JP2003028805A - 表面性状評価装置 - Google Patents
表面性状評価装置Info
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Abstract
数、画像の取り込み速度、被測定物の移動速度をそれぞ
れ独立して構成することができる表面性状評価装置を提
供する。 【解決手段】 被測定物の移動方向に対して略垂直に配
置され前記被測定物に照射された光の反射光を検出する
一次元撮像手段15と、前記被測定物に対する入射角度
がそれぞれ異なるように配置された前記被測定物の表面
を照射する複数の照明手段11〜14と、前記被測定物
を照射する前記照明手段を時経列的に切り換える照明制
御手段16と、前記照明制御手段によって切り換えられ
前記被測定物を照射する前記照明手段と前記一次元撮像
手段との位置関係から照明光の入射角の変化に対する前
記被測定物表面の反射特性に相当する評価値を算出する
評価値算出手段17、18とを有する。
Description
塗装やパールマイカ塗装などの塗装品質及び表面性状品
質を高速かつ広範囲にわたって定量的に評価する表面性
状評価装置に関する。
化によって、面の色相、明度、彩度が変化するメタリッ
クカラー塗装やパールマイカカラー塗装の塗装面を評価
する装置について、特開平11−211673号公報に
開示されている。
2次元アレイセンサと照明とを被測定物の塗装面に対し
て所定の距離で正対させた状態で保持する構成を有す
る。そして、2次元アレイセンサと照明とを被測定物に
対して相対的に移動させながら広範囲にわたって撮影を
繰り返すことで、被測定物の同一点から反射された光線
の出射角度がそれぞれ異なった状態での複数の画像を
得、この複数の画像から被測定物の同一点の輝度値など
をそれぞれ抽出することにより、変角輝度の分布を求
め、これに基づいて被測定物の光学的反射性状を定量的
に評価するものである。
を用いて構成されているため、撮像範囲(移動方向・幅
方向)、角度情報数、画像の取り込み速度、被測定物の
移動速度をそれぞれ独立して構成することができないと
いう問題を有し、実用させるための制限が多く、設定も
非常に複雑であった。
示すように、広い変角情報を得るためには、2次元アレ
イセンサの視野角を広くする必要がある。具体的には、
視野角αが80度の2次元アレイセンサ81を用いた場
合(図8(a))、光源から被測定物移動方向50に対
して、45度の角度で平行光83,84,85が入射し
たとすると、被測定物表面82により反射された光83
a,84a,85aはそれぞれ85度、45度、5度で
2次元アレイセンサ81に入射する。よって、この場合
は、5〜85度の範囲の変角情報を得ることができる。
いた場合、被測定物の幅方向51に対しても視野角が広
くなる。すなわち、図8(b)に示すように、被測定物
の幅方向51に対して、中央部分を測定する場合は、光
88はアレイセンサ81に対して直角に入射する。しか
し、それぞれ視野の端に近づくにつれて、アレイセンサ
81に対する入射角度が大きくなり、視野の端では、光
86,88はアレイセンサ81に対して、40度の傾き
をもって入射することになる。すなわち、視野の端に近
づくにつれて、入射角度の変化を持たないことが理想で
ある視野幅方向に対しても、広い角度情報を持つことに
なり、評価性能が低下する。
1の視野角βを小さくすることによって、被測定物の幅
方向の入射角度を小さくすることができる。例えば、図
9(b)に示すように、視野角を20度とすると、被測
定物幅方向51の入射角については、10度と小さくな
る。しかし、このことは、同時に被測定物移動方向50
についても、角度情報を狭くすることになり、35〜5
5度までとその範囲は激減し、評価性能が低下する。す
なわち、視野角を狭くして視野幅方向の性能を向上させ
ることは、逆に移動方向の角度情報も狭くなることにつ
ながる。
向51の性能低下を解消するために、ある程度の広がり
を持った照明83,84,85を用い、テレセントリッ
クレンズ89などの光学系を用いる方法も考えられる。
この方法によれば、被測定物幅方向51については、反
射光86,87,88はアレイセンサ81に対して垂直
方向に入射する(図10(b))。しかし、被測定物移
動方向50についての変角情報は、入射光83,84,
85の広がりの範囲内となり、さらに大幅に低下し、広
い範囲にわたった計測が困難になる(図10(a))。
このように、2次元アレイセンサを用いたこの装置によ
れば、移動方向と幅方向の撮影範囲について独立して構
成することはできず、被測定物移動方向に広い変角情報
を得ようとすると、被測定物幅方向の測定の性能が低下
する。したがって、広い角度情報を広い範囲にわたって
定量的に評価することは困難であり、メタリック塗装な
どのすかし評価などを行なうことができない。
ついて考える。例えば、撮影範囲のアスペクト比が1の
2次元アレイセンサを用いて、1m幅の被測定物を計測
した場合について考えると、1回の撮像で1×1mの画
像を取得することができる。しかしこれだけでは、被測
定物の位置ごとに照明の受光角度が違う画像にすぎず、
同一点について異なる変角情報を取得するためには、被
測定物を移動させる必要がある。図11(a)に示すよ
うに、このとき、最大角度範囲の変角情報を取得するた
めには、被測定物は、ライン83から85の位置まで、
照射幅55に等しい距離である約1mを移動しなければ
ならない。したがって、撮影範囲全体について最大範囲
の変角情報を取得するには、3m移動する必要がある。
