観察によって
欠陥の種類及び等級についての２次判定がなされ、その
結果はキーボード36を介して計算器24に与えられるよう
になっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで被検査材の表
面欠陥は、該被検査材の搬送方向又は幅方向等、被検査
材の様々な方向に形成されいる。しかし従来の装置にあ
っては一方向からのみ投光して表面欠陥を撮像するよう
になしてあるため、被検査材の搬送方向から投光した場
合は、被検査材の幅方向の欠陥に対しては該欠陥による
影が生じるため静止画像における欠陥のコントラストが
高いが、被検査材の搬送方向の欠陥に対しては該欠陥に
よる影が生じないため静止画像における欠陥のコントラ
ストが低く、監視員による２次判定の精度が低い。
面欠陥は、該被検査材の搬送方向又は幅方向等、被検査
材の様々な方向に形成されいる。しかし従来の装置にあ
っては一方向からのみ投光して表面欠陥を撮像するよう
になしてあるため、被検査材の搬送方向から投光した場
合は、被検査材の幅方向の欠陥に対しては該欠陥による
影が生じるため静止画像における欠陥のコントラストが
高いが、被検査材の搬送方向の欠陥に対しては該欠陥に
よる影が生じないため静止画像における欠陥のコントラ
ストが低く、監視員による２次判定の精度が低い。
【０００７】同様に被検査材の幅方向から投光した場合
は、被検査材の幅方向の欠陥に対する２次判定の精度が
低いという問題があった。また２次判定がオンラインに
て行われているため、２次判定を要する表面欠陥の検出
間隔が短い場合は検査員による判定が困難となるから、
被検査材の搬送速度を速めることができず、判定効率が
低い。更に被検査材が光学センサにて検査されている間
中、常に検査員がモニタを監視していなければならない
という問題があった。一方再検査の要否の判断は、欠陥
の種類及び等級に基づいて行われているため、種類及び
等級の誤判定によって実際には再検査を要する欠陥が見
逃されて撮像されないという虞があった。
は、被検査材の幅方向の欠陥に対する２次判定の精度が
低いという問題があった。また２次判定がオンラインに
て行われているため、２次判定を要する表面欠陥の検出
間隔が短い場合は検査員による判定が困難となるから、
被検査材の搬送速度を速めることができず、判定効率が
低い。更に被検査材が光学センサにて検査されている間
中、常に検査員がモニタを監視していなければならない
という問題があった。一方再検査の要否の判断は、欠陥
の種類及び等級に基づいて行われているため、種類及び
等級の誤判定によって実際には再検査を要する欠陥が見
逃されて撮像されないという虞があった。
【０００８】本発明はかかる問題に鑑みてなされたもの
であって、その目的とするところは表面欠陥をそれぞれ
異なる方向から投光すべくなした撮像装置を備え、また
撮像装置が撮像した欠陥画像を保存する保存装置を備え
ることによって、高効率，高精度に表面欠陥を検査でき
る装置を提供することにある。
であって、その目的とするところは表面欠陥をそれぞれ
異なる方向から投光すべくなした撮像装置を備え、また
撮像装置が撮像した欠陥画像を保存する保存装置を備え
ることによって、高効率，高精度に表面欠陥を検査でき
る装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】第１発明に係る表面欠陥
検査装置は、被検査材の表面欠陥を検査し、該検査結果
に基づいて再検査を要すると判断された表面欠陥を撮像
する撮像手段を備える表面欠陥検査装置において、前記
表面欠陥にそれぞれ異なる方向から投光すべくなしてあ
る撮像手段を備えることを特徴とする。
検査装置は、被検査材の表面欠陥を検査し、該検査結果
に基づいて再検査を要すると判断された表面欠陥を撮像
する撮像手段を備える表面欠陥検査装置において、前記
表面欠陥にそれぞれ異なる方向から投光すべくなしてあ
る撮像手段を備えることを特徴とする。
【００１０】第２発明に係る表面欠陥検査装置は、移動
している被検査材の表面に光ビームを照射して反射光か
らその表面欠陥を検出する光学センサと、検出された表
面欠陥の種類及び等級の判定を行い再検査の要否を判断
して撮像指令信号を出力する判断装置と、前記被検査材
