JP2014163771A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 搬送装置11により搬送されるシート状の被検査物100の表面を撮像した画像を用いて、前記被検査物の欠陥を検査する外観検査装置である。前記被検査物100の搬送方向91に交差する方向にセル列が配置されるリニア撮像素子2aと、前記リニア撮像素子のセル列に沿った方向に配列されそれぞれ独立して点灯可能な複数の発光領域3a,3b,3cを有する線状の照明装置3と、前記複数の発光領域3a,3b,3cの点灯のタイミングを前記リニア撮像素子2aのデータ転送動作ごとに行うように制御する照明制御部6と、前記リニア撮像素子2aで撮像された発光領域3a,3b,3cが異なる複数の画像に基づいて前記被検査物の欠陥を検査する画像判定部10とを備える。
【選択図】 図1
Description
前記被検査物の搬送方向に交差する方向にセル列が配置されるリニア撮像素子と、
前記リニア撮像素子のセル列に沿った方向に配列されそれぞれ独立して点灯可能な複数の発光領域を有する線状の照明装置と、
前記複数の発光領域の点灯のタイミングを前記リニア撮像素子のデータ転送動作ごとに行うように制御する照明制御部と、
前記リニア撮像素子で撮像された発光領域が異なる複数の画像に基づいて前記被検査物の欠陥を検査する画像判定部とを備えることを特徴とする、外観検査装置を提供する。
前記リニア撮像素子から転送された複数の画像データを同じ前記発光領域が点灯した画像データごとに集積して集積画像データを作成する画像処理部と、をさらに備えることを特徴とする、第1から第3態様のいずれか1つの外観検査装置を提供する。
図1は、本発明の第1実施形態にかかる外観検査装置の構成を示す模式図である。図2は、図1の外観検査装置の光学系の例を示す模式図である。
CCDラインセンサカメラ2の光軸Lの方向は、被検査物100に対して若干傾斜するように構成されていてもよいが、あまりに大きくなると第1照明装置3の明視野を確保しにくくなることから、30度程度までにすることが好ましい。本実施形態のCCDラインセンサカメラ2に使用されているCCD撮像素子2aは、カラーCCDである必要はなく、カラーフィルタが設けられていないものが使用されている。
図12は、本発明の第2実施形態にかかる外観検査装置の光学系の例を示す模式図である。図13は、第2実施形態にかかる外観検査装置の機能ブロック図である。
2,22 CCDラインセンサカメラ
2a,22a CCD
3,23 第1照明装置
3a 第1発光領域
3b 第2発光領域
3c 第3発光領域
4,24 第2照明装置
5 制御演算部
6 照明制御部
7 撮像制御部
8 画像処理部
9 画像合成部
10 画像判定部
11,21 搬送装置
23R R発光領域
23G G発光領域
23B B発光領域
22b カラーフィルタ
Claims (10)
- 搬送装置により搬送されるシート状の被検査物の表面を撮像した画像を用いて、前記被検査物の欠陥を検査する外観検査装置であって、
前記被検査物の搬送方向に交差する方向にセル列が配置されるリニア撮像素子と、
前記リニア撮像素子のセル列に沿った方向に配列されそれぞれ独立して点灯可能な複数の発光領域を有する線状の照明装置と、
前記複数の発光領域の点灯のタイミングを前記リニア撮像素子のデータ転送動作ごとに行うように制御する照明制御部と、
前記リニア撮像素子で撮像された発光領域が異なる複数の画像に基づいて前記被検査物の欠陥を検査する画像判定部とを備えることを特徴とする、外観検査装置。 - 前記照明装置は、発光面から前記被検査物までの距離と前記発光領域の幅方向長さの比が1:1〜1:4になるように配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記照明装置は、発光面から前記被検査物までの距離を変更可能に配置されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の外観検査装置。
- 前記搬送装置により搬送される被検査物の所定の領域が前記リニア撮像素子の撮像領域内にある時間内に、前記リニア撮像素子から複数回のデータ転送が可能となるように、前記搬送装置の搬送速度又は前記リニア撮像素子の転送速度を制御する撮像制御部と、
前記リニア撮像素子から転送された複数の画像データを同じ前記発光領域が点灯した画像データごとに集積して集積画像データを作成する画像処理部と、をさらに備えることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1つに記載の外観検査装置。 - さらに、前記画像処理部により作成された集積画像データを合成し、合成画像データを作成する画像合成部と、を備えることを特徴とする、請求項4に記載の外観検査装置。
- 前記画像合成部は、複数の集積画像データの各画素の値を加算して1つの合成画像データとすることを特徴とする、請求項5に記載の外観検査装置。
- 前記画像合成部は、異なる発光領域が点灯している状態の複数の集積画像データのうち、リニア撮像素子の特定の領域に存在する一部の画素のみの情報を切り出して1つの合成画像データとすることを特徴とする、請求項5又は6に記載の外観検査装置。
- 前記画像合成部が切り出すリニア撮像素子の特定の領域に存在する一部の画素は、前記点灯していない発光領域に対応する画素であることを特徴とする、請求項7に記載の外観検査装置。
- 前記照明装置は、前記被検査物を挟んで前記リニア撮像素子と対向する位置に、前記リニア撮像素子の光軸方向に光を照射するように配置されていることを特徴とする、請求項1から8のいずれか1つに記載の外観検査装置。
- さらに、前記被検査物を挟んで前記リニア撮像素子と対向する位置に、前記リニア撮像素子の光軸方向に対して斜め方向から光を照射するように配置されている第2照明装置を有することを特徴とする、請求項1から9のいずれか1つに記載の外観検査装置。
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