KR100943242B1 - 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치 - Google Patents

디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100943242B1
KR100943242B1 KR1020080041648A KR20080041648A KR100943242B1 KR 100943242 B1 KR100943242 B1 KR 100943242B1 KR 1020080041648 A KR1020080041648 A KR 1020080041648A KR 20080041648 A KR20080041648 A KR 20080041648A KR 100943242 B1 KR100943242 B1 KR 100943242B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
display panel
image
information
image information
area
Prior art date
Application number
KR1020080041648A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090115997A (ko
Inventor
이상민
Original Assignee
(주)미래컴퍼니
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)미래컴퍼니 filed Critical (주)미래컴퍼니
Priority to KR1020080041648A priority Critical patent/KR100943242B1/ko
Publication of KR20090115997A publication Critical patent/KR20090115997A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100943242B1 publication Critical patent/KR100943242B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치가 개시된다. 디스플레이 패널을 통과한 투과광으로부터 투과 영상을 획득하는 단계, 디스플레이 패널의 적어도 하나의 일면으로부터 반사된 반사광으로부터 반사 영상을 획득하는 단계, 투과 영상의 투과 영상 정보와 반사 영상의 반사 영상 정보의 차이를 이용하여 차이 영상 정보를 생성하는 단계 및 차이 영상 정보로부터 디스플레이 패널의 내부의 이물 정보를 출력하는 단계를 포함하는 디스플레이 패널 검사 방법은, 복수의 카메라를 효율적으로 이용하여 간단한 영상 정보의 차이로부터 디스플레이 패널의 내부 및 표면의 이물을 서로 구분하여 검출할 수 있다.
디스플레이 패널, 검사, 이물, 투과광, 반사광.

