JP2008122365A - ガラスディスクの周面欠陥検出光学系および周面欠陥検出装置 - Google Patents
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Abstract
欠陥の1つである異物をほとんど検出することなく、ガラスディスクに対してチャック等による疵や欠け、割れ等の外周欠陥を高精度に検出することができるガラスディスクの周面欠陥検出光学系および検査装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、ガラスディスクの表面側の外周チャンファ部に対してガラスディスクの裏面からガラスディスクを通して光ビームを照射するようにしているので、受光光における異物と疵との間の減光量の差が大きくなり、この相違に応じた欠陥検出信号を発生する受光信号を得るものである。
【選択図】 図1
Description
図7(a)において、ガラスディスク1は、各種の外径のものがあり、それぞれは所定の直径の中心孔Hを有する。(b)は、その外周部分の断面を示し、上側となるその表面を1a 、下側となるその表面(裏面)を1b 、外周の側面を1c とする。ディスク1は、側面1c の付近が面取りされた上側の周縁部(以下チャンファ)ChUと下側のチャンファ
ChDが形成されており、側面1c より内方の長さdの範囲が外周エッジ部E(外周面)と
され、ここに生じた欠け、割れが周面欠陥Kとされる。なお、長さdはディスク1のサイズにより異なり、例えば、2.5インチの場合は0.2mmとされている。
ガラスサブストレートを使用した磁気ディスクの従来の外周エッジの欠陥検出方法としては、外周エッジ部Eの上部に、法線からみた入射角30゜程度でチャンファ部に投光して散乱光を受光する第1の受光系と、これに加えて、ディスクの外周側面に対向する方向で散乱光を受光する第2の受光系を設けた出願人による発明が公知となっている(特許文献1)。
さらに、周面欠陥ではないが、透明体ディスクの上部からディスク表面へ線状の光を照射してこれをディスクの内部で全反射させて外周側面からの散乱光を受光してディスク表面における欠陥を検出する欠陥検出装置が公知となっている(特許文献2)。
しかも、検査対象となるディスクは、スピンドルに挿着されて回転状態で検査が行われので、欠陥検出時のディスクの外周面では特にディスクの面振れにより上下方向の振れが大きくなる。そのため、チャック痕による疵の検出信号の基準レベルがディスクの面振れにより変動し、チャック疵の検出信号が異物等の検出信号に対して明確に分離できない問題がある。しかも、異物を疵あるいは欠陥として検出することは、ガラスディスクの歩留まりを悪化させる。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、欠陥の1つである異物をほとんど検出することなく、ガラスディスクに対してチャック等による疵や欠け、割れ等の外周欠陥を高精度に検出することができるガラスディスクの周面欠陥検出光学系を提供することにある。
この発明の他の目的は、異物をほとんど検出することなく、外周欠陥を高精度に検出することができるガラスディスクの周面欠陥検出装置を提供することにある。
これにより、ディスクに外周面の振れにより受光信号の基準レベルが変動が多少あってもチャック疵の検出信号と異物等の検出信号とを明確に分離でき、チャック疵の検出信号の検出信号を容易に得ることができる。
その結果、この発明を適用した周面欠陥検出光学系および周面欠陥検出装置にあっては、異物をほとんど検出することなく、ガラスディスクの外周チャンファ部における疵や欠け、割れ等の欠陥を異物と切り離して効率よく、高精度に検出することができる。
図1において、10は、欠陥検査装置であり、ディスク回転機構2と、欠陥検出光学系3、欠陥検出回路5、データ処理装置6、そしてディスク反転機構8とからなる。
欠陥検出光学系3は、投光系3a、そして受光系4とからなる。
ディスク回転機構2は、スピンドル21と、これの頭部に設けられたディスクチャック22、その底部に設けられた支持台23、そしてエンコーダ24とからなる。ディスクチャック22には、検査対象となるガラスディスク(以下ディスク)1が装着されて回転する。なお、支持台23は、装置ベース7に固定されている。
