JPH08271436A - カラーフィルタ基板の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 第１照明装置３、第１撮像装置５、第１画像
処理部８にて、カラーフィルタ基板１からの正反射光を
利用して、カラーフィルタ基板１上にある白抜け部及び
異物による欠陥部分の面積と位置とを求め、第２照明装
置４、第２撮像装置６、第２画像処理部９にて、カラー
フィルタ基板１上にある異物が乱反射する付着異物であ
るか殆ど光を反射しない固定異物であるかを検出し、主
制御部１０が、これらの画像処理の結果から、有害な白
抜け部である白抜け欠陥と、有害な固定異物である異物
欠陥とを検出すると共に、その欠陥の数から、良品・修
正品・不良品の判定を行なう。 【効果】 作業者の検査にかかる時間を短縮することが
でき、カラーフィルタ基板１の検査を自動的かつ定量的
に行なうことが可能なカラーフィルタ基板の検査装置を
提供できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラー表示液晶パネル
に使用されるカラーフィルタ基板の検査装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、液晶パネルは時計や電子卓上
計算器を始めとして、ノート型コンピュータやワードプ
ロセッサ、さらにはテレビジョン受像機など、広い分野
にわたって使用されており、最近ではカラー表示可能な
液晶パネルが開発されている。

【０００３】カラー表示液晶パネルは、液晶層を挟持し
た一対のガラス基板等からなる透光性基板を有し、これ
ら透光性基板の対向面とは異なる外面側に、偏光層が設
けられると共に、一対の透光性基板のうち、一方の透光
性基板の基板対向面に、薄膜トランジスタ、配向膜が順
に形成され、他方の透光性基板の基板対向面に、カラー
フィルタ、透明電極膜、配向膜が順に形成された構成を
有している。

【０００４】ところで、液晶パネルを作成するにあた
り、高歩留りで、表示品位の優れたものを製造するため
には、製造工程における個々の段階で品質検査を実施し
て、欠陥の有無、その欠陥が修正可能なものであるか等
を調べる必要がある。したがって、透光性基板の上にカ
ラーフィルタを形成した時点、及びカラーフィルタ上に
さらにポリイミドやアクリルなどの有機、または無機質
の材料を用いてオーバーコートと呼ばれる透明な保護膜
が形成された時点で、これらの基板、つまりカラーフィ
ルタ基板にも欠陥検査が実施されている。

【０００５】カラーフィルタ基板に対する検査項目とし
ては、本来カラーフィルタがなくてはならない部分にカ
ラーフィルタがない『白抜け欠陥』、異物または別のカ
ラーフィルタが付いた状態である『異物欠陥』等があ
る。

【０００６】従来、これらの検査は、カラーフィルタ基
板の基板サイズが大きく欠陥が微細であるために、作業
者の目視によって行なわれている。たとえば、蛍光灯な
どの照明にカラーフィルタ基板をかざして他の部分より
明るく見える箇所、または暗く見える箇所を目視で発見
し、その場所をマークすることで行なっている。ここで
他の部分より明るく見えた箇所が白抜け欠陥箇所であ
り、暗く見えた箇所が異物が存在する箇所である。そし
て、目視による検査だけでは欠陥の大きさや、異物が、
カラーフィルタ基板の表面に付着しただけのごみ等の付
着異物であるのか、洗浄工程でも除去されない固定異物
であるのか判断できず、良不良の判定が難しい場合は、
マークした箇所を顕微鏡で観察することで良不良を判定
するといったことも多く行なわれている。

【０００７】ところが、カラーフィルタ基板は、広い面
積に多数の微小な画素で構成されているので、このよう
なカラーフィルタ基板を目視により全数検査するのであ
るから、白抜け欠陥や異物の存在を見逃す虞れが有ると
共に、個人差による検出むらがあり、その上、如何に熟
練した作業者であっても微小な異物を発見するのに相当
な時間がかかり、非能率的である。

