JPH07190950A - ガラスディスクの外周欠陥検出装置および外周欠陥検出方法 - Google Patents
ガラスディスクの外周欠陥検出装置および外周欠陥検出方法Info
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Abstract
て、外周エッジ部の異なる位置に存在する各欠陥の散乱
光を受光し、各欠陥の検査を可能とする。 【構成】 回転するガラスディスク1の表面に対して、
所定の角度、例えば、約30°の入射角θT でレーザス
ポットSp を投射する投光系3と、入射角に対する正反
射角の方向を受光角θR として設けられ、表面欠陥の散
乱光を受光する受光系4とを具備した欠陥検査装置にお
いて、受光系4を第1の受光系とし、ガラスディスク1
の外周側面1c に対して垂直方向に設けられ、外周エッ
ジ部の上側のチャンファー、またはチャンファーと外周
側面とに跨って存在する外周欠陥Kの散乱光をそれぞれ
受光する第2の受光系5を付加して構成される。
Description
周欠陥を検出する光学系およびその外周欠陥検出方法に
関する。
ディスクを素材とし、これに磁性膜を形成している。ガ
ラスディスクは表面を研磨して平滑とされるが、研磨作
業や取り扱い中などにおいて、その外周のエッジが欠け
ることがあり、これによりディスクの品質が低下する。
欠けの程度が小さいときは再研磨され、これが大きいと
当該ディスクは不良品とされ、欠けの大きさの程度は検
査装置により検査されて判定される。
部と、その欠け欠陥を説明する。図3(a) において、ガ
ラスディスク1は各種の外径のものがあり、それぞれは
所定の直径の中心孔Hを有する。(b) は外周部分の断面
を示し、上側の表面を1a 、下側の表面(裏面)を1b
、外周の側面を1c とする。ディスク1は側面1c の
付近が面取りされ、上側の周縁部(以下チャンファー)
ChUと下側のチャンファーChdが形成されており、側面
1c より内方の長さdの範囲が外周エッジ部Eとされ、
ここに生じた欠けが外周欠陥Kとされる。なお長さdは
ディスク1のサイズにより異なり、例えば2.5インチ
の場合は0.2mmとされている。
陥の検査に使用されている検査装置の構成の一部を示
し、これがチャンファーの外周欠陥の検査に適用され
る。被検査のガラスディスク1はスピンドル2に装着さ
れてθ回転する。ディスク1の表面に対して、例えば、
約30°の入射角θT をなして投光系3を設け、これを
ディスク1の半径Rの方向に移動して外周エッジ部Eに
対応する位置に停止する。レーザ光源31よりのレーザ
ビームLT は、集束レンズ32によりスポットSP に集
束されて外周エッジ部Eに投射される。ここに欠陥Kが
あるとスポットSP が散乱し、その散乱光LR は入射角
θT に対する正反射角の方向を受光角θr として設けた
受光系4の集光レンズ41により集光され、ハーフミラ
ー42により透過と反射に分割される。
により正反射成分が除去され、乱反射成分が受光器44
に受光される。また、反射した散乱光LR は正反射成分
のみがスリット板45の円孔を透過して受光器46によ
り受光される。欠陥Kが無いか、または微小なときは、
受光器44の受光信号は0または微小で、受光器46の
受光信号は大きい。これと反対に、欠陥がある程度大き
いと、受光器44の受光信号は大きく、受光器46の受
光信号は小さい。両受光器44と46の各受光信号は、
図示しない信号処理回路に入力して両受光信号の差分が
算出され、これにより正反射光の影響が除去されてS/
N比が向上し、さらに所定の閾値に比較されて外周欠陥
Kが検出される。
その存在位置によっては、散乱光が受光系4に受光され
ない場合がある。これを図5により説明する。図5は外
周エッジ部Eにおける各種の欠陥Kの存在位置を例示し
たもので、(イ)は、表面1a に存在するもので、これ
を欠陥Ka とする。(ロ)は、上側チャンファーChUの
もので、Kb とし、(ハ)は、チャンファーChUと側面
1cに跨るもので、Kc とし、また、(ニ)は、表面1a
