JP2016125817A - 検査システム、検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査対象である透明シートの内部と表面の欠陥を簡易に検査できる検査システム等を提供する。
【解決手段】検査システム１は、導光板２の検査を行うものであり、検査装置１０、照明１１、１３、撮影装置１２、１４等を備える。照明１１、１３は、導光板２に検査光を照射する。撮影装置１２は、照明１１から照射され、導光板２を反射した検査光を受光して導光板２の撮影を行う。撮影装置１４は、照明１３から照射され、導光板２を透過した検査光を受光して導光板２の撮影を行う。検査装置１０は、撮影装置１２、１４で導光板２を撮影した撮影画像から導光板２の欠陥検査を行う。検査装置１０は、導光板２の欠陥として、導光板２の表面と内部の欠陥を切り分けて検出する。
【選択図】図１

Description

本発明は、検査システムおよび検査方法に関する。

現在、液晶表示パネルなどのディスプレイパネルを組み込んだ各種の表示装置が普及しており、こうした表示装置には様々な光学シートが使用されている。

例えば液晶表示装置では、液晶層を有する液晶表示パネルにバックライトユニットからの光を透過させるが、このバックライトユニットには、LED（light emitting diode）や蛍光管など側方に配置された光源からの光を液晶層の平面に均一に導くため、導光板、拡散シート、プリズムシートなどが使用されている。

このうち導光板は、側方の光源からの光を導き、これを内部で反射して面状に放射するものである。図１０は導光板２の一部を示す図である。この例では、導光板２として、ポリエステル樹脂やアクリル樹脂などによる透明シートの表面に凹凸２ａを設けたレンズシートが用いられる。

導光板２では、矢印に示す方向に入射した側方からの光が凹凸２ａで反射し、対向する出射面２ｂから出射する。凹凸２ａは光路調整のため適当な形状に設計される。例えば凹凸２ａは、幅が数十μｍ、高さが数μｍ〜数十μｍ程度のオーダーで形成される。なお、出射面２ｂにプリズム状の凹凸を設ける場合もあり、この場合も幅と高さが同様のオーダーで形成される。

導光板の製造工程において異物等による欠陥が発生すると、不良品の発生原因となる。そこで、導光板の製造後には導光板の欠陥検査を行う。特許文献１では、白点や光沢を有する異物のように光を透過する欠陥と、黒点やゴミ等の異物のように光を透過しない欠陥を一つの装置で検査することが記載されている。

導光板では、欠陥が導光板内部で発生しているか表面で発生しているかにより製品となったときの見え方が異なる。そのため、これらの欠陥を切り分けて検出することが望ましい。また、このような検査結果は、製造工程にフィードバックして不良品を無くすため有効活用できる。特許文献２では、透明板の端面部から平行光を入射し、透明板内部の欠陥を乱反射させることで、透明板内部の欠陥を透明板表面の欠陥と識別することが記載されている。

実開平4-096053号公報 特開2009-053146号公報

しかしながら、特許文献１の方法では導光板を個片に切り取る必要があり、量産時におけるウェブ状の導光板をリアルタイムに検査できないといった課題があった。また、導光板の内部の欠陥と表面の欠陥の切り分けも困難であった。

特許文献２では光ファイバで平行光を入射し、カメラ等を用いて検査しているが、近年では導光板に用いるレンズシートの厚みも500μm以下と薄くなっており、係る薄厚のレンズシートでは検査が困難になる。また上記と同様、量産時におけるウェブ状の導光板をリアルタイムに検査するのも難しい。

本発明は、検査対象である透明シートの内部と表面の欠陥を簡易に検査できる検査システム等を提供することを目的とする。

前述した課題を解決するための第１の発明は、透明シートの検査を行う検査システムであって、前記透明シートに検査光を照射する第１の照明、第２の照明と、前記第１の照明から照射され、前記透明シートを反射した検査光を受光して前記透明シートの撮影を行う第１の撮影装置と、前記第２の照明から照射され、前記透明シートを透過した検査光を受光して前記透明シートの撮影を行う第２の撮影装置と、前記第１の撮影装置、前記第２の撮影装置で前記透明シートを撮影した撮影画像から前記透明シートの欠陥検査を行う検査装置と、を備え、前記検査装置は、前記透明シートの欠陥として、前記透明シートの表面と内部の欠陥を切り分けて検出することを特徴とする検査システムである。