【０００８】これに対し、特開平４−１９４６５３号公
報には、カラーフィルタの表面に対して約８０°及び約
１５°の投光角度で、白色の光束をそれぞれ投光する第
１投光系と第２投光系とを設けると共に、投光方向と対
称側の約８５°の受光角度に共通受光系を設け、第１投
光系の光束の正反射光の検出信号により埋没異物を検出
する一方、第２投光系の光束の散乱光の検出信号により
付着異物を検出する異物検出装置の構成が開示されてい
る。これによれば、目視によらず、自動的に異物の存在
が検出されるので、作業者はカラーフィルタ基板の広い
面積の中から微小な異物を見つける作業から解放される
こととなる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報の異物検出装置では、カラーフィルタ基板にある埋没
異物（本明細書の固定異物に相当）と付着異物とが共通
光学系で区別なく検出されるので、検査後の洗浄工程で
洗い流すことが可能な付着異物までも欠陥として検出さ
れてしまうこととなる。したがって、この装置では、実
際の欠陥を含む多くの欠陥候補を検出することになり、
作業者はこれら多くの欠陥候補を逐次顕微鏡により観察
し、本当に修正する必要がある欠陥かどうかを選別する
必要があり、検査にかかる時間を大幅に短縮し得たとは
言い難い。

【００１０】また、上記公報の装置では、異物を検出す
ることのみを目的としているので、カラーフィルタ基板
の検査項目である『白抜け欠陥』を検出することができ
ないといった欠点もある。

【００１１】本発明は、上記課題に鑑みなされたもの
で、その第１の目的は、有害な白抜け部からなる白抜け
欠陥と有害な固定異物である異物欠陥を効率よく検出で
きるカラーフィルタ基板の検査装置を提供することで、
第２の目的は、欠陥検査の結果からカラーフィルタ基板
の良不良を判定して、自動的かつ定量的にカラーフィル
タ基板の検査が可能なカラーフィルタ基板の検査装置を
提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
カラーフィルタ基板の検査装置は、上記の課題を解決す
るために、透光性基板上にカラーフィルタが形成された
カラーフィルタ基板、或いはカラーフィルタ上に更に透
明層が形成されたカラーフィルタ基板を検査対象とし、
載置台上の上記カラーフィルタ基板の基板面を照明する
第１照明部と、載置台上の上記カラーフィルタ基板の表
面に対して低い角度で投光する第２照明部と、上記第１
照明部の光で照明されたカラーフィルタ基板の表面を撮
像する第１撮像部と、上記第２照明部からの光がカラー
フィルタ基板の表面で散乱した散乱光を捉える第２撮像
部と、上記第１撮像部からの映像信号を受けて、輝度差
から白抜け部及び異物の位置と大きさを求める第１画像
処理部と、上記第２撮像部からの映像信号を受けて、異
物による高輝度部分の位置と大きさを求める第２画像処
理部と、上記第１画像処理部で得られた白抜け部と異物
の情報から大きさに基づいて白抜け部及び異物が有害か
無害かを判定すると共に、第１及び第２の各画像処理部
で得られた情報から、異物が固定異物か付着異物かを判
定し、有害な白抜け部と有害な固定異物とを検出する欠
陥検出部とが設けられていることを特徴としている。

【００１３】上記請求項２記載のカラーフィルタ基板の
検査装置は、上記の課題を解決するために、請求項１の
構成において、さらに、上記欠陥検出部にて検出された
有害な白抜け部と有害な固定異物の数に基づいて、上記
カラーフィルタ基板に対して良品・修正可能品・修正不
可能品の判定を行なう品質判定部が備えられていること
を特徴としている。

【００１４】

【作用】上記請求項１の構成によれば、第１撮像部で撮
像されるカラーフィルタ基板の表面の像は、カラーフィ
ルタ基板の基板表面に異物があると、何も付着していな
い平坦な他の部分に比べて暗くなる。一方、白抜け部が
あると明るくなる。第１画像処理部では、第１撮像部か
ら送られてくる映像信号を受けて、異物の存在により周
囲に比べて輝度の低い部分の位置と大きさを求め、同様
に、白抜け部により周囲に比べて輝度の高い部分の位置
と大きさを求める。

【００１５】一方、第２撮像部では、第２照明部からの
光がカラーフィルタ基板の表面で散乱した散乱光を捉え
るので、第２撮像部で撮像される像は、異物の種類によ
って異なる。つまり、付着異物では、その表面で光が乱
反射するので付着異物全体が明るくなる。これに対し、
山形の固定異物では、裾野の傾斜面で正反射の関係にあ
る部分に当たった光のみが明るくなる。第２画像処理部
では、第２撮像部から送られてくる映像信号を受けて、
異物の存在により周囲に比べて輝度の高い部分の位置と
大きさを求める。