には、変角情報を得るための位置も相対的に離れること
になる。相対的に離れていることは、移動機構部などを
備えた装置にあっては撮影周期と移動の同期は比較的取
りやすいため問題は少ないが、ラインスピードが変動し
やすい工場ライン上に流れている被測定物を測定する場
合には問題が大きい。すなわち、ラインスピードの変動
が測定位置のずれとなり、被測定物の違う位置での変角
情報を取得することになる。さらに、より広い範囲での
評価を実現させるために撮影範囲を広くした場合には、
被測定物の移動量も増大し、さらに変動量も大きくなる
ことが想定される。つまり、これらの装置単独で工場ラ
インに対応することは困難であり、工場ラインにおいて
この装置を用いるためには、工場ラインの速度と撮影の
タイミングとを同期させるための設備が別に必要にな
る。
元アレイセンサは現状では、特殊なものを除き、一般的
な取り込み速度は1/60秒(16.7msec/測
定)で撮影されるものがほとんどである。そのため、一
般的な工場ラインスピード(60m/分)の場合、連続
したフレームについて取り込む間に被測定物は16.7
mm移動することになり、細かいメタルムラやメタリッ
ク感などの表面性状評価は困難となる。さらに、高速ラ
インに用いられる場合は、実用するのはより困難で問題
が多い。
解決しようとする技術的課題は、移動方向及び幅方向の
撮像範囲、角度情報数、画像の取り込み速度、被測定物
の移動速度をそれぞれ独立して構成することができる表
面性状評価装置を提供することである。
は、上記技術的課題を解決するために、以下の構成の表
面性状評価装置を提供する。
に対して略垂直に配置され前記被測定物に照射された光
の反射光を検出する一次元撮像手段と、前記被測定物に
対する入射角度がそれぞれ異なるように配置された前記
被測定物の表面を照射する複数の照明手段と、前記被測
定物を照射する前記照明手段を時経列的に切り換える照
明制御手段と、前記照明制御手段によって切り換えられ
前記被測定物を照射する前記照明手段と前記一次元撮像
手段との位置関係から照明光の入射の変化に対する前記
被測定物表面の反射特性に相当する評価値を算出する評
価値算出手段とを有する。
能低下を考慮した一次元撮像手段の視野角を自由に設定
しながらも、広い変角情報を取得できるように、複数に
配置した照明手段を高速に点滅切り換えする。また、一
般的に撮像手段に1次元アレイセンサ等を用いた場合、
1/20000秒ほどの高速な取り込み速度を容易に実
現することもできる。よって、高速で変角情報を取得す
ることができるため、工場ラインスピードとの同期させ
る手段が不要であり、ラインスピードが変動しやすい工
場ラインなどでの測定においても、色情報及び変角情報
をほぼ同時に評価することができる。
の移動方向及び幅方向の撮像範囲、角度情報数、取り込
み速度、被測定物の移動速度を独立して構成することが
可能となる。
以下のように種々の態様で構成することができる。
である。
において、照明手段からの光色の影響を受けることがな
く、より精度が高い測定を行なうことができる。また、
LEDは高速で点灯、消灯の切り換えを行なうことがで
き、被測定物の測定において、高速に画像の取り込みを
可能にする。
パターンを発する。
広範囲に亘った被測定物の測定を行なうことができる。
ントリック光学系を備える。
射光は、すべて平行光として入射するため、被測定物幅
方向に対する測定において角度の影響を受けることがな
く、測定の性能を向上させることができる。
価装置を提供する。
射する照明手段と、前記照明手段から前記被測定物に照
射された光の反射光を検出し、前記反射光の受光角度が
異なるように配置された複数の一次元撮像手段と、前記
照明手段と前記一次元撮像手段との位置関係から異なる
反射光の受光角に対する前記被測定物表面の反射特性に
相当する評価値を算出する評価値算出手段とを有する。
た光が被測定物により反射されると、その反射角度が異
なる位置に複数の1次元撮像手段が配置される。したが
って、それぞれの1次元撮像素子には、同一ポイントに
ついてそれぞれ受光角度が異なる反射光が入射し、被測
定物が移動することによりその反射光に対する2次元画
像が得られるため、これらの画像を用いて測定物表面の
反射特性に相当する評価値を算出することができる。
表面性状評価装置について、図面を参照しながら説明す
る。
面性状評価装置の構成を示す概略図である。(a)は、
側面図、(b)は平面図を表す。本表面性状評価装置1
0は、受光角度が測定対象物20の法線方向に対して4
5度となるように配置された一次元リニアアレイセンサ
(CCDリニアカメラ)15と、CCDリニアカメラ1
5への入射方向がそれぞれ異なるように配置された線状
の光線パターンを発する4つの白色LED11〜14を
有する。CCDリニアカメラ15は、図1(b)に示す
ように、被測定物20の移動方向50に対して垂直方向
に配置される。白色LED11〜14は、受光の鏡面反
射(フレネル反射)となる角度を0度とし、図1(a)
において右側をプラス方向とすると、それぞれ第1LE
D11が110度、第2LED12が45度、第3LE
D13が15度、第4LED14が0度となるように配
置されている。
14はそれぞれ、カメラ信号取り込み部17及びLED
点滅切り換え制御部16を介して、コンピュータで制御
されており、上記の各角度に配置したLEDを高速に点
滅切り換え制御し測定することにより変角情報を取得す
る。被測定物20は、移動部21に固定されており、こ
れが移動方向50に移動することによって、ともに移動
する。被測定物20が移動しながらCCDリニアカメラ