Description

디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치{Method and apparatus for inspecting display panel}
본 발명은 패널 검사 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 특히 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
LCD 패널의 TFT(Thin Film Transistor) 기판, 유리 기판, 칼라 필터 기판, PDP 유리 기판과 같은 디스플레이 패널에 부착된 이물들은 그 내부 또는 표면에 형성되어 디스플레이 장치의 내부 결함으로 오인될 수 있다. 이러한 이물들에 의해 정상적 기능을 할 수 있는 디스플레이 장치가 불량 제품으로 판정되는 경우가 발생할 수 있다. 디스플레이 패널의 표면에 있는 이물들은 와이핑에 의해 제거되는 경우 디스플레이 패널의 품질에 미치는 영향이 작다. 하지만 디스플레이 패널의 표면에 있는 이물들에 의해 디스플레이 패널이 불량 제품으로 판단되어 폐기될 수 있는 문제점이 있을 수 있다.
예를 들어, TFT LCD 디스플레이를 제조하는 공정을 보면, 디스플레이에 사용 되는 유리 기판은 컷팅 및 액정 주입이 이루어지기 전에 블랙 매트릭스(BM) 공정, RGB 공정, ITO 공정을 거치면서 그 면상에 이물 부착, 번짐, 공정 불량 및 표면 흠집 등의 결함이 발생할 수 있다. 이러한 유리 기판의 이물이나 번짐(얼룩) 및 표면 흠집 등은 TFT LCD 디스플레이의 성능에 악영향을 끼치므로 사전검사를 통해 철저히 검출/제거되어야 한다. 유리 기판 검사 장치는 일반적으로 육안으로 이물 등을 찾아내는 매크로(Macro) 검사 장치와 현미경을 이용하여 불량 상태를 세밀하게 찾아내는 마이크로(Micro) 검사 장치로 구분될 수 있다.
이러한 결함을 검출하기 위한 종래 기술에 따르면, 광의 산란을 이용하여 디스플레이 패널의 표면 및 내부 이물을 구분할 수 있다. 즉, 종래의 검사 장치는 디스플레이 패널로 특정 시야각을 주어 빛을 가하고 디스플레이 패널로부터 반사되는 빛을 검출하여 디스플레이 패널 표면상에 존재하는 이물을 검출한다. 이 경우 내부에 존재하는 이물은 검출되지 않으므로, 결함 검출 장치는 광의 검출여부에 따라 디스플레이 패널에 부착된 이물과 내부 이물을 구분할 수 있다.
그러나 이러한 종래의 이물 검사 장치는 디스플레이 패널의 전체 면적에 균일하게 직진하는 광을 조사할 수 있는 장치가 필요하므로, 제조비용이 증가하고 장치의 크기가 커진다는 문제점이 있다.
또한, 종래 기술에 따르면, 디스플레이 패널의 표면상의 이물을 제거하기 전과 제거한 후의 영상을 비교하여 표면 이물과 내부 이물을 구분할 수 있는 기술이 제시된다. 그러나 이러한 종래 기술은 이물을 제거하는 공정 이후에 다시 영상 촬영 공정을 진행해야 하는 번거로움이 있으며, 동일한 지점에 위치하는 표면 이물과 내부 이물을 구분하는데 한정되는 문제점이 있다.
본 발명은 간단한 영상 정보의 차이를 이용하여 디스플레이 패널의 내부 및 표면의 이물을 정확히 검출하는 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은 복수의 카메라를 효율적으로 이용하여 디스플레이 패널의 내부 및 표면의 이물을 서로 구분하여 검출하는 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 제시하는 이외의 기술적 과제들은 하기의 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 디스플레이 패널 검사 장치가 영상 정보를 이용하여 디스플레이 패널을 검사하는 방법에 있어서, 디스플레이 패널을 통과한 투과광으로부터 투과 영상을 획득하는 단계, 디스플레이 패널의 적어도 하나의 일면으로부터 반사된 반사광으로부터 반사 영상을 획득하는 단계, 투과 영상의 투과 영상 정보와 반사 영상의 반사 영상 정보의 차이를 이용하여 차이 영상 정보를 생성하는 단계 및 차이 영상 정보로부터 디스플레이 패널의 내부의 이물 정보를 출력하 는 단계를 포함하는 디스플레이 패널 검사 방법이 제공된다.
