JP2010519516A - 自動検査用にフィルムを照明するための方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
光学フィルムの機械検査用照明技術。一実施形態では、透明又は半透明の構造化シート材料を受光装置で検査するために照明する照明システムが説明される。
Description
本出願は、米国特許仮出願第60/890415号公報(2007年2月16日出願)の利益を請求するものであり、この開示内容全体は本明細書に参照することで組み込まれたものとする。
本開示は、マシンビジョンに関し、より詳細には、異常を最大限に認識するようにするための、例えば構造化光学フィルムの照明に関する。
近年では、有用なコンピュータ処理の補助を得て、以前は熟練検査員を必要とした検査作業の一部を実行する自動装置が使用できるようになってきた。このような「マシンビジョン」技術は、より高性能になってきており、特に、長さ不定の材料のウェブの検査に使用されるようになってきた。
マシンビジョンシステムを適切に運用するには、適切なウェブの照明技術が必要である。特に需要のある例は、構造化光学フィルム上の表面欠陥の検査である。使用されている技術の1つは、いわゆる「拡散透過光」技術である。構造化光学フィルムに拡散透過光技術を使用する場合、拡散光源は、フィルムの表面に対して多くの異なる角度から光学フィルムの構造化側を照明する。カメラは、フィルムの非構造化側に配置され、フィルムの照明領域上に焦点が合わされる。特定の種類の異常が照明領域を通過する場合、異常な部分はフィルムの異常のない部分とは異なるように光を透過することがあり、この違いがカメラによって検出される。フィルムの傷などの特定の表面異常は、カメラによってフィルムの他の部分より明るく又は暗く観察されることがある。
別の技術、いわゆる「遠暗視野(far dark field)」技術は、光を強度に散乱させる異常を検出するために使用される。遠暗視野技術を使用する場合、1つ又は2つの光源が配置され、カメラの視線に対して角度を付けて検査されるようにフィルム上に光が当てられる。カメラからは、通常、これらの光源の光は見えない。特定の表面異常が1つ以上の光線を通過する場合のみ、光はカメラの方向に散乱され、欠陥が通常は暗い画像上に明るい領域として見られる。遠暗視野技術は、暗視野照明の一種である。別の種類としては、近暗視野が挙げられる。近及び遠の表記は、照明される表面の平面に入射する角度を意味する。
これらの照明技術はそれぞれ構造化光学フィルム上の特定の種類の異常を強調する幾つかの利点を有するが、これらの方法のどれか1つでは検出を妨げる幾つかの欠点が存在する。
拡散透過光技術を少なくとも1種類の別の照明技術と組み合わせ、単一の画像化カメラでモニターされる単一の台として照明の構成を調整し得ることが発見されている。一実施形態では、追加的な照明技術は遠暗視野光源である。特定の実施形態では、この組み合わされた照明技術は、いずれか単独の照明技術よりも着実に異常を検出できる。わずか又はごくわずかに、いずれかの単一の方法で検出可能な異常の事例が容易に検出可能になるよう向上されることがある。
様々な実施形態において、本発明は以下のいずれか又はすべてを目的とすることがある。
1.透明又は半透明の構造化シート材料を受光装置で検査するために照明するシステムであって、シート材料が第1の面及び第2の面を有し、該システムが、
シート材料の一部を通過して拡散光を送る第1の光源と、
第1の光源と同時にシート材料の同じ部分に向けて光を送る第2の光源と、を含む、システム。
シート材料の一部を通過して拡散光を送る第1の光源と、
第1の光源と同時にシート材料の同じ部分に向けて光を送る第2の光源と、を含む、システム。
2.第1の面及び第2の面が構造化されている、実施形態1に記載のシステム。
3.構造化シート材料が該内部構造を有する、実施形態1に記載のシステム。
4.第1の面が構造化されている、実施形態1に記載の照明システム。
5.第1の光源が該シート材料の第1の面に向けて光を送り、受光装置がシート材料の第2の面から光を受容するよう配置されている、実施形態1〜4のいずれかに記載のシステム。
6.シート材料が構造化光学フィルムである、実施形態1〜5のいずれかに記載のシステム。
7.構造化光学フィルムがプリズム状フィルムである、実施形態1〜6のいずれかに記載のシステム。