投光系3aは、ミラー31とレーザ光源32とからなる。レーザ光源32は、装置ベース7に固定され、ミラー31にレーザスポットSpを照射する。その照射角は、ミラー31側からみて仰角θ1である。この照射光を受けるミラー31は、支持台23とディスク1との間において所定の角度でスピンドル21に添うように装置ベース7に対して仰角θ2でブラケット33に傾斜固定されている。このブラケット33は装置ベース7に固定されている。
ここで、前記の仰角θ1,θ2は、レーザスポットSpがディスク1の裏面1bを経てディスク1の表面側の外周チャンファ部1dに対してディスク1の内側から照射されるような角度に選択されている。その結果、レーザスポットSpは、45゜±5゜の傾斜を持つ外周チャンファ部1dの裏面側に照射される。
ここで、ガラスの屈折率NをN=1.5とし、ディスク1を2.5インチとして仰角θ1,θ2を選択してディスク1の裏面1bに対して入射するレーザスポットSpの入射角度を裏面1bに対して時計方向に入射角65゜程度になるようにすると、外周チャンファ部1dからレーザスポットSpが出射する角度がディスク1の表面1aに対して反時計方向に85゜程度となる。そこで、受光系4の受光器43は、図2(a)に示されるように、その受光角θ3がディスク1の表面1aに対して反時計方向に85゜前後の入射角度になるように外周チャンファ部1dの斜め上部に配置される。
受光器43は、アバランシェ・フォトダイオード(APD)であり、その受光面に結像レンズ41、絞り孔板42を介して外周チャンファ部1dからの出射光Pを受ける。
なお、絞り孔42aは、外周チャンファ部1dからの出射光Pのみを通す大きさの孔である。その孔径は調整可能である。レーザスポットSpの径は、外周チャンファ部1dの幅に対応するものであり、絞り孔42aの存在により外周チャンファ部1dからの出射光Pのみを受けることができる。
ここで、LPF52は、ディスク外周面の上下方向の振れによる発生する受光信号の基準信号を抽出する回路であり、HPF53は、LPF52の出力端子とグランドGNDとの間に挿入されて、高周波ノイズ成分と疵や異物等の検出信号成分をグランドGNDへと落とす回路である。そして、比較増幅器(COM)54は、ディスク外周面の上下方向の振れによる発生する受光信号の基準レベルの変動をキャンセルして外周欠陥の検出信号を発生する回路になっている。
受光器43の検出信号は、欠陥検出回路5のプリアンプ51、LPF(ローパスフィルタ)52、HPF(ハイパスフィルタ)53を経て比較増幅器54の(+)入力に入力される。比較増幅器54の(−)入力は、プリアンプ51の出力を受ける。
メモリ62には、欠陥検出プログラム62aと、欠陥大きさ判定プログラム62b、ディスク合否判定プログラム62c、そして作業領域62dが設けられている。
なお、MPU61は、ディスク回転機構2側に設けられたエンコーダ2aからディスクの1回転に対応して得られるインデックス信号INDをバス66を介して割込み信号として受ける。
8は、ディスク反転機構であって、スピンドル2に装着されたディスク1に隣接して設けられている。このディスク反転機構8は、ディスク1の外周側面をチャック機構でチャックしてスピンドル2からディスク1をその上に持ち上げて受取る。そして、レール(図示せず)上を後退してスピンドル2の位置からディスク1を待避させて、表面側外周チャンファ部1dが検査済みのディスク1を反転して裏面側を表面としてレール上を前進してディスク1をスピンドル2の上のに戻してスピンドル2に再装着する。なお、ディスク反転機構は各種のものが公知であるので詳細は割愛する。
図2(b)に示すように、チャンファ部に異物があるときには、その異物は、出射光Pが散乱光となり、出射光Pから受光器43への入射光が減少して、出射光Pを受ける受光器43は、図3の点P1,P2,P3で示すような各波形が受光器43の受光信号(検出信号S)に現れてくる。
ディスク1の外周チャンファ部1dにチャック等による欠けFがあった場合には、図2(c)に示すように、正規の方向に屈折する出射光Pは大きく減少するので受光器43の受光信号は低下し、図3の点KFで示すようなパルス状の波形が欠けFの検出信号として得られる。これに対して、異物に対応する点P1,点P2,点P3で示す各波形の検出信号(以下点P1の検出信号,点P2の検出信号,点P3の検出信号)は、それぞれ点KFで示す波形の検出信号(以下点KFの検出信号)よりも受光信号のレベル低下が小さい。