前記透明シートは、例えばレンズシートである。
また、前記第２の照明は、前記透明シートの法線方向から前記透明シートに検査光を照射し、前記第２の撮影装置は、前記透明シートの法線方向に透過した検査光を受光して前記透明シートの撮影を行い、前記第２の照明の光軸の位置は、前記第２の撮影装置からずれていることが望ましい。
さらに、前記第１の照明は、前記透明シートの法線方向に対し傾斜した方向から前記透明シートに検査光を照射し、前記第１の撮影装置は、前記透明シートの法線方向に反射した検査光を受光して前記透明シートの撮影を行うことが望ましい。

前記検査装置は、前記第１の撮影装置、前記第２の撮影装置で前記透明シートを撮影した撮影画像を、各撮影画像について定められた第１の閾値と比較して欠陥を検出し、前記第１の撮影装置での撮影画像における欠陥部分の輝度が、前記第１の閾値と異なる第２の閾値以上である場合、前記透明シートの表面の欠陥とし、前記第１の撮影装置での撮影画像における欠陥部分の輝度が、前記第２の閾値未満である場合、前記透明シートの内部の欠陥とすることが望ましい。

第２の発明は、透明シートの検査を行う検査方法であって、第１の照明から透明シートに照射され、前記透明シートを反射した検査光を第１の撮影装置により受光して前記透明シートの撮影を行うステップと、第２の照明から透明シートに照射され、前記透明シートを透過した検査光を第２の撮影装置により受光して前記透明シートの撮影を行うステップと、検査装置により、前記第１の撮影装置、前記第２の撮影装置で前記透明シートを撮影した撮影画像から前記透明シートの欠陥検査を行うステップと、を備え、前記検査装置は、前記透明シートの欠陥として、前記透明シートの表面と内部の欠陥を切り分けて検出することを特徴とする検査方法である。

本発明により、LED等の通常の照明を用いた反射光および透過光による２つの撮影画像を用いて、薄い検査対象でも内部と表面の欠陥の検査が簡易にできる。また、特殊な機材を必要としないため簡素かつ安価な構成で検査ができ、量産時においても、広幅かつ連続シート状の検査対象をリアルタイムに検査可能である。また、検査対象の内部と表面の欠陥を切り分けることにより、製造工程へのフィードバックも可能になる。

また本発明は、透明シートのなかでも導光板のようなレンズシートの検査に適用するのが特に好適である。さらに、照明と撮影装置の配置を上記したように定め、暗視野方式によって撮影を行うことで、欠陥が好適に検出できる。さらに、第１の閾値と第２の閾値を上記したように用いて、撮影画像から検査対象の内部の欠陥と表面の欠陥とを好適に切り分けて検出できる。

本発明により、検査対象である透明シートの内部と表面の欠陥を簡易に検査できる検査システム等を提供することができる。

検査システム１を示す図 検査装置１０のハードウェア構成を示す図 照明１１、１３と撮影装置１２、１４を示す図 照明１３と撮影装置１４を示す図 検査光１１１の反射を示す図 反射光による撮影画像３０とその輝度分布を模式的に示す図 検査光１３１の透過を示す図 透過光による撮影画像３０とその輝度分布を模式的に示す図 導光板２の検査方法を示すフローチャート 導光板２の一部を示す図

以下、図面に基づいて本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。

（１．検査システム１）
図１は本発明の実施形態に係る検査システム１を示す図である。本実施形態の検査システム１は、導光板２の欠陥検査を行うものであり、検査装置１０、照明１１（第１の照明）、１３（第２の照明）、撮影装置１２（第１の撮影装置）、１４（第２の撮影装置）、照明制御装置１５等を有する。

導光板２は図１０で説明したものと同様である。すなわち、導光板２は、透明シートの表面に凹凸２ａを設け、側方から入射した光源からの光を凹凸２ａで反射させ、出射面２ｂから出射するレンズシートである。前記と同様、出射面２ｂにはプリズム状の凹凸が設けられる場合もある。また導光板２は薄く、その厚さが５００μｍ程度以下であるとする。

検査システム１は導光板２の検査をインラインで行うものであり、ウェブ状に連続する製造後の導光板２を搬送ローラーなどの搬送装置（不図示）で搬送しつつ欠陥検査を行う。図１の矢印Ａは導光板２の搬送方向を示す。この搬送方向は図１０の左右方向に対応し、導光板２は前記の凹凸２ａもしくは出射面２ｂを照明１３側に向けて搬送される。

