WO2012153718A1 - ガラスシートの端面検査方法、及びガラスシートの端面検査装置 - Google Patents

ガラスシートの端面検査方法、及びガラスシートの端面検査装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2012153718A1
WO2012153718A1 PCT/JP2012/061707 JP2012061707W WO2012153718A1 WO 2012153718 A1 WO2012153718 A1 WO 2012153718A1 JP 2012061707 W JP2012061707 W JP 2012061707W WO 2012153718 A1 WO2012153718 A1 WO 2012153718A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
glass sheet
face
imaging camera
end surface
light
Prior art date
Application number
PCT/JP2012/061707
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
陽祐 河邑
広貴 工藤
清隆 末安
伸明 高橋
Original Assignee
コニカミノルタホールディングス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by コニカミノルタホールディングス株式会社 filed Critical コニカミノルタホールディングス株式会社
Priority to JP2013514009A priority Critical patent/JPWO2012153718A1/ja
Publication of WO2012153718A1 publication Critical patent/WO2012153718A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • G01N2021/8965—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod using slant illumination, using internally reflected light

Definitions

  • the present invention relates to a glass sheet end face inspection method and a glass sheet end face inspection apparatus.
  • glass sheet In sheet-like glass (hereinafter referred to as a glass sheet), it is necessary to inspect for the presence or absence of defects on the end face because defects on the end face produced in the manufacturing process may reduce the strength.
  • Patent Documents 1 and 2 propose a method of optically detecting defects on the end face by applying a so-called dark field illumination method using cameras and light sources arranged above and below a glass sheet.
  • a so-called dark field illumination method using cameras and light sources arranged above and below a glass sheet.
  • light emitted from the lower light source and transmitted through the end surface of the glass sheet is captured by the upper camera, so that a chip (defect) existing on the end surface is shined and used as a bright portion (white portion) in the image. Detected.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to detect a defect existing on an end surface of a glass sheet, and to easily grasp the planar state of the end surface, and a glass sheet end surface inspection method, and a glass sheet It is an object to provide an end face inspection apparatus.
  • a glass sheet end surface inspection method in which the end surface of a glass sheet is irradiated with light from a light source, the end surface is imaged with an imaging camera, and the presence or absence and a planar state of the end surface are inspected based on the captured image.
  • the light source and the imaging camera are arranged so as to sandwich the glass sheet in the thickness direction between the light source and the imaging camera,
  • the irradiation light emitted from the light source is incident on the end surface from one main surface of the glass sheet to be irradiated on the end surface, and is internally reflected by the end surface and emitted from the other main surface of the glass sheet.
  • the light is captured by the imaging camera.
  • Invention of Claim 2 is the end surface inspection method of the glass sheet of Claim 1,
  • the irradiation angle formed by the central direction of the illumination range of the light source and one main surface of the glass sheet, and the imaging angle formed by the central direction of the visual field range of the imaging camera and the other main surface of the glass sheet, All of them are within the range of 30 ° to 60 ° and are substantially identical to each other.
  • Invention of Claim 3 is the end surface inspection method of the glass sheet of Claim 2,
  • the irradiation angle and the imaging angle are both in the range of 40 ° to 50 °.
  • the invention according to claim 4 is the glass sheet end surface inspection method according to any one of claims 1 to 3, An image processing step of processing an image captured by the imaging camera; In the image processing step, For each of the end faces in the image captured by the imaging camera, calculate the light amount values of a plurality of minute sections with a constant width along the extending direction of the end faces while overlapping a part with the adjacent ones, While sequentially calculating the difference in light quantity value between two consecutive minute sections and the difference in the light quantity value exceeds a predetermined threshold, if there is a minute scratch as the defect between the minute sections Judgment, The total number of the scratches for all the minute sections in the image is counted, and when the total number of the scratches exceeds a predetermined reference value, it is determined that a large defect exists on the end surface in the image, To do.
  • the invention according to claim 5 is the glass sheet end surface inspection method according to any one of claims 1 to 4, While the glass sheet is conveyed along the extending direction of the end face, the end face is continuously inspected for defects.
  • the invention according to claim 6 is the glass sheet end surface inspection method according to any one of claims 1 to 5, An image captured by the imaging camera is stored in a storage unit.
  • a glass sheet end surface inspection apparatus that includes a light source that irradiates light on an end surface of a glass sheet and an imaging camera that captures the end surface, and inspects the presence or absence and a planar state of the end surface based on the captured image.
  • the light source and the imaging camera are: Irradiation light from the light source enters the glass sheet from one main surface of the glass sheet and is irradiated to the end surface, and is internally reflected at the end surface and emitted from the other main surface of the glass sheet. It arrange
  • the invention according to claim 8 is the glass sheet end surface inspection device according to claim 7,
  • the light source and the imaging camera include an irradiation angle formed by a central direction of the illumination range of the light source and one main surface of the glass sheet, and a central direction of the visual field range of the imaging camera and the other main of the glass sheet.
  • the imaging angles formed with the surface are all in the range of 30 ° to 60 ° and are arranged to be substantially the same.
  • the invention according to claim 9 is the glass sheet end surface inspection device according to claim 8,
  • the irradiation angle and the imaging angle are both in the range of 40 ° to 50 °.
  • the invention according to claim 10 is the glass sheet end surface inspection device according to any one of claims 7 to 9, Comprising image processing means for processing an image captured by the imaging camera;
  • the image processing means includes For each of the end faces in the image captured by the imaging camera, calculate the light amount values of a plurality of minute sections with a constant width along the extending direction of the end faces while overlapping a part with the adjacent ones, While sequentially calculating the difference in light quantity value between two consecutive minute sections and the difference in the light quantity value exceeds a predetermined threshold, if there is a minute scratch as the defect between the minute sections Judgment, The total number of the scratches for all the minute sections in the image is counted, and when the total number of the scratches exceeds a predetermined reference value, it is determined that a large defect exists on the end surface in the image, To do.
