KR20060097465A - 디스플레이 패널 검사 장치 및 그 검사 방법 - Google Patents

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KR20060097465A
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Abstract

본 발명은 디스플레이 패널 상/하부 표면에 부착된 이물을 감지하는 디스플레이 패널 검사 장치 및 그 검사 방법에 관한 것으로서, 디스플레이 패널로 일정 각도로 기울어진 빛을 조사하는 광원과, 상기 광원에서 조사되는 빛의 광량을 조절하는 광량 조절부와, 디스플레이 패널의 상/하부 표면에서 반사되는 반사광을 감지하는 센서부와, 상기 센서부를 통해 감지된 반사광을 통해 디스플레이 패널 상/하부 표면에 분포하는 이물을 감지하는 이물감지부를 포함하여 구성되어, 디스플레이 패널 상부 표면에서 반사되는 표면 반사광과 디스플레이 패널 내부에서 굴절되어 반사되는 1차 내부 반사광에 의해 디스플레이 패널 상부 및 하부 표면에 이물질 부착 여부를 검사함에 따라 손쉽게 디스플레이 패널에 부작된 이물을 감지할 수 있다.
디스플레이 패널, 검사장치, 이물, 반사광

Description

디스플레이 패널 검사 장치 및 그 검사 방법 {The testing equipment for detecting alien substance sticked on surface of display panel and the testing methode of the same}
도 1 은 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 장치의 구성이 도시된 구성도,
도 2 는 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 장치 구조도,
도 3 은 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사장치의 빛의 폭을 조절하는 광량 조절부가 도시된 도,
도 4 는 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 장치의 광 경로가 도시된 도,
도 5a 는 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 장치의 패널 상부 표면 이물 검출 방법이 도시된 도,
도 5b 는 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 장치의 패널 하부 표면 이물 검출 방법이 도시된 도,
도 6 는 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 방법이 도시된 순서도이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
110: 광원 120: 센서부
130: 이물검출부 140: 광량 조절부
151: 광원용 렌즈 152: 반사광원용 렌즈
P: 디스플레이 패널
본 발명은 디스플레이 패널 상/하부 표면에 부착된 이물을 감지하는 디스플레이 패널 검사 장치 및 그 검사 방법에 관한 것으로써, 특히 투명한 디스플레이 패널에 부착된 이물이 투명한 디스플레이 패널의 상부 표면에 부착된 것인지 하부 표면에 부착된 것인지를 자동으로 판단하는 동시에 디스플레이 패널에 형성된 패턴과 이물 구분이 가능한 디스플레이 패널 검사 장치 및 그 검사 방법에 관한 것이다.
디스플레이 패널을 검사하는 방법으로는 광원을 이용하여 디스플레이 패널을 구성하는 글라스 또는 액정표시판 등과 같은 투명 부재에 빛을 조사하면, 결함 또는 이물이 발생된 부분에서 광산란이 발생하고, 이를 검출하여 디스플레이 패널의 불량 여부를 판단한다.
상기와 같은 광투과에 의한 검사는 디스플레이 패널에 형광램프를 사용하여 빛을 조사한 후, 상기 디스플레이 패널 상에 발생된 결함 또는 이물 부착 부위에서 난반사 되는 상태를 인식해 패널 표면의 결함 유무를 검사한다.
또한 디스플레이 패널을 이송시키면서 광을 조사하여 상기 투명 부재인 디스플레이 패널을 통과하는 광량 정보를 라인 카메라로 획득하여 패널 검사를 수행하는 방법을 사용하기도 한다.
그러나 상기와 같은 디스플레이 패널 검사는 전형적인 결함인 기포, 석물과 같은 내재적 결함, 휠마크, 긁힘과 같은 표면적 결함은 쉽게 검출하지만, 디스플레이 패널 표면에 먼지와 같이 쉽게 탈착 가능한 이물이 부착한 경우에도 상기 이물 부착 부위에서 난반사와 같은 광산란 현상이 상기 전형적인 결함에 의해 발생하는 광산란 현상과 유사하여, 이물 부착에 의한 광산란 현상이 발생하는 경우에도 디스플레이 패널을 불량으로 판단한다는 단점이 있다.