【００１６】そして、欠陥判定部が、上記第１画像処理
部で得られた白抜け部と異物の情報から大きさに基づい
て白抜け部及び異物が有害か無害かを判定すると共に、
第１及び第２の各画像処理部で得られた情報から、異物
が固定異物か付着異物かを判定し、有害な白抜け部と有
害な固定異物とを検出する。

【００１７】したがって、従来のように、検査後の洗浄
工程で洗い流すことが可能な無害な付着異物までもが固
定異物と共に検出され『異物欠陥』とされることがな
く、作業者が顕微鏡で観察して固定異物か付着異物であ
るかを見分けるといった作業が必要なくなる。また、白
抜け部である『白抜け欠陥』も同時に検出されることと
なる。また、この場合、欠陥検出部は、第１画像処理部
にて得られた情報から、大きさにより白抜け部及び異物
を、有害か無害かに判別するようになっているので、微
小であって害を及ぼす虞れのないものまで検出されるこ
とがない。

【００１８】これによって、白抜け欠陥と異物欠陥を効
率よく検出できるカラーフィルタ基板の検査装置が実現
でき、カラーフィルタ基板の検査工程で検査にかかる時
間を大幅に短縮し、作業者の負担を軽減することが可能
となる。

【００１９】請求項２の構成によれば、品質判定部が、
上記欠陥検出部にて検出された有害な白抜け部と、有害
な固定異物の数に基づいて、上記カラーフィルタ基板に
対して良品・修正可能品・修正不可能品の判定を行なう
ので、欠陥検査の終了後に、作業者が欠陥検査の結果に
基づいてカラーフィルタ基板を不良品・修正品・良品と
選別する必要がなく、作業者の検査にかかる時間をさら
に短縮することができると共に、カラーフィルタ基板の
検査を自動的かつ定量的に行なうことが可能となる。

【００２０】

【実施例】本発明の一実施例について図１ないし図７に
基づいて説明すれば、以下の通りである。

【００２１】本発明に係るカラーフィルタ基板の検査装
置は、図１に示すように、カラーフィルタ基板１が載置
される検査ステージ（載置台）２を備えており、この検
査ステージ２はテーブル駆動部７にて、矢印Ａの方向に
移動されるようになっている。

【００２２】検査ステージ２の一側方には、カラーフィ
ルタ基板搬送用の図示しないアームを備えた搬入機構１
２が設けられており、このアームにて、未検査のカラー
フィルタ基板１を複数収納する未検査品カセット１３か
らカラーフィルタ基板１が検査ステージ２上へと搬送さ
れるようになっている。

【００２３】また、検査ステージ２の別の側方には、カ
ラーフィルタ基板搬送用の図示しないアームを備えた搬
出機構１４が設けられており、このアームにて、検査ス
テージ２に載置された検査済のカラーフィルタ基板１
が、検査結果に応じて良品カセット１５、修正品（修正
可能品）カセット１６、不良品（修正不可能品）カセッ
ト１７へと収納されるようになっている。

【００２４】検査ステージ２の上方には、第１照明装置
（第１照明部）３とＣＣＤ（ChargeCoupled Device)ラ
インセンサーカメラからなる第１撮像装置（第１撮像
部）５とが設けられている。これらは、第１照明装置３
から発せられ、検査ステージ２上に載置されたカラーフ
ィルタ基板１の表面で正反射した光が、第１撮像部５に
入光するような位置関係に取り付けられている。

【００２５】また、検査ステージ２の上方には、第２照
明装置（第１照明部）４とＣＣＤ（Charge Coupled Dev
ice)ラインセンサーカメラからなる第２撮像装置（第２
撮像部）６とが設けられている。第２照明装置４は、検
査ステージ２上に載置されたカラーフィルタ基板１の表
面に対して低い投光角度で取り付けられており、カラー
フィルタ基板１を斜め方向から照射するようになってい
る。そして、第２撮像装置６は、検査ステージ２上に載
置されたカラーフィルタ基板１の平坦な表面で正反射さ
れた光が入らないように検査ステージ２の法線方向に取
り付けられている。

【００２６】これら第１及び第２の撮像装置５・６は、
第１及び第２の画像処理部８・９にそれぞれ接続されて
おり、第１撮像装置５にて撮像された映像の映像信号
は、第１画像処理部８に、第２撮像装置６にて撮像され
た映像の映像信号は、第２画像処理部９にそれぞれ入力
されるようになっている。