  • the invention according to claim 11 is the glass sheet end surface inspection device according to any one of claims 7 to 10, A transport means for transporting the glass sheet along the extending direction of the end face; While the said glass sheet is conveyed along the extension direction of the said end surface by the said conveyance means, the presence or absence of the defect of the said end surface is continuously test
  • inspected It is characterized by the above-mentioned.
  • the invention described in claim 12 is the glass sheet end surface inspection device according to any one of claims 7 to 11, Storage means for storing an image captured by the imaging camera is provided.
  • the light source and the imaging camera are arranged so as to sandwich the glass sheet in the thickness direction, and the irradiation light from the light source enters the glass sheet from one main surface of the glass sheet and enters the end surface. Irradiated, internally reflected at this end face and emitted from the other main surface of the glass sheet is captured by the imaging camera, so if there is a defect on the end face, the light irradiated to the defect As a result of being refracted / reflected, the light deviates from the light path incident on the imaging camera. Therefore, the defect which exists in the end surface of a glass sheet can be detected as a dark part in an image.
  • the planar state of the end face including the defect is determined by the distribution of the light amount (brightness) compared to the conventional case where the healthy part is a dark part. It can be easily grasped.
  • FIG. 1 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a glass sheet end surface inspection device (hereinafter simply referred to as an end surface inspection device) 1 in the present embodiment
  • FIG. 2 is a perspective view of an inspection unit 2 provided in the end surface inspection device 1. It is.
  • the end surface inspection apparatus 1 images the end surface Ga in the width direction of a sheet-like glass (hereinafter referred to as a glass sheet) G, and based on the captured image, whether there is a defect in the end surface Ga and It is an apparatus for inspecting the planar state, and includes an inspection unit 2 that images the end face Ga while conveying the glass sheet G.
  • a glass sheet a sheet-like glass
  • the inspection unit 2 includes a transport unit 21, two sets of light sources 22 and an imaging camera 23.
  • the conveyance unit 21 includes a conveyance table 211 on which the glass sheet G is placed, and a conveyance actuator 212 that moves the conveyance table 211 along the conveyance direction X.
  • the glass sheet G placed on the transport table 211 is supported by the transport table 211 at the center in the width direction of the lower surface Gb with both end surfaces Ga, Ga in the width direction extending along the transport direction X.
  • the glass sheet G is an extremely thin thin-film glass having a length along the transport direction X of about 300 mm and a thickness of 200 ⁇ m or less, which is substantially uniform, although not particularly limited.
  • the two sets of the light source 22 and the imaging camera 23 individually illuminate and image both end faces Ga and Ga of the glass sheet G.
  • the light sources 22 and 22 emit blue light as irradiation light
  • the imaging cameras 23 and 23 are cameras capable of continuous shooting or moving image shooting.
  • the light source 22 and the imaging camera 23 are arranged below the glass sheet G so that the glass sheet G is sandwiched in the thickness direction of the glass sheet G in each set.
  • 23 is disposed above the glass sheet G, and the light emitting surface 22a and the lens surface 23a are directed to the corresponding end surface Ga.
  • the light source 22 interposes the lower surface Gb of the glass sheet G so that the irradiation light enters the glass sheet G from the lower surface Gb of the glass sheet G and is irradiated to the end surface Ga from the inside.
  • the light emitting surface 22a is directed to the end face Ga.
  • the imaging camera 23 is irradiated from the inside of the glass sheet G from the inside of the glass sheet G by the light source 22, and then is internally reflected by the end face Ga (a healthy thing without defects) and emitted from the upper surface Gc of the glass sheet G.
  • the lens surface 23a is directed to the end surface Ga while interposing the upper surface Gc of the glass sheet G so that light can be captured.
  • the irradiation angle ⁇ 1 formed by the center direction of the illumination range of the light source 22 and the lower surface Gb of the glass sheet G, and the imaging angle ⁇ 2 formed by the center direction of the field of view range of the imaging camera 23 and the upper surface Gc of the glass sheet G are These are both in the range of 30 ° to 60 ° and are substantially the same.
  • the irradiation angle ⁇ 1 and the imaging angle ⁇ 2 are more preferably in the range of 40 ° to 50 °.
  • the end surface inspection apparatus 1 is provided with the control part 3 and the image process part 4, as shown in FIG.
  • the control unit 3 is electrically connected to the inspection unit 2 and the image processing unit 4 and configured to control these operations.
  • the light sources 22 and 22 are turned on / off.
  • the shutter speed and imaging timing of the imaging cameras 23 and 23, the driving of the transport actuator 212, and the like can be controlled.
  • the image processing unit 4 processes an image captured by the imaging cameras 23 and 23 to detect a defect in the end face Ga.
  • the image processing unit 4 is connected to the memory 5 and the display 6, and in response to a control command from the control unit 3, the image captured by the imaging cameras 23 and 23 and the processing result are stored in the memory 5, It can be displayed on the display 6.
  • the transport table 211 is moved at a predetermined transport speed.
  • the glass sheet G on the conveyance table 211 is conveyed.
  • the imaging cameras 23 and 23 are arranged at a predetermined shutter speed corresponding to the conveyance speed so that the end face Ga does not overlap between successive images while the end face Ga having a length of 20 mm along the extending direction is accommodated in one image. Take an image.
  • the irradiation light from the light source 22 enters the glass sheet G from the lower surface Gb of the glass sheet G and is irradiated to the end face Ga. After being internally reflected by the end face Ga and emitted from the upper surface Gc of the glass sheet G, it is captured by the imaging camera 23.
  • the light irradiated to the defect C out of the light irradiated to the end face Ga is refracted / reflected by the defect C as shown in FIG. 4B. As a result, it deviates from the optical path incident on the imaging camera 23. Thereby, in the image imaged with the imaging camera 23, the defect C becomes a dark part, and the healthy part of the end surface Ga other than the defect C becomes a bright part (white part).