の移動距離を検出して距離信号を出力する検出器と、そ
の撮像視野が前記被検査材の移動方向に対して前記光学
センサの下流にあるカメラ及びその撮像視野に投光する
投光器を具備する撮像装置と、前記撮像指令信号及び距
離信号に基づいて再検査を要する表面欠陥を撮像すべく
前記撮像装置を動作させる制御装置とを備える表面欠陥
検査装置において、互いに異なる方向に配置した投光器
を具備した複数の撮像装置を、各々の撮像視野が前記被
検査材の移動方向に位置を異ならせて配設してあること
を特徴とする。
している被検査材の表面に光ビームを照射して反射光か
らその表面欠陥を検出する光学センサと、検出された表
面欠陥の種類及び等級の判定を行い再検査の要否を判断
して撮像指令信号を出力する判断装置と、前記被検査材
の移動距離を検出して距離信号を出力する検出器と、そ
の撮像視野が前記被検査材の移動方向に対して前記光学
センサの下流にあるカメラ及びその撮像視野に投光する
投光器を具備する撮像装置と、前記撮像指令信号及び距
離信号に基づいて再検査を要する表面欠陥を撮像すべく
前記撮像装置を動作させる制御装置とを備える表面欠陥
検査装置において、互いに異なる方向に配置した投光器
を具備した複数の撮像装置を、各々の撮像視野が前記被
検査材の移動方向に位置を異ならせて配設してあること
を特徴とする。
【００１１】第３発明に係る表面欠陥検査装置は、移動
している被検査材の表面に光ビームを照射して反射光か
らその表面欠陥を検出する光学センサと、検出された表
面欠陥の種類及び等級の判定を行い再検査の要否を判断
して撮像指令信号を出力する判断装置と、前記被検査材
の移動距離を検出して距離信号を出力する検出器と、そ
の撮像視野が前記被検査材の移動方向に対して前記光学
センサの下流にあるカメラ及びその撮像視野に投光する
投光器を具備する撮像装置と、前記撮像指令信号及び距
離信号に基づいて再検査を要する表面欠陥を撮像すべく
前記撮像装置を動作させる制御装置とを備える表面欠陥
検査装置において、異なる方向に配置した複数の投光器
を具備し、それぞれの方向から異なるタイミングにて投
光するようになしてある撮像装置を備えることを特徴と
する。
している被検査材の表面に光ビームを照射して反射光か
らその表面欠陥を検出する光学センサと、検出された表
面欠陥の種類及び等級の判定を行い再検査の要否を判断
して撮像指令信号を出力する判断装置と、前記被検査材
の移動距離を検出して距離信号を出力する検出器と、そ
の撮像視野が前記被検査材の移動方向に対して前記光学
センサの下流にあるカメラ及びその撮像視野に投光する
投光器を具備する撮像装置と、前記撮像指令信号及び距
離信号に基づいて再検査を要する表面欠陥を撮像すべく
前記撮像装置を動作させる制御装置とを備える表面欠陥
検査装置において、異なる方向に配置した複数の投光器
を具備し、それぞれの方向から異なるタイミングにて投
光するようになしてある撮像装置を備えることを特徴と
する。
【００１２】第４発明に係る表面欠陥検査装置は、被検
査材の表面欠陥を検査し、該検査結果に基づいて再検査
を要すると判断された表面欠陥を撮像する撮像手段を備
える表面欠陥検査装置において、前記撮像手段が撮像し
た欠陥画像を保存する装置を備えることを特徴とする。
査材の表面欠陥を検査し、該検査結果に基づいて再検査
を要すると判断された表面欠陥を撮像する撮像手段を備
える表面欠陥検査装置において、前記撮像手段が撮像し
た欠陥画像を保存する装置を備えることを特徴とする。
【００１３】第５発明に係る表面欠陥検査装置は、移動
している被検査材の表面に光ビームを照射して反射光か
らその表面欠陥を検出する光学センサと、検出された表
面欠陥の種類及び等級の判定を行い再検査の要否を判断
して撮像指令信号を出力する判断装置と、前記被検査材
の移動距離を検出して距離信号を出力する検出器と、そ
の撮像視野が前記被検査材の移動方向に対して前記光学
センサの下流にあるカメラ及びその撮像視野に投光する
投光器を具備する撮像装置と、前記撮像指令信号及び距
離信号に基づいて再検査を要する表面欠陥を撮像すべく
前記撮像装置を動作させる制御装置とを備える表面欠陥
検査装置において、前記撮像装置が撮像した欠陥画像を