8.第1の光源及び第2の光源と同時に、シート材料の同じ部分に向けて光を送る第3の光源を更に含む、実施形態1〜7のいずれかに記載のシステム。
9.第1の光源、第2の光源、及び第3の光源と同時に、シート材料の同じ部分に向けて光を送る第4の光源を更に含む、実施形態8に記載のシステム。
10.第1の光源、第2の光源、第3の光源、及び第4の光源と同時に、シート材料の同じ部分に向けて光を送る第5の光源を更に含む、実施形態9に記載のシステム。
11.第1の光源、第2の光源、第3の光源、第4の光源、又は第5の光源と同時に、シート材料の同じ部分に向けて光を送る1つ以上の別の光源を更に含む、実施形態10に記載のシステム。
12.第1の光源が、受光装置とは反対側のウェブの面に拡散光を送る、実施形態1〜11のいずれかに記載のシステム。
13.第2の光源が、受光装置とは反対側のウェブの面に遠暗視野光を提供する、実施形態1〜12のいずれかに記載のシステム。
14.第1の光源が受光装置とは反対側のウェブの面に向けて拡散光を送り、第2の光源が、受光装置とは反対側のウェブの面に暗視野透過光を送り、第3の光源が暗視野透過光又は暗視野反射光のいずれかを送る、実施形態1〜13のいずれかに記載のシステム。
15.光学フィルムの表面の検査領域から光を感知するよう配置された光感知装置と、
ウェブの検査領域でウェブを通過して光感知装置に拡散透過光を送るものであって、ウェブの縦方向に対して第1の角度で光を提供する第1の光源と、
ウェブの検査領域に向けて光を送るものであって、ウェブの縦方向に対して第2の角度で光を提供し、その際、第2の角度が第1の角度とは異なる第2の光源と、を含む、光学フィルムを検査するシステム。
ウェブの検査領域でウェブを通過して光感知装置に拡散透過光を送るものであって、ウェブの縦方向に対して第1の角度で光を提供する第1の光源と、
ウェブの検査領域に向けて光を送るものであって、ウェブの縦方向に対して第2の角度で光を提供し、その際、第2の角度が第1の角度とは異なる第2の光源と、を含む、光学フィルムを検査するシステム。
16.光感知装置がカメラである、実施形態15に記載のシステム。
17.光感知装置がラインスキャンカメラである、実施形態15〜16に記載のシステム。
18.光学フィルムが光感知装置、第1の光源、及び第2の光源のいずれか又はすべてに対して移動している、実施形態15〜17に記載のシステム。
19.システムが光学フィルムの製造中に光学フィルムを検査する、実施形態15〜18に記載のシステム。
20.検査領域に向けて光を送る第3の光源を更に含み、前記第3の光源がウェブの縦方向に対して第3の角度で光を提供し、前記第3の角度が第1又は第2の角度とは異なる、実施形態15〜19に記載のシステム。
21.検査領域に向けて光を送る1つ以上の追加的な光源を更に含み、前記1つ以上の追加的な光源がウェブの方向に対して他の光源の角度とは異なる角度で光を提供する、請求項20に記載のシステム。
22.透明又は半透明の構造化シート材料を照明する方法であって、
シート材料の一部を通過して拡散光を送る第1の光源を提供する工程と、
第1の光源と同時に、シート材料の同じ部分に向けて光を送る第2の光源を提供する工程と、を含む、方法。
シート材料の一部を通過して拡散光を送る第1の光源を提供する工程と、
第1の光源と同時に、シート材料の同じ部分に向けて光を送る第2の光源を提供する工程と、を含む、方法。
構造化光学フィルムは、本明細書で使用するとき、フィルムが反射又は屈折によって光の方向を変えられるように一連のプリズムがフィルムの表面又は内部に配置された、光透過性材料からなるフィルムを指す。構造化光学フィルムは、一般に米国特許第4,906,070号明細書(コッブ(Cobb))に記載されている。
輝度向上フィルムは、本明細書で使用するとき、液晶ディスプレイ(LCD)に通常使用されるようなランベルト(Lambertian)バックライトの軸上の見掛け輝度を向上し得るフィルムの種類を指す。輝度向上フィルムは、構造化光学フィルムであってもよい。代表的な輝度向上フィルムは、米国特許第5,917,664号明細書(オニール(O’Neill))に記載されている。一実施形態における輝度向上フィルムは、縦方向に相互に平行に配向された微小複製プリズムを含んでいてもよく、欠陥マスキングパターンを含むこともある。この欠陥マスキングパターンは、微小複製プリズムに意図的にランダムな又は見掛け上ランダムな変化を含むことがある。代表的な欠陥マスキングパターンは、米国特許第6,354,709号明細書(キャンベル(Campbell))に記載されている。一部の輝度向上フィルムは、フィルムの平面にほぼ垂直の角度(軸上)から見ると不透明さが増して見えるが、ほぼ垂直以外の角度から見ると不透明さが少なく(例えば、部分的又は完全に透明に)見える。この特性は、本明細書でより詳しく説明するように、特定の照明技術、又は照明技術の組み合わせに役立つ。