또한 상기 디스플레이 패널로 조사되는 빛의 광량이 균일하지 않아 획득되는 반사광의 광량 차이를 통해 디스플레이 패널 결함 및 이물질 부착여부를 판단하기에 부적절 하다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 투명한 디스플레이 패널을 검사함에 있어서, 디스플레이 패널에 빛을 조사하여 패널 표면에서 반사된 반사광과 패널 내부에서 1차 굴절되어 반사되는 1차 내부 반사광을 통해 패널에 형성된 패턴과 이물 구분이 가능하고, 상기 감지된 이물이 패널 의 상부 표면에 부착된 것인지 하부 표면에 부착된 것인지를 판단하는 디스플레이 패널 검사 장치 및 그 검사 방법을 제공하는 데 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사 장치는, 디스플레이 패널(이하 패널)로 일정 각도로 기울어진 빛을 조사하는 광원과, 상기 광원에서 조사되는 빛의 광량을 조절하는 광량 조절부와, 패널의 상/하부 표면에서 반사되는 반사광을 감지하는 센서부와, 상기 센서부를 통해 감지된 반사광을 통해 패널 상/하부 표면에 분포하는 이물을 감지하는 이물감지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 방법은 디스플레이 패널로 일정 각도로 기울어진 빛이 광원으로부터 조사되는 제 1 단계와, 상기 광원으로부터 조사되는 빛의 광량을 조절하는 제 2 단계와, 상기 조사된 빛이 패널 표면으로부터 반사되는 반사광이 감지되는 제 3 단계와, 상기 반사광을 통해 패널 표면에 부착된 이물을 판단하는 제 4 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 1 은 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 장치의 구성이 도시된 구성도이고, 도 2 는 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 장치 구조도이고, 도 3 은 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사장치의 빛의 폭을 조절하는 광량 조절부가 도시 된 도이다.
본 발명의 디스플레이 패널(이하 패널) 검사 장치는 도 1 및 도 2 에 도시된 바와 같이, 기본적으로 패널에 일정 각도로 기울어진 빛을 조사하는 광원(110)을 기본적으로 포함한다. 상기 광원은 한쪽 방향으로 길게 늘어선 점조명 또는 광섬유를 사용할 수 있다. 상기 광원은 패널의 한쪽 측면의 길이보다 길게 구성되어, 패널의 한쪽 측면 전체에 빛을 동시에 조사할 수 있게 된다.
상기 광원(110)에서 조사되는 빛은 패널(P)의 두께에 따라 다른 입사각(θ)을 가지도록 상기 광원에서 조사되는 빛의 입사각을 조절하는 입사각 조절부(111)를 더 포함하여 구성한다.
상기 디스플레이 패널 검사 장치는 도 2 에 도시된 바와 같이, 상기 광원(110)에서 조사되는 빛을 모아서 조사하기 위한 광원용 렌즈(151)을 구비한다. 상기 광원(110)에서 조사되는 빛은 입사각 조절부(111)에 의해서 검사하고자 하는 패널(P)에 적합한 입사각(θ)을 가지도록 입사각이 조절되고, 상기 광원용 렌즈를 통과함에 따라 광원에서 방출되는 빛이 모아진다.
상기 광원용 렌즈(151)를 통과한 빛은 광량 조절부(120)를 통해 빛의 폭이 조절된다. 상기 광량 조절부는 도 3 에 도시된 바와 같이, 모서리를 갖는 구조물로 상기 광원용 렌즈를 통과하여 패널(P)로 조사되는 빛의 광량이 균일하도록 상기 광원용 렌즈를 통과한 빛의 폭을 조절하게 된다.
즉, 상기 광량 조절부(120)은 상기 광원용 렌즈(151)를 통과한 빛의 진행 방 향에 수직으로 배열되는 구조를 갖는데, 도 2 에 도시된 바와 같이 상기 광원용 렌즈의 양쪽 전면에 설치되거나 한쪽 전면에 설치되어 광원용 렌즈를 통과한 빛에서 빛의 세기가 약한 부분의 빛을 막아 패널(P)로 조사되는 광량이 균일해 질 수 있다.