保存する装置を備えることを特徴とする。
している被検査材の表面に光ビームを照射して反射光か
らその表面欠陥を検出する光学センサと、検出された表
面欠陥の種類及び等級の判定を行い再検査の要否を判断
して撮像指令信号を出力する判断装置と、前記被検査材
の移動距離を検出して距離信号を出力する検出器と、そ
の撮像視野が前記被検査材の移動方向に対して前記光学
センサの下流にあるカメラ及びその撮像視野に投光する
投光器を具備する撮像装置と、前記撮像指令信号及び距
離信号に基づいて再検査を要する表面欠陥を撮像すべく
前記撮像装置を動作させる制御装置とを備える表面欠陥
検査装置において、前記撮像装置が撮像した欠陥画像を
保存する装置を備えることを特徴とする。
【００１４】
【作用】第１，第２及び第３発明の表面欠陥検査装置に
あっては、移動している被検査材の表面に光ビームを照
射して反射光からその表面欠陥を検出する光学センサに
よって検出された表面欠陥について、判断装置がその種
類及び等級を判定する１次判定を行い、所定等級以下の
ものを再検査要と判断し、その表面欠陥を撮像すべく指
令信号を制御装置へ出力する。制御装置には検出器から
被検査材の距離信号が入力されるようになっており、前
記指令信号が入力されると制御装置は、距離信号に基づ
いて表面欠陥を撮像すべきタイミングを求め、該タイミ
ングにて光学センサの下流に配置された撮像装置をして
当該表面欠陥を撮像せしめ、２次判定のためのデータと
なす。
あっては、移動している被検査材の表面に光ビームを照
射して反射光からその表面欠陥を検出する光学センサに
よって検出された表面欠陥について、判断装置がその種
類及び等級を判定する１次判定を行い、所定等級以下の
ものを再検査要と判断し、その表面欠陥を撮像すべく指
令信号を制御装置へ出力する。制御装置には検出器から
被検査材の距離信号が入力されるようになっており、前
記指令信号が入力されると制御装置は、距離信号に基づ
いて表面欠陥を撮像すべきタイミングを求め、該タイミ
ングにて光学センサの下流に配置された撮像装置をして
当該表面欠陥を撮像せしめ、２次判定のためのデータと
なす。
【００１５】そして前記撮像装置は、表面欠陥を異なる
方向から投光して撮像すべくなされている。そのため被
検査材の移動方向にタンデムに配設した複数の撮像装置
にて、又は複数の方向に投光器を具備した撮像装置に
て、例えば被検査材の搬送方向から投光して欠陥を撮像
するようになし、及び被検査材の幅方向から投光して欠
陥を撮像するようになすことによって、被検査材の幅方
向の欠陥は搬送方向の投光によって鮮明に撮像され、一
方被検査材の搬送方向の欠陥は幅方向の投光によって鮮
明に撮像される。従って両方向の投光にて撮像された欠
陥画像を相互に参照することによって、被検査材に生じ
た欠陥が如何なる方向であっても総合的に２次判定を行
うことが可能となる。
方向から投光して撮像すべくなされている。そのため被
検査材の移動方向にタンデムに配設した複数の撮像装置
にて、又は複数の方向に投光器を具備した撮像装置に
て、例えば被検査材の搬送方向から投光して欠陥を撮像
するようになし、及び被検査材の幅方向から投光して欠
陥を撮像するようになすことによって、被検査材の幅方
向の欠陥は搬送方向の投光によって鮮明に撮像され、一
方被検査材の搬送方向の欠陥は幅方向の投光によって鮮
明に撮像される。従って両方向の投光にて撮像された欠
陥画像を相互に参照することによって、被検査材に生じ
た欠陥が如何なる方向であっても総合的に２次判定を行
うことが可能となる。
【００１６】第４及び第５発明の表面欠陥検査装置にあ
っては、撮像装置が撮像した欠陥画像を保存する保存装
置を備えているため、２次判定を要する表面欠陥の間隔
が短くともその欠陥画像を全て保存し、保存された欠陥
画像に基づいて２次判定を行うことができ、表面欠陥の
間隔によって２次判定の精度が影響されない。また欠陥
画像の保存量がある程度増えた段階で集中的に２次判定
を行うことができ、更に検査員の交代も任意に行うこと
ができる。
っては、撮像装置が撮像した欠陥画像を保存する保存装
置を備えているため、２次判定を要する表面欠陥の間隔
が短くともその欠陥画像を全て保存し、保存された欠陥
画像に基づいて２次判定を行うことができ、表面欠陥の