しかし、透過型の欠陥検出であるので、異物の径が大きい場合などには透過光が遮断される量が多くなるので欠けFの検出信号のレベルが低下し、受光信号の基準レベルの変動によりパルス的な波形の点P3の検出信号のレベルが図示するもよいも大きいときなどにはこれらの判別し難くなることがある。
そこで、検出信号SをLPF(ローパスフィルタ)52とHPF(ハイパスフィルタ)53とを通して、LPF52でディスク1の振れに応じた信号成分を通過させ、残留する高周波ノイズと点P1,P2,P3,点KFの各検出信号成分をHPF53でグランドへと落として除去して、結果として、検出信号Sから図4(a)に示すような、ほとんどノイズのないディスク1の振れに対応した振動波形の検出基準信号を抽出する。
この振動波形が比較増幅器(COM)54の(+)入力に加えられることで、(−)入力側の受光信号の基準信号レベルの変動がキャンセルされる。
このLPF52は、スピンドルの回転数にもよるが、検出信号Sにおける1つあるいは複数の径における各ディスク外周面の上下方向の振れに応じた信号成分の周波数に対応させてそれらの信号成分を抽出するBPF(バンドバスフィルタ)を用いることができる。したがって、LPF52をBPFとしてもよい。
このようにすると、受光信号の基準レベルの変動がキャンセルされるばかりでなく、点P1,P2の各検出信号で示される異物に対応する検出信号はレベル低下が小さくノイズ的なものとなっているので、図4(b)に点線で示すように、そのほとんどが比較増幅器54の出力には現れてこない。
比較増幅器54は、高利得非反転直流増幅器であるので、(−)入力の入力信号の高周波ノイズも増幅される可能性があるが、これは、非反転直流増幅器の動作不感帯で多少除去され、さらに図示していないが、コンデンサ等でグランドGNDへ落とせば除去される。これにより高周波ノイズに近い点P1,P2の各検出信号は除去される。
その結果として図4(b)のような検出信号を比較増幅器54の出力として欠陥検出信号Skを得ることができる。ここで多くの異物についての検出信号は落とされる。もちろん、このとき高周波ノイズも出力されない。
A/D55は、これら点P3と点KFの各検出信号に対応するパルス信号を欠陥検出信号Skとして受ける。この信号のレベルを欠陥検出信号Skの発生ごとにデジタル値に変換して作業領域62dに順次記憶する。
なお、前記の所定の基準値は、異物についての点P3の検出信号を排除し、チャック痕による疵、あるいはその他の疵を検出できるレベルとして選択されている。
MPU61は、次に欠陥大きさ判定プログラム62bをコールする。
欠陥大きさ判定プログラム62bは、MPU61により実行されて、MPU61は、作業領域62dの所定の記憶位置に記憶された欠陥検出信号Skの各検出信号のレベルから欠陥を大,中,小の3段階に分類して作業領域62dの前記とは別の所定の記憶位置に記憶する。そして、次にディスク合否判定プログラム62cをコールする。
表面側チャンファ部ChUの検査で合格になったディスクは、MPU61がディスク反転機構8を駆動してこの合格ディスクをディスク反転機構8により反転して裏面側のチャンファ部ChDを外周チャンファ部1dとしてスピンドル2に再挿着する。
そして、インデックス信号IND待ちをして前記と同様な検査を裏面側のチャンファ部ChDに対して行う。
MPU61は、この裏面側のディスク合否判定が終了した時点で検査ディスクの合否判定の結果をディスプレイ63に表示して不合格ディスクをNGのカセットに搬送する。
その結果、表裏いずれかで不合格となったディスクは、NGのカセットに収納され、G(合格)となったディスクは、合格(G)のカセットに収納されてここでのディスク1の検査が終了し、次の新しい検査対象ディスクの検査に移る。
図5の検出光学系は、図1に示す1枚のミラー31に換えて2枚のミラー31a,31bを用いる。これにより、レーザ光源52を装置ベース7に垂直に固定することができる。なお、33a,33b,33cは、ミラー31a,31bを固定するブラケットであり、レンズ41は、複数枚のレンズ構成を採っている。
