JP2005181070A - 透明板状体の欠点検出方法及び欠点検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 透明板状体の表面欠点のみを検出可能にした透明板状体の欠点検出方法及び欠点検出装置を提供すること。
【解決手段】 欠点検出装置１は、線状照明光２を透明ガラス基板３の表面３ａに斜めに照射する照明装置４と、表面３ａで正反射した線状照明光２を受光するラインセンサ５と、画像処理装置６と、表示装置７と、遮蔽板８〜１０とを備える。ラインセンサ５の出力に基づき透明ガラス基板３に存在する欠点を検出する。線状照明光２が透明ガラス基板３の表面３ａで正反射した線状の表面反射光２Ａと、線状照明光２が透明ガラス基板３の裏面３ｂで反射した線状の裏面反射光２Ｂとが分離されるように、線状照明光２の幅を第１遮蔽板８及び第２遮蔽板９により調整し、線状の表面反射光２Ａをラインセンサ５で受光する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、液晶表示装置やプラズマ表示装置などに用いる透明ガラス基板等の透明板状体の欠点を検出する透明板状体の欠点検出方法及び欠点検出装置に関するものである。

液晶表示装置やプラズマ表示装置等のフラットパネルディスプレイに用いる透明ガラス基板（以下、ガラス基板という）の検査では、欠点の種類や欠点のある厚み方向の位置により欠点サイズ等の欠点規格が異なっている。例えば、表面に薄膜や透明電極などが形成されるガラス基板では、表面が最も重要であるため、「内部の泡」及び「裏面の破れ泡」の欠点規格は数百ミクロンオーダであるが、表面の凹みである「表面の破れ泡」の欠点規格は数十ミクロンオーダである。同様の理由から、内部及び裏面の「異物」や「異物跡」の欠点規格は数百ミクロンオーダであるが、表面の「異物」や「異物跡」の欠点規格は数十ミクロンオーダである。ガラス基板のオンライン検査において、欠点検出装置が検出した欠点候補に対して、検査作業者は数百ミクロンオーダなら欠点を区別可能であるが、数十ミクロンオーダでは顕微鏡などによる拡大が必要になるため、短いタクトタイム内で検査するのが難しくなる。このような欠点規格の違いに対応するために、表面に薄膜などが形成されるガラス基板では、最も重要である表面の欠点のみを検出できる装置や、ガラス基板の厚み方向のどの位置にある欠点であるかを識別できる装置が必要となる。

従来、ガラス基板の表面にある欠点を検出する技術が知られている（例えば、特許文献１，２及び３参照）。
特許文献１に記載の従来技術は、照明装置からの照明光をガラス基板の表面に平行に近い角度で表面で正反射させ、その反射光を受光するカメラの出力に基づき表面の凹凸を検査する方法である。

特許文献２に記載の従来技術は、照明装置からの照明光を角度θで正反射させ、その反射光を受光するラインセンサの出力に基づき表面の欠点を検出する方法で、照明装置とガラス基板の間にマスクを配置して、表面の凹凸を強調させるようにした方法である。

特許文献３に記載の従来技術は、ガラス基板表面からの拡散反射光を受光するラインセンサの出力に基づき表面の欠点を検出する方法で、ハレーションの原因となる光を遮光板で遮り、欠点の検出感度を上げるようにした方法である。

また、従来、ガラス基板の歪み欠点（光学歪みを伴う欠点）を汚れや埃等の欠点ではない付着物などと区別して検査する技術が知られている（例えば、特許文献４，５及び６）
特許文献４に記載の従来技術は、ガラス基板の裏面側に配置された照明装置からの照明光をガラス基板を透過させ、その透過光を受光する撮像手段（ラインセンサ）の出力に基づき欠点を検出する方法で、照明装置とガラス基板の間に明暗の境目を付けるための遮光板を設けものである。この従来技術では、ラインセンサの出力に基づき画像データを作成し、この画像データを３値化処理して３値化画像をディスプレイ上に表示させ、欠点の種類や欠点のある個所によって、ガラス基板の搬送方向に「明部」と「暗部」が画素で表示されるパターンから、欠点の種類を識別するようにしている。