【００２７】第１及び第２の画像処理部８・９は、第１
及び第２の撮像装置５・６からの映像信号を、検査項目
に応じて画像処理する機能を有しており、図示しない画
像メモリやＣＰＵ、検査項目の検査プログラムなどが記
憶された記憶装置が接続され、信号処理により抽出した
欠陥部分の位置と大きさを記憶するようになっている。
尚、第１の画像処理部８にて行なわれる第１の画像処理
の処理内容、及び第２の画像処理部９により行なわれる
第２の画像処理の処理内容については後述する。

【００２８】上記カラーフィルタ基板１としては、透光
性基板の上にカラーフィルタを形成したもの、或いは、
カラーフィルタ上にさらにポリイミドやアクリルなどの
有機、または無機質の材料を用いてオーバーコートと呼
ばれる透明な保護膜が形成されたものである。

【００２９】さらに、本検査装置には、制御系として、
主制御部１０と、主制御部１０の制御下、上記したテー
ブル駆動部７、搬入機構１２、搬出機構１４の搬送系の
駆動を制御する搬送系制御部１１を備えている。

【００３０】主制御部１０は、図示しないＣＰＵや、制
御プログラム、検査の際の判定基準等が記憶された主記
憶装置を備えた本検査装置の制御中枢である。主制御部
１０は、搬送系制御部１１を介してテーブル駆動部７、
搬入機構１２、搬出機構１４を駆動すると共に、第１及
び第２画像処理部８・９にて処理された処理情報を読み
出して、後述のように、カラーフィルタ基板１の欠陥判
定を行ない、また、そのカラーフィルタ基板１が良品か
不良品か、或いは修正により使用できる修正品かを判別
するようになっている。つまり、主制御部１０が本発明
の欠陥検出部、品質判定部としての機能を有している。

【００３１】ここで、上記の第１画像処理部８と、第２
画像処理部９の各画像処理の処理内容を説明する。ま
ず、第１画像処理部８にて行なわれている第１の画像処
理について図４及び図５を用いて説明する。第１照明装
置３から出射された光束は、カラーフィルタ基板１の基
板表面にて正反射して第１撮像装置５に入る。ところ
が、図４（ａ）、図５（ａ）に示すように、カラーフィ
ルタ基板１の基板表面に、埋没した異物や他のカラーフ
ィルタが形成された固定異物２０や、ごみ等の付着異物
２１があると、何も付着していない平坦な他の部分に比
べて第１撮像装置５の方向に向かう反射光が少なくな
る。したがって、第１撮像装置５では、図４（ｂ）、図
５（ｂ）に示すように、固定異物２０や付着異物２１の
部分が周囲に比べて暗く見える像が撮像されることとな
る。また、カラーフィルタの存在すべき所に存在しない
白抜け部の場合は、正常な基板表面よりも反射光が多く
なり、したがって、白抜け部のある部分が周囲に比べて
より明るく見える像が撮像されることとなる。

【００３２】そして、第１画像処理部８では、第１撮像
装置５から送られてくる映像信号を、シェーディング補
正法、或いはカラーフィルタ１絵素分映像信号をずらし
た信号との差をとる画像比較法によって輝度ムラのない
信号とした後、固定異物２０や付着異物２１により周囲
に比べて輝度の低い欠陥部分の面積と位置の算出を行な
い、同様に、白抜け部により周囲に比べて輝度の高い欠
陥部分の面積と位置の算出を行なう。これが第１の画像
処理である。

【００３３】続いて、第２画像処理部９にて行なわれて
いる第２の画像処理について説明する。図６（ａ）、図
７（ａ）に示すように、第２照明装置４から出射された
光束で、カラーフィルタ基板１の正常な基板表面で反射
した光は、第２撮像装置６に入らないが、山形の固定異
物２０の裾野の傾斜面で正反射の関係にある部分に当た
った光と、付着異物２１に当たって乱反射した光とは第
２撮像装置６に入る。したがって、固定異物２０の場
合、第２撮像装置６では、図６（ｂ）に示すように、固
定異物２０の一部のみが明るくなって見える像が撮像さ
れ、付着異物２１の場合は、図７（ｂ）に示すように、
付着異物２１の全体が明るくなって見える像が撮像され
ることとなる。