間隔によって２次判定の精度が影響されない。また欠陥
画像の保存量がある程度増えた段階で集中的に２次判定
を行うことができ、更に検査員の交代も任意に行うこと
ができる。
【００１７】
【実施例】以下本発明をその実施例を示す図面に基づい
て具体的に説明する。図１は本発明に係る表面欠陥検査
装置の構成を示すブロック図であり、図中１は鋼板であ
る。長手方向に搬送される鋼板１の搬送域に臨んで、鋼
板１の表面に搬送方向と直角に走査しつつレーザ光を照
射してその反射光を受光する光学センサ２が配置されて
おり、光学センサ２が検出した検出信号は欠陥検出器３
に与えられる。欠陥検出器３は複数の走査による検出信
号によって鋼板１の表面の２次元画像を形成し、該２次
元画像に基づいて欠陥の種類及び等級についての１次判
定を行い、その結果及び欠陥の位置情報を外部へ出力す
ると共に、再検査の要否を判定する再検査判定器４に与
えるようになっている。なお再検査の判定は欠陥の種類
に拘わらず等級によって行うようになす。これによって
再検査を要する欠陥の見逃しを防止し得る。
て具体的に説明する。図１は本発明に係る表面欠陥検査
装置の構成を示すブロック図であり、図中１は鋼板であ
る。長手方向に搬送される鋼板１の搬送域に臨んで、鋼
板１の表面に搬送方向と直角に走査しつつレーザ光を照
射してその反射光を受光する光学センサ２が配置されて
おり、光学センサ２が検出した検出信号は欠陥検出器３
に与えられる。欠陥検出器３は複数の走査による検出信
号によって鋼板１の表面の２次元画像を形成し、該２次
元画像に基づいて欠陥の種類及び等級についての１次判
定を行い、その結果及び欠陥の位置情報を外部へ出力す
ると共に、再検査の要否を判定する再検査判定器４に与
えるようになっている。なお再検査の判定は欠陥の種類
に拘わらず等級によって行うようになす。これによって
再検査を要する欠陥の見逃しを防止し得る。
【００１８】鋼板１の搬送方向における光学センサ２の
下流には、鋼板１の幅方向に配置されたストロボ8a及び
カラーテレビカメラ7a，並びに鋼板１の長手方向に配置
されたストロボ8b及びカラーテレビカメラ7bを具備する
２対の撮像装置が、各々の撮像視野が鋼板１の搬送方向
に位置を異ならせて配設されており、ストロボ8aはカラ
ーテレビカメラ7aの撮像視野に鋼板１の幅方向からの光
を投光し、またストロボ8bはカラーテレビカメラ7bの撮
像視野に鋼板１の長手方向からの光を投光する。また鋼
板１に転接するロール12には鋼板１の搬送距離を検出す
べくパルスジェネレータ６が連結されている。そしてパ
ルスジェネレータ６は搬送距離に応じたパルス信号をト
ラッキング装置５に与えるようになっている。
下流には、鋼板１の幅方向に配置されたストロボ8a及び
カラーテレビカメラ7a，並びに鋼板１の長手方向に配置
されたストロボ8b及びカラーテレビカメラ7bを具備する
２対の撮像装置が、各々の撮像視野が鋼板１の搬送方向
に位置を異ならせて配設されており、ストロボ8aはカラ
ーテレビカメラ7aの撮像視野に鋼板１の幅方向からの光
を投光し、またストロボ8bはカラーテレビカメラ7bの撮
像視野に鋼板１の長手方向からの光を投光する。また鋼
板１に転接するロール12には鋼板１の搬送距離を検出す
べくパルスジェネレータ６が連結されている。そしてパ
ルスジェネレータ６は搬送距離に応じたパルス信号をト
ラッキング装置５に与えるようになっている。
【００１９】トラッキング装置５には予め光学センサ２
とカラーテレビカメラ7a,7b の撮像視野との間の距離に
相当する所定値がそれぞれ設定されており、トラッキン
グ装置５は再検査判定器４からの指令信号によってパル
スジェネレータ６からのパルス信号を計数し、計数値が
前記所定値に達するとトリガ信号を出力してストロボ8
a,8b を発光させ、カラーテレビカメラ7a,7b に当該欠
陥をそれぞれ撮像させる。
とカラーテレビカメラ7a,7b の撮像視野との間の距離に
相当する所定値がそれぞれ設定されており、トラッキン
グ装置５は再検査判定器４からの指令信号によってパル
スジェネレータ６からのパルス信号を計数し、計数値が
前記所定値に達するとトリガ信号を出力してストロボ8
a,8b を発光させ、カラーテレビカメラ7a,7b に当該欠
