JP2000150592A - マウント検査部における照明装置 - Google Patents
マウント検査部における照明装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明の課題は、同一照明装置内に、ボール検
査照明と、アライメントマーク検査照明を取り付けるこ
とにより、照明光源の取り付けスペースの縮小を図るこ
とを目的とすると共に、１つの照明装置で両方の検査を
行なう場合に必要としていた光学系の微調整を必要とせ
ず、全体の検査時間の短縮を図ることである。 【解決手段】解決手段として、連続光でワークに対して
略垂直方向から照射する第１照明とストロボ光でワーク
に対してやや角度をつけて照射する第２照明とを同一照
明装置内に配置したことを特徴とするボールマウント装
置のマウント検査部における照明装置を提供する。
査照明と、アライメントマーク検査照明を取り付けるこ
とにより、照明光源の取り付けスペースの縮小を図るこ
とを目的とすると共に、１つの照明装置で両方の検査を
行なう場合に必要としていた光学系の微調整を必要とせ
ず、全体の検査時間の短縮を図ることである。 【解決手段】解決手段として、連続光でワークに対して
略垂直方向から照射する第１照明とストロボ光でワーク
に対してやや角度をつけて照射する第２照明とを同一照
明装置内に配置したことを特徴とするボールマウント装
置のマウント検査部における照明装置を提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ボールマウント装
置において、ワークにボールが正確にマウントされたか
どうかを検査する検査部の照明装置に関するもので、主
として、ＢＧＡ（ボールグリッドアレー）基板へ搭載さ
れた半田ボールの画像処理検査を行う時に使用するボー
ル検査照明及び基板検査照明に関する照明装置を主眼に
開発されたものである。
置において、ワークにボールが正確にマウントされたか
どうかを検査する検査部の照明装置に関するもので、主
として、ＢＧＡ（ボールグリッドアレー）基板へ搭載さ
れた半田ボールの画像処理検査を行う時に使用するボー
ル検査照明及び基板検査照明に関する照明装置を主眼に
開発されたものである。
【０００２】
【従来の技術】半田ボールのマウントの位置ズレ検査に
は、半田ボールの検査とＢＧＡ基板の検査が必要とな
る。ＢＧＡ基板の検査は、ＢＧＡ基板の傾きを判断し、
該傾きを補正して半田ボールの位置ズレを検出するため
に行われるもので、具体的には、ＢＧＡ基板に付された
ランドマークやアライメントマークを認識することによ
り行われる。
は、半田ボールの検査とＢＧＡ基板の検査が必要とな
る。ＢＧＡ基板の検査は、ＢＧＡ基板の傾きを判断し、
該傾きを補正して半田ボールの位置ズレを検出するため
に行われるもので、具体的には、ＢＧＡ基板に付された
ランドマークやアライメントマークを認識することによ
り行われる。
【０００３】従来、この２つの検査を行うには、半田ボ
ールと基板とでは見え方が異なるため、ＢＧＡ基板１個
毎に照明を異ならせて２つの画像を取り込んでいた。そ
の際、特開平８−１５３９９７号公開特許公報に示され
るように２種類の照明装置を使用するものや、又は特公
平２−１６０１２号特許公報に示されるように１つの照
明装置の条件を検査部位に合わせて可変させるものが存
在した。
ールと基板とでは見え方が異なるため、ＢＧＡ基板１個
毎に照明を異ならせて２つの画像を取り込んでいた。そ
の際、特開平８−１５３９９７号公開特許公報に示され
るように２種類の照明装置を使用するものや、又は特公
平２−１６０１２号特許公報に示されるように１つの照
明装置の条件を検査部位に合わせて可変させるものが存
在した。
【０００４】しかし、半田ボールのマウントの位置ズレ
検査に２つの照明装置を利用するのでは、照明光源のた
めの広い取り付けスペースが必要となり、他方、照明の
条件を検査部位に合わせて１つの照明装置を可変させる
ものでは画像取り込みまでに時間がかかり、且つ、安定
性に欠けるという問題があった。
検査に２つの照明装置を利用するのでは、照明光源のた
めの広い取り付けスペースが必要となり、他方、照明の
条件を検査部位に合わせて１つの照明装置を可変させる
ものでは画像取り込みまでに時間がかかり、且つ、安定
性に欠けるという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、同一照明装
置内に、ボール検査照明と、アライメントマーク検査照
明を取り付けることにより、照明光源の取り付けスペー
スの縮小を図ることを目的とすると共に、１つの照明装
置で両方の検査を行なう場合に必要としていた光学系の
微調整を必要とせず、全体の検査時間の短縮を図ること
を目的とするものである。
置内に、ボール検査照明と、アライメントマーク検査照
明を取り付けることにより、照明光源の取り付けスペー
スの縮小を図ることを目的とすると共に、１つの照明装
置で両方の検査を行なう場合に必要としていた光学系の
微調整を必要とせず、全体の検査時間の短縮を図ること
