KR20190001789A - 멀티 광학 디스플레이 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

멀티 광학 디스플레이 검사 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 검사 대상물에 형성되는 곡면형 엣지에 불량이 보이도록 빛을 조사하는 곡면 조명; 및 상기 검사 대상물을 촬상하여, 곡면 촬상 영역을 포함하는 촬상 이미지를 생성하는 카메라를 포함하고, 상기 곡면 조명은, 광원; 및 상기 광원에서 빛이 입사하고, 입사한 빛을 상기 곡면형 엣지로 반사시키는 곡면형 반사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치가 제공될 수 있다.

Description

멀티 광학 디스플레이 검사 장치{MULTI OPTIC DISPLAY INSPECTING DEVICE}
본 발명은 멀티 광학 디스플레이 검사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스마트 폰의 윈도우 글라스와 같은 검사 대상물에서 곡면형 엣지의 불량을 검출하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로 카메라를 이용하여 검사 대상물을 촬상한 후에 촬상 이미지를 분석하여 검사 대상물의 불량 여부를 판단하는 기술은 다양한 산업분야에서 널리 시행되고 있다. 예를 들어, 평판디스플레이, 유리기판, LCD, 차량용 유리 등에서 그러하다.
최근에는 스마트 폰의 윈도우 글라스 등에 곡면형 엣지가 널리 적용됨에 따라, 검사 대상물에서 곡면형 엣지의 불량까지 검출할 수 있는 검사 장치에 대한 수요가 발생하고 있다.
종래 평판디스플레이 등에서 곡면형 엣지의 불량을 검출하기 위하여 사용되었던 멀티 광학 디스플레이 검사 장치들은 곡면형 엣지의 전체 영역을 검사하기 위하여 검사 대상물 또는 검사 대상물에 빛을 조사하는 조명을 곡면형 엣지 면을 따라 회전시키거나 복수의 조명을 사용하여 엣지 면에 다양한 각도로 빛을 조사하는 방식으로 이루어졌다. 하지만, 이로 인해 검사 장치의 구조가 복잡해지거나 택 타임이 증가하는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-1733197호(2017.05.08, 멀티 광학 비전 장치) 대한민국 등록특허공보 제10-1023472호(2011.03.24, 평판디스플레이 패널의 엣지면 검사장치 및 방법) 대한민국 공개특허공보 제10-2016-0050958호(2016.05.11, 엣지면 검사장치 및 이를 활용한 검사방법)
본 발명의 실시예들은 스마트 폰의 윈도우 글라스와 같은 검사 대상물에서 곡면형 엣지의 불량을 검출하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 검사 대상물에 형성되는 곡면형 엣지에 불량이 보이도록 빛을 조사하는 곡면 조명; 및 상기 검사 대상물을 촬상하여, 곡면 촬상 영역을 포함하는 촬상 이미지를 생성하는 카메라를 포함하고, 상기 곡면 조명은, 광원; 및 상기 광원에서 빛이 입사하고, 입사한 빛을 상기 곡면형 엣지로 반사시키는 곡면형 반사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치가 제공될 수 있다.
상기 곡면형 반사판은 제1 곡률반경을 가지는 오목한 형상의 제1 곡면부를 포함할 수 있다.
상기 곡면형 반사판은 상기 제1 곡면부에 직접 연결되고 상기 제1 곡률반경과 상이한 제2 곡률반경을 가지는 오목한 형상의 제2 곡면부를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 곡률반경은 176mm이고, 상기 제2 곡률반경은 81mm일 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 검사 대상물에 형성되는 곡면형 엣지에 불량이 보이도록 빛을 조사하는 곡면 조명; 상기 평면부 상에 부착된 부유성 이물질이 보이도록 상기 평면부와 평행하게 레이저를 조사하는 레이저 발진기; 및 상기 검사 대상물을 촬상하여, 곡면 촬상 영역 및 레이저 촬상 영역을 포함하는 촬상 이미지를 생성하는 카메라를 포함하고, 상기 곡면 조명은, 광원; 및 상기 광원에서 빛이 입사하고, 입사한 빛을 상기 곡면형 엣지로 반사시키는 곡면형 반사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치가 제공될 수 있다.
