JPS63261144A - 光学的ウエブモニター装置 - Google Patents

光学的ウエブモニター装置

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JPS63261144A
JPS63261144A JP63069214A JP6921488A JPS63261144A JP S63261144 A JPS63261144 A JP S63261144A JP 63069214 A JP63069214 A JP 63069214A JP 6921488 A JP6921488 A JP 6921488A JP S63261144 A JPS63261144 A JP S63261144A
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JP
Japan
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pupil
illumination
strip
optical
imaged
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JP63069214A
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クラウス ウエーバー
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Erwin Sick GmbH Optik Elektronik
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Erwin Sick GmbH Optik Elektronik
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901Optical details; Scanning details
    • G01N21/8903Optical details; Scanning details using a multiple detector array

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
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  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はセンサーとしてダイオードのロウカメラを用い
る光学的ウェブモニター装置、特に照明及び比較装置に
関する。本発明は更に日本出願番号昭61−22707
4に記載された発明の改良であってその内容は本願に引
用されている。
この2件の出願間で、材わ1とその材料がモニターされ
る目的において区別することが必要である。
[従来技術の説明] 先願は、紙や布の、l;うに強度に散逸している材料の
欠陥の検査に関する。この出願では、材料ウェブに据え
られるカメラで造影されるストリップは、出来るだけ強
く照明されるように1個または2個のランプにより強力
に照らされる。この強力な照明によってダイオードロウ
」−に造影される材t1ス1−リップが自発光源となり
、カメラの対象物の光強度に応じてダイオードロウ」−
に希望する強さの照明を発する。この照明が充分に強い
場合にのみ現在の生産におけろ通常のウェブ速度に要す
る周波数でしノウが読み出されろ。このモニター装置に
使う照明装置はそれ故ウェブ幅1メーI・ルにつき数ワ
ットまでの人力のランプを要する。
第2の例は、非散乱または非常に散乱の少ない、透明箔
とかカラス板又は滑らかな金属板の欠陥の検査、及び適
当な表面を有する材料の孔、割れ及び端部位置の検査に
関する。これらのモニタ一作業に要する照明装置は縞状
光源又は材料ウェブ近辺の第2の光源を提供するが、そ
の光源はウェブ幅に合致した長さを有し、背景としてこ
の光源の前に現れろロウカメラにより材料ストリップが
造影または反映さイ1.る。この光の光度は、グイオー
ト列−1−のカメラ対象物を通して得られる照明の強さ
を規定する。適当な光源は蛍光灯であるがその理[11
は光の強度配分か一定だからである。乳白ガラスやつや
消しガラスの背後から白熱灯で照らして第2の光源とし
て役立つ(光度は数百スティルブ)。第2光源はかくし
で、モニターされるウェブの幅が大きくなればなる程要
求光度が高く複雑になる。更に、構造」二の形状により
暗い部分の照明はモニターされるウェブストリップに直
角にお照明が当たるところだ(プが可能になるという事
実からも複雑さが生じる。つまり、欠陥の発見には特別
の方向を考慮に入れなければならない。
1問題点を解決するための手段] 本発明の目的はこの第2の例、即ち散乱性の弱い材料ウ
ェブ」二の欠陥を探すための照明と対比を行うこと及び
どのような材料であれ、その孔、裂は目及び縁部の位置
の検出を行い、現れた欠陥を回避するものである。