検査装置１０は撮影装置１２、１４や照明制御装置１５と接続し、これらの制御を行って後述するように欠陥検査を行う。特に本実施形態では、導光板２の内部と表面の欠陥を切り分けて検出できるようにしている。導光板２の欠陥には、異物、タンパク、浮遊物、樹脂の凝縮、パターンの欠け、キズ等がある。これらの大きさは様々であるが、樹脂の凝縮の場合、その直径は例えば１００μｍ程度である。

図２は検査装置１０のハードウェア構成を示す図である。検査装置１０は、例えば、制御部１０１、記憶部１０２、入力部１０３、表示部１０４、通信部１０５等をバス１０６により接続して構成されたコンピュータにより実現できる。但しこれに限ることなく、適宜様々な構成をとることができる。

制御部１０１は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどから構成される。ＣＰＵは、記憶部１０２、ＲＯＭ、記録媒体などに格納された検査装置１０の処理に係るプログラムをＲＡＭ上のワークメモリ領域に呼び出して実行する。ＲＯＭは不揮発性メモリであり、コンピュータのブートプログラムやＢＩＯＳなどのプログラム、データなどを恒久的に保持している。ＲＡＭは揮発性メモリであり、記憶部１０２、ＲＯＭ、記録媒体などからロードしたプログラムやデータを一時的に保持するとともに、制御部１０１が各種処理を行う為に使用するワークエリアを備える。

記憶部１０２は例えばハードディスクドライブであり、制御部１０１が実行するプログラム、プログラム実行に必要なデータ、ＯＳなどが格納される。これらのプログラムやデータは、制御部１０１により必要に応じて読み出され、ＲＡＭに移して実行される。

入力部１０３はデータの入力を行い、例えばキーボード、マウスなどのポインティングデバイス、テンキーなどの入力装置を有する。
表示部１０４は、液晶表示パネルなどのディスプレイ装置と、ディスプレイ装置と連携して表示機能を実現するための論理回路（ビデオアダプタ等）を有する。
通信部１０５は、ネットワーク等を介した通信を媒介する通信インタフェースであり、他の装置との間で通信を行う。
バス１０６は、各部間の制御信号、データ信号等の授受を媒介する経路である。

図１の説明に戻る。照明１１、１３はライン状照明であり、照明１１、１３の長手方向を、導光板２の幅方向に合わせて配置される。導光板２の幅方向は、導光板２の搬送方向と直交する。照明１１、１３は、長手方向に沿ったライン状の検査光を導光板２へと照射する。照明１１、１３には、例えばLEDや光ファイバが用いられる。

撮影装置１２は、導光板２から見て照明１１と同じ側に配置されており、照明１１から照射され導光板２を反射した検査光を受光し、導光板２の撮影を行う。
撮影装置１４は、導光板２から見て照明１３と逆の側に配置されており、照明１３から照射され導光板２を透過した検査光を受光し、導光板２の撮影を行う。

撮影装置１２、１４はそれぞれ、レンズ１２ａ、１４ａとラインセンサ１２ｂ、１４ｂを備え、レンズ１２ａ、１４ａで集光した検査光をラインセンサ１２ｂ、１４ｂで受光することにより導光板２の撮影を行う。ラインセンサ１２ｂ、１４ｂは、ライン状に配列した複数の受光素子の各々で検査光を受光するものであり、ラインセンサ１２ｂ、１４ｂの長手方向（受光素子の配列方向）を導光板２の幅方向に合わせて配置される。

本実施形態では、上記の照明１１、１３と撮影装置１２、１４により、導光板２の全幅に渡って撮影が行われる。

図３は、照明１１、１３、撮影装置１２、１４の配置を導光板２の搬送方向に沿って見たものである。図に示すように、本実施形態において、照明１１は導光板２の法線方向に対し傾斜した方向から検査光１１１を照射する。その傾斜角は例えば３０°程度である。一方、撮影装置１２は、導光板２の法線方向に反射した検査光１１１を受光して撮影を行う。

