JP4847128B2 - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
第2の発明によれば、撮像する前記ノッチの上側テーパ面、下側テーパ面、側面底部、側面左部分及び側面右部分の画像が一つの撮像画面内に分離して配置される。
第3の発明によれば、撮像する前記ノッチの上側テーパ面、下側テーパ面、側面底部、側面左部分及び側面右部分の画像が各々の隣接する画像と重複部分を有するように各々の画像の撮像範囲が定められている。
第4の発明によれば、前記撮像手段は、テレセントリック光学系で構成されている。
第5の発明によれば、前記拡散光照明手段は、前記ノッチと前記光路屈折手段との間に配置する。
第6の発明によれば、前記拡散光照明手段は、面光源であって、前記ノッチからの反射光を前記撮像手段へ透過可能である。
第7の発明によれば、前記拡散光照明手段は、ドーム状の形状に形成され、その略頂部に前記撮像手段の観測用窓を設けた第1の拡散光照明手段と、前記撮像手段の光学系の光軸と同軸に照射する第2の拡散光照明手段とで構成される。
第8の発明によれば、前記第1の拡散光照明手段は、ドームの周辺部に発光部を備え、ドーム内面を反射面とする。
第9の発明によれば、前記第2の拡散光照明手段は、拡散光光源部とハーフミラーから構成するとともに、拡散光光源部からの拡散光がハーフミラーで反射して前記撮像手段の光学系の光軸と同軸で照明する。
第10の発明によれば、前記第2の拡散光照明手段は、偏光フィルター又は減光フィルターを備える。
第11の発明によれば、前記光路屈折手段は、前記前記ノッチの上側テーパ面、下側テーパ面、側面底部、側面左部分及び側面右部分の光路長が等しくなるように前記4つのプリズム及び前記透明部材の形状を定める。
第12の発明によれば、上記画像処理手段は、上記撮像手段で撮像した前記ノッチの上側テーパ面、下側テーパ面、側面底部、側面左部分及び側面右部分の画像の重複する部分を削除し、展開図状に画像表示する。
2 撮像カメラ
3 扁平光源照明装置
4 光路屈折手段
5 シリコンウエーハ
6 ノッチ
7 テレセントリック光学系
8 ドーム型照明装置
9 同軸照明装置
11 表面欠陥検査装置
12 撮像カメラ
13 光路屈折手段
21 側面右部画像
22 側面左部画像
23 上側テーパ面画像
24 下側テーパ面画像
25 側面底部画像
41、42,43、44 プリズム
45 透明部材
71 物体側レンズ
72 絞り
73 CCD側レンズ
74 CCD素子
81 ライトガイド
82 反射面
83 開口部
84 窓
91 面光源
92 ハーフミラー
93 光量調整フィルター
Claims (12)
- ウエーハの周端縁部に設けられたノッチを検査する検査装置であって、前記ノッチを撮像する1台の撮像手段と、前記ノッチの表面に様々な方向からの光を一様に照射する拡散光照明手段と、撮像手段と正対しない前記ノッチの上側テーパ面、下側テーパ面、側面左部分及び側面右部分を撮像するために光路を屈折させる光路屈折手段と、前記撮像手段の撮像データを演算処理する画像処理手段とを備え、
前記光路屈折手段は、2回の全反射を行う4つのプリズムを、透明部材の周囲に、かつ、前記ノッチの上側テーパ面、下側テーパ面、側面左部分及び側面右部分に対応して配置して構成され、
前記ノッチの上側テーパ面、下側テーパ面、側面底部、側面左部分及び側面右部分を1台の撮像手段で同時に撮像することを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 撮像する前記ノッチの上側テーパ面、下側テーパ面、側面底部、側面左部分及び側面右部分の画像が一つの撮像画面内に分離して配置されることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 撮像する前記ノッチの上側テーパ面、下側テーパ面、側面底部、側面左部分及び側面右部分の画像が各々の隣接する画像と重複部分を有するように各々の画像の撮像範囲が定められていることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 前記撮像手段は、テレセントリック光学系で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 前記拡散光照明手段は、前記ノッチと前記光路屈折手段との間に配置することを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 前記拡散光照明手段は、面光源であって、前記ノッチからの反射光を前記撮像手段へ透過可能であることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 前記拡散光照明手段は、ドーム状の形状に形成され、その略頂部に前記撮像手段の観測用窓を設けた第1の拡散光照明手段と、前記撮像手段の光学系の光軸と同軸に照射する第2の拡散光照明手段とで構成されることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 前記第1の拡散光照明手段は、ドームの周辺部に発光部を備え、ドーム内面を反射面とすることを特徴する請求項7に記載の表面欠陥検査装置。
- 前記第2の拡散光照明手段は、拡散光光源部とハーフミラーから構成するとともに、拡散光光源部からの拡散光がハーフミラーで反射して前記撮像手段の光学系の光軸と同軸で照明することを特徴とする請求項7に記載の表面欠陥検査装置。
- 前記第2の拡散光照明手段は、偏光フィルター又は減光フィルターを備えることを特徴とする請求項7に記載の表面欠陥検査装置。
- 前記光路屈折手段は、前記前記ノッチの上側テーパ面、下側テーパ面、側面底部、側面左部分及び側面右部分の光路長が等しくなるように前記4つのプリズム及び前記透明部材の形状を定めることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 上記画像処理手段は、上記撮像手段で撮像した前記ノッチの上側テーパ面、下側テーパ面、側面底部、側面左部分及び側面右部分の画像の重複する部分を削除し、展開図状に画像表示することを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
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