  • the irradiation angle ⁇ 1 of the light source 22 and the imaging angle ⁇ 2 of the imaging camera 23 are both in the range of 30 ° to 60 °, and more preferably in the range of 40 ° to 50 °, they are incident on the imaging camera 23. It is possible to obtain an image that makes it easier to grasp the planar state of the end face Ga while securing a larger amount of light. Specifically, by setting the irradiation angle ⁇ 1 and the imaging angle ⁇ 2 to 30 ° or more, more preferably 40 ° or more, the light emitted from the light source 22 enters the glass sheet G without being reflected by the lower surface Gb. Therefore, a larger amount of light incident on the imaging camera 23 can be ensured.
  • the light source 22 is prevented from entering the viewing angle of the imaging camera 23 and the end face Ga is captured from the front.
  • An image in which the planar state of the end face Ga can be easily grasped can be obtained.
  • the irradiation angle ⁇ 1 and the imaging angle ⁇ 2 are 90 ° or more, that is, when the end face Ga is illuminated and imaged from the side of the glass sheet G as shown in FIGS. 5A and 5B, The end face Ga cannot be imaged satisfactorily.
  • the irradiation angle ⁇ 1 and the imaging angle ⁇ 2 are in the range of 90 ° to 110 °, the light source 22 enters the viewing angle of the imaging camera 23 as shown in FIG. 5A.
  • the irradiation angle ⁇ 1 and the imaging angle ⁇ 2 are in the range of 110 ° to 180 °, as shown in FIG. 5B, more light is incident on the glass sheet G than the reflected light on the end face Ga. For this reason, the amount of light incident on the imaging camera 23 decreases.
  • this image is processed by the image processing unit 4, and the presence or absence of a defect in the end face Ga is inspected.
  • the image processing unit 4 processes the image captured by the imaging camera 23 for each minute section having a width of 5 pixels along the extending direction of the end face Ga.
  • the light amount value (brightness value) in the minute section is calculated with 255 gradations (step S1). However, 4 pixels of 5 pixel widths overlap between adjacent minute sections.
  • the image processing unit 4 sequentially calculates a difference in light amount value between two consecutive minute sections (step S2), and when the difference in light amount value exceeds a predetermined threshold value, It is determined that a minute flaw (defect C) exists between the minute sections (step S3).
  • the image processing unit 4 counts the total number of scratches for all minute sections in one image (step S4), and when the total number of scratches exceeds a predetermined reference value, the end face in the image It is determined that there is a large “defect” that can reduce the strength of Ga (step S5). Since the total number of scratches on the end face Ga has a correlation with the breaking stress of the glass sheet G as shown in FIG. 7, it is ignored if it is less than a predetermined reference value that can be determined not to affect the strength. It doesn't matter.
  • FIG. 7 is a graph showing the relationship between the number of scratches on the end face Ga in the glass sheet G having a thickness of 0.1 mm cut into 20 mm square and its breaking stress.
  • the “number of flaws” on the horizontal axis is a value obtained by adding the total number of flaws counted in the above-described step S4 for each end face Ga of 20 mm in length at both end faces Ga, Ga, and the “breaking stress” on the vertical axis is It is the rupture stress measured by a three-point bending test with an evaluation length of 20 mm for the glass sheet G from which the “number of scratches” was obtained.
  • the break strength for each specific area of the glass sheet G can be estimated in a non-contact manner only by counting the total number of scratches on the end face Ga.
  • the low strength It is possible to prevent secondary damage such as breakage by detecting the location in advance.
  • the calculation / determination result by the image processing unit 4 is stored in the memory 5 together with the image captured by the imaging camera 23 and displayed on the display 6.
  • both end faces Ga and Ga are continuously inspected over the entire length of the glass sheet G. Further, by checking the captured image on the display 6 while reading it from the memory 5 as necessary, the planar state of the end face Ga is appropriately visually inspected.
  • the light irradiated on the defect C is refracted / reflected by the defect C. Since it deviates from the optical path incident on the imaging camera 23, the defect C existing on the end face Ga of the glass sheet G can be detected as a dark part in the image.
  • the healthy part of the end face Ga other than the defect C can be a bright part in the image, the planar state of the end face Ga including the defect C is light intensity (brightness) compared to the conventional case where the healthy part is a dark part. ) Distribution can be easily grasped.
  • the irradiation angle ⁇ 1 of the light source 22 and the imaging angle ⁇ 2 of the imaging camera 23 are both in the range of 30 ° to 60 °, more preferably in the range of 40 ° to 50 °, the amount of light incident on the imaging camera 23 It is possible to obtain an image that makes it easier to grasp the planar state of the end face Ga while ensuring more. Furthermore, since a large amount of light incident on the imaging camera 23 can be secured, even when the conveyance speed of the glass sheet G is relatively fast, the shutter speed of the imaging camera 23 can be increased and good imaging can be performed. , Can take a deep depth of field.
  • the image captured by the imaging camera 23 is stored in the memory 5, the image of the end face Ga can be read from the memory 5 as necessary. Thereby, for example, after the breakage of the glass sheet G occurs, it is possible to read and confirm the image of the end face Ga of the part that is the starting point of the breakage from the memory 5.
  • the light source 22 emits blue light as the irradiation light, the irregular reflection at the defect C can be increased and the detection accuracy of the defect C can be increased by using the blue light having a short wavelength.
  • the light amount value is calculated for a minute section in which four pixels out of adjacent ones and five pixels wide are overlapped, and between successive minute sections.
  • the difference between the light intensity values is compared with a predetermined threshold value to determine the presence or absence of minute scratches.
  • the minute sections are assumed to have one continuous pixel width without overlapping, and the light intensity value is determined for each minute section.
  • the presence or absence of minute scratches may be determined by comparing with a certain threshold value.
  • the former using a minute section with a large width is preferable in that noise during image processing can be suppressed.
  • the glass sheet G is not limited to a plate shape as shown in FIG. 2, but may be a sheet shape, for example, a long thin film glass conveyed by a roll-to-roll method.
  • the glass sheet end face inspection method and the glass sheet end face inspection apparatus according to the present invention are useful for detecting defects existing on the end face of the glass sheet and grasping the planar state of the end face.

