TWI407096B - 缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置 - Google Patents

Description

缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置

本發明是有關於缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置，使檢查對象物的檢查時防止過度的檢查並提高檢查效率。

一般，將檢查對象物自動檢查的自動檢查裝置中，在檢查中發生的由接觸不良和垃圾的附著等所產生的缺陷，是無法與檢查對象物的通常的缺陷有所區別，而直接被判斷為缺陷。為了消解此問題，檢出的缺陷，是由接觸不良等所產生的缺陷，或檢查對象物的通常的缺陷，為不明的情況時，返覆進行檢查。此例是如專利文獻1。

在此專利文獻1的扁平面板畫質檢查裝置中，線缺陷被檢出的話，起動再接觸裝置，進行例如3次返覆檢查。返覆檢查，線缺陷未減少的話，判斷為不良品。

[專利文獻1]日本特開2000-146756號公報

將前述習知的檢查裝置作為不良品檢出手段雖是有效的裝置，但是將多數的檢查對象物連續地檢查時，檢查效率差。即，對於1個檢查對象物返覆3次檢查的話，對於1個檢查對象物因過度的檢查而有檢查時間變長、檢查效率差的問題。

本發明的目的是提供一種缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置，抑制檢查對象物的過度的檢查提高檢查效率。

本發明的缺陷檢查方法，是對於檢查對象物的缺陷的有無進行檢查並且將複數檢查對象物連續檢查的缺陷檢查方法，其特徵為：橫跨連續被檢查的複數檢查對象物，在同一或是其附近的位置同樣的缺陷被複數檢出的情況時，將該缺陷判斷為不是起因於檢查對象物的缺陷並加以除外。

本發明的缺陷檢查裝置，是對於檢查對象物的缺陷的有無進行檢查並且將複數檢查對象物連續檢查的缺陷檢查裝置，其特徵為，具備：將前述檢查對象物連續地搬運的搬運手段；及將由該搬運手段被搬運的前述檢查對象物連續地檢查的檢查部；及將由該檢查部連續地被檢查的檢查對象物的畫像進行處理並檢出缺陷的畫像處理部；及橫跨由該畫像處理部連續地被檢查的複數檢查對象物，在同一或是其附近的位置同樣的缺陷被複數檢出的情況時，將該缺陷判斷為不是起因於檢查對象物的缺陷並加以除外的控制部。

如以上，依據本發明，因為橫跨連續地被檢查的複數枚的檢查對象物，在同一或是近似的位置同樣的缺陷被複數檢出的情況時，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物起因的缺陷並加以除外，所以可以抑制檢查對象物的過度的檢查，可以提高檢查效率。

以下，對於本發明的實施例的缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置，一邊參照添付圖面一邊說明。在此，檢查對象物是以液晶面板為例說明。且，實施缺陷檢查方法用的缺陷檢查裝置是以點燈檢查裝置為例說明。

點燈檢查裝置1，是如第2圖及第3圖所示，將無圖示的探針(接觸子)接觸於在液晶面板的各電極並外加檢查訊號且將背部光源點燈來檢查缺陷的有無並且將複數液晶面板連續檢查用的裝置。

點燈檢查裝置1主要具備搬運手段2、及檢查手段3。

搬運手段2，是將液晶面板連續地搬運用的手段。此搬運手段2是具備搬運裝置6、及搬運用機械手臂(無圖示)。

搬運裝置6，是具備滾子輸送帶7。滾子輸送帶7，是在其兩側分別連接上流側輸送帶(無圖示)及下流側輸送帶(無圖示)，使複數液晶面板連續地被搬運。藉由此搬運裝置6從上流側被搬運來的液晶面板是由檢查手段3進行檢查，檢查終了後的液晶面板是朝下流側被搬運。

搬運用機械手臂(無圖示)，是將由滾子輸送帶7搬運來的液晶面板搬入檢查手段3，將檢查終了後的液晶面板從檢查手段3返回至滾子輸送帶7用的裝置。此搬運用機械手臂，是可以使用既有的裝置。

檢查手段3，是使探針接觸被搬入的液晶面板的各電極，將該液晶面板點燈(或是從背後由背部光源照明)，外加檢查訊號進行缺陷的有無檢查的裝置。

檢查手段3，是如第3圖所示主要由：攝影裝置11、及畫像處理裝置12、及畫像顯示裝置13所構成。

攝影裝置11，是將被顯示在成為檢查對象的液晶面板14的畫像攝影的攝影手段。此攝影裝置11，是由：透鏡系15、及攝影元件16、及對焦手段(無圖示)、及面板控制部17、及控制手段18所構成。又，液晶面板14、透鏡系15及攝影元件16，是被收納於暗室19內，將外光遮斷。且，在暗室19內，也設有：將液晶面板14支撐並進行位置對合等的檢查載台，探針組件(皆無圖示)等。