完全な鏡面では、一定の角度で入射した光は入射面で同じ角度に反射し、反射光を形成する。実際の表面では、この光の一部は散乱する(吸収される、回折する、ないしは別の方法で反射光以外の角度に向けられる)であろう。粒子、傷、表面粗さ、部分的な表面トポグラフィー、又は異なる材料間の境界面は、光を散乱させることがある。この散乱は、感知機器で検出され、光学フィルムに存在する異常を同定するよう分析されることができる。異常は、本明細書で使用するとき、光学収差が存在するフィルムの領域を指す。一般的な異常には、傷、表面粗さ、くぼみ、微小複製パターンの構造異常(光学フィルムにこのようなパターンが存在する場合)、連行気泡、及び混入が挙げられる。これら及びその他の異常により、光学フィルムが特定用途に使用できなくなることがある。
図1は、拡散透過光照明技術を追加的な技術(この場合は遠暗視野照明技術)と共に使用した検査台の概略的側面図である。この組み合わせは、幾つかの実施形態で、フィルムの表面上に存在する異常のコントラストを向上させることがある。更に、幾つかの実施形態で、この検査技術の組み合わせは、別の方法では検出不能な(又は検出困難な)異常を検出できる。更に別の実施形態では、この組み合わせは、特定の種類の構造化光学フィルムの検査に伴う視覚的ノイズを減らすことができる。
ウェブI1は光透過性フィルムである。単なる非限定例として、ウェブI1は、光学フィルム、構造化光学フィルム、又は輝度向上フィルムであってもよい。図1に示されるように、ウェブI1は製造プロセス中であり、左から右又は右から左のいずれかの横方向に移動し、この移動方向は「ダウンウェブ」方向、つまり「機械」方向と考えられるであろう。本明細書では製造中として図示及び記載しているが、本明細書に記載の照明及び検査技術は、例えばウェブが製造された後も同様に使用することができる。更に、連続又は半連続ウェブの照明及び検査に関して記載しているが、製造環境で起こり得る場合には、本明細書に記載の技術は、必要に応じてスケールアップ若しくはダウンされ得ること、又は製造以外の環境に合わせて変更され得ることを、当業者は理解するであろう。
本開示内における(制限のない)説明の目的で、ウェブI1は輝度向上フィルムとみなしてもよい。ウェブI1は、一実施形態において、構造化側及び非構造化側を含む。ウェブI1の構造化側は、この実施例では、微小複製プリズムを有し、この構造化側が拡散透過光源I3に面する(ウェブI1の下面が構造化面)。光源I3はレンズI4に向けて光を提供し、レンズI4はディフューザーI6に光を提供する。光源I3、レンズI4、及びディフューザーI6は、拡散透過光源I9を構成する。拡散透過光源I9は、ウェブI1の平面のほぼ軸上に配置される。ディフューザーI6は、ウェブI1の構造化側のクロスウェブセクション(以降、ウェブの照明領域と呼ぶ)を照らすよう配置される。当業者には理解されるであろうが、図1に示される例示的実施形態以外にも、拡散照明を提供するために使用可能な方法は無数に存在する。例えば、発光ダイオード(LED)アレイ又は蛍光ランプは、ディフューザーの有無にかかわらず、拡散照明を提供するために使用可能である。レンズI7は、ウェブI1の非構造化側に配置され、ウェブI7を通過した透過光を受容する。レンズI7は、感知装置(この場合はカメラI8)に光を通過させる。ディフューザーI6からの光は、ウェブI1を通過する際に屈折し(ある種の輝度向上フィルムの特性)、ウェブの照明領域がカメラ8の視角から暗く見える(カメラ8がウェブの平面の軸上の一定角度内にある限り)。ウェブの照明領域を通過する異常は、光を均等に屈折しない傾向にあり、その結果、背景より明るく見えることがある。