Abstract

光源２２及び撮像カメラ２３を、ガラスシートＧを厚さ方向に挟むように上下に配置し、光源２２からの照射光をガラスシートＧの下面Ｇｂから当該ガラスシートＧ内に入射させて端面Ｇａに照射させ、当該端面Ｇａで内部反射されてガラスシートＧの上面Ｇｃから出射した当該照射光を撮像カメラ２３で捉える。

Description

ガラスシートの端面検査方法、及びガラスシートの端面検査装置
　本発明は、ガラスシートの端面検査方法、及びガラスシートの端面検査装置に関する。
　シート状のガラス（以下、ガラスシートという）においては、製造工程で生じた端面の欠陥が強度を低下させる恐れがあるため、この端面における欠陥の有無を検査する必要がある。
　そこで、例えば特許文献１，２では、ガラスシートの上下に配置したカメラ及び光源を用い、いわゆる暗視野照明法を応用して端面の欠陥を光学的に検出する方法が提案されている。この方法では、下方の光源から照射されてガラスシートの端面を透過した光が上方のカメラで捉えられることにより、端面に存在するカケ（欠陥）を光らせ、画像中の明部（白色部）として検出している。
特開２００１－１５３８１６号公報 特開２００５－１５６２５４号公報
　しかしながら、上記特許文献１，２に記載の方法では、端面の欠陥を画像中の明部として検出しているため、欠陥のない健全部分が一様に暗部となってしまい、画像から端面の平面状態を把握することが困難であった。
　本発明は、上記事情を鑑みてなされたもので、ガラスシートの端面に存在する欠陥を検出するとともに、当該端面の平面状態を容易に把握することができるガラスシートの端面検査方法、及びガラスシートの端面検査装置の提供を課題とする。
　前記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
　ガラスシートの端面に光源からの光を照射しつつ当該端面を撮像カメラで撮像し、撮像された画像に基づいて前記端面の欠陥の有無及び平面状態を検査するガラスシートの端面検査方法であって、
　前記光源と前記撮像カメラとで前記ガラスシートを厚さ方向に挟むように、当該光源及び当該撮像カメラを配置し、
　前記光源からの照射光を前記ガラスシートの一方の主面から当該ガラスシート内に入射させて前記端面に照射させ、当該端面で内部反射されて前記ガラスシートの他方の主面から出射した前記照射光を前記撮像カメラで捉えることを特徴とする。
　請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のガラスシートの端面検査方法において、
　前記光源の照明範囲の中心方向と前記ガラスシートの一方の主面とのなす照射角度、及び、前記撮像カメラの視野範囲の中心方向と前記ガラスシートの他方の主面とのなす撮像角度が、何れも３０°～６０°の範囲内であって互いに略同一であることを特徴とする。
　請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のガラスシートの端面検査方法において、
　前記照射角度及び前記撮像角度が、何れも４０°～５０°の範囲内であることを特徴とする。
　請求項４に記載の発明は、請求項１～３の何れか一項に記載のガラスシートの端面検査方法において、
　前記撮像カメラで撮像された画像を処理する画像処理工程を備え、
　前記画像処理工程では、
　前記撮像カメラで撮像された画像中の前記端面について、隣り合うものと一部を重複させつつ当該端面の延在方向に沿った一定幅の複数の微小区間の光量値をそれぞれ算出し、
　連続する２つの微小区間の間での光量値の差を順次算出しつつ、この光量値の差が所定の閾値を越えた場合に、当該微小区間の間に前記欠陥として微小な傷が存在すると判定し、
　当該画像中の全微小区間についての前記傷の総数を計数し、当該傷の総数が所定の基準値を越えた場合に、当該画像中の前記端面に大きな欠陥が存在すると判定することを特徴とする。
　請求項５に記載の発明は、請求項１～４の何れか一項に記載のガラスシートの端面検査方法において、
　前記ガラスシートを前記端面の延在方向に沿って搬送させつつ、前記端面の欠陥の有無を連続的に検査することを特徴とする。
　請求項６に記載の発明は、請求項１～５の何れか一項に記載のガラスシートの端面検査方法において、
　前記撮像カメラで撮像された画像を記憶手段に記憶させることを特徴とする。
　請求項７に記載の発明は、
　ガラスシートの端面に光を照射する光源と、当該端面を撮像する撮像カメラとを備え、撮像された画像に基づいて前記端面の欠陥の有無及び平面状態を検査するガラスシートの端面検査装置であって、
　前記光源及び前記撮像カメラは、
　当該光源からの照射光が前記ガラスシートの一方の主面から当該ガラスシート内に入射して前記端面に照射され、当該端面で内部反射されて前記ガラスシートの他方の主面から出射した前記照射光が当該撮像カメラで捉えられるように、前記ガラスシートを厚さ方向に挟むように配置されていることを特徴とする。
　請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のガラスシートの端面検査装置において、
　前記光源及び前記撮像カメラは、当該光源の照明範囲の中心方向と前記ガラスシートの一方の主面とのなす照射角度、及び、当該撮像カメラの視野範囲の中心方向と前記ガラスシートの他方の主面とのなす撮像角度が、何れも３０°～６０°の範囲内であって互いに略同一となるように配置されていることを特徴とする。
　請求項９に記載の発明は、請求項８に記載のガラスシートの端面検査装置において、
　前記照射角度及び前記撮像角度が、何れも４０°～５０°の範囲内であることを特徴とする。
　請求項１０に記載の発明は、請求項７～９の何れか一項に記載のガラスシートの端面検査装置において、
　前記撮像カメラで撮像された画像を処理する画像処理手段を備え、
　前記画像処理手段は、
　前記撮像カメラで撮像された画像中の前記端面について、隣り合うものと一部を重複させつつ当該端面の延在方向に沿った一定幅の複数の微小区間の光量値をそれぞれ算出し、
　連続する２つの微小区間の間での光量値の差を順次算出しつつ、この光量値の差が所定の閾値を越えた場合に、当該微小区間の間に前記欠陥として微小な傷が存在すると判定し、
　当該画像中の全微小区間についての前記傷の総数を計数し、当該傷の総数が所定の基準値を越えた場合に、当該画像中の前記端面に大きな欠陥が存在すると判定することを特徴とする。
　請求項１１に記載の発明は、請求項７～１０の何れか一項に記載のガラスシートの端面検査装置において、
　前記ガラスシートを前記端面の延在方向に沿って搬送させる搬送手段を備え、
　前記搬送手段により前記ガラスシートを前記端面の延在方向に沿って搬送しつつ、前記端面の欠陥の有無を連続的に検査することを特徴とする。
　請求項１２に記載の発明は、請求項７～１１の何れか一項に記載のガラスシートの端面検査装置において、
　前記撮像カメラで撮像された画像を記憶する記憶手段を備えることを特徴とする。