15で測定を連続的に行なうことにより2次元的な画像
を取得する。これらの情報はすべてコンピュータに伝送
され、取得した変角情報を用いて、色、光沢感、フロッ
プ感、メタリック感などの評価値を演算し、結果を出力
するデータ処理部として機能する。
計測方法を説明する図である。表面性状評価装置は、被
測定物20に反射してCCDリニアカメラ15に対して
入射する反射光45に対して受光角度が異なるように配
置された4つのLED11〜14が設けられている。た
とえば、第1のLED11から照射された光41は被測
定物20に反射されて反射光45としてCCDリニアカ
メラ15に入射する。このときの受光角度は、図2
(a)の符号31で示すようになる。同様に、第2のL
EDから照射された光42は受光角度32でCCDリニ
アカメラ15に入射する。このように、本表面性状評価
装置は、照射するLEDを切り換えることにより、異な
る変角情報についての情報をとることができる。
図2(b)に示すように、視野角を調整することによ
り、与える角度情報の影響を小さくすることができる。
すなわち、視野角αを小さくすることにより、視野の端
部の反射光46,48に生じる角度情報の影響βを小さ
くすることができる。また、上述のように、被測定物の
移動方向50においてとることができる変角情報は、L
EDの配置位置によって任意に設定できるため、視野角
αを小さくしても、被測定物移動方向50の変角情報が
小さくなることがない。よって、被測定物の大きさや特
性などに応じて被測定物幅方向51の視野角を自由に設
定することができる。
変形例を示す図である。図3(b)に示すように、テレ
セントリック光学系として、テレセントリックレンズ1
9を用いることができる。テレセントリックレンズ19
を用いた場合であっても、図3(a)に示すように、C
CDリニアカメラ15は、被測定物移動方向50に視野
角を有さないため、テレセントリックレンズ19の影響
を受けることはない。一方、テレセントリックレンズ1
9によって、CCDリニアカメラ15に入射する反射光
を平行光46〜48とすることができる。よって、被測
定物幅方向51の撮影範囲は小さくなるが、撮影視野の
端部における角度βの影響を限りなくなくすことができ
る。
面性状評価装置の計測処理の流れを説明する。まず、
(1)第1LED11を点灯して、CCDリニアカメラ
15で1ライン計測する。被測定物表面からの反射光の
1次元情報を第1変角データ61aとして取得する。デ
ータ取得後、第1LEDを消灯する。次いで(2)第2
LED12を点灯して、CCDリニアカメラ15で1ラ
イン計測する。被測定物表面からの反射光の1次元情報
を第2変角データ62aとして取得する。データ取得
後、第2LEDを消灯する。(3)同様に第3LED1
3により第3変角データ63a、第4LED14により
第4変角データ64aを取得し、第1ラインにおけるデ
ータ60a取得を終了する。(4)移動部によって被測
定物を移動(50a)しつつ、これらの処理を任意に設
定した取り込みライン数になるまで繰り返し行ない、各
ラインにおけるデータ60b,60c〜60nまでを取
得する(図4(a))。(5)所定ラインまで取り込み
が終了すると、それぞれのラインの第1〜第4変角デー
タを並べ替え、それぞれ取り込みライン順に表示するこ
とにより、それぞれの変角画像61〜64を取得する。
すなわち、図4(b)に示すように第1〜第4の変角デ
ータまでが繰り返されて所定ライン数並んだデータを、
各変角データごとに並べ替えた変角画像を作成する。す
なわち、第1ラインの第1の変角データ61aを第1変
角画像61の第1ラインに移動し、第1ラインの第2の
変角データ62aを第2変角画像62の第1ラインに移
動する。以下同様に第3変角画像63、第4変角画像6
4を作成する。
画像61〜64に基づいて、それぞれ、強度の3次元分
布図を作成する。図5に任意の変角画像の3次元強度分
布図を示す。右側横軸は、視野幅方向を示し、CCDリ
ニアカメラの任意の1ラインにおける幅方向の位置を示
している。手前縦軸は、ライン方向を示しており、被測
定物が移動することによって得られる移動方向の位置を
示している。垂直軸は輝度を示しており、CCDリニア
カメラがカラーカメラである場合は、それぞれRGBの
3要素についてそれぞれの強度分布を作成する。3次元
強度分布に基づいて、不要な範囲を除去し、ドットごと
に以下の各評価値(色、光沢感、フロップ感、メタリッ
ク感)を算出する。
は、第2変角画像の3次元分布データを用いて行なう。
色演算は、色彩値、色ムラ、色差について演算する。
E XYZ値に変換する。得られた各ドットのXYZ値
を用いて、代表的なCIE LABなどの均等色空間に
変換する。以上の処理により、各ドット(画素)ごと
に、CIE LABの色彩値を持つことになる。例え
ば、CCDリニアカメラの画素分解能が1024画素
で、1024ラインを測定したような場合など、全体画
像が膨大な量の色彩値を持つ場合には、必要に応じて、
特定範囲、さらには特定色などの平均化処理によりデー
タ数を減らし、演算処理時間を短縮することもできる。
本装置では、広範囲において計測が可能であるため、メ
タリックや柄模様など、スポット計測では安定して計測
できないような被測定物に対しても、安定した色計測が
可能となる。
色彩値と比較することにより演算する。また、色ムラ
は、画像を複数に分割し、各分割部分を比較することに
より、評価する。すなわち、色ムラには、全体的に大き
く発生しているものや細かく発生しているものなど様々