특히, 본 발명의 디스플레이 패널 검사 장치는 상기 광량 조절부(120)를 통과한 빛의 광량이 균일하도록 상기 광량 조절부와 광원(110) 혹은 광원용 렌즈(151)와의 거리 및 각도를 조절하는 광량조절부 제어모듈(121)를 더 포함하여 구성 가능하다.
상기 광량조절부 제어모듈(121)는 상기 광량 조절부(120)를 통과한 빛의 광량을 측정하는 광량측정 센서(121a)와 상기 광량 조절부의 상대적인 위치 및 자세를 조절할 수 있는 위치조절부(121b)를 포함하여 구성된다.
즉, 상기 광량 조절부 제어모듈(121)는 다수개의 광량측정 센서(121a)를 포함함에 따라, 상기 광량측정 센서(121a)를 사용하여 여러 위치에서 상기 광량 조절부(120)를 통과한 빛의 광량을 측정하고, 상기 측정된 광량의 차이가 최소화 되도록 위치조절부(121b)를 사용하여 광량 조절부의 위치를 조절한다.
도 1 에 도시된 바와 같이, 본 발명의 디스플레이 패널 검사 장치는 상기 광량 조절부(120)를 통과한 빛이 패널(P)의 상/하부 표면에서 반사되어 생성된 반사광을 감지하는 센서부(130)과 상기 센서부를 통해 감지된 반사광을 통해 패널 상/하부 표면에 분포하는 이물을 감지하는 이물감지부(140)을 포함하여 구성된다.
이때 상기 센서부(130) 전면에는 패널(P)의 상/하부 표면에서 반사되는 반사 광을 상기 센서부에 집중시키기 위한 반사광원용 렌즈(152)가 위치한다.
여기서 본 발명의 디스플레이 패널 검사 장치는 상기 광원(110) 및 센서부(130)는 입사광과 반사광의 경로가 겹쳐지지 않고, 상기 패널(P) 표면에서 반사된 광원과 패널 밑면에서 1차 반사된 광원만이 상기 센서부(130)로 유입되도록 상기 광원 및 센서의 위치를 조정하는 광원 구동부(161) 및 센서 구동부(162)를 더 포함하여 구성된다.
상기 광원 구동부(161) 및 센서 구동부(162)는 광원(110)이 상기 패널(P) 상면에 빛을 조사하고, 이에 따라 형성된 반사광을 센서부(130)가 센싱하도록 상기 광원 및 센서부를 패널의 한쪽 끝에서 다른쪽 끝으로 이동시키고, 상기 광원 및 센서부의 상대 거리에 따라 상기 센서부로 입사되는 반사광의 특성이 달라지게 된다.
상기 이물감지부(140)는 상기 센서부(130)에서 감지된 빛을 통해 패널(P)에 형성된 패턴 및 패널에 부착된 이물을 감지하게 된다. 상기 센서부(130)를 통해 획득된 이미지를 통해 패널에 형성된 패턴을 파악하고, 패턴 이외의 이미지를 분석함에 따라 패널 상부 및 하부 표면에 부착된 이물질의 위치를 파악할 수 있게 된다.
상기 이물감지부(140)는 패널(P) 상면에서 반사된 표면 반사광에 형성되는 이미지는 패널 상부 표면에 부착된 상부 표면 이물로 판단하고, 패널 내부에서 1회 굴절된 1차 내부 반사광에 의해 감지된 이물이 소정의 이격거리(d)만큼 떨어진 곳에 형성되고, 상부 표면 이물의 이미지와 동일하면, 상기 감지된 이물은 상기 상부 표면 이물에 의해 발생되는 그림자로 판단한다.
이때, 상기 표면 이물에 의해 형성되는 그림자와 표면 이물간의 이격거리(d) 는 상기 광원(110)에서 입사되는 빛의 입사각(θ)과 패널(P)의 굴절률 및 두께(t)에 의해 결정된다.
또한 상기 이물감지부(140)는 상기 센서부(130)에서 감지된 표면 반사광에 의해 감지된 표면 이물과 상기 1차 내부 반사광에 의해 표면 이물의 그림자를 제외한 이물은 패널 하부 표면에 부착된 이물로 판단한다.
