JPH0431748A - 透明板状体の欠点検査方法 - Google Patents
透明板状体の欠点検査方法Info
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- JPH0431748A JPH0431748A JP13700690A JP13700690A JPH0431748A JP H0431748 A JPH0431748 A JP H0431748A JP 13700690 A JP13700690 A JP 13700690A JP 13700690 A JP13700690 A JP 13700690A JP H0431748 A JPH0431748 A JP H0431748A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は透明板状体の欠点検査方法に関するものである
。
。
［従来の技術］
板状体表面の表面に存在するキズ、凹凸等の欠点をレー
ザー光を照射してその反射／散乱光を検出して検知する
装置は従来、検査の対象が金属板の如き前記レーザー光
に対して不透明な被検査体を対象としたものであり、か
かる装置を用いてガラス板の如き透明板状体の検査を行
う場合、被検体の透明性による問題が生じた。
ザー光を照射してその反射／散乱光を検出して検知する
装置は従来、検査の対象が金属板の如き前記レーザー光
に対して不透明な被検査体を対象としたものであり、か
かる装置を用いてガラス板の如き透明板状体の検査を行
う場合、被検体の透明性による問題が生じた。
すなわち、被検体が透明体の場合、被検体の裏面で反射
されたレーザー光が被検体の表面に存在するキズ、凹凸
等の欠点に照射されたとき、受光器に出力を生じ、検査
の結果を誤らせる。
されたレーザー光が被検体の表面に存在するキズ、凹凸
等の欠点に照射されたとき、受光器に出力を生じ、検査
の結果を誤らせる。
これを第１図によって説明すると、被検査体である透明
板状体１は移動または回転する機構（図では省略）を具
えている。レーザー光２を斜めより被検体に照射すると
き被検体上にキズの如き欠点、あるいは付着異物３が存
在すると照射レーザー光の反射光および散乱光４に変化
が生ずる。これを集光レンズ６で集光し光検出器７にて
電気信号に変換する。欠点３がレーザー光の被検体上の
照射位置Ａに来たとき、光検出器７に出力変化が生じる
が、一方入射レーザー光２は位置Ａで屈折して被検体内
部を進み裏面位置Ｂで内部反射して再び表面位置Ｃに達
する。従って表面位置Ｃに欠点３が来たときにも散乱光
を生じ、光検出器７に変化が現われる。このため、同一
の欠点が１回の検出でな（、誤って２回検出されること
になる。
板状体１は移動または回転する機構（図では省略）を具
えている。レーザー光２を斜めより被検体に照射すると
き被検体上にキズの如き欠点、あるいは付着異物３が存
在すると照射レーザー光の反射光および散乱光４に変化
が生ずる。これを集光レンズ６で集光し光検出器７にて
電気信号に変換する。欠点３がレーザー光の被検体上の
照射位置Ａに来たとき、光検出器７に出力変化が生じる
が、一方入射レーザー光２は位置Ａで屈折して被検体内
部を進み裏面位置Ｂで内部反射して再び表面位置Ｃに達
する。従って表面位置Ｃに欠点３が来たときにも散乱光
を生じ、光検出器７に変化が現われる。このため、同一
の欠点が１回の検出でな（、誤って２回検出されること
になる。
また、裏面位置Ｂに欠点または異物が存在すると同様に
検出器に信号が現われ、表裏面の分離が不能になる。
検出器に信号が現われ、表裏面の分離が不能になる。
［発明の解決しようとする課題］
本発明の目的は、従来技術が有していた前述の欠点を解
消しようとするものである。
消しようとするものである。
［課題を解決するための手段］
本発明は前述の課題を解決すべくなされたものであり、
透明板状体にレーザー光を照射し、その反射光および、
あるいは散乱光を検出することにより被検体表面のキズ
等の欠点を検知する方法であって、透明板状体の裏面反
射光による反射光および、あるいは散乱光を検出器に到
達させないように遮光手段を設けたことを特徴とする透
明板状体の欠点検査方法を提供するものである。
透明板状体にレーザー光を照射し、その反射光および、
あるいは散乱光を検出することにより被検体表面のキズ
等の欠点を検知する方法であって、透明板状体の裏面反
射光による反射光および、あるいは散乱光を検出器に到
達させないように遮光手段を設けたことを特徴とする透
明板状体の欠点検査方法を提供するものである。
第１図を用いて本発明を説明する。即ち第１図において
、被検体１の表面に近接して遮光手段として不透明体か
らなる遮光板５を設置すると、表面位置Ｃに存在する欠
点または付着異物による信号を生じさせなくすることが
できる。
、被検体１の表面に近接して遮光手段として不透明体か
らなる遮光板５を設置すると、表面位置Ｃに存在する欠
点または付着異物による信号を生じさせなくすることが
できる。
また、裏面位置Ｂに存在する欠点または付着異物による