な状態が考えられるため、領域の大きさを変えることに
よって、色ムラの大きさを判断要素に加えた評価をする
ことができる。
布データを用いて、被測定物の光沢感の演算処理を行な
う。光沢感は、JISに定められている光沢度を基準と
して、正規化し、色彩値算出時と同様に必要に応じて全
体画像もしくは特定範囲、さらには特定色などの平均化
処理を行なう。各画像において得られた光沢値を基準画
像の光沢値と比較することにより光沢値の差を求める。
また、色ムラと同様の手法を用いて光沢ムラの評価を行
なう。
画像の3次元分布データを用いて演算処理を行なう。フ
ロップ感とは、入射受光の角度変化により、色相、明
度、彩度などが異なって見える幾何学的メタメリズムの
ことであり、広く用いられるフロップ評価式により算出
する。演算は、色計測と同様に各ドットで算出したフロ
ップ値を指定範囲で平均処理などを実施することによ
り、広範囲のフロップ計測を実施する。また、色ムラと
同様の手法によりフロップムラの評価を行なう。
の3次元分布データのドット間による輝度変化差を用い
て演算処理を行なう。メタリック感のある被測定物はド
ット間の輝度変化差が大きくなる傾向にあり、高低差の
大きい3次元分布データとなる。
のコントラスト評価やエンボス加工や柚肌加工した被測
定物の凹凸感、紙や不織布などのムラ評価も行なうこと
ができる。
面性状評価装置の構成を示す概略図である。(a)は側
面図、(b)は平面図を表す。この表面性状評価装置1
0aは、図1に係る装置と構成を大略同じとする。異な
る点は、被測定物20aが工場ライン21a上で連続的
に移動しており、第1〜第4のLED11a〜14aに
おいて、まったく同じラインを計測しない点である。た
だし、第1〜第4のLED11a〜14aはそれぞれ2
0000分の1秒ごとの高速に点滅を行ない、CCDリ
ニアカメラもこのタイミングで撮影を行なうことが可能
であるため、移動に伴う性能の低下は少なく抑えること
ができる。また、測定ポイントの位置と変角情報との相
対関係がないため、工場ライン21の移動速度が変化し
た場合であっても、変角情報に及ぼす影響がない。
面性状評価装置の構成を示す概略図である。(a)は側
面図、(b)は平面図を表す。本表面性状評価装置10
bは、受光角度が測定対象物20bの法線方向に対して
45度となるように配置された線状の光線パターンを発
する白色LED11bと、白色LED11bから照射さ
れた光が測定対象物20bに反射された反射光の受光角
度がそれぞれ異なるように配置された4つのCCDリニ
アカメラ15b〜15eを有する。それぞれのCCDリ
ニアカメラ15b〜15eは、被測定物20の移動方向
50に対して垂直方向に配置される。それぞれのリニア
カメラ15b〜15eは、白色LED11bからの入射
光の鏡面反射(フレネル反射)となる角度を0度とし、
図7において右側をプラス方向とすると、それぞれ第1
リニアカメラ15bが110度、第2リニアカメラ15
cが45度、第3リニアカメラ15dが15度、第4リ
ニアカメラ15eが0度となるように配置されている。
ED11bはそれぞれ、カメラ信号取り込み部17b及
びLED点灯制御部16bを介して、コンピュータで制
御されており、LED11bが点灯している間に上記の
各角度に配置したCCDリニアカメラによってそれぞれ
撮影された画像によって変角情報を取得する。被測定物
20bは移動部21bによって、移動方向50に移動す
る。被測定物20bが移動しながらCCDリニアカメラ
15b〜15eで測定を連続的に行なうことにより2次
元的な画像を取得する。これらの情報はすべてコンピュ
ータ18bに伝送され、取得した変角情報を用いて、
色、光沢感、フロップ感、メタリック感などの評価値を
演算し、結果を出力するデータ処理部として機能する。
測定の処理については、図1に記載の表面性状評価装置
と大略同じである。
のリニアカメラ15b〜15eによって、直接変角画像
を作成することができる。
表面性状評価装置は、被測定物の移動方向に対して略垂
直に配置され被測定物に照射された光の反射光を検出す
るCCDリニアカメラと、被測定物に対する入射方向が
それぞれ異なるように配置された被測定物の表面を照射
する複数のLEDとを有し、複数のLEDを切り換えな
がら点滅させることによって、複数の角度情報を有する
角度画像を作成することができる。したがって、移動方
向及び幅方向の撮像範囲、角度情報数、画像の取り込み
速度、被測定物の移動速度をそれぞれ独立して構成する
ことができる。
と、LEDから被測定物に照射された光の反射光を検出
し、反射光の受光角度が異なるように配置された複数の
CCDリニアカメラを備えることによっても、同様に複
数の角度情報を有する角度画像を作成することができ
る。
ものではなく、その他種々の態様で実施可能である。例
えば、LEDの代わりに高速で点灯・消灯できるフラッ
シュなどの照明手段を用いてもよく、また、白色LED
の代わりに、赤、緑、青のLEDを切り換えて用いるこ
とにより、カラーカメラを用いることなく、色の評価を
行なうことができる。
装置の構成を示す概略図である。(a)は、側面図、
(b)は平面図を表す。
説明する図である。
す図である。
る。
装置の構成を示す概略図である。(a)は側面図、
(b)は平面図を表す。
装置の構成を示す概略図である。(a)は側面図、
(b)は平面図を表す。
す説明図である。
す説明図である。
置の出射角の変化を示す説明図である。
するための図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 被測定物の移動方向に対して略垂直に配