　本発明によれば、光源と撮像カメラとがガラスシートを厚さ方向に挟むように配置されて、光源からの照射光がガラスシートの一方の主面から当該ガラスシート内に入射して端面に照射され、この端面で内部反射されてガラスシートの他方の主面から出射した当該照射光が撮像カメラで捉えられるので、端面に欠陥があった場合には、欠陥に照射された光が当該欠陥で屈折／反射される結果、この光は撮像カメラに入射する光路から外れる。
　したがって、ガラスシートの端面に存在する欠陥を画像中の暗部として検出することができる。また、欠陥以外の端面の健全部分を画像中の明部とすることができるため、当該健全部分が暗部となっていた従来に比べ、欠陥を含む端面の平面状態を光量（明度）の分布によって容易に把握することができる。
実施形態におけるガラスシートの端面検査装置の概略構成を示すブロック図である。 実施形態における検査部の斜視図である。 実施形態における光源及び撮像カメラの配置を説明するための図である。 実施形態におけるガラスシートの端面に欠陥が無い場合での光源からの光路を説明するための図である。 実施形態におけるガラスシートの端面に欠陥がある場合での光源からの光路を説明するための図である。 好ましくない光源及び撮像カメラの配置例を説明するための図である。 好ましくない光源及び撮像カメラの配置例を説明するための図である。 実施形態における画像処理工程のフロー図である。 ガラスシートの端面の傷の総数と破断強度との関係を示す図である。
　以下、本発明の実施形態について、図を参照して説明する。
　図１は、本実施形態におけるガラスシートの端面検査装置（以下、単に端面検査装置という）１の概略構成を示すブロック図であり、図２は、端面検査装置１が備える検査部２の斜視図である。
　これらの図に示すように、端面検査装置１は、シート状のガラス（以下、ガラスシートという）Ｇの幅方向の端面Ｇａを撮像し、撮像された画像に基づいて端面Ｇａの欠陥の有無及び平面状態を検査する装置であり、ガラスシートＧを搬送しつつ端面Ｇａを撮像する検査部２を備えている。
　検査部２は、搬送部２１と、２組の光源２２及び撮像カメラ２３とを備えている。
　このうち、搬送部２１は、ガラスシートＧが載置される搬送台２１１と、搬送台２１１を搬送方向Ｘに沿って移動させる搬送アクチュエータ２１２とを備えている。搬送台２１１上に載置されるガラスシートＧは、幅方向の両端面Ｇａ，Ｇａが搬送方向Ｘに沿って延在した状態で、下面Ｇｂの幅方向中央で搬送台２１１に支持されている。また、このガラスシートＧは、特に限定はされないが、搬送方向Ｘに沿った長さが約３００ｍｍであり、厚さが２００μｍ以下で略均一とされた極めて薄い薄膜ガラスである。
　２組の光源２２及び撮像カメラ２３は、ガラスシートＧの両端面Ｇａ，Ｇａを個別に照明・撮像する。光源２２，２２は、照射光として青色光を出射するものであり、撮像カメラ２３，２３は、連続撮影又は動画撮影が可能なカメラである。これら光源２２及び撮像カメラ２３は、図３に示すように、各組でガラスシートＧを当該ガラスシートＧの厚さ方向に挟むように、光源２２がガラスシートＧの下方に配置され、撮像カメラ２３がガラスシートＧの上方に配置されて、対応する端面Ｇａに発光面２２ａ及びレンズ面２３ａを向けている。
　より詳細には、光源２２は、その照射光がガラスシートＧの下面Ｇｂから当該ガラスシートＧ内に入射して内部から端面Ｇａに照射されるように、ガラスシートＧの下面Ｇｂを介在させつつ端面Ｇａに発光面２２ａを向けている。一方、撮像カメラ２３は、光源２２によってガラスシートＧの内部から端面Ｇａに照射された後に、当該端面Ｇａ（欠陥のない健全なもの）で内部反射されてガラスシートＧの上面Ｇｃから出射した照射光を捉えることができるように、ガラスシートＧの上面Ｇｃを介在させつつ端面Ｇａにレンズ面２３ａを向けている。このとき、光源２２の照明範囲の中心方向とガラスシートＧの下面Ｇｂとのなす照射角度θ１、及び、撮像カメラ２３の視野範囲の中心方向とガラスシートＧの上面Ｇｃとのなす撮像角度θ２は、何れも３０°～６０°の範囲内であって互いに略同一となっている。なお、この照射角度θ１及び撮像角度θ２は、何れも４０°～５０°の範囲内であることがより好ましい。
　また、端面検査装置１は、図１に示すように、制御部３と、画像処理部４とを備えている。
　このうち、制御部３は、検査部２及び画像処理部４と電気的に接続されて、これらの動作を制御可能に構成されており、具体的には、光源２２，２２の点灯／消灯や、撮像カメラ２３，２３のシャッター速度及び撮像タイミング、搬送アクチュエータ２１２の駆動などを制御可能に構成されている。
　画像処理部４は、撮像カメラ２３，２３で撮像された画像を処理して端面Ｇａの欠陥を検出するものである。この画像処理部４は、メモリ５やディスプレイ６と接続されており、制御部３からの制御指令に応じて、撮像カメラ２３，２３で撮像された画像や処理結果をメモリ５に記憶させたり、ディスプレイ６に表示させたりすることが可能となっている。
　続いて、端面検査装置１によるガラスシートＧの端面検査方法について説明する。
　まず、制御部３からの制御指令により、光源２２，２２及び撮像カメラ２３，２３が点灯状態及び撮像状態とされた後に、搬送アクチュエータ２１２が駆動されると、搬送台２１１が所定の搬送速度で搬送方向Ｘへ移動して、搬送台２１１上のガラスシートＧが搬送される。
　そして、ガラスシートＧが光源２２及び撮像カメラ２３の間を搬送されるときに、両端面Ｇａ，Ｇａが光源２２，２２で照明されつつ撮像カメラ２３，２３で連続的に撮像される。撮像カメラ２３，２３は、延在方向に沿った２０ｍｍ長さの端面Ｇａを１つの画像に収めつつ、連続する画像間で端面Ｇａが重複しないように、搬送速度に応じた所定のシャッター速度で撮像する。
　このとき、端面Ｇａに欠陥が無い場合には、図４Ａに示すように、光源２２からの照射光が、ガラスシートＧの下面Ｇｂから当該ガラスシートＧ内に入射して端面Ｇａに照射され、端面Ｇａで内部反射されてガラスシートＧの上面Ｇｃから出射した後に、撮像カメラ２３で捉えられる。
　一方、端面Ｇａに欠陥Ｃがあった場合には、図４Ｂに示すように、上記と同様に端面Ｇａに照射された光のうち欠陥Ｃに照射された光は、当該欠陥Ｃで屈折／反射される結果、撮像カメラ２３に入射する光路から外れる。
　これにより、撮像カメラ２３で撮像された画像では、欠陥Ｃが暗部となり、欠陥Ｃ以外の端面Ｇａの健全部分が明部（白色部）となる。
　またこのとき、光源２２の照射角度θ１及び撮像カメラ２３の撮像角度θ２が何れも３０°～６０°の範囲内，より好ましくは４０°～５０°の範囲内であるので、撮像カメラ２３に入射する光量をより多く確保しつつ、端面Ｇａの平面状態の把握がより容易な画像を得ることができる。
　具体的には、照射角度θ１及び撮像角度θ２を３０°以上，より好ましくは４０°以上とすることにより、光源２２から出射された光が下面Ｇｂで反射することなくガラスシートＧ内に入射するため、撮像カメラ２３に入射する光量をより多く確保することができる。また、照射角度θ１及び撮像角度θ２を６０°以下，より好ましくは５０°以下とすることにより、撮像カメラ２３の視野角内に光源２２が入り込むことを防ぐとともに、端面Ｇａをより正面から捉えて当該端面Ｇａの平面状態の把握がより容易な画像を得ることができる。