この目的を達成するために想定された材料ストリップが
請求項■により照明されで、照明装置のピューピルがダ
イオードロウカメラの観察対象物のピューピルに造影さ
れる。
この照明装置によって観察対象物のピューピルが照明ピ
ューピルの影像によって完全に一杯になると、これは逆
に、下記で説明ずろように、カメラの対象物が光源の光
度を持っているかのように明るくみえることか分かる。
白熱灯ハロゲンランプの場合、この方法で2000スヂ
ルブまであげることができ、キセノン高圧ランプの場合
には対象物を20,000スヂルゾという有効光度、ず
なイつち少なくとも市販の最も明るい照明装置のランク
より1つか2つ上のランクJ:て到達することがてきる
請求項2の特殊実施例ではストリップ状の球状凹面鏡が
絞りの造影用のrF−・部品として使われており、球状
凹面鏡が全体として約1対1のレベルでスケールを造影
し損なうことがない。このことはカメラの対象物のピュ
ーピル内の絞りを照明する欠陥のない影像が完全に覆わ
れるということを意味する、例えば、111に断片的に
大きな寸法の請求項3による補充絞りを暗所で観察する
ためである。対象物の不規則性による照明光線のわずか
なかたよりかあっても、欠陥の信号として登録されるダ
イオードロウ上に明るさを増加させることになる。以前
の配列に比して感度か増大しているのみならず、選択方
向がどの形でも省かれる。
一般に光学的対比方法(対比強調方法)も反射又は伝導
で材料ウェブの欠陥をみつ(」るのに役立つが適当な絞
りと組み合イつせて照明の方向との関連で実現される。
欠陥の区別をするには2列のカメラが同一の照明装置と
共に同時に作動される。l・ランスミッションカメラは
明るい箇所で不透明箔の孔を示し一方他のカメラはバン
ブ、フォールド又はピッティングを暗所で示す。仮に材
料ウェブの寸法構造が検査される場合には、照明の方向
づけと関連カメラの請求項4に従いテレセントリックで
作動させる必要がある。このテレセントリック照明及び
観察によるウェブモニター装置は確実にモニターずべき
構造の寸法を例えそれが平坦でないことによる小ざな程
度のへこみであっても検出する。総ての対比工程がこれ
により行われる。
前記の装置の可能性を請求項5から8までに従っで、ピ
ューピルをつけたカメラを用意し、ピューピルの各半分
に、それぞれのダイオード列に対して材料ウェブの同一
ストリップを正確に造影させ、2つの照明ピューピルの
1つの影像を、1つの同じ照明装置を有する2つのピュ
ーピルの半分」−に形成すれば誰にても発展させること
ができる。
前記の装置の可能性を請求項5から8までに従っで、ピ
ューピルをつげたカメラを用意し、ピューピルの各半分
に、それぞれのダイオード列に材料ウェブの同一ス)・
リップを正確に造影させ、2つの照明ピューピルの1つ
の影像を、1つの同じ照明装置を有する2つのピューピ
ルの半分上に形成すれば誰にでも発展さぜることがてき
る。
照明を方向づけ、ピューピル部を有するそのような装置
においては、2つのグイオート列が同期して読み出され
、2個の情報が各対象点から同時に得られろ。要求によ
りこの「1的のために2個のピューピルハーフのために
補助対比方法を選択する。
1対のつり合うように並べられたロウカメラもまた使用
されることはいうまでもなく、その場合、1つの照明ピ
ューピルから始め、例えば明るい領域と内部の暗い領域
を対比させようとするならば分割鏡を介して行われ、こ
の2つの領域には同一の照明絞りが要求される。
材料ウェブ」二の同一線−1−に並べられる直線隣り合
う1つのカメラもまた、対応間隔を有する2個の照明ピ
ューピルか設()られるならば共通の照明装置から供給
される。
[実施例] 第1図は主特許に記載されたようなロウカメラ用の収斂
照明装置を示す。光源I2は照明ピューピルI6を形成
する絞りを有するコレクターミラーストリップ19を介
して絞り20を照明する。
この照明ピューピルは凹面鏡ストリップ14の曲率のセ
ンターにあり、それによって平らな偏向鏡ストリップ3
Iと、伝導中にチェックするロウカメラのカメラ目的物
18のピューピルに伝導される材料ウェブ!Iの而を介
しストリップ1/Iによってスケール1対Iに造影され
、及び反射中てヂエソりするだめのロウカメラのカメラ
1」的物18のピューピルの中に表面IIの反射で造影
される。カメラ目的物は順次ダイオードロウ17と17
の各場合において照明された材料ストリップ13の像を
形成する。その像がダイオードロウによりピックアップ
される照明された+A料ス)・リップの非常に狭い部分
のみが、電気信シ」−のフォト電気変換と読み出し後、
照明ストリップ13内のこの小さな疑似直線領域に沿っ
た表面に関する情帽に貢献する。
カメラ「1的物18.18のピューピルの中へ照明ピユ
ーピルI6の正しい造影によっで、ljいに合致する適
当な絞りが2つのピユーピルに挿入されている一連の対
比工程を実現することが0丁能である。第2図に一連の
そのような絞りが示されているか、照明ピューピル16
に配された絞りは−1−列に示され、目的ピューピル1