透鏡系15，是在暗室19內且位於前述液晶面板14及攝影元件16之間將焦點調整用的光學裝置。透鏡系15，是將1個透鏡或是複數透鏡、濾光鏡等組合而構成。攝影元件16，是將液晶面板14從上攝影用的元件。攝影元件16具體而言是由使用CCD元件的照相機所構成。

對焦手段，是將前述透鏡系15及攝影元件16一體地移動並對於前述液晶面板14的畫像進行對焦的裝置。

面板控制部17，是由LCD面板用電源22、及LCD面板驅動訊號發生器23所構成。由LCD面板用電源22朝液晶面板14供給電源，藉由從LCD面板驅動訊號發生器23發生驅動訊號使液晶面板14被驅動。由此，液晶面板14發光，顯示適宜檢查用的畫像。

控制手段18是將點燈檢查裝置1的整體控制用的裝置。控制手段18，具體而言是藉由具備控制功能的電腦構成。在本實施例中，由1個電腦具有畫像處理裝置12及控制手段18的2個功能。又，將控制手段18由1個電腦構成，將畫像處理裝置12由其他的1個電腦構成也可以。且，其他的結構也可以。

控制手段18，是具備：對焦處理功能、及近攝處理功能、及第1圖所示的處理功能。

對焦處理功能，是從由前述攝影裝置11所攝影的畫像檢查前述液晶面板14的缺陷時，控制前述攝影裝置11的前述對焦手段對於前述液晶面板14進行對焦用的處理功能。對焦手段，是將前述透鏡系15移動，對於在通常間距的液晶面板的畫像的通常攝影狀態或是對於窄畫素間距的小型液晶面板的畫像的微攝影(近攝)狀態下進行對焦後，不將透鏡系15動作，而是將透鏡系15及液晶面板14之間的距離保持一定。

控制手段18，是控制攝影裝置11將畫像取入，將此畫像資訊記憶在後述的記憶手段，依據後述的第1圖的處理功能將適宜畫像資訊讀出的處理。

畫像處理裝置12，是將由攝影裝置11攝影的畫像進行處理，在畫像顯示裝置13進行顯示用的裝置。畫像處理裝置12，是將由攝影裝置11攝影的畫像記憶的記憶手段(無圖示)。將被記憶在此記憶手段的畫像資訊適宜讀出進行比較處理，檢出缺陷。畫像處理裝置12，具體而言是由具備畫像處理功能的電腦構成。在本實施例中，如上述，由1個電腦具有畫像處理裝置12及控制手段18的功能。且，在畫像處理裝置12中，鍵盤24和滑鼠25是適宜地被連接。

畫像顯示裝置13，是將由攝影裝置11被攝影且由畫像處理裝置12被畫像處理的畫像資料顯示用的裝置。畫像顯示裝置13，是由缺陷畫像用監視器27、及操作用監視器28所構成。缺陷畫像用監視器27，是顯示由攝影裝置11被攝影且由畫像處理裝置12處理之後的液晶面板14的表面的畫像。操作用監視器28，是在攝影裝置11的對焦等時顯示液晶面板14。操作者，是一邊看此操作用監視器28一邊進行攝影裝置11的對焦等的操作，看著缺陷畫像用監視器27，檢查在液晶面板14是否顯示不均勻。

控制手段18也控制液晶面板14的搬運。控制手段18，是控制搬運裝置6、搬運用機械手臂等，將液晶面板14從上流側搬運朝檢查手段3搬入，將檢查終了後的液晶面板14從檢查手段3朝搬運裝置6側返回朝下流搬運，依據一連的動作控制各裝置的驅動馬達等。

進一步控制手段18，是進行：將檢查載台等驅動使探針接觸液晶面板14的各電極的控制、從其液晶面板14的背後由背部光源照明的控制、從探針朝各電極外加檢查訊號的控制等。在檢查手段3中，將由搬運手段2被搬運的液晶面板14連續地檢查。

進一步，控制手段18，是具有：橫跨由檢查手段3連續被檢查的複數枚的液晶面板14，在同一或是近似的位置同樣的缺陷被檢出的情況時，將該缺陷判斷為不是液晶面板14起因的缺陷，並將該缺陷除外使不當作缺陷的處理功能(第1圖所示的處理功能)。

接著，說明使用以上的結構的點燈檢查裝置1的缺陷檢查方法。在此，依據第1圖的流程圖以控制手段18的動作為中心進行說明。

首先，將液晶面板14搬入(步驟S1)。液晶面板14，是從上流側輸送帶直到滾子輸送帶7為止被搬運，由搬運用機械手臂從滾子輸送帶7被搬入檢查手段3內。被搬入液晶面板14，是被載置在檢查載台上。