照明１３は導光板２の法線方向から検査光１３１を照射し、撮影装置１４は導光板２の法線方向に透過した検査光１３１を受光する。ただし、照明１３から照射される検査光１３１の光軸の位置は、図のｄに示すように撮影装置１４から若干ずれている。このずれ量ｄは、図４（ａ）に示すように、撮影装置１４下の撮影範囲に欠陥３がある場合に、導光板２内に斜めに入射した検査光１３１が欠陥３に向かうように適切な値（例えば、１０〜２０ｍｍ程度）に定められる。

図４（ｂ）に示すように光軸のずれが大きすぎると、斜めに入射した検査光１３１が導光板２の内部を反射して撮影範囲まで伝播する際に、１３１’に示すように導光板２の上方や下方に出射して検査光１３１の量が少なくなり、検査が難しくなる。また検査光１３１の照射方向が適切でないと、図４（ｃ）の１３１’に示すように検査光１３１の大部分が導光板２の下面で反射され、同じく検査が難しくなる。

（２．撮影装置１２、１４による撮影画像）
照明１１と撮影装置１２で反射光による撮影を行う場合、導光板２の内部や表面に欠陥が存在すると、図５（ａ）、（ｂ）に示すように欠陥３により検査光１１１が乱反射し、導光板２の法線方向に向かう一部が撮影装置１２で受光され、撮影画像上で明るい部分として現れる。一方、導光板２に欠陥がなく正常であると、検査光１１１は導光板２上を正反射したり、導光板２を透過したりして撮影装置１２で受光されないので撮影画像上で暗く現れる。こうした輝度差により、撮影画像から導光板２の欠陥が検出できる。このような方式は暗視野方式とも呼ばれる。

図６（ａ）、（ｂ）は撮影装置１２による撮影画像３０とその輝度分布を模式的に示す図であり、図６（ａ）は導光板２の内部に欠陥３が存在する場合（図５（ａ）参照）、図６（ｂ）は導光板２の表面に欠陥３が存在する場合（図５（ｂ）参照）の例である。

本実施形態では、導光板２の内部に欠陥３が存在する場合、導光板２の表面に欠陥３が存在する場合に比べて若干輝度が低くなる。これは、図５（ａ）の１１１’に示すように検査光１１１の一部が導光板２上を正反射し、導光板２の内部に入射する検査光１１１の量が減る等の理由による。

一方、照明１３と撮影装置１４で透過光による撮影を行う場合、導光板２に欠陥がなく正常であると、導光板２を透過した検査光１３１が撮影装置１４では受光されず、撮影画像上で暗く現れる。一方、導光板２の内部や表面に異物等の欠陥が存在すると、図７（ａ）、（ｂ）に示すように検査光１３１が欠陥３により乱反射し、導光板２の法線方向に向かう一部が撮影装置１４で受光され、撮影画像上で明るい部分として現れる。こうした輝度差により、撮影画像から導光板２の欠陥が検出できる。

図８（ａ）、（ｂ）は撮影装置１４による撮影画像３０とその輝度分布を模式的に示す図であり、図８（ａ）は導光板２の内部に欠陥３が存在する場合（図７（ａ）参照）、図８（ｂ）は導光板２の表面に欠陥３が存在する場合（図７（ｂ）参照）の例である。この場合では、導光板２の内部に欠陥３が存在する場合と、導光板２の表面に欠陥３が存在する場合の両方で、欠陥が明るく現れており、欠陥３が好適に検出できるようになっている。

（３．導光板２の検査方法）
次に、検査システム１における導光板２の検査方法について説明する。図９は検査方法の手順を示すフローチャートである。図の各ステップは、検査装置１０の制御部１０１により実行される。

本実施形態では、導光板２の製造ラインにおいて、連続するウェブ状の製造後の導光板２を搬送しつつ、導光板２の欠陥検査を行う。この際、検査装置１０は照明制御装置１５に制御信号を出力して照明制御装置１５による照明１１、１３の点灯を行い、導光板２に検査光１１１、１３１を照射する。

また検査装置１０は、撮影装置１２、１４を制御し、撮影装置１２にて前記したように反射光による画像撮影を行う（Ｓ１）とともに、撮影装置１４にて前記したように透過光による画像撮影を行う（Ｓ２）。撮影装置１２、１４の撮影範囲の導光板２の搬送方向の長さは５０μｍ程度であるが、導光板２を搬送しつつ連続して撮影を行うことで、導光板２が搬送方向に渡って撮影される。