を目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、連続光でワークに対して略垂直方向から照
射する第１照明とストロボ光でワークに対してやや角度
をつけて照射する第２照明とを同一照明装置内に配置し
たことを特徴とするボールマウント装置のマウント検査
部における照明装置を提供するものである。
決するため、連続光でワークに対して略垂直方向から照
射する第１照明とストロボ光でワークに対してやや角度
をつけて照射する第２照明とを同一照明装置内に配置し
たことを特徴とするボールマウント装置のマウント検査
部における照明装置を提供するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図示の実施例と共に発明の
実施の形態につき説明する。図１は、ボールマウント装
置の全体を示す概要図である。図１に示させるボールマ
ウント装置は、ＢＧＡ半田ボールマウント装置である。
実施の形態につき説明する。図１は、ボールマウント装
置の全体を示す概要図である。図１に示させるボールマ
ウント装置は、ＢＧＡ半田ボールマウント装置である。
【０００８】該ＢＧＡ半田ボールマウント装置は、ＢＧ
Ａフレーム８のＢＧＡ基板９にフラックスを転写するた
めのフラックス供給部１と、ＢＧＡフレーム８のＢＧＡ
基板９に半田ボール１２をマウントするボールマウント
部２と、ボールマウントが正しく行われたかをＣＣＤカ
メラ５にて検査するマウント検査部３と、ＢＧＡフレー
ム８をフラックス供給部１からボールマウント部２、マ
ウント検査部３へと搬送する搬送部４とによりなる。
Ａフレーム８のＢＧＡ基板９にフラックスを転写するた
めのフラックス供給部１と、ＢＧＡフレーム８のＢＧＡ
基板９に半田ボール１２をマウントするボールマウント
部２と、ボールマウントが正しく行われたかをＣＣＤカ
メラ５にて検査するマウント検査部３と、ＢＧＡフレー
ム８をフラックス供給部１からボールマウント部２、マ
ウント検査部３へと搬送する搬送部４とによりなる。
【０００９】ＢＧＡ半田ボールマウント装置でマウント
対象となるＢＧＡ基板９（ワーク）を複数具備するＢＧ
Ａフレーム８は、図２に示すように、内部に６個のＢＧ
Ａ基板９が形成されたもので、図中１１がＢＧＡ基板９
に付されたアライメントマーク１１であり、図中１２が
ＢＧＡ基板９にマウントされた半田ボール１２である。
対象となるＢＧＡ基板９（ワーク）を複数具備するＢＧ
Ａフレーム８は、図２に示すように、内部に６個のＢＧ
Ａ基板９が形成されたもので、図中１１がＢＧＡ基板９
に付されたアライメントマーク１１であり、図中１２が
ＢＧＡ基板９にマウントされた半田ボール１２である。
【００１０】ＢＧＡフレーム８は、図示されていない搬
入装置により搬送部４のコンベヤ（図示されていない）
上に供給される。コンベヤはＢＧＡフレーム８をフラッ
クス供給部１へと搬送する。フラックスを転写後、ＢＧ
Ａフレーム８をボールマウント部２へと搬送する。ボー
ルマウント部２では、半田ボール１２を各ＢＧＡ基板９
にマウントする。半田ボール１２のマウントを終了後、
ＢＧＡフレーム８をマウント検査部３へと搬送する。
入装置により搬送部４のコンベヤ（図示されていない）
上に供給される。コンベヤはＢＧＡフレーム８をフラッ
クス供給部１へと搬送する。フラックスを転写後、ＢＧ
Ａフレーム８をボールマウント部２へと搬送する。ボー
ルマウント部２では、半田ボール１２を各ＢＧＡ基板９
にマウントする。半田ボール１２のマウントを終了後、
ＢＧＡフレーム８をマウント検査部３へと搬送する。
【００１１】マウント検査部３では、半田ボール１２の
マウントがＢＧＡ基板９の所定の位置に正しく行われた
か否かを検査する。マウント検査部３は、ＣＣＤカメラ
５と照明装置１６が一体となったものであり、搬送部４
上方の走行フレーム１３に、水平横方向移動可能に配備
されている。その移動範囲は、ＢＧＡフレーム８内のＢ
ＧＡ基板９を全て検出可能な範囲である。
マウントがＢＧＡ基板９の所定の位置に正しく行われた
か否かを検査する。マウント検査部３は、ＣＣＤカメラ
５と照明装置１６が一体となったものであり、搬送部４
上方の走行フレーム１３に、水平横方向移動可能に配備
されている。その移動範囲は、ＢＧＡフレーム８内のＢ
ＧＡ基板９を全て検出可能な範囲である。
【００１２】照明装置１６内には第１照明と第２照明と
いう２つの照明が設けられている。第１照明は、照明装
置１６内の傾斜面上部に設けられた連続光照明６であ
り、ＢＧＡ基板９のアライメントマーク１１の検査用の
照明である。アライメントマーク１１は、略垂直方向か
らの照射で認識がし易いため、第１照明である連続光照
明６はアライメントマーク１１に対して略垂直方向より
照射している。図３において、照明装置１６内の傾斜面
上部で、ＢＧＡ基板９のアライメントマーク１１の略垂
直方向上部に２段設けられているのが連続光照明６であ
る。
いう２つの照明が設けられている。第１照明は、照明装
置１６内の傾斜面上部に設けられた連続光照明６であ