置され前記被測定物に照射された光の反射光を検出する
一次元撮像手段と、前記被測定物に対する入射角度がそ
れぞれ異なるように配置された前記被測定物の表面を照
射する複数の照明手段と、前記被測定物を照射する前記
照明手段を時経列的に切り換える照明制御手段と、前記
照明制御手段によって切り換えられ前記被測定物を照射
する前記照明手段と前記一次元撮像手段との位置関係か
ら照明光の入射角の変化に対する前記被測定物表面の反
射特性に相当する評価値を算出する評価値算出手段とを
有することを特徴とする表面性状評価装置。 - 【請求項2】 前記照明手段は、白色LEDであること
を特徴とする請求項1記載の表面性状評価装置。 - 【請求項3】 前記照明手段は、線状の光線パターンを
発することを特徴とする請求項1又は2記載の表面性状
評価装置。 - 【請求項4】 テレセントリック光学系を備えることを
特徴とする請求項1から3いずれか1つに記載の表面性
状評価装置。 - 【請求項5】 被測定物の表面を照射する照明手段と、
前記照明手段から前記被測定物に照射された光の反射光
を検出し、前記反射光の受光角度が異なるように配置さ
れた複数の一次元撮像手段と、前記照明手段と前記一次
元撮像手段との位置関係から異なる反射光の受光角に対
する前記被測定物表面の反射特性に相当する評価値を算
出する評価値算出手段とを有することを特徴とする表面
性状評価装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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JP2001212134A JP4808871B2 (ja) | 2001-07-12 | 2001-07-12 | 表面性状評価装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JP4808871B2 JP4808871B2 (ja) | 2011-11-02 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005103658A1 (ja) * | 2004-04-22 | 2005-11-03 | Olympus Corporation | 欠陥検査装置およびそれを用いた基板製造システム |
JP2006208327A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Konica Minolta Sensing Inc | メタリック塗装面評価方法、装置、及び動作プログラム |
JP2007212283A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Mitsubishi Nuclear Fuel Co Ltd | 外観検査装置及び外観検査方法 |
JP2007524807A (ja) * | 2003-02-26 | 2007-08-30 | レイモンド, ジェイ. キャストンガイ, | 球形光散乱及び遠視野位相の測定 |
JP2009020080A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Kao Corp | 表面反射特性測定装置 |
JP2009144310A (ja) * | 2007-12-12 | 2009-07-02 | Hyundai Motor Co Ltd | 車両用内装表皮材の感性等級の評価方法 |
JP2010066273A (ja) * | 2005-06-02 | 2010-03-25 | Byk-Gardner Gmbh | 表面特性測定方法および装置 |
JP2010117322A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Nippon Steel Corp | 表面疵検査装置、表面疵検査方法及びプログラム |
JP2011075544A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-04-14 | Byk-Gardner Gmbh | 肌理のある面の特性を決定するための方法および装置 |
JP2012042297A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Kurabo Ind Ltd | 撮像光学検査装置 |
JP2013108975A (ja) * | 2011-11-22 | 2013-06-06 | Dongwoo Fine-Chem Co Ltd | 光学検査システム用振動ノイズ補正装置及び方法 |
US8493558B2 (en) | 2008-10-10 | 2013-07-23 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Surface inspection apparatus |
JP2013150205A (ja) * | 2012-01-20 | 2013-08-01 | Seiko Epson Corp | 印刷装置の製造方法、測色装置、測色方法 |
JP2013532290A (ja) * | 2010-07-09 | 2013-08-15 | テクノロジアン テュトキムスケスクス ヴェーテーテー | 表面の色及び他の特性を測定する方法及び装置 |
JP2015531068A (ja) * | 2012-08-11 | 2015-10-29 | シーゲイト テクノロジー エルエルシー | 表面特徴の特徴決定 |