Ｓ１、Ｓ２で撮影された撮影画像は撮影装置１２、１４から検査装置１０に送信され、検査装置１０はこれらの撮影画像を受信して取得する。検査装置１０は、各撮影画像に対しフィルタリング等の前処理を行い（Ｓ３）、ノイズの除去等を行った後、欠陥検出を行う（Ｓ４）。

検査装置１０は、欠陥検出の際、撮影装置１２、１４で導光板２を撮影した各撮影画像の輝度を、それぞれの撮影画像について定める第１の閾値と比較する。図６（ａ）、（ｂ）の輝度分布に、反射光による撮影画像における第１の閾値の例を示す。また図８（ａ）、（ｂ）の輝度分布に、透過光による撮影画像における第１の閾値の例を示す。各撮影画像における第１の閾値は、同じでもよいし異なっていてもよい。検査装置１０は、反射光による撮影画像、透過光による撮影画像の少なくともいずれかで第１の閾値より輝度の大きい部分があれば欠陥が有るとする。

検査装置１０は、このように、少なくともいずれかの撮影画像で第１の閾値との比較により欠陥を検出した場合（Ｓ５；ＹＥＳ）、第１の閾値より輝度の大きい欠陥部分を欠陥候補として抽出し（Ｓ６）、その導光板２上の位置を欠陥位置として記憶部１０２等に記録する。

例えば欠陥３が導光板２の内部にある図５（ａ）、図７（ａ）の例では、図８（ａ）に示すように、透過光による撮影画像のみで欠陥部分３１が抽出されている。一方、欠陥３が導光板２の表面にある図５（ｂ）、図７（ｂ）の例では、図６（ｂ）、８（ｂ）に示すように、反射光による撮影画像と透過光による撮影画像の双方で、導光板２上の同じ位置に欠陥部分３１が抽出されている。

次に、検査装置１０は、反射光による撮影画像において、欠陥部分の輝度（例えば輝度の最大値）が第２の閾値を超えているか否かを判定する（Ｓ７）。図６（ａ）、（ｂ）の輝度分布に第２の閾値の例を示す。図に示すように、第２の閾値は前記した第１の閾値と異なり、第１の閾値よりも小さい。

なお、前記のように透過光による撮影画像のみで欠陥部分３１が抽出された場合、Ｓ７では、反射光による撮影画像において、欠陥部分３１と導光板２上の位置が対応する部分（欠陥部分）の輝度による判定を行うことができる。図８（ａ）の３２はこの部分を示す。

検査装置１０は、反射光による撮影画像において、欠陥部分の輝度が第２の閾値を超えていれば（Ｓ７；ＹＥＳ）、その欠陥を導光板２の表面にある欠陥とし、表面欠陥である旨を当該欠陥の欠陥位置と紐づけて記憶部１０２等に記録する（Ｓ８）。一方、欠陥部分の輝度が第２の閾値以下の場合（Ｓ７；ＮＯ）、その欠陥を導光板２の内部にある欠陥とし、内部欠陥である旨を当該欠陥の欠陥位置と紐づけて記憶部１０２等に記録する（Ｓ９）。

なお、Ｓ４で欠陥が検出されなかった場合（Ｓ５；ＮＯ）は、問題となる欠陥は無いとして、欠陥位置の記録等は行わない。

このようにして、検出された欠陥の輝度値から導光板２の内部の欠陥と表面の欠陥が切り分けられる。欠陥位置及び当該欠陥が表面欠陥であるか内部欠陥であるかは、記憶部１０２に記憶するほか、表示部１０４に表示させることも可能である。また、欠陥部分の大きさや輝度なども、記録したり表示したりすることが可能である。

以上説明したように、本実施形態によれば、LED等の通常の照明１１、１３を用いた反射光および透過光による２つの撮影画像を用いて、薄い導光板２でも内部と表面の欠陥の検査が簡易にできる。また、特殊な機材を必要としないため簡素かつ安価な構成で検査ができ、量産時においても、広幅かつ連続シート状の導光板２をリアルタイムに検査可能である。また、導光板２の内部と表面の欠陥を切り分けることにより、製造工程へのフィードバックも可能になる。

また、導光板２のようなレンズシートでは、前記したように内部と表面の欠陥で製品となった時の見え方が異なる等の理由から、内部の欠陥と表面の欠陥を切り分けて検出することが重要であり、この点で、本発明の手法を用いて欠陥検査を行うのが特に好適である。