接著，開始檢查(步驟S2)。被載置在檢查載台上的液晶面板14，是一邊被位置對合一邊使其電極及探針組件的探針被整合且彼此之間接觸。且，由LCD面板用電源22使液晶面板14被點燈，由LCD面板驅動訊號發生器23從探針朝各電極被外加驅動訊號，進行液晶面板14的點燈檢查。

接著，進行攝像處理(步驟S3)。由攝影裝置11，將被點燈的液晶面板14的表面的畫像取入。取入的畫像資訊，一旦被記憶在控制手段18的記憶手段。

接著，進行畫像處理(步驟S4)。由畫像處理裝置12使被記憶在上述記憶手段的畫像資訊被處理，並檢查缺陷的有無。

接著，將檢查結果取得(步驟S5)，與其他的檢查結果相比較。因此，將接近M枚的液晶面板14的檢查結果從上述記憶手段讀出，將這些比較(步驟S6)。在此，比較對象枚數雖為M枚，但是具體的枚數是依據諸條件被設定。例如，依據處理總數和所要求的精度等的條件被設定。在本實施例中為10枚。將接近的10枚的液晶面板14的檢查結果讀出進行比較。即，將被連續檢查的10枚的液晶面板14進行比較。

由此，判斷在±A的範圍位址是否一致(步驟S7)。即，判斷在同一或是其附近的位置是否具有同樣的缺陷。在此，±A的範圍是依據諸條件被設定。具體而言，為了識別：由探針及電極的接觸不良所產生的線缺陷、和附著在背部光源側的垃圾等的，不是液晶面板14起因的缺陷(外部起因的缺陷)而設定的值。由探針及電極的接觸不良所產生的線缺陷等，即使液晶面板14變化雖也發生於相同位置，但是依據檢查載台的位置對合精度和照相機的精度等的諸條件，在被取入的畫像上，相同位置的缺陷是由複數畫像上只具有些微的偏離。此偏離的範圍設定為±A的範圍。檢查載台的位置對合精度等較高的情況時±A的範圍窄，較低的情況時寬。即，偏離的範圍是配合上述的各精度適宜被設定。

在步驟S7在±A的範圍位址是不一致的情況時，將其畫像上的缺陷作為通常的缺陷進行處理(步驟S8)。通常的缺陷的位置資訊是被記憶於上述記憶手段。

在步驟S7中在±A的範圍位址是一致的情況時，其是判斷由接近的M枚(10枚)的液晶面板14的檢查是否N次以上被檢出(步驟S9)。在此，將N次設定成3次。2次的情況時有可能是偶然一致，3次的情況時偶然的可能性因為較低，所以設定成3次。由線缺陷和垃圾等所產生的缺陷，是振動和風等的外部要因的話幾乎無變化。因此，探針的針壓的變化等的檢出條件不會變動的話，一旦缺陷被檢出的話，該缺陷會在相同位址返覆被檢出。為了利用此特徵，區別面板起因的缺陷及其以外的缺陷，是判斷在±A的範圍位址一致的缺陷是否3次以上被檢出。又，前述檢出條件等的變動幅度大的情況時，也有可能設定成2次或4次以上的情況。

具體而言，由第4、5圖所示的態樣進行判斷。第4圖是線缺陷的檢出例。在此，在第1次有1條的線缺陷被檢出，在第2次有2條的線缺陷被檢出，在第10次有1條的線缺陷被檢出。且，第1次及第10次的線缺陷的位址、及第2次的二條的線缺陷之中的1條的位址因為一致，所以在第4圖的例中，將不是液晶面板14起因的缺陷，作為誤檢出，將該缺陷除外。且，第5圖是由垃圾所產生的缺陷的檢出例。在此，在第1次1個的點缺陷被檢出，在第2次1個的點缺陷被檢出，在第3次2個的點缺陷被檢出，在第4次1個的點缺陷被檢出。且，第1次的點缺陷是在畫面上右上有1個，第2次的點缺陷是在畫面上左上有1個，第3次的點缺陷是在畫面上左上及中央有2個，第4次的點缺陷是在畫面上左上有1個被檢出。且，第2次及第4次的點缺陷的位址、及第3次的2個的點缺陷之中的1個的位址因為一致，所以在第5圖的例中，將不是液晶面板14起因的缺陷，作為誤檢出，將該缺陷除外。