とチャンファーChUおよび側面1c の3者に跨るもの
で、Kd とする。なお、裏面1b と下側のチャンファー
ChDにも存在するが、これらに対してはディスク1を反
転して検査するので、ここでは上記の各欠陥Ka 〜Kd
について考慮すればよい。
射角θT と受光系4の受光角θr は、約30°に等しく
設定されており、一方、欠陥Ka の散乱光LR は、上方
に散乱されるので、受光系4に良好に受光されて確実に
検出される。しかし、欠陥Kb では、チャンファーChU
が傾斜しているために斜め右上方に散乱するので、受光
系4の受光角θR を外れて入射しないものが多く、検出
は不確実である。欠陥Kc においては、散乱光LR は主
として右方に散乱するので受光系4には僅かしか受光さ
れず、従ってほとんど検出されない。ただし、欠陥Kd
は、表面1a で散乱する分が受光系4に受光されてほぼ
良好に検出される。
欠陥Kb は検出が不確実であり、欠陥Kc はほとんど検
出できないので、これらを含めて各欠陥の散乱光をもれ
なく受光できる光学系が要望されている。この発明は、
上記の要望を受けてなされたもので、ガラスディスクの
外周エッジ部の異なる位置に存在する上記の各種の欠陥
の散乱光を受光できる光学系およびその欠陥検出方法を
提供することを目的とする。
クの外周欠陥検出装置の特徴は、前記した従来の欠陥検
査装置において、投光系をそのままとし、従来の受光系
を第1の受光系とし、これに第2の受光系を付加して構
成される。第2の受光系は、上側のチャンファー、また
はこのチャンファーと外周側面に跨って存在する外周欠
陥の散乱光をそれぞれ受光するものである。
陥検出方法の特徴は、ガラスディスクの上側のチャンフ
ァー、またはこのチャンファーと外周側面とに跨って存
在する外周欠陥を投光系からの散乱光を受光して検出す
るものである。
は、従来と同様に、回転するガラスディスクに対して、
所定の角度、例えば、約30°の入射角でレーザスポッ
トが投射される。第1の受光系は、従来の受光系と同様
に、入射角に対する正反射角の方向が受光角とされ、外
周エッジ部の上側の表面に存在する欠陥の散乱光を受光
する。これに対して、付加された第2の受光系は、外周
側面に対して垂直方向に設けられ、上側のチャンファー
の欠陥、またはこのチャンファーと外周側面に跨って存
在する欠陥の散乱光は、主として第2の受光系の方向に
散乱するので、第2の受光系にそれぞれ良好に受光され
る。なお、上側の表面と、上側のチャンファー、および
外周側面に跨る欠陥は、第1と第2の受光系にともに受
光される。このことは、外周欠陥の検出方法についても
同様である。以上により、上記の各欠陥の散乱光は、い
ずれかの受光系または両者にもれなく受光され、それぞ
れの受光信号は信号処理回路に設定された閾値に比較さ
れ、受光信号の大きさが閾値を越える限り各欠陥は確実
に検出される。
その外周欠陥検出方法を適用したガラスディスク検査装
置の一実施例を示す。検査装置は、従来と同様に被検査
のガラスディスク1を装着して回転するスピンドル機構
2と、ディスク1に対して、入射角θT でレーザスポッ
トSp を投射する光学系3と、入射角θT に対する正反
射光の方向の受光角θR に設けた受光系4を具備し、こ
れを第1の受光系とする。これに対して第2の受光系5
を付加する。第2の受光系5は、ディスク1の外周側面
1c に対して垂直方向に設けられ、集光レンズ51と受
光器52よりなる。
スク1の外周エッジ部Eに対して、投光系3によりレー
ザスポットSp を投射し、各外周欠陥の散乱光LR は、
第1の受光系4と第2の受光系5のそれぞれに、または
両者ともに受光される。図2に示す(イ)〜(ニ)は、
前記した図5の(イ)〜(ニ)の各欠陥Ka 〜Kd に対
応し、それぞれの散乱光LRa〜LRdの指向性を示す。
(イ)の散乱光LRaは、上方に散乱するので従来と同様
に第1の受光系4に受光される。(ロ)の散乱光LRb
は、その一部分は上方を向くが、大部分は横方向を向く
ので主として第2の受光系5に受光される。(ハ)の散
