JP7336308B2 - シート体の検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、シート体の検査装置に関するものである。

従来のシート体の検査装置としては、例えば特許文献１に開示されたものがある。同文献には、連続的に搬送されるシート状物（シート体）に対して、光を照射し、シート体からの透過光または反射光を投影し、当該投影像を撮像し、当該撮像された画像データからシート状物に存在する欠点（欠陥）を検出する検査系が記載されている。そして同文献において検出対象となる欠陥は、シート体の搬送方向と同一方向に延びる凹凸状の形状のものを指し、例えばスジやキズなどのシート状物の表面に存在するものであることが記載されている。

一方、シート体の検査を精度高く行うためには、検査系に対してシート体を精度高く搬送する搬送系が適用されることが強く望ましい。そのために、特許文献２には、配線板やリプレグ等の基材（シート体）を搬送する際に、位置精度良く搬送し、且つシート体に過大な荷重がかかることを防ぐことができる構成が開示されている。具体的には、並列に設けられたレールのそれぞれにクランプ部を取り付け、これをレールに沿って直動させる機構が開示されている。そして、クランプ部にはレールに沿ったシート体の側端部を挟持するクランプ体が設けられ、シート体の一側端部を挟持するクランプ体はシート体の搬送方向と直交する方向に遊動自在な状態とし、シート体の他側端部を挟持するクランプ体はシート体の搬送方向と直交する方向へは移動しないような状態とすることが記載されている。

国際公開第２０１７／１３４９５８号 特開２００５－１５１４７号公報

特許文献１は、主としてシート体の表面に現れる欠陥を検出対象としている。しかし実際には、シート体には様々な種類があり、現れる欠陥のも様々なものがある。また、特許文献２では、レールに沿ったシート体の両側端部をクランプ体に挟持させる動作、即ちシート体をセットする動作が煩雑となることなどが考えられる。

よって本発明は、広範なシート体に対して汎用性の高い検査を実施できるようにすることを目的とする。

また、本発明は、広範なシート体のセット動作を容易且つ正確に行うことができ、さらに精度の高い搬送を行うことができるようにすることを他の目的とする。

そのために、本発明は、シート体の欠陥を検査する検査装置であって、
透過光を利用し、前記シート体の表面に付着した異物、傷および前記シート体の内部に存在するボイドの少なくとも１つの欠陥を検出する第１検出手段、前記シート体の内部での屈折光を利用し、前記シート体の表面の微細な線状の汚れ、付着物、引っ掻き傷およびしわの少なくとも１つである微細欠陥を検出する第２検出手段、および、反射光を利用し、前記シート体のけずれおよび縁部の欠けの少なくとも１つの欠陥を検出する第３検出手段を含む検出装置と、
該検出手段に対して前記シート体を搬送する搬送装置と、
を備えたことを特徴とする。

ここで、前記搬送装置は、矩形状のシート体を保持して搬送する搬送ステージを含み、該搬送ステージは、前記矩形状のシート体の四隅を突き当てて保持する保持部を有するものとすることができる。

本発明によれば、広範なシート体に対して汎用性の高い検査を実施できるようになる。また、本発明によれば、広範なシート体のセット動作を容易且つ正確に行うことができ、さらに精度の高い搬送を行うことができるようになる。

本発明の一実施形態に係るシート体の検査装置を示す模式図である。 図１の検査装置の制御系の構成例を示すブロック図である。 図２の制御系による検査処理手順の一例を示すフローチャートである。 図３の処理手順において第１検査工程で実施される検出動作を説明するための模式図である。 （ａ）および（ｂ）は、図３の処理手順において第２検査工程で実施される検出動作を説明するための模式図である。 図３の処理手順において第３検査工程で実施される検出動作を説明するための模式図である。 検査装置の構成要素である搬送装置に用いられるシート体の搬送ステージの構成例を示す斜視図である。 図７のＶＩＩＩ方向から見た搬送ステージを示す側面図である。 図７の搬送ステージに配置されるシート体の保持部の移動態様を説明するための斜視図である。 保持部の構造の一例を示す分解斜視図である。 （ａ）から（ｃ）は、図１０の保持部によるシート体の保持態様を説明するための説明図である。 保持部の変形例を説明するための説明図である。