JP2016011874A (ja) * | 2014-06-27 | 2016-01-21 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置およびその方法 |
JP2016194449A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 有限会社パパラボ | 着色検査装置および着色検査方法 |
JP2019135461A (ja) * | 2018-02-05 | 2019-08-15 | 株式会社Screenホールディングス | 画像取得装置、画像取得方法および検査装置 |
JP2019135460A (ja) * | 2018-02-05 | 2019-08-15 | 株式会社Screenホールディングス | 画像取得装置、画像取得方法および検査装置 |
WO2020017755A1 (ko) * | 2018-07-20 | 2020-01-23 | 삼성전자 주식회사 | 전자 디바이스의 표면 측정 장치 및 방법 |
WO2021059858A1 (ja) * | 2019-09-27 | 2021-04-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 検査方法、プログラム、及び、検査システム |
JP2022075314A (ja) * | 2020-11-06 | 2022-05-18 | 株式会社東芝 | 光学撮像装置、光学検査装置、および、光学検査方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101500375B1 (ko) * | 2013-06-27 | 2015-03-10 | 현대자동차 주식회사 | 차체 도장 외관 검사장치 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6242039A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-24 | Toshiba Corp | 表面検査装置 |
JPS63261144A (ja) * | 1987-03-23 | 1988-10-27 | エルヴィン シック ゲーエムベーハー オプティック−エレクトロニック | 光学的ウエブモニター装置 |
JPH07218451A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-08-18 | Nippon Steel Corp | 光学式鋼板表面検査装置 |
JPH1172439A (ja) * | 1997-08-28 | 1999-03-16 | Nissan Motor Co Ltd | 表面検査装置 |
JPH11281581A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Suzuki Motor Corp | 表面欠陥検査装置,表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査用のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JPH11337323A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-10 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面検査方法 |
JP2000000960A (ja) * | 1998-04-15 | 2000-01-07 | Baldwin Japan Ltd | 印刷紙面等の内容読取センサ及び印刷紙面検査装置 |
JP2000009655A (ja) * | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Kobe Steel Ltd | 外観検査装置 |
JP2000150592A (ja) * | 1998-11-11 | 2000-05-30 | Shibuya Kogyo Co Ltd | マウント検査部における照明装置 |
JP2000162146A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-16 | Nippon Electro Sensari Device Kk | 表面検査装置 |
JP2001304835A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-10-31 | Toshiba Eng Co Ltd | 凹凸測定用照明装置、凹凸測定装置、欠陥検査用照明装置、欠陥検査装置およびその照明方法 |
-
2001
- 2001-07-12 JP JP2001212134A patent/JP4808871B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6242039A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-24 | Toshiba Corp | 表面検査装置 |
JPS63261144A (ja) * | 1987-03-23 | 1988-10-27 | エルヴィン シック ゲーエムベーハー オプティック−エレクトロニック | 光学的ウエブモニター装置 |
