JP2001066263A - ディスク表面欠陥検査装置 - Google Patents

ディスク表面欠陥検査装置

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JP2001066263A
JP2001066263A JP24453099A JP24453099A JP2001066263A JP 2001066263 A JP2001066263 A JP 2001066263A JP 24453099 A JP24453099 A JP 24453099A JP 24453099 A JP24453099 A JP 24453099A JP 2001066263 A JP2001066263 A JP 2001066263A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ディスク表面上に形成された円周痕を欠陥と
して検出することのできるディスク表面欠陥検査装置の
提供。 【解決手段】 所定の狭い範囲でのみ散乱光を集光する
ことのできる立体角の小さな集光手段を、投光系から照
射されるレーザー光と同一光軸上に所定の散乱光の指向
性にあわせた仰角に配置する。すなわち、立体角が小さ
く形成された集光手段は狭い範囲にある鋭い指向性を持
つ散乱光のみを受光することができる。また、集光手段
は投光系から発せられるレーザー光と同一光軸上に、所
定の散乱光の指向性にあわせた仰角に配置されることか
ら、集光手段は所定方向に鋭い指向性を持つ散乱光のみ
を検出する。したがって、散乱光が所定方向に鋭い指向
性を持つといった特性を備えるディスク表面上の円周痕
を欠陥として検出することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク表面上の
欠陥を光学的に検出して欠陥種類の判別を行うディスク
表面欠陥検査装置に関し、特にディスク表面上に形成さ
れた円周痕を欠陥として検出することのできるディスク
表面欠陥検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】情報の記録媒体あるいは半導体ウェハな
どのディスク状の部材では、ガラスやNi−Pアルミニ
ウムあるいはシリコンなどの素材が使用されている。こ
れらの素材の表面に欠陥があるときは製品の性質が劣化
するので、ディスク表面欠陥検査装置により検査を行っ
ている。ディスク表面欠陥検査装置は、ディスク表面に
発生した欠陥を検出するものである。欠陥には多様な種
類があり、例えば、表面に付着した微少な塵埃(パーテ
ィクル)、しみ(ステイン)、異物による擦り傷(スク
ラッチ)、微少な凹部(ピット)や凸部(バンプ)、ま
たは滑らかに傾斜した凹部(ディンプル)、ディスク受
け渡し時の衝突等により生ずるディスク端部の変形(ハ
ンドリングダメージ)、ディスク表面の研磨跡(グライ
ド)等様々なものがある。これら各種欠陥の効果的な検
出方法として、従来のディスク表面欠陥検査装置は、デ
ィスク表面上にレーザー光を照射して、前記各欠陥の形
状、大きさ等に対してそれぞれ異なって検出される光学
的性質、すなわち、前記レーザー光の反射光や散乱光を
受光して欠陥を検出する方法を用いている。
【0003】このような検出方法を利用した、従来から
知られたディスク表面欠陥検査装置の一構成例の概略を
図4に示す。当該装置は、各々送光系と受光系とにより
構成される2つの光学系OP1、OP2からなり、例え
ば、第一の光学系OP1はピット、ハンドリングダメー
ジ、ステイン、パーティクル、スクラッチ欠陥などを、
第二の光学系OP2はバンプ、ディンプル、グライド欠
陥などを検出する。すなわち、複数種類の欠陥を検出で
きるよう光学系は複数設けられる。第一の送光系L1は
ディスクK表面上にレーザースポットを形成するように
投光し、第二の送光系L2は欠陥の検知が可能な程度に
所定の幅を持つ平行光をディスクK表面上に投光して、
共にディスクK表面上の同位置を螺旋状に走査する。当
該ディスクK表面上に欠陥があるときは前記レーザース
ポットが散乱するので、その散乱光を各受光系により受
光して複数の欠陥データ信号を得ている。すなわち、第
一送光系L1(すなわち、レーザースポット)の散乱光
の明視野分を第一の受光素子Lが受光し、前記散乱光の
暗視野分を第二の受光素子Dにより受光する(ただし、