り、ＢＧＡ基板９のアライメントマーク１１の検査用の
照明である。アライメントマーク１１は、略垂直方向か
らの照射で認識がし易いため、第１照明である連続光照
明６はアライメントマーク１１に対して略垂直方向より
照射している。図３において、照明装置１６内の傾斜面
上部で、ＢＧＡ基板９のアライメントマーク１１の略垂
直方向上部に２段設けられているのが連続光照明６であ
る。
【００１３】第２照明は、照明装置１６内の傾斜面下部
に設けられたストロボ光照明７であり、ボール検査用の
照明である。半田ボール１２は、斜めからの照射で認識
がし易いため、第２照明であるストロボ光照明７は、半
田ボール１２に対してやや角度をつけて照射する。図３
において、照明装置１６内の傾斜面下部で、ＢＧＡ基板
９にマウントされた半田ボール１２の斜め上方に２段設
けられているのがストロボ光照明７である。
に設けられたストロボ光照明７であり、ボール検査用の
照明である。半田ボール１２は、斜めからの照射で認識
がし易いため、第２照明であるストロボ光照明７は、半
田ボール１２に対してやや角度をつけて照射する。図３
において、照明装置１６内の傾斜面下部で、ＢＧＡ基板
９にマウントされた半田ボール１２の斜め上方に２段設
けられているのがストロボ光照明７である。
【００１４】尚、連続光照明６あるいはストロボ光照明
７の数や段数を必要に応じて変化させることが可能であ
る。又、拡散板を取り付けることや照明の角度をそれぞ
れ変化させることも考えられる。
７の数や段数を必要に応じて変化させることが可能であ
る。又、拡散板を取り付けることや照明の角度をそれぞ
れ変化させることも考えられる。
【００１５】連続光照明６とストロボ光照明７の照明光
源としては、何れも白色ＬＥＤを用いる。照明光源に白
色ＬＥＤを使用することにより、光量のアップを図るも
のである。通常利用される赤色ＬＥＤでは光量が不足気
味であり、結果として多数の照明光源を必要とし、取り
付けのための広いスペースを要することとなるのを防止
するためである。尚、連続光とストロボ光は、電気回路
の違いにより区別される。
源としては、何れも白色ＬＥＤを用いる。照明光源に白
色ＬＥＤを使用することにより、光量のアップを図るも
のである。通常利用される赤色ＬＥＤでは光量が不足気
味であり、結果として多数の照明光源を必要とし、取り
付けのための広いスペースを要することとなるのを防止
するためである。尚、連続光とストロボ光は、電気回路
の違いにより区別される。
【００１６】図４は、照明装置１６の他実施例を示す説
明図であり、上部水平位置に左右に並べて設けられてい
るのが連続光照明６であり、傾斜面下部に２段、設けら
れているのがストロボ光照明７である。連続光照明６
が、ＢＧＡ基板９に付されたアライメントマーク１１の
垂直方向上部に確実に位置するよう構成されたものであ
る。
明図であり、上部水平位置に左右に並べて設けられてい
るのが連続光照明６であり、傾斜面下部に２段、設けら
れているのがストロボ光照明７である。連続光照明６
が、ＢＧＡ基板９に付されたアライメントマーク１１の
垂直方向上部に確実に位置するよう構成されたものであ
る。
【００１７】次に、マウント検査部３での検査手順につ
いて説明する。図２に示される複数のＢＧＡ基板９が内
部に形成されたＢＧＡフレーム８は、先ずマウント検査
部３で、先頭のＢＧＡ基板９がＣＣＤカメラ５の画像取
り込み範囲１０で停止する。ここで連続光照明６により
アライメントマーク１１の画像を取り込む。引き続きス
トロボ光照明７で半田ボール１２の画像を取り込むと同
時にＢＧＡフレーム８とＣＣＤカメラ５の相対移動が開
始する。具体的には、ＣＣＤカメラ５が移動する。
いて説明する。図２に示される複数のＢＧＡ基板９が内
部に形成されたＢＧＡフレーム８は、先ずマウント検査
部３で、先頭のＢＧＡ基板９がＣＣＤカメラ５の画像取
り込み範囲１０で停止する。ここで連続光照明６により
アライメントマーク１１の画像を取り込む。引き続きス
トロボ光照明７で半田ボール１２の画像を取り込むと同
時にＢＧＡフレーム８とＣＣＤカメラ５の相対移動が開
始する。具体的には、ＣＣＤカメラ５が移動する。
【００１８】２個目のＢＧＡ基板９がＣＣＤカメラ５の
画像取り込み範囲１０に達すると、ストロボ光照明７を
ＯＮにして、２個目のＢＧＡ基板９の半田ボール１２の
画像を取り込む。ＣＣＤカメラ５を動かしながらの画像
を取り込むタイミング、即ち、ストロボ光照明７のＯＮ
のタイミングは、予めＢＧＡ基板９のピッチを入力して
おき、ＣＣＤカメラ５の動きをエンコーダで観察し、エ
ンコーダの発するパルス数で管理するものである。
画像取り込み範囲１０に達すると、ストロボ光照明７を
ＯＮにして、２個目のＢＧＡ基板９の半田ボール１２の
画像を取り込む。ＣＣＤカメラ５を動かしながらの画像
を取り込むタイミング、即ち、ストロボ光照明７のＯＮ
のタイミングは、予めＢＧＡ基板９のピッチを入力して
おき、ＣＣＤカメラ５の動きをエンコーダで観察し、エ
ンコーダの発するパルス数で管理するものである。
【００１９】最後のＢＧＡ基板９の半田ボール１２の認