　なお、照射角度θ１及び撮像角度θ２を９０°以上とした場合、つまり、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、ガラスシートＧの側方から端面Ｇａを照明・撮像するようにした場合には、当該端面Ｇａを良好に撮像することができない。
　具体的には、照射角度θ１及び撮像角度θ２を９０°～１１０°の範囲内とした場合には、図５Ａに示すように、撮像カメラ２３の視野角内に光源２２が入り込んでしまうことに加え、端面Ｇａの平面状態の把握が困難になってしまう。また、照射角度θ１及び撮像角度θ２を１１０°～１８０°の範囲内とした場合には、図５Ｂに示すように、端面Ｇａでの反射光よりもガラスシートＧ内に入射する光が多くなるため、撮像カメラ２３に入射する光量が減少してしまう。
　端面Ｇａの画像が撮像されると、この画像が画像処理部４で処理され、端面Ｇａの欠陥の有無が検査される。
　この画像処理工程では、図６に示すように、まず画像処理部４は、撮像カメラ２３で撮像された画像を端面Ｇａの延在方向に沿った５画素幅の微小区間毎に処理し、各微小区間の光量値（明暗値）を２５５階調で算出する（ステップＳ１）。但し、隣り合う微小区間同士は、５画素幅のうちの４画素が重複している。
　次に、画像処理部４は、連続する２つの微小区間の間での光量値の差を順次算出していき（ステップＳ２）、この光量値の差が所定の閾値を越えた場合に、当該微小区間の間に微小な傷（欠陥Ｃ）が存在すると判定する（ステップＳ３）。
　次に、画像処理部４は、１つの画像中の全微小区間についての傷の総数をカウントし（ステップＳ４）、この傷の総数が所定の基準値を超えた場合に、当該画像中の端面Ｇａに強度を低下させうる大きな「欠陥」が存在すると判定する（ステップＳ５）。端面Ｇａの傷の総数は、図７に示すように、ガラスシートＧの破断応力との相関を有しているため、強度に影響を及ぼさないと判断できる所定の基準値未満であれば、無視しても差し支えない。
　ここで、図７は、２０ｍｍ角にカットした厚さ０．１ｍｍのガラスシートＧにおける端面Ｇａの傷の数と、その破断応力との関係を示すグラフである。横軸の「傷の数」は、長さ２０ｍｍの各端面Ｇａについて上述のステップＳ４でカウントした傷の総数を両端面Ｇａ，Ｇａで合算した値であり、縦軸の「破断応力」は、「傷の数」を求めたガラスシートＧについて評価長さ２０ｍｍで３点曲げ試験により計測した破断応力である。
　この図７から、本発明を用いて検出した傷（欠陥Ｃ）の数と破断応力とに、明確な相関があることが分かる。したがって、端面Ｇａの傷の総数をカウントするだけで、ガラスシートＧの特定エリア毎の破断強度を非接触で推定することができる。これにより、例えば所定の破断強度以下と推定されたガラスシートＧの出荷を見合わせたり、また、本端面検査方法をロールツーロール方式で搬送される長尺な薄膜ガラスに適用した場合に、低強度の箇所を予め検出することで破断等の二次被害を未然に防いだりすることができる。
　画像処理部４による演算・判定結果は、撮像カメラ２３で撮像された画像と併せてメモリ５に記憶されるとともにディスプレイ６に表示される。
　そして、撮像カメラ２３，２３が撮像した全画像について「欠陥」有無の判定が行われることにより、ガラスシートＧの全長に亘って両端面Ｇａ，Ｇａが連続的に検査される。また、撮像された画像を、必要に応じてメモリ５から読み出しつつディスプレイ６で確認することにより、端面Ｇａの平面状態が適宜目視検査される。
　以上のように、本実施形態によれば、ガラスシートＧの端面Ｇａに欠陥Ｃがあった場合には、欠陥Ｃに照射された光が当該欠陥Ｃで屈折／反射される結果、この光が撮像カメラ２３に入射する光路から外れるので、ガラスシートＧの端面Ｇａに存在する欠陥Ｃを画像中の暗部として検出することができる。また、欠陥Ｃ以外の端面Ｇａの健全部分を画像中の明部とすることができるため、この健全部分が暗部となっていた従来に比べ、欠陥Ｃを含む端面Ｇａの平面状態を光量（明度）の分布によって容易に把握することができる。
　また、光源２２の照射角度θ１及び撮像カメラ２３の撮像角度θ２が何れも３０°～６０°の範囲内，より好ましくは４０°～５０°の範囲内であるので、撮像カメラ２３に入射する光量をより多く確保しつつ、端面Ｇａの平面状態の把握がより容易な画像を得ることができる。更に、撮像カメラ２３に入射する光量を多く確保できるため、ガラスシートＧの搬送速度が比較的に速い場合であっても、撮像カメラ２３のシャッター速度を速めて良好に撮像を行うことができるとともに、被写界深度を深く取ることができる。
　また、撮像カメラ２３で撮像された画像をメモリ５に記憶させるので、端面Ｇａの画像を必要に応じてメモリ５から読み出すことができる。これにより、例えば、ガラスシートＧの破断が発生した後に、破断の起点となった部分の端面Ｇａの画像をメモリ５から読み出して確認することが可能となる。
　また、光源２２が照射光として青色光を出射するので、短波長の青色光を用いることにより、欠陥Ｃでの乱反射を増やして当該欠陥Ｃの検出精度を高めることができる。
　なお、本発明を適用可能な実施形態は、上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
　例えば、上記実施形態では、画像処理部４が画像を処理するときに、隣り合うものと５画素幅のうちの４画素が重複した微小区間について光量値を算出し、連続する微小区間の間での光量値の差を所定の閾値と比較して微小な傷の有無を判定することとしたが、微小区間を重複することなく連続する１画素幅のものとし、この微小区間毎に光量値を或る閾値と比較することで微小な傷の有無を判定することとしてもよい。但し、大きい幅の微小区間を用いる前者の方が、画像処理時のノイズを抑制できる点で好ましい。
　また、ガラスシートＧは、図２に示したような板状のものでなくとも、シート状であればよく、例えばロールツーロール方式で搬送される長尺な薄膜ガラスであってもよい。
　以上のように、本発明に係るガラスシートの端面検査方法及びガラスシートの端面検査装置は、ガラスシートの端面に存在する欠陥を検出するとともに当該端面の平面状態を把握するのに有用である。
１　　　　　端面検査装置
２　　　　　検査部
　２１　　　搬送部（搬送手段）
　　２１１　搬送台
　　２１２　搬送アクチュエータ
　２２　　　光源
　　２２ａ　発光面
　　θ１　　照射角度
　２３　　　撮像カメラ
　　２３ａ　レンズ面
　　θ２　　撮像角度
３　　　　　制御部
４　　　　　画像処理部（画像処理手段）
５　　　　　メモリ（記憶手段）
６　　　　　ディスプレイ
Ｇ　　　　　ガラスシート
　Ｇａ　　　端面
　　Ｃ　　　欠陥
　Ｇｂ　　　下面（一方の主面）
　Ｇｃ　　　上面（他方の主面）
Ｘ　　　　　搬送方向

