JP2007212283A - 外観検査装置及び外観検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円筒体外観検査装置において、回転部6は、円筒体被検査試料1を回転させる。照明部7は、円筒体被検査試料1の円筒面正常部をカメラ5により撮像した撮像画像に円筒体軸に平行となる縞模様が写るように配置される。カメラ5は、円筒体軸と光軸とが直角になるように配置され、縞模様を含む円筒面の領域を予め定められる周方向の分解能に応じた速度で撮像して画像データを出力する。画像処理装置は、カメラ5からの複数の画像データから複数の展開画像データを再構成する画素ラインの中で予め定められる画素ラインの画素を再構成して円筒面に対応する展開画像データを生成し、生成した展開画像データから円筒体被検査試料の円筒面の異常部を検出し検査する。
【選択図】図2
Description
前記円筒体軸と光軸とが直角になるように配置され、回転する前記円筒体の円筒面を連続撮像するカメラと、前記カメラにより撮影された複数画像の画像データの必要な画角のライン画素データから再構成して展開画像データを生成する画像処理部と、前記画像処理部が生成した展開画像データから前記円筒体被検査試料の円筒面の異常部を検出評価して合否判定する異常検査部と、を備えたことを特徴とする外観検査装置である。
画像処理部により補正された複数の展開画像データの同じ位置をマッチングさせて複数の展開画像データから異常部抽出フィルタで異常部の検出を行う構成とした。これにより、異なった照明角や撮像角の展開画像データを用いなければ異常部全体の検出ができないような異常部を、円筒体被検査試料を1回転させることで生成される展開画像データから相互に補完することにより検出することが可能となる。また、これにより、マッチングの容易な照明条件や撮像角の違った複数の展開画像データを用いることで異常部のS/Nをより向上させることも可能となる。
図1から図4は、本実施形態による円筒体外観検査装置10を示す図である。図1は、円筒体外観検査装置10の正面図及び全体構成図である。図2は、円筒体外観検査装置10の円筒体被検査試料1を撮影する装置に係る部分の側面図である。図3は、円筒体外観検査装置10の軸方向搬送部9の側面図である。図4は、画像処理装置8の内部構成を示した概略ブロック図である。
異常判定部88は、異常検出部87により異常として検出されたデータに基づいて全表面を評価して、円筒体被検査試料1が不合格、保留、合格であるかを判定する。
通信部86は、ネットワーク等に接続されており、準備完了や選別指示等の軸方向搬送部9や回転部6との通信、円筒体被検査試料1の情報入力を行うとともに、検査結果や異常部データや画像データや展開画像データ等を外部の装置に送信する。
次に、図6を参照しつつ円筒体外観検査装置10の動作について説明する。
(ステップS1:セッティング)
まず、円筒体被検査試料1をローラ61に配置する。
画像処理装置8が通信部86を通じて試料軸平行照明71と試料軸平行斜角照明72を点灯させる。これにより、カメラ5によって撮像される円筒体被検査試料1の円周面正常部撮像画像に縞模様が写る。
一方、画像処理装置8が通信部86を通じてローラ駆動モータ62を駆動させて、ローラ61を一定の速度で回転させることにより、円筒体被検査試料1を一定の周速度で回転させる。
円筒体被検査試料1が一定周速度回転になり検査可能状態になると、画像処理装置8に撮像画像の画像データ取り込み許可情報をネットワークで送信する。当該画像データ取り込み許可情報を受信した画像処理装置8にて、カメラ5で撮像された1周分以上の複数の画像データを画像処理装置8の送受信部81は受信し、画像記憶部100に取り込む(ステップS4)。画像処理装置8は、いつでも、受信した画像データを出力部85を通じて画像モニタ82に逐次表示させることも、円筒体被検査試料1の指定したところの展開画像データを表示することもできる。
図7は、上記の図5と同様に、試料軸平行照明71と試料軸平行斜角照明72を複数用いた場合の撮像画像であり、多くの撮像角の展開画像データで異常部の検出をさせる場合には照明を複数用いた方が異常検出の際に様々な検出条件を設定することが可能となる点で有利である。
図8は、試料軸平行照明71に照明管が太めの物を1本だけ用いた場合の撮像画像であり、少ない撮像角の展開画像データで検査に必要な十分な異常部抽出が可能な場合や、円筒体被検査試料1の外径や曲がりのバラツキが大きいときに安定させる必要がある場合に有利である。また、図のようなローラ61へ載せて回転する方法では撮像表面が安定しない円筒体被検査試料1では、円筒体被検査試料1の撮像の障害にならない部位の上部に撮像表面を安定させる図示しないガイドローラをおき、そのガイドローラに沿わせて円筒体被検査試料1を回転させる型の回転部6を使うのが有利である。
次に、1周あるいは1周分以上の複数の撮像画像の画像データが画像記憶部100に記録されると、画像再構成部83は、画像記憶部100の展開画像に必要な複数の画像のデータの予め設定されているライン画素データを周方向にデータ再構成して複数の展開画像データを生成する。又、この展開画像再構成は撮像画像のデータの取り込み時に順次行うこともできる。
例えば、緩やかに凹んだような欠陥は、全方向から照明では正常部表面と区別がつかないことが多い。1方向からの照明では凹みの一部しか検知できないことが多く、欠陥が過小評価され不合格にならないことが多い。これに対して、試料軸平行照明71間の複数の暗視野位置の展開画像データではデータ凹みの一部の異常部が明瞭に認識されることが多く、これらの各展開画像データから検出した異常部のデータを総合して解析評価することで、表面異常が凹みによる欠陥と認識でき、明瞭に合否判定できる確率を高めることができる。