図5において、点線丸枠部分の右側の拡大図に示すように、レーザスポットSpの入射角度をディスク1に裏面1bに対して時計方向に40゜としている。この場合には、裏面1bの法泉に対する入射角が50゜となり、外周チャンファ部1dからの出射角が外周チャンファ部1dの法線に対して21.74゜となる。そこで、ディスク1の表面1a側に対する受光器43の受光角θ3は、ディスク1に表面1aに対してθ3=113゜となる
。
図6は、他の受光信号の基準レベル変動抑止回路を用いた欠陥検出回路のブロック図であって、欠陥検査装置10は、図1の欠陥検出回路5に換えて欠陥検出回路50を用いる。
欠陥検出回路50は、図1におけるLPF52とHPF53の接続関係が逆になり、HPF53の後ろにLPF52が従属接続されている。LPF52の出力は、コンパレータ54aに入力され、コンパレータ54aの“1”あるいは“0”の出力がA/D55に入力される。これにより、コンパレータ54aの“1”の期間が長いときにはその期間分“1”のレベルが所定の周期で連続してA/Dに変換されることになる。
なお、A/D55に換えて欠陥ビットメモリを設けて、ディスク1周分のビットデータを記憶し、MPU61がビットデータを読出すようにしてもよい。
通常、HPF52にLPF53を従属接続する構成は、BPF(バンドパスフィルタ)になる。
LPF52は、遮断周波数を3MHzとする。これは、受光信号から高周波ノイズをカットし、異物を含めた欠陥検出信号を排除するフィルタである。
結局のところ、HPF53とLPF52とからなるBPFの帯域を200Hz〜3MHzとしたフィルタを設けて欠陥検出信号を抽出する。
この欠陥検出信号を、比較基準となる基準値(閾値)Vthを(+)入力側に持つコンパレータ54aの(−)入力に入力することで、高周波ノイズ成分と異物に対応する点P1,P2,P3の各検出信号を欠陥検出信号からカットして、図4(b)に示す欠陥検出信号Skから点P3の検出信号を除いた点KFの検出信号を得る。
なお、コンパレータ54aの基準値Vthは、点P3の検出信号を除去する値に調整される。
さらに、実施例の受光器は、APDを用いているが、この発明は、CCDやホトマルチプライヤなど各種の受光素子,受光器を用いることができる。
さらに、実施例では、ディスクの表面側チャンファ部のみを検査対象としているが、この発明は、裏面側チャンファ部に対応して受光器を設けて、裏面側チャンファ部に光ビームを照射して裏面側に設けた受光器で裏面側のチャンファ部の外周面欠陥を検出するようにしてもよい。また、表裏面のチャンファ部の外周面欠陥を同時に検出するようにしてもよい。
さらに、実施例では、照射光をレーザビームとしているが、照射光は白色光であってもよいことはもちろんである。
なお、この明細書での欠陥という言葉は、欠損や欠落のみならず疵一般に対する広義の概念として使用するものであって、これについては特許請求の範囲における語も同様である。
2…ディスク回転機構、3…欠陥検出光学系、
21…スピンドル、22…ディスクチャック、
23…支持台23、24…エンコーダ24
3a…投光系、32…レーザ光源、
4…受光系、41…結像レンズ、42…絞り孔板、43…受光器、
5,50…欠陥検出回路、
51…プリアンプ、52…LPF(ローパスフィルタ)、
53…HPF(ハイパスフィルタ)、
54…比較増幅器、54a…コンパレータ、55…A/D、
6…データ処理装置、61…MPU、
62…メモリ、62a…欠陥検出プログラム、
62b…欠陥大きさ判定プログラム、
62c…ディスク合否判定プログラム、
62d…作業領域。63…ディスプレイ、
64…キーボード、7…装置ベース、
8…ディスク反転機構、10…欠陥検査装置、
P…出射光。
Claims (14)
- ディスクの外周面の欠陥を検出するディスクの周面欠陥検出光学系において、
回転するガラスディスクの裏面から前記ガラスディスクを通して内側から前記ガラスディスクの表面側の外周チャンファ部に光ビームを照射する投光系と、
前記外周チャンファ部から所定距離離れて設けられた受光器と、
この受光器の手前に設けられた絞りとを備え、
前記受光器は、前記外周チャンファ部で屈折した光ビームの透過光を前記絞りを介して受光し、
前記受光器の受光信号に基づいて前記ガラスディスクの外周面の欠陥が検出されるガラスディスクの周面欠陥検出光学系。 - 前記絞りの孔の径は、前記外周チャンファ部の幅に対応する前記透過光を通過させるものである請求項1記載のガラスディスクの周面欠陥検出光学系。