8に配された対応絞りは下列に再製されている。
詳細には下記構成が得られる。
No、I  明るさ領域 (照明絞りの影像が観察絞り内にある)No、2  明
るさ領域゛′過剰照明”(仮に照明絞りが実質的に観察
絞りより大きいなら部分的に傾いている目的部分が尚同
じ明るさで再製される) No、3  内側の暗い領域 (照明絞りの影像は観察目的物内の中央絞りによって覆
イつれている。光線偏向欠陥のみが明るい)No、4 
 外側の暗い領域 (照明絞りはリング状で、リングの内径は選択された目
的絞りよりやや大きい。No、3j:り有利な点は、カ
メラ目的物に干渉がなく、感度は弔に目的物の絞りを調
整して選択される)No、5  シュリーレン配置A (照明絞りがギャップであり、目的物ピューピル内の補
助の非移動ストリップ」−に造影される。
長手方向のスロットに直角な勾配を有するシュリーレン
(例えば屈折指数の変化による効果)が検出される。可
能な延長 光減衰推移ストリップは偏向角度について言
及する)及び N006 シュリーレン配置B −I ]、 −− (照明絞りとして非透過性(不透明)ウェブを有ずろ格
子が、狭い伝達ストリップの目的物ピューピル内の補助
格子」−に造影される。例えわずかな勾配がここにみら
れても、示される偏向範囲は小さい) 方向づけられた照明を存するロウカメラの第3図に示し
た装置は照明側及び観察側でテレセントリックである。
これは照明ピューピル16が凹面鏡ストリップ14′の
焦点面にあり、照明光線が全長にわたって同じ角度で照
明されたストリップ13の材料面11に当たって達成さ
れる。観察側にカメラ目的物18のピューピルが凹面鏡
ストリップ15の焦点面に配されているので、影像形成
光線が同様にテレセントリックである。内側の暗い領域
を対比させるタイプの例が中央絞り35から認識され選
択される。更に特別な特徴が絞り20を有する照明ピュ
ーピル16の照明である。−例としで、長くて細いフィ
ラメントを有する光源12′かここでは選択され、凹面
鏡ストリップ14′ と面偏向鏡ス)−リップ32によ
って領域レンズ2I際の材料面11に拡大して造影され
る。光源は適当な散乱手段により、凹面鏡ストリップI
5と偏向鏡ストリップ33によって順次造影される。
光源を材料表面に造影する照明装置は、光源が棒状で例
えばキャピラーに燃焼ガスが放出されるような構造を特
にないようなものの場合に有利である。
第4図に示す装置は第1図に示すものとは照明スプリッ
トが、カメラ対象物の中の2つのピコ、−ピルの半分−
半分18’、18″が互いに関連する2つの半分16′
と16″とに分割されている3点で区別される。偏向鏡
40は直接カメラ対象物の背後に挿入された光学軸まで
伸びている。この鏡は影像形成光の通路を2つのピュー
ピルの半分によって2つのダイオード列17′と17″
に分割し、照明されたストリップの中の同じ対象物の調
和された像が両列に生じるように調整される。
列17’ のnダイオードは列17″のnダイオードと
同じように面11の同じ位置の像を受は取る。
いま2つのピューピルの半分半分のために異なりた対比
方法を選択すると各目的物点に対して2つの対応情報片
を得る。
第5図は分割されたピューピルを備えたカメラ用の対比
方法に用いる絞り形状の選択を示す。照明絞りの対が上
列に、関連する観察絞りの対が下の列に示されている。
F語形状は好ましいものである。
No、I  明るい領域と内側の暗い領域偏向において
はflecksは明るい領域でより暗く見え、暗い領域
ではスクラッチや他の平らでない部分が明るく見える。
No、2  シュリーレン、方向に分割偏向の角度に関
し段階つけられた情報が、光線絞りの2つの側面でグレ
イ領域を通して開口の半分を観察して得られる。
No、3  色の移動 ピューピルの半分の前に適当な色フイルタ−F]、Ti
’2を設けて動く材料の色移動を検出できる。
偏向された光の振動方向の変化又は蛍光の明るさの変化
も記録される。
イオード、I8・ 目的物、
【図面の簡単な説明】
第1図は、方向づけられた照明を備えたロウカメラを示
し、西独特許願P35 34 0195゜2の装置であ
る。 第2図は、方向づけられた照明を備えたロウカメラでの
対比方法用の絞り形状を示し、I3 Pは照明ピューピ
ルを、OPは目的物ピューピルを示す。 第3図は、方向づi−1られたテレセントリック照明と
テレセントリック造影ロウカメラを備えたロウカメラを
示す。 第4図は、分割されたピューピルと2つのコングルエン
)・ダイオード列を有し、方向づけられた照明とは対応
するように分割されたピューピルを備えたロウカメラを
示す。 第5図は、分割されたピューピルと2つのコングルエン
ドダイオード列を有し、方向づけられた照明と対応して
分割されたピューピルとを備えた対比方法用の絞り形状
を示す。 11・・材料ウェブ、13・・・ストリップ、1/I・
・・影像形成要素、I6・・・照明装置、17・・フオ
)・ダ−,I 6−、− FIG、2 1.      2.      3゜1+、5.  
    6゜