また本実施形態では、照明１１、１３と撮影装置１２、１４の配置を前記したように定め、暗視野方式によって撮影を行うことで、欠陥が好適に検出できる。さらに、本実施形態では、第１の閾値と第２の閾値を前記したように用いることで、撮影画像から導光板２の内部の欠陥と表面の欠陥とを好適に切り分けて検出することができる。

しかしながら、本発明はこれに限ることはない。例えば、本発明の検査システム１は導光板２以外のレンズシート、あるいはレンズシート以外の透明シートにも適用可能である。

また、上記の実施形態では暗視野方式による撮影を行ったが、明視野方式で撮影を行ってもよい。例えば撮影装置１２については、導光板２の正常部分を正反射した検査光１１１が受光されるように配置する。また撮影装置１４については、導光板２の正常部分を透過した検査光１３１が受光されるように配置する。これらの場合、欠陥は正常部分よりも暗い部分として撮影画像に現れる。ただし、欠陥が透明の材質による異物等の場合、若干検出されにくくなるという問題もある。

その他、前記した第１の閾値と第２の閾値は、それぞれ適当な値に定めることができ、第２の閾値を第１の閾値より大きくすることも可能である。

以上、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

１；検査システム
２；導光板
３；欠陥
１０；検査装置
１１、１３；照明
１２、１４；撮影装置
１２ａ、１４ａ；レンズ
１２ｂ、１４ｂ；ラインセンサ
１５；照明制御装置
３０；撮影画像
３１、３２；欠陥部分

Claims (6)

1. 透明シートの検査を行う検査システムであって、
   前記透明シートに検査光を照射する第１の照明、第２の照明と、
   前記第１の照明から照射され、前記透明シートを反射した検査光を受光して前記透明シートの撮影を行う第１の撮影装置と、
   前記第２の照明から照射され、前記透明シートを透過した検査光を受光して前記透明シートの撮影を行う第２の撮影装置と、
   前記第１の撮影装置、前記第２の撮影装置で前記透明シートを撮影した撮影画像から前記透明シートの欠陥検査を行う検査装置と、
   を備え、
   前記検査装置は、前記透明シートの欠陥として、前記透明シートの表面と内部の欠陥を切り分けて検出することを特徴とする検査システム。
2. 前記透明シートは、レンズシートであることを特徴とする請求項１記載の検査システム。
3. 前記第２の照明は、前記透明シートの法線方向から前記透明シートに検査光を照射し、前記第２の撮影装置は、前記透明シートの法線方向に透過した検査光を受光して前記透明シートの撮影を行い、
   前記第２の照明の光軸の位置は、前記第２の撮影装置からずれていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の検査システム。
4. 前記第１の照明は、前記透明シートの法線方向に対し傾斜した方向から前記透明シートに検査光を照射し、前記第１の撮影装置は、前記透明シートの法線方向に反射した検査光を受光して前記透明シートの撮影を行うことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査システム。
5. 前記検査装置は、前記第１の撮影装置、前記第２の撮影装置で前記透明シートを撮影した撮影画像を、各撮影画像について定められた第１の閾値と比較して欠陥を検出し、
   前記第１の撮影装置での撮影画像における欠陥部分の輝度が、前記第１の閾値と異なる第２の閾値以上である場合、前記透明シートの表面の欠陥とし、
   前記第１の撮影装置での撮影画像における欠陥部分の輝度が、前記第２の閾値未満である場合、前記透明シートの内部の欠陥とすることを特徴とする請求項４に記載の検査システム。
6. 透明シートの検査を行う検査方法であって、
   第１の照明から透明シートに照射され、前記透明シートを反射した検査光を第１の撮影装置により受光して前記透明シートの撮影を行うステップと、
   第２の照明から透明シートに照射され、前記透明シートを透過した検査光を第２の撮影装置により受光して前記透明シートの撮影を行うステップと、
   検査装置により、前記第１の撮影装置、前記第２の撮影装置で前記透明シートを撮影した撮影画像から前記透明シートの欠陥検査を行うステップと、
   を備え、
   前記検査装置は、前記透明シートの欠陥として、前記透明シートの表面と内部の欠陥を切り分けて検出することを特徴とする検査方法。