第2の照明技術の構成(この場合は遠暗視野透過光源I10)は、光源I2及びレンズI5により提供され、ウェブ平面に対して垂直入射からおよそ35°の角度で光を提供するよう配置される。特定の用途では、5°〜85°の角度がある程度の有用性を有する。遠暗視野透過光源I10からの光は、一実施形態では、拡散透過光源I9によって照明された同じウェブの照明領域に沿って集束される。遠暗視野透過光は、ダウンウェブ(すなわち機械)方向に光を散乱する異常を強調する傾向がある。このような異常は、微小複製プリズム若しくはパターン、及び/又は微小複製構造と裏材間の境界面にばらつきを含むか、又は裏材自体に欠陥を含むことがある。
したがって、2種類の照明技術(拡散透過及び遠暗視野)を組み合わせ、ウェブの照明領域からの信号を受容するように構成された、単一の感知装置(ラインスキャンカメラなど)を配置してもよい。
光源I2及びI3は、従来の白熱灯、蛍光灯、若しくはハロゲン電球、LED、又はレーザーなどの、発光する任意の装置であってもよい。あるいは、光源I2及び/又はI3は、それ自体は全く発光しない代わりに別の光源の導管であってもよい。例えば、光源I2及び/又はI3は、別の光源(多くの場合、近くに配置された別の装置)から光ファイバー線を介して光を伝送する、いわゆる「ファイバーラインライト」であってもよい。幾つかの実施形態では、光源I2及びI3は種類が異なる(1つは蛍光灯、もう1つはレーザー又はファイバーラインなど)。
レンズI4及びI5は、任意の種類の集光装置であってもよい。幾つかの実施形態では、光源の性質によって、レンズI4及びI5を省略してもよい。一実施形態では、レンズI4及びI5はアクリル製円筒形レンズである。
ディフューザーI6は、光を分散又は散乱させる任意の装置であってもよい。一実施形態では、ディフューザーI6は1枚のオパールガラスである。別の実施形態では、コネチカット州フェアフィールド(Fairfield)のゼネラル・エレクトリック(General Electric)社製の種々のポリカーボネートフィルムのいずれかのような、1枚の拡散フィルムである。
レンズI7は、任意の種類のレンズであってもよい。一実施形態では、レンズI7は、85mmの延長チューブを備えたシュナイダー・コンポノン(Schneider Componon)f5.6/150mmである。
図2は、拡散透過光照明技術を追加的な照明技術と共に使用した検査台の概略的側面図である。図2は、図1と同じ構成要素を含むが、更に別の遠暗視野透過光源(J1)及び暗視野反射光源(J2)も含む。特に、図2は、2種類だけよりも多くの異なる照明技術を光学的に組み合わせ、単一のカメラ又は単一の検査台で感知し得ることを実証している。この場合、例えば、図3に示される4つのすべての光源は、カメラ8で検査されるウェブの同じ照明部分に光を集中させる。4種類を超える照明技術を使用した別の照明技術も同様に使用することができる。
第2の遠暗視野透過光源(J1)は、ウェブの異常が照明領域を通過する際に第1の遠暗視野透過光源を補助して異常を強調することができる。第2の遠暗視野透過光源は、一般に第1の遠暗視野透過光源と同様に構成されるが、一実施形態では反対の角度に配置される。暗視野反射光源(J2)は、特に支持ウェブ(ウェブの非構造化側)の平坦な表面上の異常を強調する傾向がある。
複数の照明技術の組み合わせは、質の高い自動ウェブ検査を容易にすることができる。この質の高さは、様々な方向及び異なる表面又は表面境界面で生じる広範囲な異常の信号対ノイズのコントラストを適切に提供する照明技術の結果であり得る。更に、複数の照明技術を組み合わせることによって、組み合わせた照明技術の中のいずれか1種類だけよりも高い欠陥率に対して信号対ノイズ比を向上させることがある。例えば、特定の欠陥において、拡散透過光源I3が得られた信号の75%を発生させ、図2に示される検査台の場合、2つの追加の遠暗視野光源が残りの25%を付加できるため、異常部分を割り出す十分な信号が提供される。別の実施例では、透過光源I9が得られた信号の35%を発生させ、図2に示される検査台の場合、2つの追加の遠暗視野光源(J1及びJ2)が残りの65%を付加できる。