以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。

なお、本発明の対象となるシート体には、プラスチック、ガラス、炭素繊維、金属、紙、不織布、ゴムまたはその他の材料を基材として構成されたものが含まれる。本発明は、例えばタッチパネル、液晶パネル、プリプレグなど剛性のあるシート体のほか、フレキシブルプリント基板などの薄く且つ柔軟性のあるシート体などの検査にも適用が可能である。また、本発明によって検査される欠陥種には、異物、傷、汚れ、汚点、黒点、ムラ、しわ、ストリーク、気泡、欠け、打痕、ピンホール、凹凸などが含まれる。

（検査装置の概要）
図１は、本発明の一実施形態に係るシート体の検査装置を示す模式図である。本実施形態に係る検査装置は、大別して、検出装置１００、搬送装置２００および制御装置３００で構成されている。なお、以下ではとして、平面視にて矩形状のタッチパネル形態のシート体を検査対象とする場合を例示する。

検出装置１００は、シート体１の欠陥検出のための装置であって、搬送面の上方にカメラ１０２および反射系の照明装置１０４を有し、搬送面の下方に透過系の照明装置１１２を有する。本実施形態では、カメラ１０２は搬送面に対して光軸が垂直方向となるように固定して配置され、照明装置１０４はカメラ１０２の光軸に対して傾斜した方向に投光してシート体１に照射するように固定して配置されている。照明装置１１２は、移動機構１１４によって支持され、図の左右方向に移動した位置に設定可能である。移動機構１１４としては、例えば、照明装置１１２を搭載するキャリッジ、キャリッジをガイドするためのガイド、照明装置１１２を移動させるための駆動源であるＤＣサーボモータ、およびその駆動力をキャリッジに伝達する伝動機構などを備えることができる。また、照明装置１１２の移動位置、すなわちカメラ１０２と正対する位置および非対向の位置（以下、それぞれ第１検査位置および第２検査位置ともいう）を管理するためのセンサ１１６Ｍおよび１１６Ｒを設けることができる。しかし駆動源としてパルスモータが使用される場合には、これらのセンサは必須ではない。

搬送装置２００は、詳しくは後述するが、図１に直交する方向（シート体１の搬送方向に直交する方向）に所定の距離を置いて並置された一対のリニアモータと、シート体１を支持し、リニアモータの駆動に応じて図中ＦおよびＢで示す搬送方向に移動可能な搬送ステージと、を有する搬送機構２１０を含む。後述するように、搬送ステージは矩形状のシート体１のＦ方向の端部（前端部）にある２つの角部を突き当てて固定する２つの保持部と、Ｂ方向の端部（後端部）にある２つの角部を突き当てて固定する２つの保持部と、を有しており、搬送ステージに対して前者は固定され、後者は可動なものとなっている。図１はシート体１のセット時ないしＦ方向への搬送開始時の状態を示しており、この状態において搬送方向の寸法によらずシート体１の前端部の位置は不変であるが、後端部の位置はシート体１の搬送方向の寸法に応じて変化し得る。

また、搬送装置２００には、シート体１の搬送位置および搬送開始／終了のタイミングを認識するために利用されるセンサ２３２Ｓ、２３２Ｌおよび２３２Ｅが配置されている。センサ２３２Ｌはセットされたシート体１の前端部に対応した位置に配置される一方、センサ２３２Ｓは、後述する搬送ステージの検査開始前（搬送開始前）の後端部に対応した位置（原点）に配置される。センサ２３２Ｅは、シート体１をＦ方向に搬送しつつ行われる検査が終了し、検出装置１００から離れたシート体１の後端部を認識する位置に配置される。

図２は、制御部３００を含む検査装置の制御系の構成例を示すブロック図である。制御装置３００は、制御ユニット３０２、入力インターフェース３０４、出力インターフェース３０６、設定部３０８、表示部３１０および外部記憶装置３１２を含む。