즉, 상기 센서부(130)에서 획득된 이미지를 분석하여, 표면 반사파에 의해 형성된 패널(P) 표면에 부착된 이물의 이미지 및 상기 표면에 부착된 이물의 이미지와 소정의 이격거리(d)만큼 떨어진 곳에 형성된 그림자 이미지를 삭제하고 남는 이물의 이미지는 상기 패널의 하부 표면에 부착된 이미지로 판단하게 된다.
도 4 는 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 장치의 광 경로가 도시된 도이고, 도 5a 는 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 장치의 패널 상부 표면 이물 검출 방법이 도시된 도이고, 도 5b 는 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 장치의 패널 하부 표면 이물 검출 방법이 도시된 도이다.
도 4 에 도시된 바와 같이, 상기 광원(110)에서 조사된 빛이 투명한 패널(P)의 표면과 밑면에서 반사되는 광 경로를 보면, A 영역에서는 표면 반사광만이 검출되고, B 영역에서는 표면 반사광과 패널 내부로 빛이 투과되면서 1차 굴절된 1차 내부 반사광이 감지된다. C 영역 이후에서 감지되는 광은 표면 반사와 1차 이상의 내부 반사광이 복합적으로 나타나게 되어 표면과 밑면의 구분성이 떨어진다.
본 발명의 센서부(130)는 상기 B 영역에서 나타나는 표면 반사광과 1차 내부 반사광을 센싱하여 이미지를 생성하게 된다.
도 5a 와 같이 패널(P)의 상부 표면에 패턴(α)이 형성된 경우에 상기 센서부(130)는 상기 패턴과 상기 패턴에 의해 형성된 그림자(α')를 획득하게 된다.
이때, 상기 이물감지부(140)은 표면 반사광을 통해 획득된 이미지는 패널(P)에 형성되는 패턴(α)으로 판단하게 되고, 상기 패턴과 소정의 이격거리(d)만큼 떨어진 곳에 형성된 이미지는 상기 패턴에 의해 형성된 그림자의 이미지(α')로 판단하게 된다.
만일, 특정 이미지가 입사광의 입사각(θ) 및 패널(P)의 굴절률, 두께(t)에 의해서 결정되는 상기 이격거리(d)보다 멀리 떨어져 있거나 가까이 있는 경우에는 이를 패턴에 부착된 이물로 판단하게 된다.
도 5b 에 도시된 바와 같이, 패널(P)의 상부에는 패턴(미도시)이 형성되어 있고, 패널의 하부에는 이물(β)이 부착된 경우에는 이물감지부(140)는 표면 반사광을 통해 패턴을 판단하고, 상기 패턴 이미지와 소정의 이격거리만큼 떨어진 곳에 형성된 패턴의 그림자를 삭제하고 남는 이미지를 패널 하부에 형성된 이물로 판단하게 된다.
도 6 는 본 발명에 의한 디스플레이 패널의 검사 방법이 도시된 순서도이다.
우선 제 1 단계에서 디스플레이 패널(이하 패널)로 일정 각도로 기울어진 빛이 조사된다(S1). 상기 패널 상면으로 조사되는 빛의 입사각은 패널의 두께에 따라 다르게 조절할 수 있다.
제 2 단계에서는 상기 패널로 조사되는 빛의 광량을 조절한다(S2). 상기 입 사광의 광량은 균일하게 조정되는데, 광량 조절부를 사용하여 광원에서 조사되는 빛의 일부를 차단하여 빛의 폭을 조절하여 광량을 조절한다.
제 3 단계에서는 상기 패널로 조사된 빛이 패널 상/하부 표면에서 반사되어 생성되는 반사광이 감지된다(S3). 이때, 빛이 패널 내부를 통과하면서 굴절 및 2회 이상 반사되어 형성되는 반사광은 상/하부 구분성이 떨어지므로, 패널 상부 표면에서 반사되는 표면 반사광과 1차 내부 반사광만을 감지한다.