識を行う時点で相対移動は停止する。停止後、連続光照
明６によりアライメントマーク１１の画像を取り込む。
尚、マウント検査部３では、画像取り込み後、先頭と最
後のＢＧＡ基板９のアライメントマーク１１によりＢＧ
Ａフレーム８全体の傾きを演算し、傾きを考慮に入れて
ＢＧＡ基板９上の半田ボール１２の位置を算出して、半
田ボール１２のマウント位置の良否を判断している。
識を行う時点で相対移動は停止する。停止後、連続光照
明６によりアライメントマーク１１の画像を取り込む。
尚、マウント検査部３では、画像取り込み後、先頭と最
後のＢＧＡ基板９のアライメントマーク１１によりＢＧ
Ａフレーム８全体の傾きを演算し、傾きを考慮に入れて
ＢＧＡ基板９上の半田ボール１２の位置を算出して、半
田ボール１２のマウント位置の良否を判断している。
【００２０】本検査手順では、ＢＧＡフレーム８上のＢ
ＧＡ基板９の傾きのバラツキは無いとの前提で検査をお
こなっているが、個々のＢＧＡ基板９の傾き差が無視で
きないくらい大きい場合には、ＢＧＡフレーム８の全Ｂ
ＧＡ基板９のアライメントマーク１１を取り込み、個々
の傾きを考慮することもできる。
ＧＡ基板９の傾きのバラツキは無いとの前提で検査をお
こなっているが、個々のＢＧＡ基板９の傾き差が無視で
きないくらい大きい場合には、ＢＧＡフレーム８の全Ｂ
ＧＡ基板９のアライメントマーク１１を取り込み、個々
の傾きを考慮することもできる。
【００２１】
【発明の効果】本発明は如上のように構成されるため、
以下のような効果を発揮する。第１に、本発明は、連続
光でワークに対して略垂直方向から照射する第１照明と
ストロボ光でワークに対してやや角度をつけて照射する
第２照明とを有するため、第１照明によりＢＧＡ基板の
アライメントマークの認識を適正に行うことができ、第
２照明により半田ボールの認識を適正に行うことができ
る照明装置であると同時に、２種類の照明を同一照明装
置内に設けたため、取り付けスペースの縮小を図ること
ができた。
以下のような効果を発揮する。第１に、本発明は、連続
光でワークに対して略垂直方向から照射する第１照明と
ストロボ光でワークに対してやや角度をつけて照射する
第２照明とを有するため、第１照明によりＢＧＡ基板の
アライメントマークの認識を適正に行うことができ、第
２照明により半田ボールの認識を適正に行うことができ
る照明装置であると同時に、２種類の照明を同一照明装
置内に設けたため、取り付けスペースの縮小を図ること
ができた。
【００２２】第２に、１つの照明装置内に配置されたア
ライメントマークの認識に適した第１照明と半田ボール
の検査に適した第２照明を使い分けることにより、従来
１つの照明装置で両方の検査を行った場合に必要として
いた光学系の微調整を必要とせず、調整が容易で確実な
検査が行えることとなった。更に、光学系の微調整を必
要としないため、全体の検査時間の短縮が図られること
となった。
ライメントマークの認識に適した第１照明と半田ボール
の検査に適した第２照明を使い分けることにより、従来
１つの照明装置で両方の検査を行った場合に必要として
いた光学系の微調整を必要とせず、調整が容易で確実な
検査が行えることとなった。更に、光学系の微調整を必
要としないため、全体の検査時間の短縮が図られること
となった。
【図１】マウント装置の全体を示す概要図
【図２】ＢＧＡフレームの平面説明図
【図３】照明装置の一実施例を示す説明図
【図４】照明装置の他実施例を示す説明図
１．．．．．．フラックス供給部 ２．．．．．．ボールマウント部 ３．．．．．．マウント検査部 ４．．．．．．搬送部 ５．．．．．．ＣＣＤカメラ ６．．．．．．連続光照明 ７．．．．．．ストロボ光照明 ８．．．．．．ＢＧＡフレーム ９．．．．．．ＢＧＡ基板 １０．．．．．画像取り込み範囲 １１．．．．．アライメントマーク １２．．．．．半田ボール １３．．．．．走行フレーム １６．．．．．照明装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｇ０１Ｂ 11/24 Ｈ０１Ｌ 23/12 Ｌ Ｆターム(参考） 2F065 AA16 AA49 AA54 BB02 BB07 BB27 CC26 DD06 EE00 FF42 FF67 GG07 GG08 GG13 GG17 GG24 HH12 HH13 HH14 HH18 JJ03 JJ09 JJ26 LL49 MM07 PP02 QQ24 QQ25 RR08 5C072 AA01 BA01 BA03 CA02 EA05 EA08 LA12 VA07 XA10 5F044 KK19 PP00 QQ04 RR00
Claims (1)
- 【請求項１】連続光でワークに対して略垂直方向から照
射する第１照明とストロボ光でワークに対してやや角度
をつけて照射する第２照明とを同一照明装置内に配置し
たことを特徴とするボールマウント装置のマウント検査