【００３４】そして、第２画像処理部９では、第２撮像
装置６から送られてくる映像信号を、シェーディング補
正法によって輝度ムラのない信号とした後、固定異物２
０や付着異物２１により周囲に比べて輝度の高い欠陥部
分の面積と位置の算出を行なう。これが第２の画像処理
である。

【００３５】次に、上記検査装置の検査手順を、図１、
及び図２・図３に示すフローチャートを用いて説明す
る。

【００３６】主制御部１０は、まず、図２に示す検査フ
ローチャートに基づいて、搬送系制御部１１に搬送指令
を発する。これにより、搬入機構１２が作動して、未検
査のカラーフィルタ基板１が未検査品カセット１３内か
ら取り出され、検査ステージ２上に載置され、位置決め
される（Ｓ１・Ｓ２）。次に、主制御部１０は定速駆動
指令を搬送系制御部１１に発する。これにより、テーブ
ル駆動部７が作動し、検査ステージ２が載置されている
カラーフィルタ基板１と共に矢印Ａ方向に定速で送られ
る（Ｓ３）。

【００３７】また、主制御部１０は、定速駆動指令と共
に、１第及び第２の撮像装置５・６にも駆動指令を発す
る。これにより、検査ステージ２が定速で移動されてい
る間、第１及び第２の撮像装置５・６により撮像された
カラーフィルタ基板１の映像信号が順次、第１及び第２
の画像処理部８・９にそれぞれ送られ（Ｓ４・Ｓ５）、
この画像処理部８・９において上記した第１の画像処理
と第２の画像処理とがそれぞれ行なわれ（Ｓ６・Ｓ
７）、処理結果が記憶される。

【００３８】上記Ｓ３〜Ｓ７までの動作が実行されて、
カラーフィルタ基板１全面の欠陥部分の検出が終了する
と、主制御部１０が、第１の画像処理での処理結果と第
２の画像処理での処理結果をもとに、図３に示す欠陥判
定処理のフローチャートに従って、検出した欠陥部分が
有害欠陥であるか無害欠陥であるかの判定を実施する
（Ｓ８）。

【００３９】つまり、まず、第１の画像処理での処理結
果を基に、欠陥部分が輝度の高くなった（白）白抜け部
であるか、輝度の低い固定異物２０や付着異物２１が付
着した（黒）ものであるかを判定し（Ｓ２１）、白抜け
部である場合は、その面積が主記憶装置に予め記憶され
ている基準値より大きいか否かを判断し（Ｓ２２）、大
きい場合は有害な白抜け部、つまり白抜け欠陥であると
し（Ｓ２４）、小さい場合は無害欠陥であるとする（Ｓ
２３）。

【００４０】一方に、欠陥部分が輝度の低い固定異物２
０や付着異物２１の異物による欠陥である場合は、その
面積が主記憶装置に予め記憶されている基準値より大き
いか否かを判断し（Ｓ２５）、小さい場合は無害欠陥で
あるとし（Ｓ２６）、大きい場合は、その面積と、同一
位置における第２画像処理部９にて求められた欠陥部分
の面積との比を算出し（Ｓ２７）、その面積比が主記憶
装置に予め記憶されている基準値より大きいか否かを判
断する（Ｓ２８）。そして、大きい場合は、洗浄工程で
除去可能な付着異物２１であり、無害欠陥であるとし
（Ｓ２９）、面積比の小さい場合は、有害な固定異物２
０による異物欠陥であるとする（Ｓ３０）。

【００４１】こうして、図２の検査フローチャートにお
けるＳ８の欠陥判定処理が終了すると、次に、主制御部
１０は、有害な欠陥の種類とその数を主記憶装置に記憶
された判定基準データと比較することによって不良品・
修正品・良品の判定を行なう（Ｓ９）。

【００４２】以上の検査が終了すると、主制御部１０よ
り検査結果を搬送系制御部１１に発する（Ｓ１０）。こ
れにより、搬出機構１４がＳ９の良不良の判定に応じ
て、カラーフィルタ基板１を良品カセット１５、修正品
カセット１６、或いは不良品カセット１７へと収納す
る。これにて、一枚のカラーフィルタ基板１に対する品
質検査が終了し、再び、未検査のカラーフィルタ基板１
が検査ステージ２に載置される。