この従来例においては、ディスク表面から高角度の方向
に散乱される暗視野分を受光素子D1に、低角度の方向
に散乱される暗視野分を受光素子D2により受光してい
る)。そして、第一送光系L1の正反射光を受光素子R
aが、第二送光系L2の正反射光を受光素子Rbが各々
受光する。欠陥があるときには、正反射光は増光・減光
して各受光素子Ra、Rbに受光される。このように、
欠陥の種類によってその光の強弱が異なる正反射光や散
乱光に対応するように各受光素子は設けられている。ま
た、効率よく目的とする光(すなわち、正反射光や散乱
光)を受光するために、フィルタFやレンズE等の素子
が設けられている。勿論、当該装置は上述した構成だけ
に限られるものではない。また、前記各受光素子により
受光された光は、所定の回路等を介して各々欠陥データ
信号に変換されて、データ処理装置に入力される。この
データ処理装置では、当該欠陥データ信号を基にして可
能な限り欠陥の種類の判別を詳細に行っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ディスク表
面には上述した欠陥以外にも「円周痕」と呼ばれる欠陥
(以下、「サークルスクラッチ」欠陥と呼ぶ)が形成さ
れることがある。「サークルスクラッチ」欠陥は、ディ
スク表面に付着した「ごみ」や「埃」等の付着物を物理
的に拭き取る際に、当該付着物とディスク表面とが擦れ
ることによって生ずる擦り疵状の欠陥である。一般的
に、ディスク表面の付着物を拭き取る際にはディスクを
回転して拭き取りを行うことから、「サークルスクラッ
チ」欠陥はディスク表面上に同一円周状に形成される。
この「サークルスクラッチ」欠陥は「スクラッチ」欠陥
と比較して非常に幅が細くて深さの深い疵であるが、そ
の疵の大きさ/深さによってはディスクの性質を劣化さ
せる重要な欠陥である。したがって、「サークルスクラ
ッチ」欠陥がディスク表面上に存在するディスクについ
ては、当該ディスクを欠陥ディスクとし、不良品扱いと
する場合がある。
【0005】しかし、従来から知られているディスク表
面欠陥検査装置では、散乱光の指向性の違いにより全て
の「サークルスクラッチ」欠陥を検出することが困難で
あった。つまり、従来のディスク表面欠陥検査装置では
「サークルスクラッチ」欠陥と「スクラッチ」欠陥とを
正確に検出及び弁別することができなかった。こうし
て、「サークルスクラッチ」欠陥を見逃していたことに
よりハードディスクに多大な悪影響を与えることから、
ディスク表面欠陥検査装置として非常に不都合である、
という問題点があった。
【0006】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、「サークルスクラッチ」欠陥により生ずる散乱光を
検出するための光学系を適切に配置して、その信号に応
じた処理を行うことにより、従来まで検出不可能であっ
た「サークルスクラッチ」欠陥を重点的に検出し、ま
た、「サークルスクラッチ」欠陥を「スクラッチ」欠陥
と正確に弁別して検出することができるようにしたディ
スク表面欠陥検査装置を提供しようとするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明に係るディスク表
面欠陥検査装置は、レーザー光をディスク表面に照射し
て該表面を走査する投光系と、該表面からの正反射光を
受光するための1又は複数の正反射光受光系と、該表面
に存在する欠陥による前記レーザー光の散乱光を受光す
るための1又は複数の散乱光受光系とを備えるディスク
表面欠陥検査装置において、前記散乱光受光系の少なく
とも1つの受光系は所定の狭い範囲でのみ散乱光を集光
することのできる立体角の小さな集光手段と、前記集光
手段で集光された散乱光を受光して欠陥信号を発生する
受光手段とを備えてなり、前記集光手段は、前記投光系
から照射されるレーザー光と同一光軸上に所定の散乱光
の指向性にあわせた仰角に配置されることによって、所
定の方向に鋭い指向性を持つ散乱光のみを集光するよう
にしたことを特徴とするものである。
【0008】本発明によれば、前記投光系から照射され
たレーザー光がディスク表面上に存在する欠陥によって
散乱し、前記受光系の少なくとも1つの受光系により前
記散乱光を受光されて欠陥信号が得られた場合に、前記
散乱光を生じた原因となる欠陥を1つに特定することが