制御ユニット３０２は、検査装置の各部を統合的に制御するとともにデータ管理を行う。具体的には、図３について後述する処理手順を実行するＣＰＵあるいはＡＳＩＣ、当該処理手順に対応したプログラムその他の固定データを格納したＲＯＭ、処理の過程でデータの一時保存などに利用されるＲＡＭ、所要のデータを装置の電源オフ時にも保存するためなどに利用されるＥＥＰＲＯＭ、およびカメラ１０２にて撮影された画像を処理する基板等を有して構成される。なお、制御ユニット３０２はパーソナルコンピュータの形態であってもよい。

入力インターフェース３０４には、カメラ１０２、図１に示したセンサ１１６Ｍ，１１６Ｒを含む検査装置系のセンサ類１１６、および、同じくセンサ２３２Ｓ，２３２Ｌ，２３２Ｂを含む搬送装置系のセンサ類２３２が接続される。これらのセンサ類には、何らかの異常が生じたときにこれを検知して非常停止を行うためのセンサが含まれ得る。また、入力インターフェース３０４には、一対のリニアモータ２４２Ｒ，２４２Ｌのそれぞれに対応して設けられ、シート体１の搬送速度を検出するリニアスケール２４４Ｒ，２４４Ｌが接続される。

出力インターフェース３０６には、透過系の照明装置１１２と、と、反射系の照明装置１０４とが接続される。また、出力インターフェース３０６には、アンプ等を含む不図示のモータドライバを介して、移動機構１１４および一対のリニアモータ２４２Ｒ，２４２Ｌが接続される。後述する搬送ステージは一対のリニアモータ２４２Ｒ，２４２Ｌによって搬送される。しかしリニアモータの特性のばらつきや、加わる荷重のばらつきによっては、一定の電力で駆動しても搬送速度に差が生じることがある。そこで本実施形態では、リニアスケール２４４Ｒ，２４４Ｌによって搬送速度を常時監視し、速度差を補償して（例えば、相対的に搬送速度が低速となるリニアモータに対して駆動電力を増加させる）、姿勢の崩れのない搬送を可能とする。

設定部３０８は、ユーザが検査装置に対し所要の設定を行ったり、検査の開始を指示したりするために利用されるキー，スイッチその他の入力手段を有する。表示部３１０は、検査装置の状態や、シート体１の検査過程検査結果などを表示するディスプレイの形態を有する。外部記憶装置３１２は、例えば検査対象のシート体１に対応づけて、欠陥の有無や、欠陥の位置などを示すマッピングデータを記憶するために利用することができる。

（検査処理）
本実施形態に係る検査処理は、シート体１を搬送装置２００により搬送し、検出装置１００を通過させることで行われ、次の３つの検査工程が実施される。すなわち、
・透過光を利用し、シート体１の表面に付着した異物，傷、およびシート体１の内部に存在するボイド（気孔）などの少なくとも１つの欠陥を検出する第１検査工程、
・シート体１の内部での屈折光を利用し、シート体１の表面の微細な線状の汚れや付着物、引っ掻き傷およびしわなどの少なくとも１つ、すなわちシート体表面に対し高さあるいは深さがないために透過光や反射光では検出しきれない欠陥（以下、微細欠陥）を検出する第２検査工程、および
・反射光を利用し、シート体１のけずれや縁部の欠けなどの少なくとも１つの欠陥を検出する第３検査工程、
図３は本実施形態に係る検査処理手順の一例を示すフローチャート、図４、図５および図６は、それぞれ、第１、第２および第３検査工程における検査の態様を示す模式図であり、これらの図を用いて本実施形態の検査処理を説明する。

図３の手順がスタートすると、ステップＳ１にて、ユーザは図１に示す位置にシート体１をセットする。ここで、センサ２３２Ｓが搬送開始前の搬送ステージの後端部を検出し、且つセンサ２３２Ｌがシート体１の前端部を検出している状態となると、ステップＳ３にてセットが完了したと判定され、さらにステップＳ５にて検査開始の指示が入力されたことが確認されると、第１検査工程が実施される（ステップＳ７）。

第１検査工程では、図４に示すように、シート体１をＦ方向に搬送するとともに、カメラ１０２に正対する位置（第１検査位置）にある照明装置１１２を点灯し、シート体１を介した透過光をカメラ１０２で受光して、シート体１の搬送方向長全体にわたり異物，傷，ボイドなどの欠陥の有無を検出する。制御装置３００では、これらの欠陥の有無を認識し、欠陥がある場合にはその位置のマッピングを行う。