例えば、ガラス基板の表面にある凸部欠点は、その欠点に対応する隣接する画素で、「明部」と「暗部」が順に表示される「明暗」パターンとなる。表面にある凹部欠点は、凸部欠点とは逆に、「暗部」と「明部」が順に表示される「暗明」パターンとなる。また、ガラス基板内部に存在する泡欠点は、「暗明」パターンとなる。

特許文献５に記載の従来技術は、ガラス基板の端面からその内部に光を照射する照明装置と、その表面に光を照射する照明装置と、その裏面に光を照射する照明装置とを備え、各照明装置の照明光の色を変えて、各色の照明光を個別に受光する各撮像手段の出力を比較することで、欠点を、汚れ等の欠点ではない付着物と区別して検出するようになっている。

特許文献６に記載の従来技術は、ガラス基板の表面に平行に近い角度で光を照射する照明装置と、その表面に垂直に近い角度で光を照射する照明装置とを備える。その表面での反射光とガラス基板の内部を透過した透過光とをそれぞれ受光する２台のＣＣＤカメラの出力を比較して、欠点を、汚れ等の欠点ではない付着物と区別して検出するようになっている。
特開２０００−１４６５５４号公報 特開平８−３０４２９５号公報 特開２００１−２０８７０２号公報 国際公開ＷＯ ０３／００５００７ Ａ１号公報 特開２００３−７５３６７号公報 特開２００２−２１４１５８号公報

ところで、上記特許文献１に記載の従来技術では、裏面からの反射光を遮る欠点がガラス基板内部或いは裏面にある場合、その欠点によりカメラが受光する入射光の明るさ（輝度）が例えば６．５％程度低下するので、その欠点を、これと同程度の輝度低下を引き起こす表面の欠点と区別するのが難しい。このため、表面のレベルの低い欠点を検出したい場合に、裏面の欠点を誤って検出する可能性があり、表面欠点のみを検出するのが難しい。

上記特許文献２には、「上記マスクの役割の１つは、ガラス基板下面（裏面）の模様からの反射を低減することである」と記載されているように、裏面反射を完全に無くす条件は示されていない。そのマスクのガラス基板の表面からの位置が遠いと、反射光の明暗の境目がぼやけて、表面の凹凸を強調させる効果が低下する。このため、表面のレベルの低い欠点を検出したい場合に、裏面の欠点を誤って検出する可能性があり、表面欠点のみを検出するのが難しい。

上記特許文献３の従来技術は、欠点検出に不利益になるハレーションの原因となる光を遮る方法であり、ガラス基板内部の欠点や裏面の欠点も検出される。このため、表面の欠点のみを選択して検出するのが難しい。

上記特許文献４に記載の従来技術は、歪み欠点（光学歪みを伴う欠点）を汚れや埃等の欠点と区別して検出する方法であり、歪み欠点がガラス基板の厚み方向のどの位置にある欠点であるかは分からない。例えば、ガラス基板の表面にある凹部欠点は「暗明」パターンで表示されるとともに、ガラス基板内部に存在する泡欠点も「暗明」パターンで表示されるため、その凹部欠点とその泡欠点とを区別するのが難しい。このため、ガラス基板の表面欠点（表面にある欠点）、内部欠点（内部にある欠点）、及び裏面欠点（裏面にある欠点）を区別するのが難しい。

上記特許文献５に記載の従来技術では、ガラス基板内部にある泡欠点を例にして説明すると、色の異なる３種類の照明光の全てが同じ泡欠点（内部泡）で乱反射する可能性がある。ガラス基板の表面にある傷等の欠点についても同様である。このため、歪み欠点の可
能性がある同じ位置で各色信号が相違する場合、どの色信号を優先するかを判断するのは難しい。このため、ガラス基板の表面欠点、内部欠点、及び裏面欠点を（厳密に）区別するのが難しい。

上記特許文献６に記載の従来技術では、原理的に見て、ガラス基板の表面欠点、内部欠点、及び裏面欠点を区別するのが難しい。
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたものであり、その目的は、透明板状体の表面欠点のみを検出可能にした透明板状体の欠点検出方法及び欠点検出装置を提供することにある。