できるようになっている。すなわち、立体角が小さく形
成された集光手段は狭い範囲にある鋭い指向性を持つ散
乱光のみを受光することができる。また、前記集光手段
は前記投光系から発せられるレーザー光と同一光軸上
に、所定の散乱光の指向性にあわせた仰角に配置され
る。すると、前記集光手段は所定の方向に鋭い指向性を
持つ散乱光のみを検出することになる。このようにし
て、散乱光が上記のように所定方向に鋭い指向性を持つ
といった特性を備えるディスク表面上の欠陥のみを特定
することができる構成となっている。このように、本発
明によれば、所定の特性(所定の方向に鋭い指向性)を
備えた散乱光のみを受光することができるようにしたの
で、このような散乱光を受光することによりディスク表
面上の欠陥を特定することができる。したがって、信頼
性の高い検出率と欠陥種類の判別を行うことができるの
で、重要な欠陥が存在するディスクと重要な欠陥が存在
しないディスク、すなわち、使用不可能な欠陥ディスク
と使用可能な正常ディスクとを正確に判別できるように
なる、という優れた効果を奏する。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照してこの発
明の実施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明に係
るディスク表面欠陥検査装置の全体構成の一実施例を示
す概略図である。図2は、本発明に係るディスク表面欠
陥検査装置を上面から概念的に示す上面概略図である。
ただし、図2では一部の受光系についての図示を省略し
ている。図1に示すように、当該ディスク表面欠陥検査
装置は送光系と受光系とを各々備える光学系OP1と光
学系OP2とにより構成され、送光系と受光系とがディ
スクK表面上の複数欠陥を検出できるように所定位置に
配置される。この実施例においては、第一の光学系OP
1で「ピット」、「ハンドリングダメージ」、「ステイ
ン」、「パーティクル」、「スクラッチ」欠陥を各々検
出し、第二の光学系OP2で「バンプ」、「ディンプ
ル」、「グライド」欠陥を各々検出する。そして、第一
の光学系OP1に「サークルスクラッチ」欠陥を検出す
るための受光系OR1を構成している。なお、「サーク
ルスクラッチ」欠陥を検出するための受光系OR1を除
き、第一の光学系OP1及び第二の光学系OP2の構成
は従来と同じであることから、以下では説明を省略す
る。
【0010】「サークルスクラッチ」欠陥を検出するた
めの受光系OR1は、ディスク表面から所定の仰角に配
置された集光レンズERと、集光レンズERにより集光
された光を検知するための受光素子D3と、集光レンズ
ERから受光素子D3へと集光した光を伝播する光ファ
イバーOFとにより構成される。集光レンズERは第1
の送光系L1から照射される光と同軸上に(つまり、同
一の光軸上に)、ディスクK表面上のレーザスポットを
指向するようにして所定の位置に配置される。第一の送
光系L1からはディスクK表面上にレーザースポットを
形成するように投光され、当該ディスクK表面上に「サ
ークルスクラッチ」欠陥が存在するときは前記レーザー
スポットが散乱するので、一般的にはその散乱光が最も
強く現れる位置に集光レンズERは配置される。この散
乱光が最も強く現れる位置(つまり、散乱光のうちで指
向性の最も鋭い散乱光が生ずる位置)は、例えば第一の
送光系L1の照射したレーザー光の入射角が70度であ
る場合には、25度後方散乱、つまりディスク表面から
仰角45度の位置にレーザー光の入射方向とは反対方向
に散乱する散乱光(後方散乱光)が最も強く現れること
から、本実施例においては当該位置に集光レンズERを
配置して効率良く後方散乱光を集光できるようにしてい
る(図1及び図2参照)。勿論、集光レンズERを配置
する位置はこれに限られるものでなく、効果的に散乱光
を受光できる位置ならばいかなる位置でも差し支えな
い。例えば、集光レンズERの配置位置をユーザが任意
に変化できるように構成して、あらゆる仰角において集
光できるようにしてよい。
【0011】「サークルスクラッチ」欠陥は欠陥の幅が
小さくて深さが深い欠陥であることから、上述したよう
にレーザースポットが特定の方向に強調されて散乱す
る。そこで、本実施例ではこの指向性の鋭い散乱光のみ
を受光するために集光レンズERとして立体角の小さな