출력 단계는, 차이 영상 정보를 이용하여 생성된 차이 영상을 출력하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 또한 투과 영상 정보에서 반사 영상 정보를 차감한 차이 영상 정보에 남은 이물 정보를 디스플레이 패널의 내부 이물 정보로 출력할 수 있다.
반사 영상은 다크 필드(dark field) 광원을 이용한 다크 필드 영상일 수 있고, 디스플레이 패널을 스캔하여 투과 영상과 반사 영상을 획득할 수 있으며, 디스플레이 패널이 로딩되는 로딩부의 개방 영역에 상응하는 디스플레이 패널의 영역으로부터 투과 영상과 반사 영상을 획득할 수 있다.
또한, 투과 영상과 반사 영상을 획득한 후 로딩부의 차폐 영역에 상응하는 디스플레이 패널의 영역이 로딩부의 개방 영역에 위치하도록 디스플레이 패널을 이동시키는 단계 및 로딩부의 개방 영역에 상응하는 디스플레이 패널의 영역으로부터 투과 영상과 반사 영상을 획득하는 단계를 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 영상 정보를 이용하여 디스플레이 패널을 검사하는 디스플레이 패널 검사 장치에 있어서, 디스플레이 패널을 통과한 투과광으로부터 투과 영상을 획득하는 투과 영상 획득부, 디스플레이 패널의 적어도 하나의 일면으로부터 반사된 반사광으로부터 반사 영상을 획득하는 반사 영상 획득부, 투과 영상의 투과 영상 정보와 반사 영상의 반사 영상 정보의 차이를 이용하여 차이 영상 정보를 생성하는 차이 영상 생성부 및 차이 영상 정보로부터 디스플레이 패널의 내부의 이물 정보를 출력하는 이물 출력부를 포함하는 디스플레이 패널 검 사 장치가 제공된다.
이물 출력부는 차이 영상 정보를 이용하여 생성된 차이 영상을 출력할 수 있으며, 또한 투과 영상 정보에서 반사 영상 정보를 차감한 차이 영상 정보에 남은 이물 정보를 디스플레이 패널의 내부 이물 정보로 출력할 수 있다.
반사 영상 획득부는 디스플레이 패널의 양면에 소정거리 이격되어 위치하는 두개의 반사 영상 카메라일 수 있고, 반사 영상 카메라는 다크 필드(dark field) 광원을 이용하여 다크 필드 영상을 획득할 수 있으며, 투과광은 디스플레이 패널의 일측에 위치한 백라이트 유닛으로부터 출사된 광일 수 있다.
또한, 디스플레이 패널을 스캔하기 위해서 투과 영상 획득부와 반사 영상 획득부를 이동시키는 스캔 장치를 더 포함할 수 있고, 디스플레이 패널을 지지하며 소정의 개방 영역이 형성된 로딩부를 더 포함하되, 투과 영상과 반사 영상은 로딩부의 개방 영역에 상응하는 디스플레이 패널의 영역으로부터 획득될 수 있으며, 투과 영상과 반사 영상이 획득된 후 로딩부의 차폐 영역에 상응하는 디스플레이 패널의 영역이 로딩부의 개방 영역에 위치하도록 디스플레이 패널을 이동시키는 패널 이동부를 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 잇점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치는, 복수의 카메라 를 효율적으로 이용하여 간단한 영상 정보의 차이로부터 디스플레이 패널의 내부 및 표면의 이물을 서로 구분하여 검출할 수 있다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 방법의 흐름도이다. 디스플레이 패널의 투명한 성질을 이용하여 그 내부와 표면의 이물 존재 여부를 판단하기 위한 디스플레이 패널 검사 방법은 다음의 과정을 포함한다. 이하의 단계는 복수의 영상 획득부, 영상 정보 처리부를 포함하는 디스플레이 패널 검사 장치가 수행한다.
단계 S110에서, 디스플레이 패널과 소정거리 이격된 투과 영상 획득부가 디스플레이 패널을 통과한 투과광으로부터 투과 영상을 획득한다. 투과광은 디스플레이 패널이 LCD 패널인 경우에는 백라이트 유닛으로부터 출사된 광이 될 수 있다. 투과광은 디스플레이 패널의 내부와 표면의 이물을 어둡게 나타내므로 투과 영상은 내부와 표면의 이물 정보를 표현하는 영상이다.