제 4 단계에서는 상기 제 2 단계에서 감지된 반사광을 통해 패널 상/하부 표면에 부착된 이물을 판단한다. 상기 제 4 단계는 패널 상부 표면에서 반사된 표면 반사광을 통해 패널 상부 표면에 부착된 상부 표면 이물 또는 패턴을 판단하는 제 1 과정(S4)과, 1차 내부 반사광에 의해 감지된 이물이 상기 패널 상부 표면 이물의 그림자인지 패널 하부 표면에 부착된 하부 표면 이물인지를 판단하는 제 2 과정을 포함한다.
상기 제 2 단계에서 감지된 반사광을 통해 형성된 이미지중, 표면 반사광을 통해 형성된 이미지는 패널 상부 표면에 형성된 패턴 또는 상부 표면에 부착된 상부 표면 이물이다.
1차 내부 반사광에 의해 형성된 이미지 중 상기 상부 표면에 부착된 상부 표면 이물 또는 패턴과 소정의 이격거리 만큼 떨어져 형성(S5)되고, 상기 상부 표면 이물 또는 패턴과 동일한 형상의 이미지(S6)는 상기 패턴 또는 상부 표면 이물의 그림자로 판단(S7)하고, 그 이외의 이미지는 패널의 하부 표면에 부착된 이물 또는 하부에 형성된 패턴으로 판단한다(S8).
이때, 상기 소정의 이격거리는 상기 제 1 단계에서 조사된 입사광의 입사각과 패널 굴절률 및 두께에 의해서 결정된다.
이상과 같이 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사 장치 및 그 검사 방법을 예시된 도면을 참조로 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명은 한정되지 않고, 본 발명의 기술사상이 보호되는 범위 이내에서 당업자에 의해 응용이 가능하다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사 장치 및 그 검사 방법은 디스플레이 패널에 빛을 조사하여 패널 표면에서 반사된 반사광과 패널 내부에서 1차 굴절되어 반사되는 1차 내부 반사광을 통해 패널에 형성된 패턴과 이물 구분이 가능하고, 상기 감지된 이물이 패널의 상부 표면에 부착된 것인지 하부 표면에 부착된 것인지를 손쉽게 판단할 수 있다.
나아가 상기 디스플레이 패널에 조사되는 빛의 폭을 조절하여 상기 패널 표면으로 입사되는 빛의 광량이 균일함에 따라 패널 표면 반사광 및 상기 1차 내부 반사광에 의해 형성되는 이미지가 선명하다.

Claims (17)

  1. 디스플레이 패널(이하 패널) 상면으로 일정 각도로 기울어진 빛을 조사하는 광원과;
    상기 광원에서 조사되는 빛의 광량을 조절하는 광량 조절부와;
    패널에서 반사되는 반사광을 감지하는 센서부와;
    상기 센서부를 통해 감지된 반사광을 통해 패널에 분포하는 이물을 감지하는 이물감지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 디스플레이 패널 검사 장치는 상기 광원에서 조사되는 빛을 모아서 조사하기 위한 광원용 렌즈와; 패널의 상/하부 표면에서 반사되는 반사광을 상기 센서부에 집중시키기 위한 반사광원용 렌즈를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서부는 표면 반사광과 1차 내부 반사광이 감지되는 영역에서 발생되는 빛을 감지하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 이물감지부는 상면에서 반사된 표면 반사광에 의해 패널 상부 표면에 부착된 상부 표면 이물을 판단하고, 패널 내부에서 1회 굴절된 1차 내부 반사광에 의해 감지된 이물이 상기 광원에서 입사되는 빛의 입사각과 패널의 굴절률 및 두께에 의해 결정되는 소정의 이격 거리 만큼 떨어진 곳에 형성된 것이면, 상기 감지된 이물은 상기 상부 표면 이물에 의해 발생되는 그림자로 판단하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 이물감지부는 상기 센서부에서 감지된 표면 반사광에 의해 감지된 표면 이물과 상기 1차 내부 반사광에 의해 표면 이물의 그림자를 제외한 이물은 패널 하부 표면에 부착된 이물로 판단하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 디스플레이 패널 검사 장치는 상기 광원을 패널의 한쪽 끝에서 다른쪽 끝으로 이동하면서 패널 상면에 빛을 조사하도록 상기 광원을 구동하는 광원 구동부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 디스플레이 패널 검사 장치는 상기 센서부를 패널의 한쪽 끝에서 다른 쪽 끝으로 이동하면서 상기 센서부가 반사광을 센싱하고 표면 반사광과 1차 내부 반사광만이 유입되도록 센서부를 구동하는 센서 구동부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 디스플레이 패널 검사 장치는 상기 광원에서 조사되는 빛이 패널의 두께에 따라 다른 입사각을 가지도록 상기 광원에서 조사되는 빛의 입사각을 조절하는 입사각 