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)材料ウェブ(11)を横切って伸びるウェブのス
    トリップ(13)が直線列のフォトダイオード(17)
    上に造影されるダイオード列カメラを有し、該フォトダ
    イオードが周期的インターロゲーションで、材料ストリ
    ップに沿って明るさの情報を電気信号に変換して提示す
    る光学的ウェブモニター装置において、造影された材料
    ストリップが、ストリップ状の光学的影像形成要素(1
    4)によって照明されて、照明装置(16)のピューピ
    ルがダイオード列カメラの観察する目的物(18)のピ
    ューピルに造影されることを特徴とする装置。
  2. (2)観察目的物(18)のピューピル中に照明ピュー
    ピル(16)の造影が、ストリップ状の球面凹面鏡(1
    4)を平面偏向鏡(31)と関連させて造影比を約1対
    1にして行われることを特徴とする請求項1記載の光学
    的ウェブモニター装置。
  3. (3)明るい領域、内側の暗い領域、外側の暗い領域、
    シュリーレンとフェーズコントラストにおける対比方法
    が、照明ピューピル(16)と観察目的物(18)のピ
    ューピルの適当な開口ストップを使うことで選択的に行
    われることを特徴とする請求項1記載の光学的ウェブモ
    ニター装置。
  4. (4)造影された材料ストリップが2個のストリップ状
    光学的影像形成要素(14′、15)により偏向鏡(3
    2、33)を介して、照明ピューピル(16)が観察対
    象物(18)のピューピル中に造影され、この照明光線
    経路が照明された材料ストリップのところでテレセント
    リックであるように照明され、第2のストリップ状光学
    的影像要素(15)が観察目的物(18)のピューピル
    から焦点距離のところに配され、観察光線経路もまたテ
    レセントリックであることを特徴とするダイオードロウ
    カメラを備えた光学的ウェブモニター装置。
  5. (5)目的物ピューピル(18、18′)の各半分で、
    材料ウェブ(11)の1つ及び同じストリップ(13)
    の影像を各場合の、1直線に配列したダイオード(17
    、17′)上に形成する光学的ウェブモニター装置にお
    いて、造影される材料ストリップの凹面鏡(14)で照
    明され、各場合に照明装置(16、16′)のピューピ
    ルの半分が観察目的物(18、18′)のそれぞれのピ
    ューピルの半分に造影されることを特徴とするダイオー
    ドロウカメラを有する光学的ウェブモニター装置。
  6. (6)2つの異なった対比方法が各場合に、照明ピュー
    ピルの半分(16、16′)内の適当な開口ストップと
    観察目的物(18、18′)のピューピルの半分内の適
    当な開口ストップを用いて選択的に行われることを特徴
    とする請求項5記載の光学的ウェブモニター装置。
  7. (7)観察目的物(18)のピューピルがピューピルの
    半分以上をカバーするプリズムウエジで副分割されてい
    ることを特徴とする請求項5記載の光学的ウェブモニタ
    ー装置。
  8. (8)観察目的物のピューピルが目的物の直後に配され
    光学軸まで伸びる偏向鏡(40)で分割されていること
    を特徴とする請求項5記載の光学的ウェブモニター装置
JP63069214A 1987-03-23 1988-03-23 光学的ウエブモニター装置 Pending JPS63261144A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19873709500 DE3709500A1 (de) 1985-09-24 1987-03-23 Optische bahnueberwachungseinrichtung mit zeilenkameras mit gerichteter beleuchtung
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Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63261144A true JPS63261144A (ja) 1988-10-27

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ID=6323786

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JP63069214A Pending JPS63261144A (ja) 1987-03-23 1988-03-23 光学的ウエブモニター装置

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US (1) US4938601A (ja)
JP (1) JPS63261144A (ja)
FR (1) FR2613075A1 (ja)
GB (1) GB2202627A (ja)

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