상기 검사 대상물에 형성되는 평면부에 불량이 밝게 보이도록 빛을 조사하는 암 시야 조명; 상기 평면부에 불량이 어둡게 보이도록 빛을 조사하는 명 시야 조명; 및 상기 평면부에 불량이 입체적으로 보이도록 빛을 조사하는 미분 시야 조명을 더 포함할 수 있다.
상기 카메라는 한 번의 촬상으로 상기 곡면 촬상 영역, 암 시야 촬상 영역, 명 시야 촬상 영역, 미분 시야 촬상 영역 및 상기 레이저 촬상 영역을 포함하는 상기 촬상 이미지를 생성하는 에어리어 스캔 카메라(area scan camera)일 수 있다.
상기 암 시야 촬상 영역, 상기 명 시야 촬상 영역, 상기 미분 시야 촬상 영역 및 상기 레이저 촬상 영역은 상기 검사 대상물의 이송 방향을 따라 상호간에 이격되어 형성되고, 상기 카메라는 이송되는 상기 검사 대상물을 연속적으로 촬상하여 복수의 상기 촬상 이미지를 생성할 수 있다.
복수의 상기 촬상 이미지로부터 상기 곡면 촬상 영역, 상기 암 시야 촬상 영역, 상기 명 시야 촬상 영역, 상기 미분 시야 촬상 영역 및 상기 레이저 촬상 영역을 각각 분리하고, 분리된 상기 곡면 촬상 영역, 상기 암 시야 촬상 영역, 상기 명 시야 촬상 영역, 상기 미분 시야 촬상 영역 및 상기 레이저 촬상 영역을 동일 종류의 영역별로 합쳐서 상기 검사 대상물의 곡면 이미지, 암 시야 이미지, 명 시야 이미지, 미분 시야 이미지 및 레이저 이미지를 각각 획득하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 검사 대상물을 기준으로 상기 카메라의 반대쪽에 배치되는 백 라이트(back light)를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 광원에서 생성된 빛은 곡면형 반사판에 의해 곡면형 엣지로 조사됨으로써, 검사 대상물의 평면과 접하는 곡면형 엣지의 상단에서 하단까지의 전체 영역에서 불량을 검출할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 광학 디스플레이 검사 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 멀티 광학 디스플레이 검사 장치를 나타낸 측면도이다.
도 3은 곡면 조명을 나타낸 사시도이다.
도 4는 곡면 조명을 나타낸 수직 단면도이다.
도 5는 곡면형 반사판이 하나의 곡면부로 형성되는 경우의 촬상 이미지를 나타낸 도면이다.
도 6은 곡면형 반사판이 두 개의 곡면부로 형성되는 경우의 촬상 이미지를 나타낸 도면이다.
도 7은 암 시야 조명, 명 시야 조명, 미분 시야 조명 및 레이저 발진기를 나타낸 사시도이다.
도 8은 레이저 발진기를 나타낸 정면도이다.
도 9는 촬상 이미지를 개략적으로 나타낸 도면이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 명세서 전체에서, "상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상측에 위치하는 것을 의미하는 것이 아니다.
또한, 결합이라 함은, 각 구성요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성요소가 각 구성요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성요소에 각 구성요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.
도면에서 나타난 각 구성요소의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하, 본 발명에 따른 멀티 광학 디스플레이 검사 장치의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 광학 디스플레이 검사 장치를 나타낸 사시도, 도 2는 도 1의 멀티 광학 디스플레이 검사 장치를 나타낸 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 광학 디스플레이 검사 장치(10)는 검사 대상물(20)의 불량을 검출하기 위한 장치로서, 곡면 조명(100), 암 시야 조명(110), 명 시야 조명(120), 미분 시야 조명(130), 레이저 발진기(140), 백 라이트(150), 카메라(200) 및 제어부(300)를 포함할 수 있다.