JPH07218451A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-08-18 | Nippon Steel Corp | 光学式鋼板表面検査装置 |
JPH1172439A (ja) * | 1997-08-28 | 1999-03-16 | Nissan Motor Co Ltd | 表面検査装置 |
JPH11281581A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Suzuki Motor Corp | 表面欠陥検査装置,表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査用のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP2000000960A (ja) * | 1998-04-15 | 2000-01-07 | Baldwin Japan Ltd | 印刷紙面等の内容読取センサ及び印刷紙面検査装置 |
JPH11337323A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-10 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面検査方法 |
JP2000009655A (ja) * | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Kobe Steel Ltd | 外観検査装置 |
JP2000150592A (ja) * | 1998-11-11 | 2000-05-30 | Shibuya Kogyo Co Ltd | マウント検査部における照明装置 |
JP2000162146A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-16 | Nippon Electro Sensari Device Kk | 表面検査装置 |
JP2001304835A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-10-31 | Toshiba Eng Co Ltd | 凹凸測定用照明装置、凹凸測定装置、欠陥検査用照明装置、欠陥検査装置およびその照明方法 |
Cited By (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007524807A (ja) * | 2003-02-26 | 2007-08-30 | レイモンド, ジェイ. キャストンガイ, | 球形光散乱及び遠視野位相の測定 |
JPWO2005103658A1 (ja) * | 2004-04-22 | 2008-03-13 | オリンパス株式会社 | 欠陥検査装置およびそれを用いた基板製造システム |
US7372062B2 (en) | 2004-04-22 | 2008-05-13 | Olympus Corporation | Defect inspection device and substrate manufacturing system using the same |
WO2005103658A1 (ja) * | 2004-04-22 | 2005-11-03 | Olympus Corporation | 欠陥検査装置およびそれを用いた基板製造システム |
JP2006208327A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Konica Minolta Sensing Inc | メタリック塗装面評価方法、装置、及び動作プログラム |
JP2010066273A (ja) * | 2005-06-02 | 2010-03-25 | Byk-Gardner Gmbh | 表面特性測定方法および装置 |
JP2007212283A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Mitsubishi Nuclear Fuel Co Ltd | 外観検査装置及び外観検査方法 |
JP4739044B2 (ja) * | 2006-02-09 | 2011-08-03 | 三菱原子燃料株式会社 | 外観検査装置 |
JP2009020080A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Kao Corp | 表面反射特性測定装置 |
JP2009144310A (ja) * | 2007-12-12 | 2009-07-02 | Hyundai Motor Co Ltd | 車両用内装表皮材の感性等級の評価方法 |
US8493558B2 (en) | 2008-10-10 | 2013-07-23 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Surface inspection apparatus |
JP2010117322A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Nippon Steel Corp | 表面疵検査装置、表面疵検査方法及びプログラム |
JP2011075544A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-04-14 | Byk-Gardner Gmbh | 肌理のある面の特性を決定するための方法および装置 |