Claims (12)

  1. 　ガラスシートの端面に光源からの光を照射しつつ当該端面を撮像カメラで撮像し、撮像された画像に基づいて前記端面の欠陥の有無及び平面状態を検査するガラスシートの端面検査方法であって、
    　前記光源と前記撮像カメラとで前記ガラスシートを厚さ方向に挟むように、当該光源及び当該撮像カメラを配置し、
    　前記光源からの照射光を前記ガラスシートの一方の主面から当該ガラスシート内に入射させて前記端面に照射させ、当該端面で内部反射されて前記ガラスシートの他方の主面から出射した前記照射光を前記撮像カメラで捉えることを特徴とするガラスシートの端面検査方法。
  2. 　前記光源の照明範囲の中心方向と前記ガラスシートの一方の主面とのなす照射角度、及び、前記撮像カメラの視野範囲の中心方向と前記ガラスシートの他方の主面とのなす撮像角度が、何れも３０°～６０°の範囲内であって互いに略同一であることを特徴とする請求項１に記載のガラスシートの端面検査方法。
  3. 　前記照射角度及び前記撮像角度が、何れも４０°～５０°の範囲内であることを特徴とする請求項２に記載のガラスシートの端面検査方法。
  4. 　前記撮像カメラで撮像された画像を処理する画像処理工程を備え、
    　前記画像処理工程では、
    　前記撮像カメラで撮像された画像中の前記端面について、隣り合うものと一部を重複させつつ当該端面の延在方向に沿った一定幅の複数の微小区間の光量値をそれぞれ算出し、
    　連続する２つの微小区間の間での光量値の差を順次算出しつつ、この光量値の差が所定の閾値を越えた場合に、当該微小区間の間に前記欠陥として微小な傷が存在すると判定し、
    　当該画像中の全微小区間についての前記傷の総数を計数し、当該傷の総数が所定の基準値を越えた場合に、当該画像中の前記端面に大きな欠陥が存在すると判定することを特徴とする請求項１～３の何れか一項に記載のガラスシートの端面検査方法。
  5. 　前記ガラスシートを前記端面の延在方向に沿って搬送させつつ、前記端面の欠陥の有無を連続的に検査することを特徴とする請求項１～４の何れか一項に記載のガラスシートの端面検査方法。
  6. 　前記撮像カメラで撮像された画像を記憶手段に記憶させることを特徴とする請求項１～５の何れか一項に記載のガラスシートの端面検査方法。
  7. 　ガラスシートの端面に光を照射する光源と、当該端面を撮像する撮像カメラとを備え、撮像された画像に基づいて前記端面の欠陥の有無及び平面状態を検査するガラスシートの端面検査装置であって、
    　前記光源及び前記撮像カメラは、
    　当該光源からの照射光が前記ガラスシートの一方の主面から当該ガラスシート内に入射して前記端面に照射され、当該端面で内部反射されて前記ガラスシートの他方の主面から出射した前記照射光が当該撮像カメラで捉えられるように、前記ガラスシートを厚さ方向に挟むように配置されていることを特徴とするガラスシートの端面検査装置。
  8. 　前記光源及び前記撮像カメラは、当該光源の照明範囲の中心方向と前記ガラスシートの一方の主面とのなす照射角度、及び、当該撮像カメラの視野範囲の中心方向と前記ガラスシートの他方の主面とのなす撮像角度が、何れも３０°～６０°の範囲内であって互いに略同一となるように配置されていることを特徴とする請求項７に記載のガラスシートの端面検査装置。
  9. 　前記照射角度及び前記撮像角度が、何れも４０°～５０°の範囲内であることを特徴とする請求項８に記載のガラスシートの端面検査装置。
  10. 　前記撮像カメラで撮像された画像を処理する画像処理手段を備え、
    　前記画像処理手段は、
    　前記撮像カメラで撮像された画像中の前記端面について、隣り合うものと一部を重複させつつ当該端面の延在方向に沿った一定幅の複数の微小区間の光量値をそれぞれ算出し、
    　連続する２つの微小区間の間での光量値の差を順次算出しつつ、この光量値の差が所定の閾値を越えた場合に、当該微小区間の間に前記欠陥として微小な傷が存在すると判定し、
    　当該画像中の全微小区間についての前記傷の総数を計数し、当該傷の総数が所定の基準値を越えた場合に、当該画像中の前記端面に大きな欠陥が存在すると判定することを特徴とする請求項７～９の何れか一項に記載のガラスシートの端面検査装置。
  11. 　前記ガラスシートを前記端面の延在方向に沿って搬送させる搬送手段を備え、
    　前記搬送手段により前記ガラスシートを前記端面の延在方向に沿って搬送しつつ、前記端面の欠陥の有無を連続的に検査することを特徴とする請求項７～１０の何れか一項に記載のガラスシートの端面検査装置。
  12. 　前記撮像カメラで撮像された画像を記憶する記憶手段を備えることを特徴とする請求項７～１１の何れか一項に記載のガラスシートの端面検査装置。
PCT/JP2012/061707 2011-05-12 2012-05-08 ガラスシートの端面検査方法、及びガラスシートの端面検査装置 WO2012153718A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013514009A JPWO2012153718A1 (ja) 2011-05-12 2012-05-08 ガラスシートの端面検査方法、及びガラスシートの端面検査装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011-106786 2011-05-12
JP2011106786 2011-05-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012153718A1 true WO2012153718A1 (ja) 2012-11-15