(つまり、視野の狭い)光学レンズを使用する。例えば
「スクラッチ」等の欠陥においてもランダムな方向に散
乱光(つまり、特定の方向に強調されることがない無指
向性の散乱光)を発生するので、立体角の大きな光学レ
ンズを使用すると、「スクラッチ」欠陥の場合にも散乱
光を受光してしまうこととなり不都合である。そこで、
「サークルスクラッチ」欠陥から生ずる特定方向に指向
性が強く現れる散乱光のみを受光するために立体角の小
さな光学レンズを使用する。なお、集光レンズERの立
体角をユーザが任意に選択できるように構成してもよ
い。
【0012】集光レンズERで集光された後方散乱光
は、光ファイバーOF内を受光素子D3へと伝播して、
受光素子D3により光の検出が行われる。光ファイバー
OFを使用して受光した後方散乱光を受光素子D3へと
伝播することで、受光素子D3は効率良く後方散乱光の
みを検出することができる。受光素子D3では光を検出
すると、それに対応する欠陥データ信号をデータ処理装
置へ送信する。以上のように、散乱光の指向性にあわせ
た仰角に極めて立体角の小さな集光レンズERを配置
し、集光した散乱光を光ファイバーOFで受光素子D3
に伝播することにより、ディスクK表面上に「サークル
スクラッチ」欠陥が存在するために生ずる鋭い指向性を
持つ散乱光のみを確実に検出することが可能となる。
【0013】ところで、欠陥の種類・性質・大きさ等に
よっては、単に1個の所定の受光素子だけが受光するの
ではなく、上述した各受光素子の複数のものが同時に受
光することがある。複数の受光素子が同時に受光したよ
うな場合には、そのままでは欠陥の種類を判別すること
ができないので、前記データ処理装置では上述の受光素
子(すなわち、欠陥データ信号)毎に優先順位を与える
ことによって、複数の欠陥データ信号に対して絞りをか
け1つの欠陥データ信号を選択し(すなわち、複数の欠
陥データ信号から単純に優先順位の高い(あるいは低
い)1つの欠陥データ信号のみを選択し)、この選択さ
れたデータ信号から欠陥の種類を判別している。このよ
うに、ディスク表面欠陥検査装置では各受光素子が受光
した光の強弱を各々欠陥データ信号に変換し、当該欠陥
データ信号の中で優先順位の高い(あるいは低い)欠陥
データ信号のみを基にして欠陥の種類を判別する。
【0014】「サークルスクラッチ」欠陥においても、
2個以上の受光素子が同時に光を検出する場合がある。
すなわち、「サークルスクラッチ」欠陥では「サークル
スクラッチ」欠陥を検出するための受光素子D3だけで
なく、他の受光素子(例えば、「スクラッチ」欠陥を検
出する受光素子Ra、L、D等)でも光を検出する場合
がある。そこで、本実施例に係るディスク表面欠陥検査
装置では、各受光素子から得られた複数の欠陥データ信
号に対して絞りをかけ1つの欠陥データ信号を選択し、
この選択された欠陥データ信号から欠陥の種類を判別す
る処理をデータ処理装置で実行する。図3は、データ処
理装置で実行する欠陥種類の判定を行うプログラムの一
実施例を示したフローチャートである。当該処理は、
「サークルスクラッチ」欠陥を検出する受光素子D3か
ら欠陥データ信号が入力されること、すなわち、ハード
ウエア側(つまり、光学系側)で受光素子D3が「サー
クルスクラッチ」欠陥によって生じた後方散乱光を受光
することによりスタートする(ステップS1)。ソフト
ウエア側(つまり、データ処理装置側)に受光素子D3
から発生した欠陥データ信号が入力されると、当該欠陥
データ信号のディスク円周方向(θ方向)の長さがデー
タ破棄境界値以上か否かの判定を行う(ステップS
2)。すなわち、受光素子D3が受光することによって
得られた欠陥データ信号から得られる「サークルスクラ
ッチ」欠陥の円周方向の長さを、ユーザが任意に設定し
た(あるいは予め当該装置に設定されている)データ破
棄境界値(ステップS3)と比較する。「サークルスク
ラッチ」欠陥の円周方向の長さがデータ破棄境界値以上
でない場合(ステップS2のNO)、当該欠陥データ信
号を破棄する(ステップS4)。つまり、当該「サーク
ルスクラッチ」欠陥は非常に小さな欠陥であると判断し
て、当該「サークルスクラッチ」欠陥を欠陥対象から除
外する。
【0015】一方、「サークルスクラッチ」欠陥の円周
方向の長さがデータ破棄境界値以上である場合には(ス
テップS2のYES)、「欠陥優先度処理」(ステップ