검사 대상물(20)은 도 1에 도시된 스마트 폰의 윈도우 글라스 외에 평판디스플레이, 유리기판, LCD, 차량용 유리 등을 포함할 수 있다.
검사 대상물(20)에는 평면부(21) 및 한 쌍의 곡면형 엣지(23)가 형성될 수 있다.
평면부(21)는 평평한 상면을 구비할 수 있고, 곡면형 엣지(23)는 평면부(21)의 폭 방향의 단부에 형성되어 만곡된 상면을 구비할 수 있다. 평면부(21) 및 곡면형 엣지(23)는 검사 대상물(20)의 길이 방향을 따라 동일한 단면 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 평면부(21)는 직사각형의 플레이트 형상으로 형성될 수 있고, 곡면형 엣지(23)는 평면부(21)의 장변에 각각 형성될 수 있지만 이에 한정되는 것은 아니다.
검사 대상물(20)은 이송장치(미도시), 예를 들어 컨베이어에 의해 이송될 수 있다. 이때, 검사 대상물(20)의 이송 방향은 검사 대상물(20)의 길이 방향과 평행하게 형성될 수 있다.
도 3은 곡면 조명을 나타낸 사시도, 도 4는 곡면 조명을 나타낸 수직 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 곡면 조명(100)은 곡면형 엣지(23)에 불량이 보이도록 빛을 조사할 수 있다. 곡면 조명(100)은 명 시야 조명(120)과 마찬가지로 검출하고자 하는 불량은 어둡게 보이고 불량을 제외한 나머지 부분은 밝게 보이도록 빛을 조사할 수 있다.
곡면 조명(100)은 광원(101) 및 곡면형 반사판(103)을 포함할 수 있다.
광원(101)은 빛을 생성하며, 예를 들어 LED(Light Emitting Diode)일 수 있다.
곡면형 반사판(103)에는 광원(101)에서 생성된 빛이 입사될 수 있고, 곡면형 반사판(103)에 입사된 빛은 곡면형 반사판(103)에서 반사되어 검사 대상물(20)의 곡면형 엣지(23)로 조사될 수 있다.
곡면형 반사판(103)은 제1 곡면부(105) 및 제2 곡면부(107)를 포함할 수 있다.
제1 곡면부(105)와 제2 곡면부(107)는 검사 대상물(20)의 폭 방향을 따라 만곡되게 형성될 수 있다.
제1 곡면부(105)와 제2 곡면부(107)는 오목한 형상이지만 서로 상이한 곡률반경을 가지도록 형성될 수 있다.
제1 곡면부(105)와 제2 곡면부(107)는 검사 대상물(20)의 폭 방향을 따라 연속적으로 배치될 수 있다. 즉, 제1 곡면부(105)는 제2 곡면부(107)보다 곡면형 엣지(23)에 가깝게 배치될 수 있고, 제2 곡면부(107)는 제1 곡면부(105)에 직접 연결되어 제1 곡면부(105)와 제2 곡면부(107) 사이에는 곡률이 변동되는 경계선(106)이 형성될 수 있다.
도 5는 곡면형 반사판이 하나의 곡면부로 형성되는 경우의 촬상 이미지를 나타낸 도면, 도 6은 곡면형 반사판이 두 개의 곡면부로 형성되는 경우의 촬상 이미지를 나타낸 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 곡면형 반사판(103)이 하나의 곡면부로 형성되는 경우에는 촬상 영역의 밝기가 고르게 형성되지 않는 반면, 곡면형 반사판(103)의 두 개의 곡면부로 형성되는 경우에는 촬상 영역의 밝기가 고르게 형성되는 것을 확인할 수 있다. 곡면형 반사판(103)이 두 개의 곡면부로 형성되는 경우, 제1 곡면부(105)의 제1 곡률반경은 176mm일 수 있고, 제2 곡면부(107)의 제2 곡률반경은 81mm일 수 있다.