部における照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33652798A JP4019293B2 (ja) | 1998-11-11 | 1998-11-11 | マウント検査部における照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33652798A JP4019293B2 (ja) | 1998-11-11 | 1998-11-11 | マウント検査部における照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000150592A true JP2000150592A (ja) | 2000-05-30 |
| JP4019293B2 JP4019293B2 (ja) | 2007-12-12 |
Family
ID=18300062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33652798A Expired - Fee Related JP4019293B2 (ja) | 1998-11-11 | 1998-11-11 | マウント検査部における照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4019293B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003028805A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Kurabo Ind Ltd | 表面性状評価装置 |
| JP2010066273A (ja) * | 2005-06-02 | 2010-03-25 | Byk-Gardner Gmbh | 表面特性測定方法および装置 |
| JP2013545972A (ja) * | 2010-10-14 | 2013-12-26 | コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド | 基板検査方法 |
| JP2015111631A (ja) * | 2013-12-06 | 2015-06-18 | 三星電子株式会社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | 認識装置、認識方法、実装装置及び実装方法 |
-
1998
- 1998-11-11 JP JP33652798A patent/JP4019293B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003028805A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Kurabo Ind Ltd | 表面性状評価装置 |
| JP2010066273A (ja) * | 2005-06-02 | 2010-03-25 | Byk-Gardner Gmbh | 表面特性測定方法および装置 |
| JP2013545972A (ja) * | 2010-10-14 | 2013-12-26 | コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド | 基板検査方法 |
| JP2015111631A (ja) * | 2013-12-06 | 2015-06-18 | 三星電子株式会社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | 認識装置、認識方法、実装装置及び実装方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4019293B2 (ja) | 2007-12-12 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050428 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061026 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A521 | Written amendment |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070821 |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070912 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101005 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111005 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131005 Year of fee payment: 6 |
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