S5)を行う。この「欠陥優先度処理」は、光学系毎の
複数の受光素子から欠陥データ信号が得られた場合に得
られた複数の欠陥データ信号を比較して(例えば、欠陥
データ信号の各々の波高値を比較する等)、各光学系毎
に1つの欠陥データ信号を特定する処理である。例え
ば、図1に示した構成例では、欠陥の種類により第一光
学系OP1の受光素子D、L、Ra、D3のいずれか2
つ以上の受光素子が同時に光を検出することがある。そ
の場合に、当該処理によって第一光学系OP1における
欠陥データ信号を1つに特定する。なお、第二光学系O
P2では受光素子が1つしかない(受光素子Rbのみ)
ことから当該処理を行わなくとも、欠陥データ信号は1
つに特定される。こうして、各受光素子毎の複数の欠陥
データ信号から1つの欠陥データ信号のみを選択して、
後述の処理を続ける。
【0016】なお、「欠陥優先度処理」おける欠陥の特
定方法は、優先付け等の方法によって行うようにしても
よい。すなわち、あらかじめ欠陥毎に優先順位を付与し
ておき、その優先順位に沿って欠陥を特定する。例え
ば、「ピット」欠陥と判定される欠陥データ信号と、
「サークルスクラッチ」欠陥と判定される欠陥データ信
号では、一般的に「ピット」欠陥のほうが「サークルス
クラッチ」欠陥と比べて重要な欠陥であることが多いの
で、この場合には欠陥を「ピット」欠陥と判定してよ
い。勿論、これに限られるものではなく「サークルスク
ラッチ」欠陥と判定するようにしてもよい。
【0017】ステップS6において、「データ連続性の
チェック」を行う。各受光素子が受光することによって
得られた欠陥データ信号は、ディスク表面上の所定の単
位セル(例えば、ディスクの半径方向の微小距離Δrと
円周方向の微小距離Δθとで形成される微小な方形セ
ル)に対応してメモリのアドレスに記憶される。しか
し、このままでは、1個の「スクラッチ」欠陥や「サー
クルスクラッチ」欠陥といったような所定の長さや幅を
持つ欠陥が1個の欠陥と認識されずに多数の欠陥として
認識されるので、欠陥の評価上不都合であった。そこ
で、欠陥データ信号を記憶したアドレスに隣接する所定
個数のアドレスのいずれかに欠陥データ信号があるとき
は両者が連続するとして各アドレスの連続性を識別し、
この識別により連続しているとされたアドレスの群を1
個の欠陥と評価している。これにより各種の欠陥は、大
きさや形状にかかわらず群の個数が示されて合理的であ
る。そこで、「データ連続性のチェック」により、各受
光素子D、L、Ra、Rbが受光することによって得ら
れた欠陥データ信号は各々連続性が識別され、この識別
により連続しているとされたアドレスの群を1個のデー
タ(以下、これを欠陥データ信号と区別するために単に
欠陥信号と呼ぶ)としている。また、連続性が認識され
なかった1個の欠陥データ信号は、それのみで1個の欠
陥信号である。
【0018】次に、上述のようにして得られる欠陥信号
のディスク半径方向(r方向)の長さが、半径方向デー
タ破棄境界値以下か否かを判定する(ステップS7)。
すなわち、最終的に1個になった欠陥信号の半径方向の
長さを、ユーザにより設定された(あるいは当該装置に
予め設定されている)半径方向データ破棄境界値(ステ
ップS8)と比較する。欠陥信号の半径方向の長さが半
径方向データ破棄境界値以下でない場合(ステップS7
のNO)、当該欠陥信号を破棄する(ステップS9)。
つまり、この半径幅を超えている場合には、当該欠陥が
同一円周上に存在しないものとして、当該欠陥を「サー
クルスクラッチ」欠陥として種類判定しない。一方、欠
陥信号の半径方向の長さが半径方向データ破棄境界値以
下である場合には(ステップS7のYES)、当該欠陥
信号を「サークルスクラッチ」欠陥によるものと判定す
る(ステップS10)。このように、受光素子D3から
得られた欠陥データ信号に対して上述した処理を行うこ
とにより、「サークルスクラッチ」欠陥を正確に他の欠
陥と弁別し検出することができるようになる。
【0019】また、受光素子D3から得られた欠陥デー
タ信号の大きさ等を判別できるように構成してもよい。
そうすると、「サークルスクラッチ」欠陥における疵の
大小を判別することができるようになるので、欠陥ディ
スクと正常ディスクの分別を正確に行うことができるよ
うになる。例えば、欠陥データ信号の波高値を予め設定
した所定値と比較して、所定値よりも波高値が大きい場