在步驟S9中N次(3次)未滿的檢出的情況時，將其畫像上的缺陷作為通常的缺陷處理(步驟S8)。

在步驟S9中N次(3次)以上被檢出的情況時，其畫像上的缺陷，是由接觸不良所產生的線缺陷和附著在背部光源側的垃圾等的，不是液晶面板14起因的缺陷，作為誤檢出，將該缺陷除外，將其位置資訊記錄在記憶部14(步驟S10)。且，依據需要將警告顯示、警報等顯示在缺陷畫像用監視器27或是操作用監視器28來引起注意。操作者，是依據此譬告顯示等，依據需要確認原因，進行維修。

接著，終了檢查(步驟S11)，將液晶面板14朝外部排出並與新的液晶面板14交換(步驟S12)，返回至步驟S1返覆上述處理，連續地檢查。

如以上，因為不將同一的液晶面板14返覆檢查，依據與其他的液晶面板14的檢查結果的比較，判斷該檢出的缺陷是否為該液晶面板14起因的缺陷，判斷為不是該液晶面板14起因的缺陷加以除外的方式進行檢查，所以可以防止過度的檢查，液晶面板14起因的缺陷就可以穩定獲得。此結果，可以提高檢查效率。

[變形例]

在前述實施形形態中，缺陷檢查裝置雖以液晶面板14的點燈檢查裝置為例說明，但是本發明不限定於此點燈檢查裝置，對於本申請人先前提案的線內(inline)自動檢查裝置(日本特願2007-41247)等的其他的檢查裝置也可以適用本發明。且，可以適用於液晶面板以外的檢查對象物。

在前述實施形形態中，雖說明探針接觸電極的檢查裝置的例，但是由非接觸進行檢查的檢查裝置的情況也可以適用本發明。

1．．．點燈檢查裝置

2．．．搬運手段

3．．．檢查手段

6．．．搬運裝置

7．．．滾子輸送帶

11．．．攝影裝置

12．．．畫像處理裝置

13．．．畫像顯示裝置

14．．．液晶面板

15．．．透鏡系

16．．．攝影元件

17．．．面板控制部

18．．．控制手段

19．．．暗室

22．．．LCD面板用電源

23．．．LCD面板驅動訊號發生器

24．．．鍵盤

25．．．滑鼠

27．．．缺陷畫像用監視器

28．．．操作用監視器

[第1圖]顯示本發明的實施例的點燈檢查裝置的控制部中的處理功能的流程圖。

[第2圖]顯示本發明的實施例的點燈檢查裝置的立體圖。

[第3圖]顯示本發明的實施例的點燈檢查裝置的檢查手段的構成圖。

[第4圖]顯示由本發明的實施例的點燈檢查裝置檢出線缺陷的例的意示圖。

[第5圖]顯示由本發明的實施例的點燈檢查裝置檢出由垃圾附著所產生的缺陷的例的意示圖。

Claims (2)

1. 一種缺陷檢查方法，是對於檢查對象物的缺陷的有無進行檢查並且將複數檢查對象物連續檢查的缺陷檢查方法，其特徵為：具有：對於連續被檢查的複數檢查對象物，將最近的複數枚的檢查對象物的檢查結果讀出，並將其比較的過程；及判斷在同一或其附近的位置是否具有同樣缺陷的過程；及若在同一或其附近的位置不具有同樣缺陷的情況時，將該畫像上的缺陷視為通常的缺陷處理的過程；及在同一或是其附近的位置同樣的缺陷被複數檢出的情況時，判斷其是否在最近的複數枚的檢查對象物的檢查中被檢出設定次數以上的過程；及若被檢出設定次數以上的情況時，將該缺陷判斷為不是起因於檢查對象物的缺陷並加以除外的過程。
2. 一種缺陷檢查裝置，是對於檢查對象物的缺陷的有無進行檢查並且將複數檢查對象物連續檢查的缺陷檢查裝置，其特徵為，具備：搬運手段，將前述檢查對象物連續地搬運；及檢查部，將由該搬運手段被搬運的前述檢查對象物連續地檢查；及畫像處理部，將由該檢查部連續地被檢查的檢查對象物的畫像進行處理並檢出缺陷；及控制部，具有：對於由該畫像處理部連續地被檢查的 複數檢查對象物，將最近的複數枚的檢查對象物的檢查結果讀出，並將其比較的處理；及判斷在同一或其附近的位置是否具有同樣缺陷的處理；及若在同一或其附近的位置不具有同樣缺陷的情況時，將該畫像上的缺陷視為通常的缺陷處理的處理；及判斷其是否在最近的複數枚的檢查對象物的檢查中被檢出設定次數以上的處理；及若被檢出設定次數以上的情況時，在同一或是其附近的位置同樣的缺陷被複數檢出的情況時，判斷其是否在最近的複數枚的檢查對象物的檢查中被檢出設定次數以上的處理；及若被檢出設定次數以上的情況時，將該缺陷判斷為不是起因於檢查對象物的缺陷並加以除外的處理。