次に、異常検出部87は、条件情報記憶部101に記憶されている条件データに基づいて、画像再構成部83により生成された展開画像データから異常部抽出フィルタとその最適パラメータで異常部(異常領域)の検出を行う。
次に、異常判定部88は、異常検出部87により検出された異常部を、予め定められる条件に基づいて判定し、判定結果を出力する。具体的に、異常判定部88が行う判定は、当該外観検査に要求されるレベルの判定基準に基づく判定であり、その判定の方法には以下の2つの方法がある。
10 円筒体外観検査装置
5 カメラ
51 撮像レンズ
52 二次元撮像素子
53 遮光板
6 回転部
61 ローラ
62 ローラ駆動モータ
7 照明部
71 試料軸平行照明
72 試料軸平行斜角照明
73 遮光板
75 照明支持体
8 画像処理装置
9 軸方向搬送部
91 駆動モータ
92 軸方向駆動ローラ
93 駆動ローラリフトアップ機能
200 画像モニタ
Claims (7)
- 円筒体円筒面を検査する外観検査装置であって、
前記円筒体軸と光軸とが直角になるように配置され、回転する前記円筒体の円筒面を連続撮像するカメラと、
前記カメラにより撮影された複数画像の画像データの必要な画角のライン画素データから再構成して展開画像データを生成する画像処理部と、
前記画像処理部が生成した展開画像データから前記円筒体被検査試料の円筒面の異常部を検出評価して合否判定する異常検査部と、
を備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 円筒体円筒面を検査する外観検査装置であって、
前記円筒体軸と光軸とが直角になるように配置され、前記円筒体の回転する円筒面を連続撮像するカメラと、
前記円筒体軸に平行となる縞模様が前記カメラの撮像子に写るように前記円筒体を照明する照明部と、
前記カメラにより撮影された複数画像の画像データから検査条件に基づいて展開画像データを生成する画像処理部と、
前記画像処理部が生成した展開画像データから前記円筒体被検査試料の円筒面の異常部を検出評価して被検査試料の合否判定する異常検査部と、
を備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 円筒体被検査試料の円筒面を検査する外観検査装置であって、
前記円筒体被検査試料を回転させる回転部と、
前記円筒体被検査試料の円筒面に前記円筒体軸に平行となる縞模様が映るように配置される照明部と、
前記円筒体軸と光軸とが直角になるように配置され、前記縞模様を含む前記円筒面の領域を予め定められる周方向の分解能に応じた速度で撮像して画像データを出力するカメラと、
前記カメラから出力される複数画像の画像データから予め定められるライン画素データを抽出し、抽出したライン画素データを再構成して展開画像データを生成する画像処理部と、
前記画像処理部が生成した展開画像データに基づいて、前記円筒体被検査試料の円筒面の異常部を検出し、検出した異常部により円筒体被検査試料の円筒面の異常を評価して被検査試料の合否判定する異常検査部と、
を備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 前記画像処理部は、
前記展開画像データを、前記ライン画素データごとに複数生成し、生成した複数の展開画像データに対して前記円筒面の位置に対応するように抽出元の画素データのラインに応じた画素位置の補正を行い、
前記異常検査部は、
前記画像処理部により補正された複数の展開画像データの同じ位置をマッチングさせて前記複数の展開画像データから異常部抽出フィルタで異常部の検出を行う
ことを特徴とする請求項3に記載の外観検査装置。 - 前記照明部は、
前記円筒体被検査試料の円筒体軸と平行に前記縞模様が前記カメラの前記円筒面の撮像画像に写るように前記カメラの中央軸を挟んで左と右に配置する複数の試料軸平行照明
を備えることを特徴とする請求項3または4に記載の外観検査装置。 - 光を照射する照明装置と、撮像した画像の画像データを出力するカメラと、画像データを処理する画像処理装置とを用いて円筒体被検査試料の円筒面を検査する外観検査方法であって、
前記円筒体被検査試料を回転させる第1の工程と、
前記円筒体被検査試料の円筒面に前記円筒体軸に平行となる縞模様が映るように前記円筒面を照明する第2の工程と、
前記円筒体軸と光軸とが直角になるように配置されるカメラが、前記縞模様を含む前記円筒面の領域を予め定められる周方向の分解能に応じた速度で撮像して画像データを出力する第3の工程と、
前記画像処理装置が、前記カメラから出力される複数画像の画像データから予め定められるライン画素データを抽出し、抽出したライン画素データを再構成して展開画像データを生成する第4の工程と、
前記画像処理装置が、生成した展開画像データに基づいて、前記円筒体被検査試料の円筒面の異常部を検出し、検出した異常部により円筒体被検査試料の円筒面の異常を評価して被検査試料の合否判定する第5の工程と、
を含むことを特徴とする円筒体外観検査方法。 - 前記第4の工程は、
前記円筒面に対応する展開画像データを、前記ライン画素データごとに複数生成し、生成した複数の展開画像データに対して前記円筒面の位置に対応するように抽出元の画素データのラインに応じた画素位置の補正を行う工程を含み、
前記第5の工程は、
補正された複数の展開画像データの同じ位置をマッチングさせて前記複数の展開画像データから異常部抽出フィルタで異常部の検出を行う工程
を含むことを特徴とする請求項6に記載の外観検査方法。
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