단계 S120에서, 디스플레이 패널과 소정거리 이격된 반사 영상 획득부가 디스플레이 패널의 적어도 하나의 일면으로부터 반사된 반사광으로부터 반사 영상을 획득한다. 디스플레이 패널의 각 면에 반사 영상을 획득하는 영상 획득부가 마련되어 전체 반사 영상 획득부는 두 개가 될 수 있다. 반사 영상은 디스플레이 패널의 표면에 반사된 반사광으로부터 획득되기 때문에 반사된 표면의 이물 정보를 포함하며, 내부 또는 다른 표면의 이물 정보는 포함하지 않는다. 따라서 반사 영상만으로도 디스플레이 패널의 표면에 이물이 존재하는지 여부를 판단할 수 있다.
이상에서는 이물 정보를 추출하기 위한 영상 정보 획득 과정을 설명하였으며, 이하에서는 이물을 검출하기 위해 영상 정보 처리부가 수신한 영상 정보를 처리하는 과정을 중심으로 설명한다. 영상 정보 처리부는 크게 차이 영상 생성부와 이물 출력부로 나뉠 수 있다.
차이 영상 생성부는 획득한 투과 영상으로부터 반사 영상의 이물 정보를 제거한 차이 영상을 생성한다. 또한, 이물 출력부는 차이 영상으로부터 내부 이물과 표면 이물을 구분하여 검출하여 출력한다. 여기서, 이물 출력부는 차이 영상 정보로부터 차이 영상을 구현하여 출력할 수도 있고, 차이 영상 정보에서 이물의 위치, 형태 등의 정보인 이물 정보만을 추출하여 출력할 수도 있다. 상술한 영상 정보 획득 과정과 영상 정보 처리 과정은 한 장소에서 같은 주체에 의해 연속적으로 처리될 수 있다.
또한, 다른 실시예에 의하면, 두 과정은 별개의 주체에 의해 시간적으로 연속되지 않고 다른 장소에서 수행될 수도 있다. 즉, 영상 정보 획득 과정은 디스플레이 패널을 생산하는 라인에서 수행될 수 있으며, 이를 처리하는 영상 정보 처리 과정은 해당 영상 정보를 해석하는 연구소 또는 제3의 업체에서 수행될 수도 있다.
단계 S130에서, 차이 영상 생성부는 반사 영상과 투과 영상을 수신하고, 투과 영상의 투과 영상 정보와 반사 영상의 반사 영상 정보의 차이를 이용하여 차이 영상 정보를 생성한다. 차이 영상 정보를 생성하기 위해 투과 영상 정보에서 반사 영상 정보를 차감할 수 있다.
여기서, 영상 정보는 디스플레이 패널의 특정 위치에 대한 휘도, 색상, 명도 채도와 같은 정보가 될 수 있다. 특정 부분의 영상 정보가 전체 디스플레이 패널에 대한 평균적인 영상 정보보다 크거나 작은 경우 이를 이물 정보로 판단할 수 있다.
단계 S140에서, 이물 출력부는 차이 영상 정보로부터 디스플레이 패널의 내부와 표면의 이물 정보를 검출하여 출력한다. 이물 출력부는 투과 영상 정보에서 반사 영상 정보를 차감한 후 결과적으로 차이 영상 정보에 남은 이물 정보를 디스플레이 패널의 내부 이물 정보로 판단할 수 있다. 영상 정보는 데이터 처리된 후 특정 위치에 이물이 있는지에 대한 이물 정보만이 출력되거나, 또는 해당 이물 정보를 전체 디스플레이 패널 영상에 표시한 차이 영상이 출력될 수도 있다.
따라서 본 발명의 실시예에 따르면, 반사 영상으로부터 표면 이물 정보가 추출되고, 차이 영상 정보로부터 내부 이물 정보가 추출될 수 있기 때문에 투과 영상과 반사 영상의 차이를 이용하여 효율적으로 이물 정보를 구분할 수 있는 장점이 있다.
이상에서 디스플레이 패널 검사 방법을 일반적으로 도시한 흐름도를 설명하였으며, 이하에서는 첨부 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치를 구체적인 실시예를 기준으로 설명하기로 한다. 본 발명이 이러한 실시예에 한정되지 않음은 당연하다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 방법의 영상 처리도이다. 도 2를 참조하면, 디스플레이 패널에 대해 투과 영상(210), 제1 반사 영상(220), 제2 반사 영상(230) 및 차이 영상(240)이 도시된다.
투과 영상(210)은 디스플레이 패널을 투과한 투과광으로부터 획득된 영상이므로, 디스플레이 패널의 내부와 양 표면의 이물 정보를 포함한다. 제1 반사 영상(220)과 제2 반사 영상(230)은 각각 디스플레이 패널의 서로 다른 표면으로부터 반사된 광으로부터 획득된 영상이므로, 각각 다른 표면의 이물 정보를 포함한다.