また、本発明の別の目的は、透明板状体の表面欠点、内部欠点、及び裏面欠点を区別可能にした透明板状体の欠点検出方法及び欠点検出装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、線状照明光を透明板状体の表面に斜めに照射し、前記表面で正反射した前記線状照明光を撮像手段で受光し、前記撮像手段の出力に基づき前記透明板状体に存在する欠点を検出する透明板状体の欠点検出方法であって、前記線状照明光が前記表面で正反射した線状の表面反射光と、前記線状照明光が前記透明板状体の裏面で反射した線状の裏面反射光とが分離されるように、前記線状照明光の幅を調整し、前記線状の表面反射光を前記撮像手段で受光することを要旨とする。

これによれば、線状照明光の幅を調整することで、線状の表面反射光の領域と線状の裏面反射光の領域とが分離されるようにして、線状の表面反射光を撮像手段で見るようにしている。このため、撮像手段からは、透明板状体の表面の情報のみを含む出力が得られ、この出力に基づき透明板状体の表面に存在する欠点（表面欠点）のみを検出することができる。

例えば、透明板状体に表面欠点があると、撮像手段に入射する線状の表面反射光の光量が減って、撮像手段の出力が落ちるので、その低下量を閾値と比較することで、透明板状体の表面欠点を検出することができる。また、撮像手段に入射する光には、線状の表面反射光の領域内にある透明板状体内部の泡等の欠点により生じる乱反射光が含まれる場合があるが、この乱反射光は欠点の無い表面での正反射光の基準レベルよりも明るくなるので、透明板状体内部の泡等の欠点は暗く検出される表面欠点と区別可能である。

したがって、透明板状体の内部や裏面の影響を完全に無くすことができ、透明板状体の表面欠点のみを検出することができる。
このような作用、効果は、透明板状体が薄い場合に特に有効である。その理由は、厚い透明板状体に存在する欠点を正反射照明方式で検査する場合には、特別に工夫しなくても、広い線状の表面反射光の領域と、裏面反射光の領域と、これら２つの領域の間にできる反射無しの領域とが得られ、広い表面反射光の領域を撮像手段で見るようにすれば良いからである。

また、透明板状体の裏面の影響を完全に無くすことができるため、上記特許文献１に記載されているように、反射角度が透明板状体の透過率や反射率に依存する点を考慮する必要がない。線状照明光が表面で正反射した線状の表面反射光の反射角度の範囲は、透明板状体の厚み、厚みの変動、屈折率、欠点検出の分解能等の条件にのみ依存するものであり、これらの条件を、その範囲内で、線状照明光を出射する照明装置及び撮像手段の設置条件や照明装置の輝度に合わせて選ぶことができる。

なお、「線状照明光」は、例えば直管形の高周波点灯用蛍光灯や、分布が均一になるよ
うにしたハロゲンランプを使った石英管等の線状の光源により得られる。また、「線状照明光の幅」とは、細長い長方形状である線状照明光の短手方向の間隔をいう。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の透明板状体の欠点検出方法において、前記撮像手段はラインセンサであり、前記ラインセンサと前記透明板状体とを、前記ラインセンサの長手方向に直交する方向に或いは前記長手方向に対し任意の角度をなす方向に相対移動することを要旨とする。

これによれば、ラインセンサと透明板状体とをラインセンサの長手方向に直交する方向に或いは長手方向に対し任意の角度をなす方向に相対移動することで、ラインセンサの出力に基づき、透明板状体の表面の情報のみを含む２次元の画像データを得ることができる。ここで、ラインセンサに対する透明板状体の相対移動方向を「搬送方向」とすると、その搬送方向に平行に存在する傷及び内部の歪み欠点を検出するには、その搬送方向を任意の角度にすると効果的である。

なお、ここにいう「ラインセンサ」は、例えば数千個の受光素子を一列に並べたものである。「線状照明光」は、ラインセンサにおける一列に並んだ全受光素子が見るだけの幅（矩形の領域）を照明する線状の照明領域を、均一な分布で作れる上記線状の光源により得られる。

請求項３に係る発明は、請求項２に記載の透明板状体の欠点検出方法において、前記線状照明光の幅を２枚の遮蔽板により調整することを要旨とする。
これによれば、２枚の遮蔽板を使うことで、両側の境界がはっきりした線状の表面反射光の領域を容易に作ることができる。また、２枚の遮蔽板の一方により、ラインセンサの視野内にある表面欠点で、裏面へ投影される像が遮蔽されるので、同じ表面欠点が二重検出されるのを防止できる。

