JP2008309494A - 板状体の欠陥検出方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに直交するA面、B面を有する透明又は半透明の板状体Wに、光源12からの光を照射し、その反射光をCCDカメラ16によって撮像する。光源12からの光の入射角度θ1をB面に対して全反射となる角度以上とする。また、A面に入射した光が板状体Wの裏面W3によって反射される反射光を含むことになる裏面反射光領域W2を除く検査領域W1のみを、CCDカメラ16によって撮像することで、映像に裏面W3の粗さ等が反映されるのを防ぐ。
【選択図】図2
Description
上記検査員に代わる方法として、例えば、特許文献1及び特許文献2に開示されたように、CCDカメラを用いた電子撮像装置による外観検査手法も知られている。
板状体のサンプルとして、透明又は半透明の板状体のA面にスジ状の凹凸があるもので、製品平坦部の粗さも、製品の透明度も、各々のサンプルにより違うものを選択した。スジ状にある凹凸形状の高さ方向の高低差はレーザー測長機による測定により、高さ方向5〜10μm程度ものを100本選択した。実施例1の方法を用いて、検査を行なったところ、製品の表面粗さの違い、製品の透明度の違いに関わらず100本中98本のサンプルの検出が可能であった。
図4の(a)に示すように、図1に示した実施例1の装置と同様の構成でθ1、θ2をそれぞれ38°、42°に設定し、周波数カットフィルタ、偏光レンズを設置せずに実験例1と同じサンプルを用いて検査を行なった。
12 光源
13 集光レンズ
14a 周波数カットフィルタ
14b 偏光フィルタ
15 カメラレンズ
16 CCDカメラ
17 処理装置
18 表示装置
19 駆動装置
20 記憶装置
Claims (4)
- 透明又は半透明の板状体の第1面に投光手段からの光を入射させ、その反射光を撮像して得られた映像を画像処理することで、前記板状体の欠陥を検出する板状体の欠陥検出方法において、
前記板状体の、前記第1面に直交する第2面に対して全反射となる入射角度以上で前記投光手段からの光を前記板状体に入射させる工程と、
前記板状体の前記第1面の裏面からの反射光を受光しないように配置された撮像手段によって、前記板状体の前記第1面からの反射光を撮像し、映像を得る工程と、を有することを特徴とする板状体の欠陥検出方法。 - 前記投光手段は、波長480nm以上の光を透過させる周波数カットフィルタを有することを特徴とする請求項1記載の板状体の欠陥検出方法。
- 前記板状体は、電子写真用クリーニングブレードであることを特徴とする請求項1又は2記載の板状体の欠陥検出方法。
- 透明又は半透明の板状体の第1面に光を入射させ、その反射光を撮像して得られた映像を画像処理することで、前記板状体の欠陥を検出する板状体の欠陥検出装置において、
前記板状体の、前記第1面に直交する第2面に対して全反射となる入射角度以上で前記板状体に光を入射させる投光手段と、
前記板状体の前記第1面からの反射光を撮像し、映像を得るための撮像手段と、を有し、
前記撮像手段が、前記板状体の前記第1面の裏面からの反射光を受光しないように配置されたことを特徴とする板状体の欠陥検出装置。
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2007
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