도 7은 암 시야 조명, 명 시야 조명, 미분 시야 조명 및 레이저 발진기를 나타낸 사시도, 도 8은 레이저 발진기를 나타낸 정면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 암 시야 조명(110), 명 시야 조명(120) 및 미분 시야 조명(130)은 검사 대상물(20), 구체적으로 평면부(21)에 각각 빛을 조사할 수 있고, 레이저 발진기(140)는 평면부(21) 상에서 평면부(21)와 평행하게 레이저를 조사할 수 있다.
암 시야 조명(110)은 검출하고자 하는 불량은 밝게 보이고 불량을 제외한 나머지 부분은 어둡게 보이도록 빛을 조사할 수 있다.
명 시야 조명(120)은 검출하고자 하는 불량은 어둡게 보이고 불량을 제외한 나머지 부분은 밝게 보이도록 빛을 조사할 수 있다.
미분 시야 조명(130)은 검출하고자 하는 불량이 입체적으로 보이도록 빛을 조사할 수 있다.
암 시야 조명(110), 명 시야 조명(120) 및 미분 시야 조명(130)은 검사 대상물(20)에 대한 빛의 조사 각도와 반사 각도에 따라 구분될 수 있다.
암 시야 조명(110), 명 시야 조명(120) 및 미분 시야 조명(130)에서 빛의 조사 각도와 파장은 검사 대상물(20)의 물성에 따라 달라질 수 있지만, 암 시야 조명(110)은 검출하고자 하는 불량에 대해 난반사가 이루어지도록 조명 각도가 미리 설정될 수 있고, 명 시야 조명(120)은 검출하고자 하는 불량에 대해 전반사가 이루어지도록 조명 각도가 미리 설정될 수 있고, 미분 시야 조명(130)은 검출하고자 하는 불량에 대해 빛이 간섭이 일어나 입체적으로 보이도록 조명 각도가 미리 설정될 수 있다.
레이저 발진기(140)는 평면부(21) 상에서 평면부(21)와 평행하게 레이저를 조사함으로써 평면부(21) 상에 부착된 부유성 이물질을 검출할 수 있다.
암 시야 조명(110), 명 시야 조명(120), 미분 시야 조명(130) 및 레이저 발진기(140)에서 검사 대상물(20)에 대한 빛 또는 레이저의 조사 영역, 즉 암 시야 조사 영역(111), 명 시야 조사 영역(121), 미분 시야 조사 영역(131) 및 레이저 조사 영역(141)은 검사 대상물(20)의 이송 방향을 따라 상호간에 이격되어 형성될 수 있다.
백 라이트(150)는 검사 대상물(20)을 기준으로 카메라(200)의 반대쪽에 배치되어 검사 대상물(20)에 빛을 조사하여 촬상 이미지에서 검사 대상물(20)의 경계를 확인하게 할 수 있다.
카메라(200)는 이송장치에 의해 이송되는 검사 대상물(20)을 기 설정된 시간 간격으로 연속적으로 촬상하여 복수의 촬상 이미지를 생성할 수 있다.
카메라(200)는 한 번의 촬상으로 곡면 촬상 영역, 암 시야 촬상 영역, 명 시야 촬상 영역, 미분 시야 촬상 영역 및 레이저 촬상 영역을 포함하는 촬상 이미지를 생성하는 에어리어 스캔 카메라(area scan camera)일 수 있다. 여기서, 곡면 촬상 영역은 곡면 조명(100)에서 검사 대상물(20)에 대한 빛의 조사 영역에 의해 생성되는 촬상 영역을, 암 시야 촬상 영역은 암 시야 조사 영역(111)에 의해 생성되는 촬상 영역을, 명 시야 촬상 영역은 명 시야 조사 영역(121)에 의해 생성되는 촬상 영역을, 미분 시야 촬상 영역은 미분 시야 조사 영역(131)에 의해 생성되는 촬상 영역을, 레이저 촬상 영역은 레이저 조사 영역(141)에 의해 생성되는 촬상 영역을 각각 의미할 수 있다.