散乱光のうち光検出器７に達するものは欠点位置Ｃを中
心とする領域を通過するため、遮光板５を設置すること
により同様に阻止することができる。
散乱光のうち光検出器７に達するものは欠点位置Ｃを中
心とする領域を通過するため、遮光板５を設置すること
により同様に阻止することができる。
遮光板５の位置は透明板状体１の表面に近接して集光レ
ンズ６と欠点位置Ｃ５すなわち入射レーザー光が被検体
の裏面で反射して表面に到達する位置との中間とし、そ
の大きさは位置Ｃから見た集光レンズ６を見込む立体角
を領有する大きさでよい。透明板状体１の厚さをｔ、そ
の屈折率をｎ、レーザー人射光２の入射角をθとすると
、透明板状体１上における位置Ａと位置Ｃのきよりρは
屈折の法則から次式で算出される。
ンズ６と欠点位置Ｃ５すなわち入射レーザー光が被検体
の裏面で反射して表面に到達する位置との中間とし、そ
の大きさは位置Ｃから見た集光レンズ６を見込む立体角
を領有する大きさでよい。透明板状体１の厚さをｔ、そ
の屈折率をｎ、レーザー人射光２の入射角をθとすると
、透明板状体１上における位置Ａと位置Ｃのきよりρは
屈折の法則から次式で算出される。
１２ ＝ １ｔａｎ（ｓｉｎ−’ ”ｉｎθ）遮光板
５と被検体とのきより（高さ）はなるべく小さい方が望
ましいが、被検体の厚さ誤差。
５と被検体とのきより（高さ）はなるべく小さい方が望
ましいが、被検体の厚さ誤差。
および移動機構の精度で設定すればよく、これにより本
発明の効果が大きく左右されることはない。
発明の効果が大きく左右されることはない。
［実施例］
直径９５ｍｍ、厚さ１．２７ｍｍの磁気ディスク用ガラ
ス基板をスピンドルモーターに装着し、回転速度１２０
０ＲＰＭで回転させ、出力２ｍＷのＨｅ−Ｎｅレーザー
光を焦点きより５０ｍｍの集光レンズ（第１図では省略
）を通してガラス基板表面に入射角４５°で照射した。
ス基板をスピンドルモーターに装着し、回転速度１２０
０ＲＰＭで回転させ、出力２ｍＷのＨｅ−Ｎｅレーザー
光を焦点きより５０ｍｍの集光レンズ（第１図では省略
）を通してガラス基板表面に入射角４５°で照射した。
遮光板は光学系を含む面（第１図の紙面）の断面にて厚
さ０．５ｍｍ 、巾１ｍｍの金属板を用い、ガラス基板
表面より１ｍｍの高さに設置し、ガラス基板面に平行に
微動可能なようにマイクロメーター移動台にて支持した
。
さ０．５ｍｍ 、巾１ｍｍの金属板を用い、ガラス基板
表面より１ｍｍの高さに設置し、ガラス基板面に平行に
微動可能なようにマイクロメーター移動台にて支持した
。
ガラス基板表面にダイヤモンドスクライバ−を極く軽く
接触させて作成したキズ（深さ約７００人、巾３μｍ、
半径方向）により得られた信号波形を第２図に示す。同
図（１）は本発明を実施しない時に得られる波形であっ
てａはキズが第１図において位置Ａを通過したとき、ｂ
は位置Ｃを通過したときに生ずるものである。
接触させて作成したキズ（深さ約７００人、巾３μｍ、
半径方向）により得られた信号波形を第２図に示す。同
図（１）は本発明を実施しない時に得られる波形であっ
てａはキズが第１図において位置Ａを通過したとき、ｂ
は位置Ｃを通過したときに生ずるものである。
本発明を実施することにより信号波形は第２図の（２）
に示すａ′およびｂ′のようになり（１）のｂは消失す
る。また、本発明の実施により正常な信号ａの減少はみ
られないことも示されている。
に示すａ′およびｂ′のようになり（１）のｂは消失す
る。また、本発明の実施により正常な信号ａの減少はみ
られないことも示されている。
第３図は同ガラス基板を裏返しに置いて裏面にキズがあ
る場合に得られた信号である。同図（１）は本発明を実
施しないとき、（２）は本発明を実施したときの信号波
形であって図（３）にみられるａ 、 ｂ ＋ Ｃ＋
ｄの４個の検出のうち、図（４）ではａ、ｄが消失して
いるが、これらは裏面のキズによる信号である。
る場合に得られた信号である。同図（１）は本発明を実
施しないとき、（２）は本発明を実施したときの信号波
形であって図（３）にみられるａ 、 ｂ ＋ Ｃ＋
ｄの４個の検出のうち、図（４）ではａ、ｄが消失して
いるが、これらは裏面のキズによる信号である。
［発明の効果］
本発明の方法により、レーザー光を照射して透明板状体
の欠点検出を行う場合に生ずる誤検出を防止することが
でき、さらに裏面に存在する欠点および付着異物による
誤測定も防止することができるので、検査結果の信頼性
を高めることができる。
の欠点検出を行う場合に生ずる誤検出を防止することが
でき、さらに裏面に存在する欠点および付着異物による
誤測定も防止することができるので、検査結果の信頼性
を高めることができる。
第１図は本発明の方法の検出光学系および従来技術の模
式図であり、図において１は透明板状体（被検体）、２
は入射レーザー光、３は表面に存在する欠点または付着
異物、４は欠点または付着異物による散乱光、５は遮光
板、６は集光レンズ、７は光検出器である。 第２図および第３図は本発明の実施例における光検出器