シート体１が検出装置１００を通過し、その後端部がセンサ２３２Ｅによって検出されると、Ｆ方向へのシート体１の搬送を停止し、第１検査工程は終了となる。次に、ステップＳ９にて移動機構１１４を駆動し、照明装置１１２を、カメラ１０２に正対する位置から非対向の位置（図１中、正対位置よりＦ方向下流側にある第２検査位置）へと移動し、第２検査工程を開始する（ステップＳ１１）。

第２検査工程では、図５（ａ）に示すように、シート体１をＢ方向に搬送するとともに、カメラ１０２に非対向位置に設定された照明装置１１２を点灯し、シート体１の内部の屈折光を利用して微細欠陥の有無を検出する。微細欠陥に光が直接照射されると、照射光は微細欠陥をそのまま透過してしまい、照明装置１１２が第１検査位置にある場合にはその検出が困難となる。しかし照明装置１１２が第２検査位置にある場合、シート体１に光が照射されると、図５（ｂ）に示すように、入射した光の一部はシート体１をそのまま透過するが、シート体１と外部との界面で全反射され、シート体１の内部を屈折しながら進行する光も存在する。その進行過程で微細欠陥Ｗに突き当たると屈折光の乱反射が生じ、そこから一部の光はカメラへと向かう。つまり、照明装置１１２がカメラ１０２に非対向の位置にあれば、他の位置から来る屈折光によって微細欠陥をいわば浮かび上がらせることで、その検出が可能となる。このように、照明装置１１２をカメラ１０２に対して非対向の位置に設定してシート体１をＢ方向に搬送することで、シート体１の搬送方向長全体にわたり微細欠陥の有無を検出する。制御装置３００では、微細欠陥の有無を認識し、微細欠陥がある場合にはその位置のマッピングを行う。

シート体１が検出装置１００を通過すると、Ｂ方向に搬送されるときの搬送ステージの先端部およびシート体の後端部がセンサ２３２Ｓおよび２３２Ｌによって検出される図１の状態となる。そこでＢ方向へのシート体１の搬送を停止し、第２検査工程は終了となる。次に、ステップＳ１３にて移動機構１１４を駆動し、照明装置１１２をカメラ１０２に正対する位置（第１検査位置）へと移動し、第３検査工程を開始する（ステップＳ１５）。

第３検査工程では、図６に示すように、シート体１を再びＦ方向に搬送するとともに、カメラ１０２の光軸に対して傾斜した方向に投光してシート体１に照射する照明装置１０４を点灯し、シート体１からの反射光をカメラ１０２で受光して、シート体１の搬送方向長全体にわたり、シート体１のけずれや縁部の欠けなどの欠陥の有無を検出する。この際、照明装置１０４が斜めに投光することで、それらの欠陥がある場合には影が作られるので、検出がし易くなる。制御装置３００では、これらの欠陥の有無を認識し、欠陥がある場合にはその位置のマッピングを行う。

以上の検査工程が終了すると、ステップＳ１７にてシート体１を取り外し位置に搬送し、ステップＳ１９にてユーザが取り外しを行う。なお、取り外し位置は図１に示す位置でもよいし、検出装置１００を挟んで反対側の位置であってもよい。その後、ユーザは後述の保持部によって検出の死角となっていた矩形状のシート体１の４つの角部（四隅）を目視検査し（ステップＳ２１）、検査処理が終了となる。

（検査処理の変形例）
以上の検査処理では、検出装置１００に対してシート体１を１．５往復させれば、第１～第３検査工程によって様々な欠陥の検査が可能となる。しかし往復搬送を行わず、一方向のみへの移動によって検出処理を行うようにすることもできる。

また、第１～第３検査工程はこの順番で実施されることを必須とするものではない。例えば、第３、第２、第１検査工程の順序で実施されるようにしてもよい。あるいは、照明装置１１２の移動位置（第２検査位置）を図５とは反対側のＢ方向に偏倚した位置とすれば、第２、第３（または第１）、第１（または第３）検査工程の順序で実施することも可能である。