更に、複数の照明技術は、幾つかの実施形態で、ウェブの検査に伴う固有のノイズを減らすのに役立つことがある。例えば、輝度向上フィルムなどの一部の光学フィルムは、フィルムの特性(プリズムの寸法又は配向など)に欠陥マスキングパターン又はその他の意図的にランダムな若しくは見掛け上ランダムな変化を含んでいてもよい。単一の照明技術を使用して照明されると、これらの意図的なフィルムの変化はバックグラウンドノイズとして表れ、それによって実際の異常のコントラストを低下させることがある。しかし、複数の照明技術は、このような意図的なフィルムの変化に伴うバックグラウンドノイズを減らし、それによって信号対ノイズ比を向上させることがある。
ウェブ検査台は、一般に図2に示されるように構成した。照明システムは、アイドラーローラー間のフリースパン(free span)に従来のウェブ処理システムのウェブ経路の下で取り付けた。従来の150mmレンズを備えた、カリフォルニア州サンホゼ(San Jose)のアトメル(Atmel)から市販されているAVIIVA(商標)CCDモノクロラインスキャンカメラを、照明システムの上にウェブ経路から83cm上方で取り付けた。照明システムは3つの光源を含み、各光源は、ニューヨーク州イーストシラキュース(East Syracuse)のイルミネーション・テクノロジー(Illumination Technologies)社から市販されているモデル4900自動較正光源(Model 4900 Auto-Calibrating Light Source)で駆動される、カリフォルニア州サンディエゴ(San Diego)のフォステック・イメージング(Fostec Imaging)社から市販されている光ファイバー線を含んだ。直接光源はカメラに向かって直接上方に照準を合わせ、2つの遠暗視野光源は垂線から40°の角度で照準を合わせた。別の方法では、3つのすべての光源を、その長軸がウェブの横断方向と平行になるように配向した。
3つの各光源には、それぞれ直径が31.75mm(1.25インチ)の光学的に透明なアクリルポリマー製円筒形レンズを備えた。12.5mm(0.5インチ)幅のスロットを有するアルミニウムフレームを直接光源とウェブ下面との間に取り付け、直接光源からの光が円筒形レンズの1つを通過した後、ウェブ下面に到達する途中でスロットを通過するようにした。艶消し仕上げを施したディフューザーの半透明フィルムをスロットの上部を横切って配置した。
カメラの出力は、分析用パーソナルコンピュータに接続した。コンピュータでは、カナダ、ケベック州ドーバル(Dorval)のマトロックス・イメージング(Matrox Imaging)社から市販されているマトロックス・インスペクタ(Matrox Inspector)2.2ソフトウェアパッケージを実行した。
ウェブ検査台を使用して、様々な製品の製造に使用され得る種類の意図的な特性変化を有する厚さ7mmの光学品質プリズム状光学フィルムを検査した。百マイクロメートルから数百マイクロメートルの範囲の大きさを有する穴及び表面汚染などの大きな欠陥から、約15マイクロメートルから20マイクロメートルの幅を有する非常に微細な掻き傷まで、起こり得る傷が様々であることが明らかであったため、実験用材料の特殊なロールを選択した。
図3A〜図3Cは、ウェブの同一部分の3つの異なる通過状態を示すコンピュータ画面の画面印刷を並べて配置したものである。図3Aは、拡散透過光源のみで照明された、ある長さのフィルムの走査画像である。図は、段階的な「斑点のある」グレースケールの色調変化を示す。意図的なフィルムの特性変化に起因する微細なバックグラウンドノイズのため、異常を確認することは難しい。図3Bは、遠暗視野光源のみで照明された、ある長さのフィルムの走査画像である。図3Aは段階的な微細な信号変化を有するのに対し、図3Bはより明確で鮮明な信号変化を有する(多くは同じ意図的なフィルムの特性変化に起因する)。図3Aと同様に、意図的なフィルムの特性変化に伴うバックグラウンドノイズに対して異常を確認することは難しい。図3Cは、図3Aに示される技術と図3Bに示される技術の両方で同時に照明された、ある長さの材料の走査画像である。図3A及び図3Bに比べて、異常(異常D1など)がより明確に識別され、バックグラウンドノイズが減少している。本発明の照明システムには有意な相乗効果があり、この斬新なシステムは従来の照明方法だけで強調されたすべての欠陥だけでなく、他の識別が難しい欠陥も強調することは、図から理解されるであろう。
表1は、比較的均一に構造化されたプリズム状フィルムにおける3種類の照明技術の相対的な寄与を示す。Y軸は照明技術を示す。溝横断(Cross-groove)/溝沿い(down-groove)は、フィルムの構造化側の溝パターンに対する試験用異常の向きを表す。