Family

ID=47139197

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/061707 WO2012153718A1 (ja) 2011-05-12 2012-05-08 ガラスシートの端面検査方法、及びガラスシートの端面検査装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPWO2012153718A1 (ja)
WO (1) WO2012153718A1 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104007116A (zh) * 2013-02-21 2014-08-27 欧姆龙株式会社 缺陷检查装置及缺陷检查方法
WO2014171375A1 (ja) * 2013-04-18 2014-10-23 旭硝子株式会社 ガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置並びにガラス板
KR20170126486A (ko) * 2015-03-13 2017-11-17 코닝 인코포레이티드 연부 강도 테스팅 방법 및 장치
CN111220623A (zh) * 2018-11-26 2020-06-02 塔工程有限公司 基板检测装置及基板检测方法
JP2021182005A (ja) * 2014-12-05 2021-11-25 ケーエルエー コーポレイション ワークピースの欠陥検出装置及び方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06258231A (ja) * 1991-01-31 1994-09-16 Central Glass Co Ltd 板ガラスの欠点検出装置
JPH07190950A (ja) * 1993-12-24 1995-07-28 Hitachi Electron Eng Co Ltd ガラスディスクの外周欠陥検出装置および外周欠陥検出方法
JPH11337496A (ja) * 1998-03-24 1999-12-10 Ngk Insulators Ltd 透明体の欠陥検出方法及び透明体の製造方法
JP2000074848A (ja) * 1998-08-27 2000-03-14 Hoya Corp 透光性物質の不均一性検査方法及びその検査装置
JP2001153816A (ja) * 1999-11-25 2001-06-08 Nippon Sheet Glass Co Ltd ガラス板のエッジ欠陥検出方法及び同検出装置
JP2004317500A (ja) * 2003-04-03 2004-11-11 Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd 透光性ディスクの周面欠陥検出光学系、周面欠陥検出装置および周面欠陥検出方法
JP2005156254A (ja) * 2003-11-21 2005-06-16 Nippon Sheet Glass Co Ltd 板状ガラスの欠陥検出方法及び欠陥検出装置
JP2008122365A (ja) * 2006-10-16 2008-05-29 Hitachi High-Technologies Corp ガラスディスクの周面欠陥検出光学系および周面欠陥検出装置
JP2008203149A (ja) * 2007-02-21 2008-09-04 Bridgestone Corp 波状コードの検査方法及び検査装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06258231A (ja) * 1991-01-31 1994-09-16 Central Glass Co Ltd 板ガラスの欠点検出装置
JPH07190950A (ja) * 1993-12-24 1995-07-28 Hitachi Electron Eng Co Ltd ガラスディスクの外周欠陥検出装置および外周欠陥検出方法
JPH11337496A (ja) * 1998-03-24 1999-12-10 Ngk Insulators Ltd 透明体の欠陥検出方法及び透明体の製造方法
JP2000074848A (ja) * 1998-08-27 2000-03-14 Hoya Corp 透光性物質の不均一性検査方法及びその検査装置
JP2001153816A (ja) * 1999-11-25 2001-06-08 Nippon Sheet Glass Co Ltd ガラス板のエッジ欠陥検出方法及び同検出装置
JP2004317500A (ja) * 2003-04-03 2004-11-11 Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd 透光性ディスクの周面欠陥検出光学系、周面欠陥検出装置および周面欠陥検出方法
JP2005156254A (ja) * 2003-11-21 2005-06-16 Nippon Sheet Glass Co Ltd 板状ガラスの欠陥検出方法及び欠陥検出装置
JP2008122365A (ja) * 2006-10-16 2008-05-29 Hitachi High-Technologies Corp ガラスディスクの周面欠陥検出光学系および周面欠陥検出装置
JP2008203149A (ja) * 2007-02-21 2008-09-04 Bridgestone Corp 波状コードの検査方法及び検査装置

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014163694A (ja) * 2013-02-21 2014-09-08 Omron Corp 欠陥検査装置および欠陥検査方法
CN104007116B (zh) * 2013-02-21 2017-08-08 欧姆龙株式会社 缺陷检查装置及缺陷检查方法
CN104007116A (zh) * 2013-02-21 2014-08-27 欧姆龙株式会社 缺陷检查装置及缺陷检查方法
WO2014171375A1 (ja) * 2013-04-18 2014-10-23 旭硝子株式会社 ガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置並びにガラス板
CN105121092A (zh) * 2013-04-18 2015-12-02 旭硝子株式会社 玻璃板的制造方法及玻璃板的制造装置以及玻璃板
JPWO2014171375A1 (ja) * 2013-04-18 2017-02-23 旭硝子株式会社 ガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置並びにガラス板
JP2021182005A (ja) * 2014-12-05 2021-11-25 ケーエルエー コーポレイション ワークピースの欠陥検出装置及び方法
US11892493B2 (en) 2014-12-05 2024-02-06 Kla Corporation Apparatus, method and computer program product for defect detection in work pieces
JP7373527B2 (ja) 2014-12-05 2023-11-02 ケーエルエー コーポレイション ワークピースの欠陥検出装置及び方法
US11726126B2 (en) 2014-12-05 2023-08-15 Kla Corporation Apparatus, method and computer program product for defect detection in work pieces
US10613007B2 (en) 2015-03-13 2020-04-07 Corning Incorporated Edge strength testing methods and apparatuses
KR102402392B1 (ko) 2015-03-13 2022-05-27 코닝 인코포레이티드 연부 강도 테스팅 방법 및 장치
JP2018511795A (ja) * 2015-03-13 2018-04-26 コーニング インコーポレイテッド エッジ強度試験方法および装置
KR20170126486A (ko) * 2015-03-13 2017-11-17 코닝 인코포레이티드 연부 강도 테스팅 방법 및 장치
CN111220623B (zh) * 2018-11-26 2023-05-12 塔工程有限公司 基板检测装置及基板检测方法
CN111220623A (zh) * 2018-11-26 2020-06-02 塔工程有限公司 基板检测装置及基板检测方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2012153718A1 (ja) 2014-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5825278B2 (ja) 欠陥検査装置および欠陥検査方法
WO2010024082A1 (ja) 欠陥検査システムおよび欠陥検査方法
JP6296499B2 (ja) 透明基板の外観検査装置および外観検査方法
KR102081671B1 (ko) 2차전지용 리드탭의 2열 자동 검사 시스템
WO2012153718A1 (ja) ガラスシートの端面検査方法、及びガラスシートの端面検査装置
TWI407096B (zh) 缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置
US20120044346A1 (en) Apparatus and method for inspecting internal defect of substrate
JP2007256106A (ja) 表示パネル検査装置及びそれを用いた表示パネル検査方法
JP4640181B2 (ja) 無端金属ベルトのｒ端面の傷検出方法および装置
KR101779974B1 (ko) 글래스 크랙 검사 시스템
TW201140043A (en) End face inspection method for light-pervious rectangular sheets and end face inspection apparatus
JP2012007993A (ja) 板状透明体の欠陥検査装置及びその方法
JP2015094642A (ja) 探傷装置
WO2020105368A1 (ja) ガラス板の製造方法、及びガラス板の製造装置
JP2015225003A (ja) 外観検査装置
JP2017207288A (ja) 表面検査装置用校正板及び表面検査装置の校正方法
JP2011169782A (ja) 欠陥検査装置
KR20140094941A (ko) 불량 검사 시스템 및 방법
JP2014038014A (ja) 紙粉の付着量検査方法および紙粉付着量検査装置
JP5787668B2 (ja) 欠陥検出装置
JP2012168133A (ja) 卵検査装置
JP2017150992A (ja) 検査装置及び検査方法
JP2016125817A (ja) 検査システム、検査方法
KR20110110041A (ko) 광 투과성 직사각형 판상물의 단부면 검사 방법 및 단부면 검사 장치
JP6409606B2 (ja) キズ欠点検査装置およびキズ欠点検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12782789

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2013514009

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12782789

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1