陥をそれぞれ撮像させる。
【００２０】撮像された表面欠陥の画像は、欠陥検出器
３から与えられる１次判定の結果，再検査判定器４から
与えられる当該欠陥の画像中の位置情報，上位コンピュ
ータ（図示せず）から与えられる鋼板１の識別番号及び
撮像日時等の情報と関連付けて欠陥データベースとして
保存装置９に保存される。そして検査員によって２次判
定を行うべく指令が与えられると、表示装置10は保存装
置９に保存された欠陥画像を表示し、２次判定の結果は
検査員によって前述した欠陥データベースに加えられ
る。そして欠陥データベースの情報は製品情報として上
位コンピュータ（図示せず）へ出力されるようになって
いる。
３から与えられる１次判定の結果，再検査判定器４から
与えられる当該欠陥の画像中の位置情報，上位コンピュ
ータ（図示せず）から与えられる鋼板１の識別番号及び
撮像日時等の情報と関連付けて欠陥データベースとして
保存装置９に保存される。そして検査員によって２次判
定を行うべく指令が与えられると、表示装置10は保存装
置９に保存された欠陥画像を表示し、２次判定の結果は
検査員によって前述した欠陥データベースに加えられ
る。そして欠陥データベースの情報は製品情報として上
位コンピュータ（図示せず）へ出力されるようになって
いる。
【００２１】なお表示装置10は保存装置９から与えられ
た欠陥画像を表示しないときは、オンラインで欠陥画像
を表示している。また本実施例では撮像装置の構成をカ
ラーテレビカメラとなしたが、本発明はこれに限らず、
モノクロームテレビカメラとしてもよいことはいうまで
もない。
た欠陥画像を表示しないときは、オンラインで欠陥画像
を表示している。また本実施例では撮像装置の構成をカ
ラーテレビカメラとなしたが、本発明はこれに限らず、
モノクロームテレビカメラとしてもよいことはいうまで
もない。
【００２２】次に本発明装置及び従来装置によって比較
試験を行った結果について説明する。図２は比較試験に
おける鋼板に対する撮像装置のテレビカメラ及びストロ
ボの配置を示す平面図である。図２の如く、鋼板１の中
心線上にテレビカメラ７を配置し、ストロボ８，８を
（Ａ）テレビカメラ７を挟んで鋼板１の長手方向になる
ように，若しくは（Ｂ）テレビカメラ７を挟んで鋼板１
のの長手方向と斜めになるように、又は（Ｃ）テレビカ
メラ７を挟んで鋼板１の幅方向になるようにそれぞれ配
置した。
試験を行った結果について説明する。図２は比較試験に
おける鋼板に対する撮像装置のテレビカメラ及びストロ
ボの配置を示す平面図である。図２の如く、鋼板１の中
心線上にテレビカメラ７を配置し、ストロボ８，８を
（Ａ）テレビカメラ７を挟んで鋼板１の長手方向になる
ように，若しくは（Ｂ）テレビカメラ７を挟んで鋼板１
のの長手方向と斜めになるように、又は（Ｃ）テレビカ
メラ７を挟んで鋼板１の幅方向になるようにそれぞれ配
置した。
【００２３】表１は欠陥の直接判定と画像判定との一致
率を比較した結果である。なお従来例では、備えられた
一対の撮像装置のストロボを前述した（Ａ）〜（Ｃ）の
何れか一つの方向となるように配置した。一方本発明例
では、備えられた二対の撮像装置のストロボを前述した
（Ａ）〜（Ｃ）を組み合わせて配置した。また従来例１
及び本発明例１は、モノクロームテレビカメラを用いた
場合の結果、従来例２及び本発明例２は、カラーテレビ
カメラを用いた場合の結果である。そして線状，点状及
び面状の表面欠陥が種々の等級にて形成された鋼板を検
査し、再検査を要する表面欠陥の内より任意に３２個選
択し、監視員が鋼板の欠陥を直接目視してその等級及び
欠陥の種類を判定した結果と、監視員が画像から判定し
た結果との一致率を比較した。
率を比較した結果である。なお従来例では、備えられた
一対の撮像装置のストロボを前述した（Ａ）〜（Ｃ）の
何れか一つの方向となるように配置した。一方本発明例
では、備えられた二対の撮像装置のストロボを前述した
（Ａ）〜（Ｃ）を組み合わせて配置した。また従来例１
及び本発明例１は、モノクロームテレビカメラを用いた
場合の結果、従来例２及び本発明例２は、カラーテレビ
カメラを用いた場合の結果である。そして線状，点状及
び面状の表面欠陥が種々の等級にて形成された鋼板を検