に得られる信号波形図であり、第２図はキズが被検体表
面に存在するときの本発明実施の有無による波形の比較
、第３図はキズが被検体裏面に存在するときの本発明実
施の有無による波形の比較を示す波形図である。 不２図 ＋３図
式図であり、図において１は透明板状体（被検体）、２
は入射レーザー光、３は表面に存在する欠点または付着
異物、４は欠点または付着異物による散乱光、５は遮光
板、６は集光レンズ、７は光検出器である。 第２図および第３図は本発明の実施例における光検出器
に得られる信号波形図であり、第２図はキズが被検体表
面に存在するときの本発明実施の有無による波形の比較
、第３図はキズが被検体裏面に存在するときの本発明実
施の有無による波形の比較を示す波形図である。 不２図 ＋３図
Claims (1)
- 透明板状体にレーザー光を照射し、その反射光および、
あるいは散乱光を検出することにより被検体表面のキズ
等の欠点を検知する方法であって、透明板状体の裏面反
射光による反射光および、あるいは散乱光を検出器に到
達させないように遮光手段を設けたことを特徴とする透
明板状体の欠点検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13700690A JPH0431748A (ja) | 1990-05-29 | 1990-05-29 | 透明板状体の欠点検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13700690A JPH0431748A (ja) | 1990-05-29 | 1990-05-29 | 透明板状体の欠点検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0431748A true JPH0431748A (ja) | 1992-02-03 |
Family
ID=15188605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13700690A Pending JPH0431748A (ja) | 1990-05-29 | 1990-05-29 | 透明板状体の欠点検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0431748A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008309494A (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Canon Chemicals Inc | 板状体の欠陥検出方法及び装置 |
| EP2101143A1 (de) | 2008-03-10 | 2009-09-16 | Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Form transparenter refraktiver Objekte |
| TWI673491B (zh) * | 2017-02-17 | 2019-10-01 | 特銓股份有限公司 | 光箱結構及應用彼光學檢測設備 |
| TWI689721B (zh) * | 2017-02-17 | 2020-04-01 | 特銓股份有限公司 | 基於利用光學技術掃描透明板材表面污染之方法及其系統 |
| CN117747467A (zh) * | 2024-02-01 | 2024-03-22 | 无锡卓海科技股份有限公司 | 一种晶圆的缺陷检测装置 |
-
1990
- 1990-05-29 JP JP13700690A patent/JPH0431748A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008309494A (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Canon Chemicals Inc | 板状体の欠陥検出方法及び装置 |
| EP2101143A1 (de) | 2008-03-10 | 2009-09-16 | Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Form transparenter refraktiver Objekte |
| TWI673491B (zh) * | 2017-02-17 | 2019-10-01 | 特銓股份有限公司 | 光箱結構及應用彼光學檢測設備 |
| TWI689721B (zh) * | 2017-02-17 | 2020-04-01 | 特銓股份有限公司 | 基於利用光學技術掃描透明板材表面污染之方法及其系統 |
| CN117747467A (zh) * | 2024-02-01 | 2024-03-22 | 无锡卓海科技股份有限公司 | 一种晶圆的缺陷检测装置 |
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