いずれにしても、上記検査処理手法はシート体の種類を選ばずに対応可能なものである。透明もしくは半透明の素材でなるものであれば、上記第１～第３検査工程をすべて実施することができる。また、欠陥の種類によっては各照明装置の角度や移動距離を変化させ、検査工程数を増やすことも可能である。例えば反射系の照明装置１０４にモータを接続し、可動または回動可能としてもよい。

シート体の製造者において多種のシート体（実施形態に係る矩形状のものに限らない）が検査対象となり得ることを考慮すれば、様々な欠陥の検査を行い得るように構成することは検査装置の汎用性を向上する上で好ましいものである。シート体の種類によって不要な検査工程があれば、その検査工程をスキップするようにしてもよい。例えばシート体が非光透過性のものである場合には、反射光のみを用いたけずれや縁部の欠けなどの欠陥検査が行われるようにしてもよく、さらに照明の色を変えることで微細欠陥の検出が可能となるのであれば、別の照明装置を付加するか、あるいは調色可能な照明装置を用いることもできる。

また、上述のように、制御装置３００において検査結果をマッピングしておくことは好ましい。例えば欠陥の現われる位置に規則性があれば、製造工程の改善等に資することができるからである。さらに、印刷装置を付加し、欠陥部分にマーキングするようにすれば（欠陥の種類に応じて異なるマーキングを行うものでもよい）、ユーザ（検査者）は一目瞭然に欠陥の有無とその発生位置とを認識することができる。

加えて、シート体の搬送速度は一定である必要はなく、シート体の種類や欠陥の種類、あるいは検査処理の内容に応じて可変としてもよい。

（搬送装置）
図７は、搬送機構２１０に用いられるシート体の搬送ステージの構成例を示す斜視図、図８は、図７のＶＩＩＩ方向から搬送ステージを見た側面図、図９は、搬送ステージに配置されるシート体の保持部の移動態様を説明するための斜視図である。なお、これらの図においてＦおよびＢ方向（Ｆ－Ｂ方向）は図１におけるＦおよびＢ方向（シート体１の搬送方向）に一致しており、ＲおよびＬ方向（Ｒ－Ｌ方向は）はＦ－Ｂ方向に直交する方向として定義される。

搬送ステージ２５０は矩形状に形成されたフレーム構造を有し、Ｆ方向の前縁側に位置してＲ－Ｌ方向に延在する前縁側フレーム要素２５２Ｆと、後縁側に位置してＲ－Ｌ方向に延在する後縁側フレーム要素２５２Ｂと、それらをつなぐようにＦ－Ｂ方向に延在する側縁側フレーム要素２５２Ｒ，２５２Ｌと、を有する。

図８に示すように、リニアモータ２４２Ｒ，２４２Ｌは、固定子部材２４６Ｒ，２４６Ｌと、可動子部材２４８Ｒ，２４８Ｌとから構成される。固定子部材２４６Ｒ，２４６Ｌは、略Ｕ字形状の横断面を有して搬送ステージの可動範囲にわたって延在する。可動子部材２４８Ｒ，２４８Ｌは、側縁側フレーム要素２５２Ｒ，２５２Ｌの下面から突出するようにして取り付けられ、固定子部材２４６Ｒ，２４６Ｌの溝に適切なクリアランスをもって嵌め合わされるとともに、断面略Ｕ字形状を呈する固定子部材２４６Ｒ，２４６Ｌの２つの上端面によって摺動可能に支持される。固定子部材２４６Ｒ，２４６Ｌの溝形状および可動子部材２４８Ｒ，２４８Ｌの外観形状は、可動子部材２４８Ｒ，２４８Ｌの浮き上がりが生じず、且つガタツキのない摺動が可能となるように適切に定められている。