【００４３】以上のように、本実施例のカラーフィルタ
基板の検査装置では、第１照明装置３、第１撮像装置
５、第１画像処理部８にて、カラーフィルタ基板１から
の正反射光を利用して、カラーフィルタ基板１上にある
白抜け部及び異物の欠陥部分の面積と位置とを求め、第
２照明装置４、第２撮像装置６、第２画像処理部９に
て、カラーフィルタ基板１上にある異物が乱反射する付
着異物２１であるか殆ど光を反射しない固定異物２０で
あるかを検出し、主制御部１０が、第１画像処理部８で
得られた情報から大きさに基づいて白抜け部及び異物が
有害か無害かを判定すると共に、第１及び第２の各画像
処理部８・９で得られた情報から、異物が固定異物２０
か付着異物２１かを判定し、有害な白抜け部からなる白
抜け欠陥と、有害な固定異物２０である異物欠陥とを検
出するようになっている。

【００４４】これにより、従来のように、検査後の洗浄
工程で洗い流すことが可能な付着異物２１までも有害欠
陥として検出されてしまうようなこともないので、作業
者が顕微鏡により観察し、本当に修正する必要がある欠
陥かどうかを判定する必要がなくなる。また、同じ検査
工程で、白抜け欠陥を同時に検出することも可能とな
る。また、この場合、第１画像処理部８にて得られた情
報から、大きさにより白抜け部及び異物を、有害か無害
かに判別するようになっているので、微小であって害を
及ぼす虞れのないものまで有害欠陥として検出されるこ
ともない。これらの結果、検査にかかる時間を大幅に短
縮することが可能となる。

【００４５】しかも、上記カラーフィルタ基板の検査装
置では、主制御部１０が、欠陥検査の結果から、有害欠
陥の種類とその数から不良品・修正品・良品の判定を行
なうようになっているので、欠陥検査の終了後に、不良
品・修正品・良品の選別を行なう必要もなく、作業者の
検査にかかる時間をさらに短縮することができ、異物欠
陥と白抜け欠陥を自動的かつ定量的に検出できる信頼性
の高いカラーフィルタ基板の検査装置となっている。

【００４６】尚、上記実施例では、第１撮像装置５は、
第１照明装置３から投光された光束がカラーフィルタ基
板１で正反射されたものを受光する位置に設けられた構
成としていたが、カラーフィルタ基板１を挟んで第１照
明装置３と対向するように設け、カラーフィルタ基板１
の透過光を検出する構成ももちろん可能である。

【００４７】

【発明の効果】本発明の請求項１記載のカラーフィルタ
基板の検査装置は、以上のように、透光性基板上にカラ
ーフィルタが形成されたカラーフィルタ基板、或いはカ
ラーフィルタ上に更に透明層が形成されたカラーフィル
タ基板を検査対象とし、載置台上の上記カラーフィルタ
基板の基板面を照明する第１照明部と、載置台上の上記
カラーフィルタ基板の表面に対して低い角度で投光する
第２照明部と、上記第１照明部の光で照明されたカラー
フィルタ基板の表面を撮像する第１撮像部と、上記第２
照明部からの光がカラーフィルタ基板の表面で散乱した
散乱光を捉える第２撮像部と、上記第１撮像部からの映
像信号を受けて、輝度差から白抜け部及び異物の位置と
大きさを求める第１画像処理部と、上記第２撮像部から
の映像信号を受けて、異物による高輝度部分の位置と大
きさを求める第２画像処理部と、上記第１画像処理部で
得られた白抜け部と異物の情報から大きさに基づいて白
抜け部及び異物が有害か無害かを判定すると共に、第１
及び第２の各画像処理部で得られた情報から、異物が固
定異物か付着異物かを判定し、有害な白抜け部と有害な
固定異物とを検出する欠陥検出部とが設けられている構
成である。

【００４８】これにより従来のように、検査後の洗浄工
程で洗い流すことが可能な無害な付着異物までもが固定
異物と共に『異物欠陥』として検出されることがなく、
作業者が顕微鏡で観察して固定異物か付着異物であるか
を見分けるといった作業が必要なくなる。また、有害な
白抜け部である『白抜け欠陥』も同時に検出されること
となる。また、この場合、欠陥検出部は、第１画像処理
部にて得られた情報から、大きさにより白抜け部及び異
物を、有害か無害かに判別するようになっているので、
微小であって害を及ぼす虞れのないものまで検出される
ことがない。