US8867043B2 (en) | 2009-07-15 | 2014-10-21 | Byk-Gardner Gmbh | Method and device for determining properties of textured surfaces |
JP2013532290A (ja) * | 2010-07-09 | 2013-08-15 | テクノロジアン テュトキムスケスクス ヴェーテーテー | 表面の色及び他の特性を測定する方法及び装置 |
JP2012042297A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Kurabo Ind Ltd | 撮像光学検査装置 |
JP2013108975A (ja) * | 2011-11-22 | 2013-06-06 | Dongwoo Fine-Chem Co Ltd | 光学検査システム用振動ノイズ補正装置及び方法 |
JP2013150205A (ja) * | 2012-01-20 | 2013-08-01 | Seiko Epson Corp | 印刷装置の製造方法、測色装置、測色方法 |
JP2015531068A (ja) * | 2012-08-11 | 2015-10-29 | シーゲイト テクノロジー エルエルシー | 表面特徴の特徴決定 |
US9766184B2 (en) | 2012-08-11 | 2017-09-19 | Seagate Technology Llc | Surface features characterization |
JP2016011874A (ja) * | 2014-06-27 | 2016-01-21 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置およびその方法 |
JP2016194449A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 有限会社パパラボ | 着色検査装置および着色検査方法 |
JP2019135460A (ja) * | 2018-02-05 | 2019-08-15 | 株式会社Screenホールディングス | 画像取得装置、画像取得方法および検査装置 |
JP2019135461A (ja) * | 2018-02-05 | 2019-08-15 | 株式会社Screenホールディングス | 画像取得装置、画像取得方法および検査装置 |
CN111566469A (zh) * | 2018-02-05 | 2020-08-21 | 株式会社斯库林集团 | 图像获取装置、图像获取方法及检查装置 |
US11283981B2 (en) | 2018-02-05 | 2022-03-22 | SCREEN Holdings, Co., Ltd. | Image acquisition device, image acquisition method and inspection apparatus |
JP7113627B2 (ja) | 2018-02-05 | 2022-08-05 | 株式会社Screenホールディングス | 画像取得装置、画像取得方法および検査装置 |
CN111566469B (zh) * | 2018-02-05 | 2023-09-12 | 株式会社斯库林集团 | 图像获取装置、图像获取方法及检查装置 |
WO2020017755A1 (ko) * | 2018-07-20 | 2020-01-23 | 삼성전자 주식회사 | 전자 디바이스의 표면 측정 장치 및 방법 |
US11493442B2 (en) | 2018-07-20 | 2022-11-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus and method for measuring surface of electronic device |
WO2021059858A1 (ja) * | 2019-09-27 | 2021-04-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 検査方法、プログラム、及び、検査システム |
JP2022075314A (ja) * | 2020-11-06 | 2022-05-18 | 株式会社東芝 | 光学撮像装置、光学検査装置、および、光学検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4808871B2 (ja) | 2011-11-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080409 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100914 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110707 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110802 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140826 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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