合には当該ディスクを欠陥ディスクと判定し、所定値よ
りも波高値が小さい場合には当該ディスクを正常ディス
クと判定するようにしてもよい。すなわち、「サークル
スクラッチ」欠陥では疵が深ければ深いほど、より波高
値の高い欠陥データ信号が得られる。そこで、この波高
値の大きさにより疵の深さが深いものか浅いものかを判
定することができ、欠陥ディスク(疵の深いディスク)
と正常ディスク(疵の浅いディスク)とを正確に分別す
ることができるようになる。
【0020】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、ディ
スク表面上に「サークルスクラッチ」欠陥が存在するこ
とにより生ずる散乱光を検出するための光学系を適切に
配置して、得られた信号に応じた処理を行うことによ
り、「サークルスクラッチ」欠陥を正確に弁別して検出
することができる。したがって、検査ディスクの品質が
確保され、場合によってはディスク製造の歩留まりを良
くすることができ、ディスクの生産効率を上げることが
できる、という優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係るディスク表面欠陥検査装置の一
実施例を示す概念図である。
【図2】 ディスク表面欠陥検査装置を上面から示した
上面概念図である。
【図3】 欠陥種類の判定を行うプログラムの一実施例
を示したフロー図である。
【図4】 従来から知られているディスク表面欠陥検査
装置の一実施例を示す概念図である。
【符号の説明】 L1、L2…送光素子、Ra、Rb…正反射受光素子、
L、D(D1、D2、D3)…散乱光受光素子、K…デ
ィスク、F…光フィルタ、E(ER)…受光レンズ、O
F…光ファイバー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 啓仁 東京都渋谷区東3丁目16番3号 日立電子 エンジニアリング株式会社内 Fターム(参考) 2F065 AA49 BB03 CC03 FF44 GG04 GG12 HH04 HH12 JJ01 JJ05 JJ08 LL02 LL04 2G051 AA71 AB07 BA01 CA07 CB01 CB05 CC17

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザー光をディスク表面に照射して該
    表面を走査する投光系と、該表面からの正反射光を受光
    するための1又は複数の正反射光受光系と、該表面に存
    在する欠陥による前記レーザー光の散乱光を受光するた
    めの1又は複数の散乱光受光系とを備えるディスク表面
    欠陥検査装置において、 前記散乱光受光系の少なくとも1つの受光系は所定の狭
    い範囲でのみ散乱光を集光することのできる立体角の小
    さな集光手段と、前記集光手段で集光された散乱光を受
    光して欠陥信号を発生する受光手段とを備えてなり、 前記集光手段は、前記投光系から照射されるレーザー光
    と同一光軸上に所定の散乱光の指向性にあわせた仰角に
    配置されることによって、所定の方向に鋭い指向性を持
    つ散乱光のみを集光するようにしたことを特徴とするデ
    ィスク表面欠陥検出装置。
  2. 【請求項2】 前記集光手段と前記受光手段とを光ファ
    イバーで接続してなり、前記集光手段の仰角を前記光フ
    ァイバーを動作することによって簡単に設定することが
    できるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のデ
    ィスク表面欠陥検査装置。
  3. 【請求項3】 前記集光手段の立体角を選択的に設定す
    ることができるようにしたことを特徴とする請求項1又
    は2に記載のディスク表面欠陥検査装置。
  4. 【請求項4】 複数種類の受光信号から1つの受光信号
    を特定する第1のステップと、前記特定された受光信号
    の種類に応じて異なる欠陥判別処理を行うことによりデ
    ィスク表面上の欠陥種類を特定する第2のステップとを
    実行する制御手段を備えたことを特徴とする請求項1乃
    至3のいずれかに記載のディスク表面欠陥検査装置。
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