前縁側フレーム要素２５２Ｆ上にはＲ－Ｌ方向に延在するガイド２５４Ｆが設けられ、一対の保持部２７０Ｆｒ，２７０Ｆｌを支持している。一対の保持部２７０Ｆｒ，２７０Ｆｌは、ロックレバー２７２Ｆｒ，２７２Ｆｌを操作することによってガイド２５４Ｆに対してＲ－Ｌ方向に摺動可能な状態または固定状態となる。ロックレバー２７２Ｆｒ，２７２Ｆｌは、例えばユーザが操作力を加えることで、ガイド２５４Ｆに対し当接／離脱が可能なアーム部を有したものとすることができ、任意の位置に保持部２７０Ｆｒ，２７０Ｆｌを設定することができる。

しかしこれに限らず、ロックレバー２７２Ｆｒ，２７２Ｆｌおよびガイド２５４Ｆの構造は適宜の形態とすることが可能である。例えば、シート体の寸法の種類が定まっているのであれば、ロックレバー２７２Ｆｒ，２７２Ｆｌにばね付勢されるロッドを設ける一方、ガイド２５４Ｆにはシート体の寸法の種類に応じた位置に係合穴を設け、保持部２７０Ｆｒ，２７０Ｆｌを所望の位置に移動させて両者を適宜係合させることで保持部２７０Ｆｒ，２７０Ｆｌの位置設定を行うようにしてもよい。また、係合穴に対応する位置に寸法に応じた表示が付されていてもよい。これらのことは、以下に述べるロックレバー等についても同様である。

側縁側フレーム要素２５２Ｒ，２５２Ｌの上にはガイド２５４Ｒ，２５４Ｌが設けられ、それらのガイド２５４Ｒおよび２５４Ｌ間に、可動フレーム要素２５６が架け渡された状態で支持されている。可動フレーム要素２５６は、ロックレバー２５８Ｒ，２５８Ｌを操作することによって、ガイド２５４Ｒおよび２５４Ｌに対してＦ－Ｂ方向に摺動可能な状態または固定状態となる。また、可動フレーム要素２５６にはＲ－Ｌ方向に延在するガイド２５４Ｂが設けられ、一対の保持部２７０Ｂｒ，２７０Ｂｌを支持している。一対の保持部２７０Ｂｒ，２７０Ｂｌは、ロックレバー２７２Ｂｒ，２７２Ｂｌを操作することによってガイド２５４Ｂに対してＲ－Ｌ方向に摺動可能な状態または固定状態となる。

シート体１には種々の寸法のものが存在する。したがって、図９に示すように、寸法に合わせて保持部２７０Ｆｒ，２７０ＦｌのＲ－Ｌ方向の位置、可動フレーム要素２５６ひいては保持部２７０Ｂｒ，２７０ＢｌのＦ－Ｂ方向の位置、および保持部２７０Ｂｒ，２７０ＢｌのＲ－Ｌ方向の位置を調整することで、シート体１の四隅を保持部２７０Ｆｒ，２７０Ｆｌ；２７０Ｂｒ，２７０Ｂｌにて保持した状態とすることができる。本実施形態の搬送ステージ２５０は、例えば５～３２インチのタッチパネルに対応した構造を有するものとしている。

図１０は、保持部の構造の一例を示す分解斜視図である。なお同図は保持部２７０Ｆｌに対応したものを示しているが、構造は他の保持部についても同様である。

保持部２７０Ｆｌは、概して、ガイド２５４Ｆに沿って摺動可能な摺動ブロック２８２と、これに固定して搭載される保持ブロック２８４とを有している。摺動ブロック２８２には例えば２つのダボ２８２ａ，２８２ｂが立設され、これらは保持ブロック２８４の対応位置に設けた２８４ａ，２８４ｂに挿入される。また、摺動ブロック２８２に設けたねじ穴２８２ｃには、保持ブロック２８４の対応位置に設けた穴を通してねじ２８６が螺着される。これらによって保持ブロック２８４はガタツキのない状態で摺動ブロック２８２に固定される。

保持ブロック２８４は、平面視にて矩形状のシート体１の角に隣り合う２辺の部分を突き当てる突き当て面２８３ａ，２８３ｂと、シート体１の底面の角部近傍の部分を載置する載置面２８３ｃとを有する。したがって、保持部２７０Ｆｒ，２７０Ｆｌ；２７０Ｂｒ，２７０Ｂｌの位置を調整しつつシート体１をこれらの保持部にセットすることによって、シート体１は、突き当て面２８３ａ，２８３ｂにより平面方向の変位が阻止されつつ、底面の角部近傍が載置面２８３ｃに載置された状態となり、四隅がしっかりと保持されることになる。