조절부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 광량 조절부는 상기 광원에서 조사되는 빛의 일부를 차단하기 위한 모서리를 갖는 구조물인 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 광량 조절부는 광원에서 조사되는 빛의 한쪽 측면의 빛의 폭을 제한하기 위해 광원의 한쪽 전면에 설치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 광량 조절부는 광원에서 조사되는 빛의 폭을 제한하기 위해 광원 양쪽 전면에 설치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 디스플레이 패널 검사 장치는 상기 광량 조절부를 통과한 빛의 광량이 균일하도록 상기 광량 조절부와 상기 광원이 이루는 각도 및 거리를 조절하는 광량 조절부 제어모듈을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 광량 조절부 제어모듈은 상기 광량 조절부를 통과한 빛의 광량을 센싱하는 광량측정 센서를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 장치.
  14. 디스플레이 패널로 일정 각도로 기울어진 빛이 광원으로부터 조사되는 제 1 단계와;
    상기 광원으로부터 조사되는 빛의 광량을 조절하는 제 2 단계와;
    상기 조사된 빛이 패널 표면으로부터 반사되는 반사광이 감지되는 제 3 단계와;
    상기 반사광을 통해 패널 표면에 부착된 이물을 판단하는 제 4 단계를 포함 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 2 단계는 패널 상부 표면에서 반사되는 표면 반사광과 1차 내부 반사광을 감지하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 제 3 단계는 패널 상부 표면에서 반사된 표면 반사광을 통해 패널 상부 표면에 부착된 상부 표면 이물을 판단하는 제 1 과정과, 1차 내부 반사광에 의해 감지된 이물이 상기 패널 상부 표면 이물의 그림자인지 패널 하부 표면에 부착된 하부 표면 이물인지를 판단하는 제 2 과정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 제 2 과정의 패널 상부 표면 이물 그림자 판단은 상기 제 1 단계에서 조사된 빛의 입사각과 패널 굴절률 및 두께에 의해서 결정되는 소정의 이격 거리만큼 떨어진 곳에 상기 제 1 과정에서 감지된 상부 표면 이물과 동일하게 형성된 것이면 패널 상부 표면 이물의 그림자로 판단하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 방법.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100943242B1 (ko) * 2008-05-06 2010-02-18 (주)미래컴퍼니 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치
WO2017204560A1 (en) * 2016-05-25 2017-11-30 Corning Precision Materials Co., Ltd. Method and apparatus of detecting particles on upper surface of glass, and method of irradiating incident light
WO2019245313A1 (ko) * 2018-06-22 2019-12-26 주식회사 엘지화학 디스플레이 유닛의 이물 검사 시스템

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100943242B1 (ko) * 2008-05-06 2010-02-18 (주)미래컴퍼니 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치
WO2017204560A1 (en) * 2016-05-25 2017-11-30 Corning Precision Materials Co., Ltd. Method and apparatus of detecting particles on upper surface of glass, and method of irradiating incident light
JP2019516998A (ja) * 2016-05-25 2019-06-20 コーニング インコーポレイテッド ガラス上面の粒子検出方法および装置、並びに、入射光照射方法
WO2019245313A1 (ko) * 2018-06-22 2019-12-26 주식회사 엘지화학 디스플레이 유닛의 이물 검사 시스템
KR20200000221A (ko) * 2018-06-22 2020-01-02 주식회사 엘지화학 디스플레이 유닛의 이물 검사 시스템

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