査し、再検査を要する表面欠陥の内より任意に３２個選
択し、監視員が鋼板の欠陥を直接目視してその等級及び
欠陥の種類を判定した結果と、監視員が画像から判定し
た結果との一致率を比較した。
【００２４】
【表１】
【００２５】表１から明らかな如く、モノクロームテレ
ビカメラを用いた場合及びカラーテレビカメラを用いた
場合それぞれにおいて、本発明例は従来例より等級判定
一致率，種類判定一致率が共に高い。そして本発明例に
おいて両判定一致率は、カラーテレビカメラを用いた場
合であって（Ａ）＋（Ｃ）の組み合わせのときが最も高
かった。一方（Ａ）＋（Ｃ）の組み合わせの場合は、モ
ノクロームテレビカメラであっても従来例のいずれの判
定一致率以上であり、モノクロームテレビカメラに代え
てカラーテレビカメラを用いることによって、両判定一
致率を前述したように更に向上させることができた。
ビカメラを用いた場合及びカラーテレビカメラを用いた
場合それぞれにおいて、本発明例は従来例より等級判定
一致率，種類判定一致率が共に高い。そして本発明例に
おいて両判定一致率は、カラーテレビカメラを用いた場
合であって（Ａ）＋（Ｃ）の組み合わせのときが最も高
かった。一方（Ａ）＋（Ｃ）の組み合わせの場合は、モ
ノクロームテレビカメラであっても従来例のいずれの判
定一致率以上であり、モノクロームテレビカメラに代え
てカラーテレビカメラを用いることによって、両判定一
致率を前述したように更に向上させることができた。
【００２６】なお本実施例では被検査材の表面欠陥に異
なる方向から投光すべく、各々の撮像視野が被検査材の
搬送方向に位置が異なるようになした複数の撮像装置を
用いているが、本発明はこれに限らず、異なる方向に配
置した複数の投光器を具備し、それぞれの方向からタイ
ミングを異ならせて投光して表面欠陥を撮像するように
なしてもよい。
なる方向から投光すべく、各々の撮像視野が被検査材の
搬送方向に位置が異なるようになした複数の撮像装置を
用いているが、本発明はこれに限らず、異なる方向に配
置した複数の投光器を具備し、それぞれの方向からタイ
ミングを異ならせて投光して表面欠陥を撮像するように
なしてもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上詳述した如く本発明に係る表面欠陥
検査装置にあっては、表面欠陥をそれぞれ異なる方向か
ら投光して撮像した欠陥画像によって総合的に２次判定
を行うことができるため、判定精度が向上する。また撮
像装置からの欠陥画像を保存する保存装置を備えている
ため、判定精度が低下することなく検査速度を増加し
得、そして保存された欠陥画像によって集中的に２次判
定を行うことができ、検査員の交代も任意に行うことが
できるため、検査効率及び作業効率が向上する。更にカ
ラーテレビカメラにあっては、監視員が欠陥を直接目視
する状態に近似し、モノクロームテレビカメラの場合よ
り判定精度が向上する。加えて２次判定結果と欠陥検出
器の出力である１次判定結果とが異なる場合、高精度に
判定された２次判定結果に基づいて欠陥検出器の欠陥判
定ロジックを調整して１次判定の精度を向上させること
ができる等、本発明は優れた効果を奏する。
検査装置にあっては、表面欠陥をそれぞれ異なる方向か
ら投光して撮像した欠陥画像によって総合的に２次判定
を行うことができるため、判定精度が向上する。また撮
像装置からの欠陥画像を保存する保存装置を備えている
ため、判定精度が低下することなく検査速度を増加し
得、そして保存された欠陥画像によって集中的に２次判
定を行うことができ、検査員の交代も任意に行うことが
できるため、検査効率及び作業効率が向上する。更にカ
ラーテレビカメラにあっては、監視員が欠陥を直接目視
する状態に近似し、モノクロームテレビカメラの場合よ
り判定精度が向上する。加えて２次判定結果と欠陥検出
器の出力である１次判定結果とが異なる場合、高精度に
判定された２次判定結果に基づいて欠陥検出器の欠陥判
定ロジックを調整して１次判定の精度を向上させること
ができる等、本発明は優れた効果を奏する。
【図１】本発明に係る表面欠陥検査装置の構成を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】比較試験における鋼板に対する撮像装置のテレ