제1 반사 영상(220)과 제2 반사 영상(230)은 다크 필드(dark-field) 광원에서 출사된 광이 디스플레이 패널의 표면에서 반사된 반사광으로부터 획득된 영상일 수 있다.
다크 필드 방식은 광이 일정 각도를 가지고 대상물에 조사되는 방식으로, 디스플레이 패널 표면에서 빗겨나간 광이 반사 영상 획득부에 입력되고, 대상물 중심에 밝은 지점이 형성된다. 이러한 다크 필드 방식을 사용하여 디스플레이 패널 표면에 대한 제1 반사 영상(220)과 제2 반사 영상(230)을 획득할 수 있다. 이하에서는 다크 필드(dark-field) 방식을 사용한 경우를 중심으로 설명한다.
차이 영상(240)은 투과 영상(210)으로부터 제1 반사 영상(220)과 제2 반사 영상(230)의 이물 정보를 제거하여 생성한다. 이물 정보는 휘도, 명도, 색상, 채도와 같은 영상 정보가 될 수 있다. 같은 이물에 대해서 투과 영상과 반사 영상에서 표현되는 휘도, 색상, 채도는 서로 달라질 수 있다. 따라서 투과 영상과 반사 영상에서 같은 위치에 있는 같은 모양의 이물 정보는 같은 이물에 대한 정보라고 판단하고, 차이 영상 정보 또는 차이 영상(240) 생성 시 이러한 이물 정보는 제거될 수도 있다.
투과 영상(210)에서 각 표면의 이물 정보가 제거되면, 결과적으로 남는 이물 정보는 내부의 이물 정보이다. 따라서 차이 영상(240)은 내부 이물 정보를 가진 영상이 될 수 있다. 이후 제1 반사 영상(220)과 제2 반사 영상(230)에 표시된 이물들은 와이핑 공정을 통해 제거할 수도 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 장치의 측면도이다. 도 3을 참조하면, 투과 영상 획득부(310), 제1 반사 영상 획득부(320), 제1 다크 필드 광원(325), 제2 반사 영상 획득부(330), 제2 다크 필드 광원(335), 투과 광원(340), 로딩부(350) 및 디스플레이 패널(360)이 도시된다.
투과 영상 획득부(310), 제1 반사 영상 획득부(320) 및 제2 반사 영상 획득부(330)는 디스플레이 패널(360)을 X, Y 방향으로 스캔하여 전체 디스플레이 패널(360)의 표면에 대해 투과 영상 및 반사 영상을 획득한다. 투과 영상 획득부(310), 제1 반사 영상 획득부(320) 및 제2 반사 영상 획득부(330)는 각각 하나의 투과 영상 카메라와 두개의 반사 영상 카메라가 될 수 있다.
디스플레이 패널(360)은 소정의 로딩부(350)에 로딩된 후 영상이 획득될 수 있다. 로딩부(350)에 개방 영역과 차폐 영역이 형성되어 있는 경우에는 1차적으로 로딩부(350)의 개방 영역에 상응하는 디스플레이 패널(360)을 스캔하고 디스플레이 패널(360)을 이동시켜서, 스캔하지 않은 영역에 대해서 2차적으로 스캔한다. 스캔 패턴은 로딩부(350)의 개방 영역과 차폐 영역에 상응하여 형성될 수 있다.
제1 다크 필드 광원(325)과 제2 다크 필드 광원(335)은 디스플레이 패널(360) 방향으로 광을 비스듬히 조사한다. 조사된 광은 각각 제1 반사 영상 획득부(320)와 제2 반사 영상 획득부(330)에 직접 입사되지 않는 방향으로 진행할 수 있다.
투과 광원(340)은 디스플레이 패널(360)을 투과하는 투과광을 조사하여 투과 영상 획득부(310)로 하여금 투과 영상을 획득할 수 있도록 한다. 디스플레이 패널(360)이 LCD 패널인 경우 투과 광원(340)은 백라이트 유닛일 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 장치의 반사 영상 획득부의 측면도이다. 도 4를 참조하면, 제1 반사 영상 획득부(320)와 제1 다크 필드 광원(325)이 도시된다.
제1 다크 필드 광원(325)은 제1 반사 영상 획득부(320)와 디스플레이 패널(360) 사이에서 디스플레이 패널(360)에 광을 조사한다. 제1 다크 필드 광원(325)에서 조사된 광이 제1 반사 영상 획득부(320)에 직접 입사되지 않도록 제1 다크 필드 광원(325)은 제1 반사 영상 획득부(320)의 축에 대해 비스듬히 형성될 수 있다. 제2 반사 영상 획득부(330)와 제2 다크 필드 광원(335)도 상술한 구조로 형성될 수 있다.