表2は、見掛け上ランダムにパターン化されたプリズム状フィルムにおける3種類の照明技術の相対的な寄与を示す。
Claims (22)
- 透明又は半透明の構造化シート材料を受光装置で検査するために照明するシステムであって、前記シート材料が第1の面及び第2の面を有し、該システムが、
前記シート材料の一部を通過して拡散光を送る第1の光源と、
前記第1の光源と同時に前記シート材料の同じ部分に向けて光を送る第2の光源と、を含む、システム。 - 前記第1の面及び第2の面が構造化されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記構造化シート材料が内部構造を有する、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の面が構造化されている、請求項1に記載の照明システム。
- 前記第1の光源が前記シート材料の第1の面に向けて光を送り、前記受光装置が前記シート材料の第2の面から光を受容するよう配置されている、請求項4に記載のシステム。
- 前記シート材料が構造化光学フィルムである、請求項1に記載のシステム。
- 前記構造化光学フィルムがプリズム状フィルムである、請求項6に記載のシステム。
- 前記第1の光源及び第2の光源と同時に、
前記シート材料の同じ部分に向けて光を送る第3の光源を更に含む、請求項4に記載のシステム。 - 前記第1の光源、第2の光源、及び第3の光源と同時に、
前記シート材料の同じ部分に向けて光を送る第4の光源を更に含む、請求項8に記載のシステム。 - 前記第1の光源、第2の光源、第3の光源、及び第4の光源と同時に、
前記シート材料の同じ部分に向けて光を送る第5の光源を更に含む、請求項9に記載のシステム。 - 前記第1の光源、第2の光源、第3の光源、第4の光源、又は第5の光源と同時に、
前記シート材料の同じ部分に向けて光を送る1つ以上の別の光源を更に含む、請求項10に記載のシステム。 - 前記第1の光源が、前記受光装置とは反対側のウェブの面に拡散光を送る、請求項1に記載のシステム。
- 前記第2の光源が、前記受光装置とは反対側の前記ウェブの面に遠暗視野光を提供する、請求項12に記載のシステム。
- 前記第1の光源が、前記受光装置とは反対側のウェブの面に拡散光を送り、前記第2の光源が、前記受光装置とは反対側のウェブの面に暗視野透過光を送り、前記第3の光源が暗視野透過光又は暗視野反射光のいずれかを送る、請求項4に記載のシステム。
- 光学フィルムの表面の検査領域から光を感知するよう配置された光感知装置と、
ウェブの検査領域で前記ウェブを通過して前記光感知装置に拡散透過光を送るものであって、前記ウェブの縦方向に対して第1の角度で光を提供する第1の光源と、
前記ウェブの検査領域に光を送るものであって、前記ウェブの縦方向に対して第2の角度で光を提供し、その際、前記第2の角度が前記第1の角度とは異なる第2の光源と、を含む、光学フィルムを検査するシステム。 - 前記光感知装置がカメラである、請求項15に記載のシステム。
- 前記光感知装置がラインスキャンカメラである、請求項16に記載のシステム。
- 前記光学フィルムが前記光感知装置、前記第1の光源、及び前記第2の光源のいずれか又はすべてに対して移動している、請求項15に記載のシステム。
- 前記システムが前記光学フィルムの製造中に前記光学フィルムを検査する、請求項16に記載のシステム。
- 前記検査領域に向けて光を送る第3の光源を更に含み、
前記第3の光源が前記ウェブの縦方向に対して第3の角度で光を提供し、前記第3の角度が前記第1又は第2の角度とは異なる、請求項16に記載のシステム。 - 前記検査領域に向けて光を送る1つ以上の追加的な光源を更に含み、
前記1つ以上の追加的な光源が前記ウェブの方向に対して他の光源の角度とは異なる角度で光を提供する、請求項20に記載のシステム。 - 透明又は半透明の構造化シート材料を照明する方法であって、
前記シート材料の一部を通過して拡散光を送る第1の光源を提供する工程と、
前記第1の光源と同時に前記シート材料の同じ部分に向けて光を送る第2の光源を提供する工程と、を含む、方法。
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