ビカメラ及びストロボの配置を示す平面図である。
ビカメラ及びストロボの配置を示す平面図である。
【図３】従来の表面欠陥検査装置の構成を示すブロック
図である。
図である。
１ 鋼板 ２ 光学センサ ３ 欠陥検出器 ４ 再検査判定器 ５ トラッキング装置 ６ パルスジェネレータ 7a,7b カラーテレビカメラ 8a,8b ストロボ ９ 保存装置 １０ 表示装置
Claims (5)
- 【請求項１】 被検査材の表面欠陥を検査し、該検査結
果に基づいて再検査を要すると判断された表面欠陥を撮
像する撮像手段を備える表面欠陥検査装置において、 前記表面欠陥にそれぞれ異なる方向から投光すべくなし
てある撮像手段を備えることを特徴とする表面欠陥検査
装置。 - 【請求項２】 移動している被検査材の表面に光ビーム
を照射して反射光からその表面欠陥を検出する光学セン
サと、検出された表面欠陥の種類及び等級の判定を行い
再検査の要否を判断して撮像指令信号を出力する判断装
置と、前記被検査材の移動距離を検出して距離信号を出
力する検出器と、その撮像視野が前記被検査材の移動方
向に対して前記光学センサの下流にあるカメラ及びその
撮像視野に投光する投光器を具備する撮像装置と、前記
撮像指令信号及び距離信号に基づいて再検査を要する表
面欠陥を撮像すべく前記撮像装置を動作させる制御装置
とを備える表面欠陥検査装置において、 互いに異なる方向に配置した投光器を具備した複数の撮
像装置を、各々の撮像視野が前記被検査材の移動方向に
位置を異ならせて配設してあることを特徴とする表面欠
陥検査装置。 - 【請求項３】 移動している被検査材の表面に光ビーム
を照射して反射光からその表面欠陥を検出する光学セン
サと、検出された表面欠陥の種類及び等級の判定を行い
再検査の要否を判断して撮像指令信号を出力する判断装
置と、前記被検査材の移動距離を検出して距離信号を出
力する検出器と、その撮像視野が前記被検査材の移動方
向に対して前記光学センサの下流にあるカメラ及びその
撮像視野に投光する投光器を具備する撮像装置と、前記
撮像指令信号及び距離信号に基づいて再検査を要する表
面欠陥を撮像すべく前記撮像装置を動作させる制御装置
とを備える表面欠陥検査装置において、 異なる方向に配置した複数の投光器を具備し、それぞれ
の方向から異なるタイミングにて投光するようになして
ある撮像装置を備えることを特徴とする表面欠陥検査装
置。 - 【請求項４】 被検査材の表面欠陥を検査し、該検査結
果に基づいて再検査を要すると判断された表面欠陥を撮
像する撮像手段を備える表面欠陥検査装置において、 前記撮像手段が撮像した欠陥画像を保存する装置を備え
ることを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 【請求項５】 移動している被検査材の表面に光ビーム
を照射して反射光からその表面欠陥を検出する光学セン
サと、検出された表面欠陥の種類及び等級の判定を行い
再検査の要否を判断して撮像指令信号を出力する判断装
置と、前記被検査材の移動距離を検出して距離信号を出
力する検出器と、その撮像視野が前記被検査材の移動方
向に対して前記光学センサの下流にあるカメラ及びその
撮像視野に投光する投光器を具備する撮像装置と、前記
撮像指令信号及び距離信号に基づいて再検査を要する表
面欠陥を撮像すべく前記撮像装置を動作させる制御装置
とを備える表面欠陥検査装置において、 前記撮像装置が撮像した欠陥画像を保存する装置を備え
ることを特徴とする表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24011893A JPH0792106A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24011893A JPH0792106A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0792106A true JPH0792106A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=17054762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24011893A