본 명세서에서는 도 4를 참조하여 다크 필드 방식을 설명하였으나, 그 구조에 한정되지 않고, 다크 필드 방식을 구현할 수 있는 다양한 구조를 포함할 수 있 음은 당연하다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 장치의 평면도이다. 도 5를 참조하여, 투과 영상 획득부(310), 제1 반사 영상 획득부(320) 및 제2 반사 영상 획득부(330)가 디스플레이 패널(360)을 스캔하여 영상을 획득하는 방법을 설명한다.
제1 반사 영상 획득부(320) 및 제2 반사 영상 획득부(330)가 크거나 디스플레이 패널(360)이 작은 경우 한 번의 영상 획득으로 디스플레이 패널(360)을 검사할 수 있다. 반면, 디스플레이 패널(360)이 큰 경우 한 번의 촬영에 의해 전체 영상 획득이 불가능한 경우 이하와 같은 복수의 스캔 방법이 제시될 수 있다.
로딩부(350)가 도 5에 도시된 바와 같이 중간에 개방 영역이 형성되어 있는 경우에는 디스플레이 패널(360)이 로딩부(350)에 직접 접하는 부분에 대해서 투과 영상과 반사 영상이 획득될 수 없다. 따라서 디스플레이 패널(360)이 로딩부(350)에 직접 접하지 않는 부분에 대해서 먼저 X, Y 방향으로 1차적으로 스캔하여 투과 영상과 반사 영상을 획득한다.
이후 디스플레이 패널(360)을 픽업하여 로딩부(350)의 차폐 영역에 상응하는 디스플레이 패널(360)의 영역이 로딩부(350)의 개방 영역에 위치하도록 한다. 이 경우 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 장치는 디스플레이 패널(360)을 픽업할 수 있도록 패널 이동부(미도시)를 더 구비할 수 있다. 디스플레이 패널(360)이 이동된 후 다시 로딩부(350)의 개방 영역에 상응하는 디스플레이 패널(360)의 영역으로부터 투과 영상과 반사 영상을 획득한다.
만일, 로딩부(350)가 디스플레이 패널(360)의 주변부를 잡는 구조로 형성되는 경우에는 한 번의 스캔으로 전체 영상을 획득할 수 있으며, 이러한 방식도 본 발명의 실시예에 포함될 수 있음은 당연하다.
그 외 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 장치에 대한 구체적인 장치 수치, 임베디드 시스템, O/S 등의 공통 플랫폼 기술과 통신 프로토콜, I/O 인터페이스 등 인터페이스 표준화 기술 및 부품 표준화 기술 등에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
상기한 바에서, 본 발명의 디스플레이 패널 검사 장치는 카메라 개수 및 구체적인 시스템의 구성을 일 실시예에 따라 기술하였으나, 반드시 이에 한정될 필요는 없고, 카메라의 개수가 달라지거나 로딩부(350)의 구조가 달라지더라도 전체적인 작용 및 효과에는 차이가 없다면 이러한 다른 구성은 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있으며, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 방법의 흐름도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 방법의 영상 처리도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 장치의 측면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 장치의 반사 영상 획득부의 측면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 장치의 평면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
210 : 투과 영상 220 : 제1 반사 영상
230 : 제2 반사 영상 240 : 차이 영상
310 : 투과 영상 획득부 320 : 제1 반사 영상 획득부
325 : 제1 다크 필드 광원 330 : 제2 반사 영상 획득부
335 : 제2 다크 필드 광원 340 : 투과 광원
350 : 로딩부 360 : 디스플레이 패널