図１１（ａ）～（ｃ）は、はシート体１の保持態様を説明するための説明図である。同図（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、シート体１の保持状態を示す斜視図およびその一部（保持部２７０Ｆｌ近傍の部分）の拡大図である。シート体１の隅部に付属物が存在していない場合には、突き当て面２８３ａ，２８３ｂにシート体１の角に隣り合う２辺の部分を突き当てた状態で保持しても問題はない。

しかしシート体１によっては、隅部近傍の１辺に電極配線が配置されていることもある。この場合、突き当て面２８３ａ，２８３ｂにシート体１の角に隣り合う２辺の部分を突き当てた状態とすると、電極配線が直角に屈曲し、これを損傷することが考えられる。この場合には、同図（ｃ）に示すように、電極配線１ａが配された１辺の部分は突き当て面（図示の例では保持部２７０Ｂｌの突き当て面２８３ａ）に突き当てず、他の１辺の部分のみを突き当て面（図示の例では保持部２７０Ｂｌの突き当て面２８３ｂ）に突き当てるようにして保持を行い、電極配線１ａを緩やかに湾曲させて負荷を与えないようにすればよい。この場合でも、他の３つの保持部（保持部２７０Ｆｒ，２７０Ｆｌ，２７０Ｂｒ）でそれぞれ２辺の部分の突き当てが行われていれば、７箇所で突き当てが行われるので、シート体１の保持性能に与える影響は実質的にないといい得る。

（実施形態に係る搬送ステージの優位性）
上述した実施形態に係る搬送ステージは、特許文献２に開示された技術、つまり並列に設けられたレールのそれぞれにクランプ部を取り付け、シート体の一側端部を挟持するクランプ体を設けた構成よりも次の諸点で有利である。

すなわち、上述の搬送ステージでは、４つの保持部の位置を調整しつつシート体１の四隅を突き当て面に突き当てることでシート体の固定保持が行われるので、シート体のセット動作が容易且つ正確なものとなる。また、シート体をクランプしない（挟まない）ので、シート体に与える負荷が少ない。さらに、シート体を片持ち状態のクランプ部の自由端側に設けたクランプ体により保持するものではないので、搬送時の加減速に起因した揺らぎの影響を実質的に受けることがない。加えて、シート体の被保持部分には目視検査が行われるが、側端部に被保持部分があるよりも、四隅に被保持部分があるほうが目視検査の位置を把握し易く、またシート体を持ち替えたり、被保持部分を探したりするという煩雑さを排除できる。

（搬送ステージの変形例）
上述した実施形態に係る搬送ステージは、随所に述べた変形例だけでなく、次のように変形することも可能である。

例えば、上述した実施形態では４つの保持部２７０Ｆｒ，２７０Ｆｌ；２７０Ｂｒ，２７０ＢｌのすべてをＲ－Ｌ方向に移動可能なものとした。これは、任意の搬送方向の軸線を基準として搬送を行える上で有利である。しかし一方のガイド、例えばガイド２５４Ｌを基準としてシート体を保持するのであれば、保持部２７０Ｆｌ，２７０ＢｌはＲ－Ｌ方向に関して固定されていてもよい。また、例えばＲ－Ｌ方向の中心線を基準として搬送を行うのであれば、一方の保持部（２７０Ｆｒ，２７０Ｂｒ）を一方向に所定量移動させたとき、これに追従して他方の保持部（２７０Ｆｌ２７０Ｂｌ）が逆方向に同じ量だけ移動するようなリンク機構が付加されてもよい。

また、上述の実施形態意では可動フレーム要素を後縁側ステージ要素２５２Ｂの側に設けたが、前縁側ステージ要素２５２Ｆの側に設けてもよい。

さらに、シート体１には種々の厚みのものが存在し、被写界深度以上にシート体の厚みが変わることもある。この場合、カメラ１０２に昇降機構を付加することでも対応可能であるが、検査は通常、同じ厚みの数十枚あるいは数百枚のシート体を単位として行われると考えられるので、上面からの深さＤ（図１０参照）が異なる保持部ないし保持ブロックを用意し、適宜交換してシート体の厚みの変化に対応したほうがコスト面で有利である。