Pending JPH0792106A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792106A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1186282A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-03-30 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気ディスク欠陥検査方法および磁気ディスク欠陥検査装置 |
| JP2002082061A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-03-22 | Sms Demag Ag | 金属ストリップ材、特に熱間圧延された鋼ストリップ及び高級鋼の表面上の自動的スケール検出のための方法及び装置 |
| JP2004138417A (ja) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Nippon Steel Corp | 鋼板の疵検査方法およびその装置 |
| CN103995002A (zh) * | 2014-05-26 | 2014-08-20 | 张家港浦项不锈钢有限公司 | 冷轧不锈钢带钢表面夹杂缺陷等级判定方法 |
| CN106292180A (zh) * | 2015-06-26 | 2017-01-04 | 信越化学工业株式会社 | 光掩模坯的缺陷检查方法、分选方法和制备方法 |
| JP2017015692A (ja) * | 2015-06-26 | 2017-01-19 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスクブランクの欠陥検査方法、選別方法及び製造方法 |
-
1993
- 1993-09-27 JP JP24011893A patent/JPH0792106A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1186282A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-03-30 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気ディスク欠陥検査方法および磁気ディスク欠陥検査装置 |
| JP2002082061A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-03-22 | Sms Demag Ag | 金属ストリップ材、特に熱間圧延された鋼ストリップ及び高級鋼の表面上の自動的スケール検出のための方法及び装置 |
| JP2004138417A (ja) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Nippon Steel Corp | 鋼板の疵検査方法およびその装置 |
| CN103995002A (zh) * | 2014-05-26 | 2014-08-20 | 张家港浦项不锈钢有限公司 | 冷轧不锈钢带钢表面夹杂缺陷等级判定方法 |
| CN106292180A (zh) * | 2015-06-26 | 2017-01-04 | 信越化学工业株式会社 | 光掩模坯的缺陷检查方法、分选方法和制备方法 |
| JP2017015692A (ja) * | 2015-06-26 | 2017-01-19 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスクブランクの欠陥検査方法、選別方法及び製造方法 |
| CN106292180B (zh) * | 2015-06-26 | 2021-05-11 | 信越化学工业株式会社 | 光掩模坯的缺陷检查方法、分选方法和制备方法 |
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