Claims (13)

  1. 디스플레이 패널 검사 장치가, 개방 영역과 차폐 영역이 형성되어 있는 로딩부에 디스플레이 패널을 로딩하여, 상기 디스플레이 패널을 검사하는 방법으로서,
    상기 개방 영역에 상응하는 상기 디스플레이 패널의 영역에 대해, 상기 디스플레이 패널을 통과한 투과광으로부터 투과 영상을 획득하는 단계;
    상기 개방 영역에 상응하는 상기 디스플레이 패널의 영역에 대해, 상기 디스플레이 패널의 적어도 하나의 일면으로부터 반사된 반사광으로부터 반사 영상을 획득하는 단계;
    상기 투과 영상의 투과 영상 정보와 상기 반사 영상의 반사 영상 정보의 차이를 이용하여 차이 영상 정보를 생성하는 단계;
    상기 차이 영상 정보로부터 상기 디스플레이 패널의 내부의 이물 정보를 출력하는 단계; 및
    상기 차폐 영역에 상응하는 상기 디스플레이 패널의 영역이 상기 개방 영역에 위치하도록 상기 디스플레이 패널을 이동시키고, 상기 개방 영역에 상응하는 상기 디스플레이 패널의 영역으로부터 상기 투과 영상과 상기 반사 영상을 획득하는 단계를 포함하는 디스플레이 패널 검사 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 출력 단계는,
    상기 차이 영상 정보를 이용하여 생성된 차이 영상을 출력하는 단계를 더 포함하는 디스플레이 패널 검사 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 출력 단계는,
    상기 투과 영상 정보에서 상기 반사 영상 정보를 차감한 차이 영상 정보에 남은 이물 정보를 상기 디스플레이 패널의 내부 이물 정보로 출력하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 디스플레이 패널을 스캔하여 상기 투과 영상과 상기 반사 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 방법.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 영상 정보를 이용하여 디스플레이 패널을 검사하는 디스플레이 패널 검사 장치에 있어서,
    상기 디스플레이 패널을 지지하며, 개방 영역과 차폐 영역이 형성된 로딩부;
    상기 개방 영역에 상응하는 상기 디스플레이 패널의 영역에 대해, 상기 디스플레이 패널을 통과한 투과광으로부터 투과 영상을 획득하는 투과 영상 획득부;
    상기 개방 영역에 상응하는 상기 디스플레이 패널의 영역에 대해, 상기 디스플레이 패널의 적어도 하나의 일면으로부터 반사된 반사광으로부터 반사 영상을 획득하는 반사 영상 획득부;
    상기 투과 영상의 투과 영상 정보와 상기 반사 영상의 반사 영상 정보의 차이를 이용하여 차이 영상 정보를 생성하는 차이 영상 생성부;
    상기 차이 영상 정보로부터 상기 디스플레이 패널의 내부의 이물 정보를 출력하는 이물 출력부; 및
    상기 투과 영상과 상기 반사 영상이 획득된 후, 상기 차폐 영역에 상응하는 상기 디스플레이 패널의 영역이 상기 개방 영역에 위치하도록, 상기 디스플레이 패널을 이동시키는 패널 이동부를 포함하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 이물 출력부는 상기 투과 영상 정보에서 상기 반사 영상 정보를 차감한 차이 영상 정보에 남은 이물 정보를 상기 디스플레이 패널의 내부 이물 정보로 출력하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 반사 영상 획득부는 상기 디스플레이 패널의 양면에 대해 이격되어 위치하는 두개의 반사 영상 카메라인 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 반사 영상 카메라는 다크 필드(dark field) 광원을 이용하여 다크 필드 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 디스플레이 패널을 스캔하기 위해서 상기 투과 영상 획득부와 상기 반사 영상 획득부를 이동시키는 스캔 장치를 더 포함하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  12. 삭제
  13. 삭제
KR1020080041648A 2008-05-06 2008-05-06 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치 KR100943242B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080041648A KR100943242B1 (ko) 2008-05-06 2008-05-06 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080041648A KR100943242B1 (ko) 2008-05-06 2008-05-06 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090115997A KR20090115997A (ko) 2009-11-11
KR100943242B1 true KR100943242B1 (ko) 2010-02-18