- 前記光ビームはレーザ光であり、前記投光系は、前記レーザ光の光源と前記レーザ光が照射されるミラーとを有し、前記ミラーの反射光が前記ガラスディスクの裏面に照射されて前記透過光が生成される請求項2記載のガラスディスクの周面欠陥検出光学系。
- 前記ガラスディスクはスピンドルに装着されていて、前記ミラーは、前記スピンドルに沿って傾斜して前記ガラスディスクの裏面側に設けられている請求項3記載のガラスディスクの周面欠陥検出光学系。
- 前記ミラーは第1のミラーと第2のミラーからなり、前記光源からのレーザ光が第1のミラーに照射されて前記第2のミラーに反射され、前記第2のミラーの反射光が前記ガラスディスクの裏面に照射され、前記光源が前記ガラスディスクの裏面側に起立して設けられている請求項4記載のガラスディスクの周面欠陥検出光学系。
- ディスクの外周面の欠陥を検出するディスクの周面欠陥検出光装置において、
回転するガラスディスクの裏面から前記ガラスディスクを通して内側から前記ガラスディスクの表面側の外周チャンファ部に光ビームを照射する投光系と、前記外周チャンファ部から所定距離離れて設けられた受光器と、この受光器の手前に設けられた絞りとを有し、前記受光器が前記外周チャンファ部で屈折した光ビームの透過光を前記絞りを介して受光する周面欠陥検出光学系を備えるガラスディスクの周面欠陥検出装置。 - さらに、前記ディスクの回転により発生する前記外周面の振れによる前記受光器の受光信号の信号基準レベルの変動を抑制しあるいはキャンセルする基準レベル変動抑止回路と有し、
前記基準レベル変動抑止回路から得られる信号に基づいて前記外周面の欠陥を検出するための検出信号を得る請求項6記載のガラスディスクの周面欠陥検出装置。 - 前記絞りの孔径が前記外周チャンファ部の幅に対応する前記透過光を通過させるものである請求項7記載のガラスディスクの周面欠陥検出装置。
- 前記基準レベル変動抑止回路は、信号基準レベルの変動に対応する周波数の信号を通過させるローパスフィルタおよびバンドパスフィルタのいずれかのフィルタあるいは前記信号基準レベルの変動に対応する周波数の信号を阻止するハイパスフィルタからなるフィルタ回路を有し、前記受光信号を前記フィルが回路に通した信号に基づいて前記外周面の欠陥の検出信号を得る請求項8記載のガラスディスクの周面欠陥検出装置。
- 前記光ビームはレーザ光であり、前記受光器が前記ディスクの表面に対して垂直な方向に配置され、前記フィルタ回路は前記ローパスフィルタあるいはバンドパスフィルタのいずれかと高周波ノイズと欠陥検出信号とを除去する他のハイパスフィルタとを有し、
前記基準レベル変動抑止回路は、前記他のハイパスフィルタとを通して高周波ノイズと欠陥検出信号とを除去して前記信号基準レベルの変動に対応する周波数の信号を検出基準信号として得て、前記検出基準信号と前記受光信号とを比較することにより前記外周面の欠陥について欠陥検出信号を得る請求項9記載のガラスディスクの周面欠陥検出装置。 - 前記検出基準信号と前記受光信号とを比較増幅器、コンパレータおよび差動増幅器のうちの1つに入力して前記外周面の欠陥について欠陥検出信号を前記1つの出力から得る請求項10記載のガラスディスクの周面欠陥検出方法。
- 前記ハイパスフィルはバンドパスフィルタであり、前記バンドパスフィルタにより前記外周面の振れによる周波数の信号を排除して前記受光信号の信号基準レベルを平滑化した前記受光信号を抽出してこの抽出された受光信号に基づいて前記外周面の欠陥の検出信号を得る請求項9記載のガラスディスクの周面欠陥検出装置。
- さらにコンパレータを有し、前記光ビームはレーザ光であり、前記受光器が前記ディスクの表面に対して垂直な方向に配置され、前記抽出された信号を前記コンパレータにより所定の基準値と比較して前記コンパレータの出力に基づいて前記外周面の欠陥の検出信号を得る請求項12記載のガラスディスクの周面欠陥検出装置。
- さらにA/D変換回路とデータ処理装置とを有し、前記欠陥検出信号は、前記A/D変換回路によりデジタル値として前記データ処理装置に入力され、前記データ処理装置は、前記欠陥検出信号のレベルに応じて前記外周面の欠陥か否かの判定をしかつ、前記外周面の欠陥の数に基づいて前記ディスクの合否の判定をする請求項13記載のガラスディスクの周面欠陥検出装置。
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