また、検査対象となるシート体には、剛性の高いものだけでなく、薄く且つ柔軟性の高いものも存在する。この場合、図１２に示すように、保持ブロック２８４の側面から載置面２８３ｃに至る吸引孔２９０を形成し、当該側面上の開口に吸引チューブを接続するとともに、載置面２８３上の開口２９０ａ（図示の礼では２つの開口）から吸引力を作用させることで、固定保持を行うことができる。また、吸引力が適切に作用するように、開口２９０ａに関連してシート体１との密着性を高める部材（Ｏリングなど）を設けてもよい。

加えて、上述した搬送装置２００は、先述した検出処理を行う検出装置１００に限らず、様々な検出装置にも好ましく適用が可能である。しかし複数の検査処理を経るために検出装置に対し複数回の搬送（上例では１．５回の往復）が行われることや、シート体の種類や欠陥の種類、あるいは検査処理の内容に応じて搬送速度が可変とされることを考慮すれば、どのような条件であってもシート体をしっかりと保持できる上述の搬送装置の検出装置に対するマッチング性は高く、その適用は特に好ましいものといい得る。

１ シート体
１００ 検出装置
１０２ カメラ
１０４、１１２ 照明装置
１１４ 移動機構
２００ 搬送装置
２１０ 搬送機構
２４２Ｒ、２４２Ｌ リニアモータ
２５０ 搬送ステージ
２５２Ｆ、２５２Ｂ、２５２Ｒ、２５２Ｌ フレーム要素
２５４Ｆ、２５４Ｂ、２５４Ｒ、２５４Ｌ ガイド
２５６ 可動フレーム要素
２５８Ｒ、２５８Ｌ、２７２Ｆｒ、２７２Ｆｌ、２７２Ｂｒ、２７２Ｂｌ ロックレバー
２７０Ｆｒ、２７０Ｆｌ、２７０Ｂｒ、２７０Ｂｌ 保持部
２８３ａ、２８３ｂ 突き当て面
２８３ｃ 載置面
２８４ 保持ブロック
２９０ 吸引孔
３００ 制御装置
３０２ 制御ユニット

Claims (2)

1. シート体の欠陥を検査する検査装置であって、
   透過光を利用し、前記シート体の表面に付着した異物、傷および前記シート体の内部に存在するボイドの少なくとも１つの欠陥を検出する第１検出工程と、前記シート体の内部での屈折光を利用し、前記シート体の表面の微細な線状の汚れ、付着物、引っ掻き傷およびしわの少なくとも１つである微細欠陥を検出する第２検出工程と、反射光を利用し、前記シート体のけずれおよび縁部の欠けの少なくとも１つの欠陥を検出する第３検出工程とを実行するように構成された検出装置と、
   該検出装置に対して前記シート体を搬送する搬送装置と、
   前記検出装置を制御する制御装置と、を備え、
   前記検出装置は、前記シート体の表面を撮影するカメラと、前記シート体の表面に向けて、前記カメラの光軸に対して傾斜した方向に投光するように構成された第１の照明装置と、前記シート体の裏面に向けて、前記カメラの光軸と平行な方向に投光するように構成された第２の照明装置と、前記第２の照明装置を移動させる移動機構とを含み、
   前記制御装置は、
   前記移動機構を制御して前記カメラに正対する第１の位置に前記第２の照明装置を移動させてから、前記第２の照明装置のみを点灯して前記第１検出工程を実行させ、
   前記移動機構を制御して前記カメラに正対しない第２の位置に前記第２の照明装置を移動させてから、前記第２の照明装置のみを点灯して前記第２検出工程を実行させ、
   前記第１の照明装置のみを点灯して前記第３検出工程を実行させる、
   ことを特徴とする検査装置。
2. 前記搬送装置は、矩形状のシート体を保持して搬送する搬送ステージを含み、該搬送ステージは、前記矩形状のシート体の四隅を突き当てて保持する保持部を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。

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