도 9는 촬상 이미지를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 9를 참조하면, 촬상 이미지에는 곡면 촬상 영역(109), 암 시야 촬상 영역(113), 명 시야 촬상 영역(123), 미분 시야 촬상 영역(133) 및 레이저 촬상 영역(143)이 포함될 수 있다. 암 시야 촬상 영역(113), 명 시야 촬상 영역(123), 미분 시야 촬상 영역(133) 및 레이저 촬상 영역(143)은 암 시야 조사 영역(111), 명 시야 조사 영역(121), 미분 시야 조사 영역(131) 및 레이저 조사 영역(141)과 마찬가지로 검사 대상물(20)의 이송 방향을 따라 상호간에 이격되어 형성될 수 있다. 한편, 촬상 이미지에서 취득하는 촬상 영역은 불량 특성에 따라 새롭게 추가되어 다른 영역에서도 불량 검출이 가능해질 수도 있다. 예를 들어, 미분 시야 조명(130)에서는 파장을 달리하는 빛이 서로 다른 영역에 각각 조사될 수 있고, 이에 따라 취득되는 미분 시야 촬상 영역(133)은 검사 대상물(20)의 내부에서 불량을 검출하는 내부 미분 시야 촬상 영역(133-1)과 검사 대상물(20)의 표면에서 불량을 검출하는 표면 미분 시야 촬상 영역(133-2)을 포함할 수 있다. 이와 같이 촬상 영역은 하나의 영역에 한정되지 않고 필요에 따라 보다 많은 영역으로 구분되어 취득할 수 있다.
제어부(300)는 촬상 이미지로부터 곡면 촬상 영역(109), 암 시야 촬상 영역(113), 명 시야 촬상 영역(123), 미분 시야 촬상 영역(133) 및 레이저 촬상 영역(143)을 각각 분리하고, 복수의 촬상 이미지로부터 각각 분리된 복수의 곡면 촬상 영역(109), 암 시야 촬상 영역(113), 명 시야 촬상 영역(123), 미분 시야 촬상 영역(133) 및 레이저 촬상 영역(143)을 동일 종류의 영역별로 합쳐서 검사 대상물(20)의 곡면 이미지, 암 시야 이미지, 명 시야 이미지, 미분 시야 이미지 및 레이저 이미지를 각각 획득할 수 있다. 그 결과, 제어부(300)는 검사 대상물(20)의 곡면 이미지, 암 시야 이미지, 명 시야 이미지, 미분 시야 이미지 및 레이저 이미지를 대조 분석하여 검사 대상물(20)의 불량 여부를 판단할 수 있다. 특히, 레이저 이미지는 암 시야 이미지, 명 시야 이미지 및 미분 시야 이미지에서 검출된 불량이 검사 대상물(20) 내의 실제 불량이 아닌 부유성 이물질에 의한 것인지 확인하는데 사용될 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이라면 청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
10: 멀티 광학 디스플레이 검사 장치
20: 검사 대상물
21: 평면부
23: 곡면형 엣지
100: 곡면 조명
101: 광원
103: 곡면형 반사판
105: 제1 곡면부
106: 경계선
107: 제2 곡면부
109: 곡면 촬상 영역
110: 암 시야 조명
111: 암 시야 조사 영역
113: 암 시야 촬상 영역
120: 명 시야 조명
121: 명 시야 조사 영역
123: 명 시야 촬상 영역
130: 미분 시야 조명
131: 미분 시야 조사 영역
133: 미분 시야 촬상 영역
133-1: 내부 미분 시야 촬상 영역
133-2: 표면 미분 시야 촬상 영역
140: 레이저 발진기
141: 레이저 조사 영역
143: 레이저 촬상 영역
150: 백 라이트
200: 카메라
300: 제어부

Claims (10)

  1. 검사 대상물에 형성되는 곡면형 엣지에 불량이 보이도록 빛을 조사하는 곡면 조명; 및
    상기 검사 대상물을 촬상하여, 곡면 촬상 영역을 포함하는 촬상 이미지를 생성하는 카메라를 포함하고,
    상기 곡면 조명은,
    광원; 및
