JP2015111631A - 認識装置、認識方法、実装装置及び実装方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】移動している認識対象物を撮像する撮像部と、認識対象物の主面の垂直方向から光を照射する第1の照明部と、主面の斜め方向から光を照射する第2の照明部と、を有し、撮像部により撮像を行う際に認識対象物を照明する照明装置と、撮像部が撮像する画像に基づいて認識対象物の位置を認識する信号処理部と、を備えた認識装置であって、認識対象物にある複数の被撮像領域に応じて、第1の照明部及び第2の照明部から主面への光の照射を制御する。
【選択図】図1
Description
チップカメラ用照明装置52は、図4(a)に示すように、チップカメラ用同軸照明52a(第1の照明部)と、チップカメラ用角度照明52b(第2の照明部)とを含んで構成される。
チップカメラ用同軸照明52aが照射する光は、チップカメラ用レンズ2a内に設けられたハーフミラー2bで反射し、ICチップ4(認識対象物)の主面(撮像するICチップ4の裏面)に垂直方向から同軸照明(Coaxial Light)として入光する。そして、ICチップ4で反射した光は、ICチップ4の主面に対して垂直方向に出射し、ハーフミラーを介してチップカメラ2に入光する。
プレースカメラ用同軸照明53aが照射する光は、プレースカメラ用レンズ10a内に設けられたハーフミラー10bで反射し、回路基板8の主面(ICチップ4が実装される面)に垂直方向から同軸照明として入光する。そして、回路基板8で反射した光は、回路基板8の主面に対して垂直方向に出射し、ハーフミラーを介してプレースカメラ10に入光する。
チップカメラ用照明装置52は、照明コントローラ51から制御信号Trigger_I1Cが入力されている期間、チップカメラ用角度照明52bを点灯(オン)させ、制御信号Trigger_I2Cが入力されている期間、チップカメラ用同軸照明52aを点灯(オフ)させる。
また、プレースカメラ用照明装置53は、照明コントローラ51から制御信号Trigger_I1Pが入力されている期間、プレースカメラ用角度照明53bを点灯させ、制御信号Trigger_I2Pが入力されている期間、プレースカメラ用同軸照明53aを点灯させる。
図8に示すように、基準マーク領域を撮像するので、照明コントローラ51は、制御信号Trigger_I2CをHレベルに維持し、制御信号Trigger_I1CをLレベルに維持している。これにより、基準マーク領域を撮像する期間において、チップカメラ用同軸照明52aは点灯し、チップカメラ用角度照明52bは消灯している。
モーションコントローラ61が、基準マーク領域からバンプ領域に切り替わることを表す制御信号Trigger_Mを照明コントローラ51に出力する。照明コントローラ51は、図8に示すように、時刻t2において制御信号Trigger_I1CをLレベルからHレベルに変化させ、時刻t3において制御信号Trigger_I2CをHレベルからLレベルに変化させる。これにより、チップカメラ用同軸照明52aは消灯し、チップカメラ用角度照明52bが点灯する。
なお、時刻t2と時刻t3と間の時間および時刻t4と時刻t5との間の時間は、チップカメラ用同軸照明52aおよびチップカメラ用角度照明52bの両方が点灯していることになるが、両方を消灯させる期間としてもよい。
ステップS105で信号処理部1は、例えば次のようにしてICチップ4の位置ずれ量や角度ずれ量を計算する。(1)まず、信号処理部1は、予め確認されている輝度ばらつきやレンズ収差を補正するための情報を参照して、チップカメラ2で撮像された撮像画像の所定画素のグレースケール輝度やレンズ収差を補正する画像処理を実行する。ただし、この補正処理は構成によっては省略することができる。(2)次に、信号処理部1は、記憶部14から読み出したICチップ4の設計値に基づいて各バンプ4aに対応した認識対象領域を設定する。(3)次に、信号処理部1は、ステップS202で設定した認識対象領域毎に、各画素の輝度値(=画素値)から輝度値の重心位置を求める。(4)次に、信号処理部1は、各バンプ4aのX座標及びY座標に基づいてICチップ4のX方向のずれ量ΔX、Y方向のずれ量ΔY及び角度ずれ量Δθを求める。
本実施形態の実装装置100では、図9を参照すると、図9(a)においてCoreで示す撮像画像、図9(b)においてAngleで示す撮像画像、図9(c)においてCoreで示す撮像画像を撮像していくことになる。
Claims (6)
- 移動している認識対象物を撮像する撮像部と、
前記認識対象物の主面の垂直方向から光を照射する第1の照明部と、前記主面の斜め方向から光を照射する第2の照明部と、を有し、前記撮像部により撮像を行う際に前記認識対象物を照明する照明装置と、
前記撮像部が撮像する画像に基づいて前記認識対象物の位置を認識する信号処理部と、
を備えた認識装置であって、
前記認識対象物にある複数の被撮像領域に応じて、前記第1の照明部及び前記第2の照明部から前記主面への光の照射を制御する、
ことを特徴とする認識装置。 - 前記認識対象物は半導体チップであり、
前記認識対象物にある複数の被撮像領域には、基準マークが設けられる第1の領域と、バンプが吸着した第2の領域とがあり、
前記第1の領域では、前記第1の照明部をオンさせ、前記第2の照明部をオフさせ、
前記第2の領域では、前記第1の照明部をオフさせ、前記第2の照明部をオンさせる制御を行う、
ことを特徴とする請求項1に記載の認識装置。 - 請求項1または請求項2に記載の信号処理部による認識結果に基づいて前記認識対象物の位置や角度に係る所定の補正制御を行って前記認識対象物を所定の回路基板に実装する、
ことを特徴とする実装装置。 - 移動している認識対象物を撮像する撮像部と、
前記認識対象物の主面の垂直方向から光を照射する第1の照明部と、前記主面の斜め方向から光を照射する第2の照明部と、を有し、前記撮像部により撮像を行う際に前記認識対象物を照明する照明装置と、
前記撮像部が撮像する画像に基づいて前記認識対象物の位置を認識する信号処理部と、を持ち、
前記認識対象物にある複数の被撮像領域に応じて、前記第1の照明部及び前記第2の照明部から前記主面への光の照射を制御する、
ことを特徴とする認識方法。 - 前記認識対象物は半導体チップであり、
前記認識対象物にある複数の被撮像領域には、基準マークが設けられる第1の領域と、バンプが吸着した第2の領域とがあり、
前記第1の領域では、前記第1の照明部をオンさせ、前記第2の照明部をオフさせ、
前記第2の領域では、前記第1の照明部をオフさせ、前記第2の照明部をオンさせる制御を行う、
ことを特徴とする請求項4に記載の認識方法。 - 請求項4または請求項5に記載の信号処理部による認識結果に基づいて前記認識対象物の位置や角度に係る所定の補正制御を行って前記認識対象物を所定の回路基板に実装する、
ことを特徴とする実装方法。
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