乱光LRcは、ほとんど横方向を向くので第2の受光系5
に受光される。また、(ニ)の散乱光LRdは、表面1a
の散乱光が第1の受光系4に、チャンファーChUと側面
1c との散乱光が第2の受光系5に受光される。
または両者に受光された各散乱光LRa〜LRdの受光信号
は、信号処理回路に設定された閾値と比較され、この閾
値を越える大きさの各外周欠陥Ka 〜Kd は、すべて確
実に検出される。ところで、実施例では、ガラスディス
クとしてガラス基板そのものを例としているが、ガラス
基板に磁性層、保護層を被着した最終製品の磁気ディス
クの状態でも周縁部が露出してその部分がガラス基板の
ままとなっているものもある。そこで、特許請求の範囲
を含めてここで言うガラスディスクとは、このように周
縁部が露出した状態の磁気ディスクを含む概念として取
り扱う。同様に、この明細書での欠陥という言葉は、欠
損や欠落のみならず疵一般に対する広義の概念として使
用するものであって、これについては特許請求の範囲に
おける語も同様である。
周欠陥検出装置およびその検出方法にあっては、ガラス
ディスクの外周エッジ部に存在し、存在位置が異なる各
種の欠陥の散乱光は、第1と第2の受光系に受光され、
受光信号が所定の閾値を越える限り各欠陥が確実に検出
されて検査が可能となるもので、ガラスディスクの外周
検査に寄与するところが大きい。
の外周欠陥検出方法を適用したガラスディスク検査装置
の一実施例を示す。
指向性を示す。
その欠陥Kの説明図である。
査装置の構成図である。
の説明図である。
表面(裏面)、1c …外周側面、2…スピンドル、また
はスピンドル機構、3…投光系、31…レーザ光源、3
2…集束レンズ、4…受光系、または第1の受光系、4
1…集光レンズ、42…ハーフミラー、43…空間フィ
ルタ、44…受光器、45…スリット板、46…受光
器、5…第2の受光系、51…集光レンズ、52…受光
器、E…外周エッジ部、K,Ka ,Kb ,Kc ,Kd …
外周欠陥、d…長さ、ChU…上側の周縁部(チャンファ
ー)、Chd…下側の周縁部(チャンファー)、LT …レ
ーザビーム、Sp …レーザスポット、θT …入射角、θ
R …正反射角または受光角、LR ,LRa ,LRb,LR
c,LRd…散乱光。
Claims (2)
- 【請求項1】被検査のガラスディスクを装着して回転す
るスピンドル機構と、このスピンドル機構により回転し
ているガラスディスクの表面に対して、所定の入射角で
レーザスポットを投射する投光系、および、前記入射角
に対する正反射角の方向を受光角とし前記表面の欠陥の
散乱光を受光する受光系とを具備した欠陥検査装置にお
いて、前記受光系を第1の受光系とし、前記投光系から
の照射光による前記ガラスディスクの上側の周縁部、ま
たはこの周縁部と前記外周側面とに跨って存在する外周
欠陥の散乱光をそれぞれ受光する位置に設けられた第2
の受光系を有することを特徴とするガラスディスクの外
周欠陥検出装置。 - 【請求項2】回転しているガラスディスクの表面に対し
て、所定の入射角でレーザスポットを投射し、前記入射
角に対する正反射角の方向を受光角として受光した前記
表面の欠陥の散乱光に基づいてガラスディスクの外周欠
陥を検出する外周欠陥検出方法において、前記レーザス
ポットによる前記ガラスディスクの上側の周縁部、及び
この周縁部と前記外周側面とに跨って存在する外周欠陥
の散乱光をそれぞれ受光することにより前記外周欠陥を
検出することを特徴とするガラスディスクの外周欠陥検
出方法。
Priority Applications (1)
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-
1993
- 1993-12-24 JP JP05347678A patent/JP3141974B2/ja not_active Expired - Fee Related
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