【００４９】それゆえ、白抜け欠陥と異物欠陥を効率よ
く検出できるカラーフィルタ基板の検査装置が実現で
き、カラーフィルタ基板の検査工程で検査にかかる時間
を大幅に短縮し、作業者の負担を軽減することが可能と
なるという効果を併せて奏する。

【００５０】上記請求項２記載のカラーフィルタ基板の
検査装置は、以上のように、請求項１の構成において、
さらに、上記欠陥検出部にて検出された有害な白抜け部
と有害な固定異物の数に基づいて、上記カラーフィルタ
基板に対して良品・修正可能品・修正不可能品の判定を
行なう品質判定部が備えられている構成である。

【００５１】それゆえ、上記請求項１による効果に加え
て、欠陥検査の終了後に、作業者が欠陥検査の結果に基
づいてカラーフィルタ基板を不良品・修正品・良品と選
別する必要がなく、作業者の検査にかかる時間をさらに
短縮することができると共に、カラーフィルタ基板の検
査を自動的かつ定量的に行なうことが可能なカラーフィ
ルタ基板の検査装置を実現できるという効果を併せて奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すもので、カラーフィル
タ基板の検査装置の構成を示すブロック図である。

【図２】上記カラーフィルタ基板の検査装置で行なわれ
るカラーフィルタ基板の品質検査の検査フローチャート
である。

【図３】上記カラーフィルタ基板の検査装置で行なわれ
るカラーフィルタ基板の品質検査の、欠陥判定フローチ
ャートである。

【図４】（ａ）は固定異物における第１照明装置と第１
撮像装置との関係を示す説明図であり、（ｂ）は第１撮
像装置で撮像された固定異物のある部分の像を示す説明
図である。

【図５】（ａ）は付着異物における第１照明装置と第１
撮像装置との関係を示す説明図であり、（ｂ）は第１撮
像装置で撮像された付着異物のある部分の像を示す説明
図である。

【図６】（ａ）は固定異物における第２照明装置と第２
撮像装置との関係を示す説明図であり、（ｂ）は第２撮
像装置で撮像された固定異物のある部分の像を示す説明
図である。

【図７】（ａ）は付着異物における第２照明装置と第２
撮像装置との関係を示す説明図であり、（ｂ）は第２撮
像装置で撮像された付着異物のある部分の像を示す説明
図である。

【符号の説明】

１ カラーフィルタ基板 ２ 検査ステージ（載置台） ３ 第１照明装置（第１照明部） ４ 第２照明装置（第２照明部） ５ 第１撮像装置（第１撮像部） ６ 第２撮像装置（第２撮像部） ７ テーブル駆動部 ８ 第１画像処理部 ９ 第２画像処理部 １０ 主制御部（欠陥検出部・品質判定部） １１ 搬送系制御部 １２ 搬入機構 １４ 搬出機構

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透光性基板上にカラーフィルタが形成され
   たカラーフィルタ基板、或いはカラーフィルタ上に更に
   透明層が形成されたカラーフィルタ基板を検査対象と
   し、 載置台上の上記カラーフィルタ基板の基板面を照明する
   第１照明部と、 載置台上の上記カラーフィルタ基板の表面に対して低い
   角度で投光する第２照明部と、 上記第１照明部の光で照明されたカラーフィルタ基板の
   表面を撮像する第１撮像部と、 上記第２照明部からの光がカラーフィルタ基板の表面で
   散乱した散乱光を捉える第２撮像部と、 上記第１撮像部からの映像信号を受けて、輝度差から白
   抜け部と異物の位置と大きさを求める第１画像処理部
   と、 上記第２撮像部からの映像信号を受けて、異物による高
   輝度部分の位置と大きさを求める第２画像処理部と、 上記第１画像処理部で得られた白抜け部と異物の情報か
   ら大きさに基づいて白抜け部及び異物が有害か無害かを
   判定すると共に、第１及び第２の各画像処理部で得られ
   た情報から、異物が固定異物か付着異物かを判定し、有
   害な白抜け部と有害な固定異物とを検出する欠陥検出部
   とが設けられていることを特徴とするカラーフィルタの
   検査装置。
2. 【請求項２】さらに、上記欠陥検出部にて検出された有
   害な白抜け部と有害な固定異物の数に基づいて、上記カ
   ラーフィルタ基板に対して良品・修正可能品・修正不可
   能品の判定を行なう品質判定部が備えられていることを
   特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ基板の検査装
   置。