    상기 광원에서 빛이 입사하고, 입사한 빛을 상기 곡면형 엣지로 반사시키는 곡면형 반사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 곡면형 반사판은 제1 곡률반경을 가지는 오목한 형상의 제1 곡면부를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 곡면형 반사판은 상기 제1 곡면부에 직접 연결되고 상기 제1 곡률반경과 상이한 제2 곡률반경을 가지는 오목한 형상의 제2 곡면부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 곡률반경은 176mm이고, 상기 제2 곡률반경은 81mm인 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치.
  5. 검사 대상물에 형성되는 곡면형 엣지에 불량이 보이도록 빛을 조사하는 곡면 조명;
    상기 평면부 상에 부착된 부유성 이물질이 보이도록 상기 평면부와 평행하게 레이저를 조사하는 레이저 발진기; 및
    상기 검사 대상물을 촬상하여, 곡면 촬상 영역 및 레이저 촬상 영역을 포함하는 촬상 이미지를 생성하는 카메라를 포함하고,
    상기 곡면 조명은,
    광원; 및
    상기 광원에서 빛이 입사하고, 입사한 빛을 상기 곡면형 엣지로 반사시키는 곡면형 반사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 검사 대상물에 형성되는 평면부에 불량이 밝게 보이도록 빛을 조사하는 암 시야 조명;
    상기 평면부에 불량이 어둡게 보이도록 빛을 조사하는 명 시야 조명; 및
    상기 평면부에 불량이 입체적으로 보이도록 빛을 조사하는 미분 시야 조명을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 카메라는 한 번의 촬상으로 상기 곡면 촬상 영역, 암 시야 촬상 영역, 명 시야 촬상 영역, 미분 시야 촬상 영역 및 상기 레이저 촬상 영역을 포함하는 상기 촬상 이미지를 생성하는 에어리어 스캔 카메라(area scan camera)인 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 암 시야 촬상 영역, 상기 명 시야 촬상 영역, 상기 미분 시야 촬상 영역 및 상기 레이저 촬상 영역은 상기 검사 대상물의 이송 방향을 따라 상호간에 이격되어 형성되고,
    상기 카메라는 이송되는 상기 검사 대상물을 연속적으로 촬상하여 복수의 상기 촬상 이미지를 생성하는 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    복수의 상기 촬상 이미지로부터 상기 곡면 촬상 영역, 상기 암 시야 촬상 영역, 상기 명 시야 촬상 영역, 상기 미분 시야 촬상 영역 및 상기 레이저 촬상 영역을 각각 분리하고, 분리된 상기 곡면 촬상 영역, 상기 암 시야 촬상 영역, 상기 명 시야 촬상 영역, 상기 미분 시야 촬상 영역 및 상기 레이저 촬상 영역을 동일 종류의 영역별로 합쳐서 상기 검사 대상물의 곡면 이미지, 암 시야 이미지, 명 시야 이미지, 미분 시야 이미지 및 레이저 이미지를 각각 획득하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치.
  10. 제1항, 제5항 또는 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검사 대상물을 기준으로 상기 카메라의 반대쪽에 배치되는 백 라이트(back light)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 광학 디스플레이 검사 장치.
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