Family

ID=41600826

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080041648A KR100943242B1 (ko) 2008-05-06 2008-05-06 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100943242B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101996345B1 (ko) * 2018-11-22 2019-07-03 (주)제이티에스 분리막 시트 외관 검사장치 및 이를 이용하는 분리막 검사시스템

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019158442A (ja) * 2018-03-09 2019-09-19 シャープ株式会社 表示パネル検査システムおよび表示パネル検査方法
KR102575685B1 (ko) * 2023-02-03 2023-09-07 에프디스플레이 주식회사 디스플레이 패널 검사 장치 및 이의 동작 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040020721A (ko) * 2002-09-03 2004-03-09 엘지전자 주식회사 라인형 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치
KR20040099159A (ko) * 2003-05-16 2004-11-26 동경 엘렉트론 주식회사 탑재대 및 검사 장치
KR20050116038A (ko) * 2004-06-04 2005-12-09 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리기판 검사 장치 및 검사 방법
KR20060097465A (ko) * 2005-03-09 2006-09-14 엘지전자 주식회사 디스플레이 패널 검사 장치 및 그 검사 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040020721A (ko) * 2002-09-03 2004-03-09 엘지전자 주식회사 라인형 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치
KR20040099159A (ko) * 2003-05-16 2004-11-26 동경 엘렉트론 주식회사 탑재대 및 검사 장치
KR20050116038A (ko) * 2004-06-04 2005-12-09 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리기판 검사 장치 및 검사 방법
KR20060097465A (ko) * 2005-03-09 2006-09-14 엘지전자 주식회사 디스플레이 패널 검사 장치 및 그 검사 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101996345B1 (ko) * 2018-11-22 2019-07-03 (주)제이티에스 분리막 시트 외관 검사장치 및 이를 이용하는 분리막 검사시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090115997A (ko) 2009-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101721965B1 (ko) 투명 기판의 외관 검사 장치 및 외관 검사 방법
JP2002195910A (ja) 光学部品の検査装置
CN107003254A (zh) 用于工件中的缺陷检测的设备、方法及计算机程序产品
CN110208269B (zh) 一种玻璃表面异物与内部异物区分的方法及系统
KR20080106020A (ko) 액정패널 검사방법 및 장치
WO2011086634A1 (ja) 液晶パネル検査方法及び装置
JPWO2007126027A1 (ja) カラーフィルタ検査方法およびカラーフィルタ製造方法並びにカラーフィルタ検査装置
JP2000009591A (ja) 検査装置
KR100943242B1 (ko) 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치
KR20120031835A (ko) 결함 검사장치
JP3216874B2 (ja) シート包装検査装置および検査方法
JP2006300892A (ja) カラーフィルタ形成基板の異物検査方法およびカラーフィルタ形成基板の異物検査装置
JP2019066222A (ja) 外観検査装置および外観検査方法
JPS63165738A (ja) 透明基板用欠陥検査装置
JP2009281759A (ja) カラーフィルタ欠陥検査方法、及び検査装置、これを用いたカラーフィルタ製造方法
JP2008039444A (ja) 異物検査方法及び異物検査装置
KR100666468B1 (ko) 주기적인 산란 패턴을 지닌 투명판의 패턴 결함 검사 방법및 장치
JP5787668B2 (ja) 欠陥検出装置
JPWO2020170389A1 (ja) 異物検査装置及び異物検査方法
JP2003014580A (ja) 検査装置、検査方法
KR20160032576A (ko) 고속 카메라 및 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템 및 방법
JP2010008125A (ja) ガラス基板内の気泡選別処理法
JP2007285995A (ja) 欠陥検出方法、欠陥検出装置及び欠陥検出プログラム
JP2004108902A (ja) カラー表示画面の欠陥分類方法およびその装置
JP2007271410A (ja) 欠陥検出方法、欠陥検出装置及び欠陥検出プログラム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130208

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140211

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150204

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170202

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180131

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190201

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200204

Year of fee payment: 11