請求項４に係る発明は、請求項２又は３に記載の透明板状体の欠点検出方法において、前記透明板状体をその裏面側から透過して前記ラインセンサに入射する光を、前記裏面側に配置した遮蔽板により遮蔽することを要旨とする。

これによれば、透明板状体を裏面側から透過してラインセンサに入射する透過光を無くすことが可能になるので、周囲を暗室にできない場合でも透明板状体の表面欠点を検出することができる。

請求項５に係る発明は、請求項２〜４のいずれか１つに記載の透明板状体の欠点検出方法において、前記透明板状体の表面における前記線状照明光の入射位置を調整したときの前記表面の位置を測定基準位置とし、前記測定基準位置が、前記透明板状体の厚みの変化と前記透明板状体の搬送時における振動とにより前記厚み方向に変化する量を変位量Δｄとし、前記表面が前記測定基準位置にあるときに得られる前記線状の表面反射光と、前記表面が前記測定基準位置から前記変位量Δｄだけ変位した変位位置にあるときに得られる前記線状の表面反射光とが重なり量ΔＸだけ重なる領域を、前記線状照明光の前記表面に対する入射角θ１を調整することで作り、前記重なる領域の中心部に前記ラインセンサの視野を合わせることを要旨とする。

これによれば、透明板状体の表面が前記測定基準位置にあるときに得られる線状の表面反射光と、その表面が前記変位位置にあるときに得られる線状の表面反射光とが重なり量ΔＸだけ重なる領域を作り、重なる領域の中心部にラインセンサの視野を合わせるので、測定基準位置が変わっても、ラインセンサ等の調整位置を変えずに対応できる。したがって、透明板状体の厚みが変わったり、前記相対移動時（搬送時）の振動などにより、透明
板状体の測定基準位置が重なり量ΔＸの範囲内で変わっても、ラインセンサ等の調整位置を変えずに、透明板状体の表面欠点を検出することができる。

なお、ここでは、「ラインセンサ等の調整位置を変えず」に、ある範囲での透明板状体の厚みの変化や搬送時の振動などにより透明板状体の測定基準位置が変動するのを許容しようとしているので、以下に述べる（１）の視野ズレや（２）の位置ズレを画像処理で補正する必要がある。

（１）許容範囲内で測定基準位置が変動したときの搬送方向におけるラインセンサの視野のズレは、透明板状体の厚みごとに変化する。
（２）同じ厚みの透明板状体でも、透明板状体の測定基準位置が搬送時の振動などにより変動することにより、正反射照明系で検出する欠点位置は、ラインセンサの素子方向に比べて、搬送方向に大きく変動する。

上記（１）の視野ズレの補正は、例えば、予め厚み情報を取得して測定基準位置からの位置ズレ量を計算して、その位置ズレ量だけズレた測定基準位置と変位位置に対応する２つのラインセンサの視野のズレ量から加減して、２つの表示画像の座標位置を一致させるように行う。また、上記（２）の位置ズレの補正は、検出した欠点候補の位置の比較の許容値を、透明板状体の厚みの許容範囲と振動による測定基準位置の変位量とによって加減することで行う。

上記（１）の視野ズレの補正をしない場合は、上記（２）の位置ズレの補正値が大きくなり、その許容範囲内にある別々の欠点候補を同一の欠点候補と見なす可能性がある。
このような作用、効果は、透明板状体が薄い場合に特に有効である。その理由は、上述した厚い透明板状体に存在する欠点を正反射照明方式で検査する場合には、前記広い第１の領域を使って検査するので、透明板状体の厚みの変化や振動などを考慮する必要がないからである。

請求項６に係る発明は、請求項５に記載の透明板状体の欠点検出方法において、前記重なり量ΔＸを前記ラインセンサの分解能の整数倍以上とすることを要旨とする。
前記重なり量ΔＸがラインセンサの分解能より狭いと、反射光の光量（輝度レベル）が透明板状体の厚みの変化と搬送時の振動による測定基準位置の変位により大きく変動する。本発明によれば、重なり量ΔＸを前記ラインセンサの分解能の整数倍以上とすることで、反射光の光量（輝度レベル）が前記測定基準位置の変位により変動するのを抑制できる。

請求項７に係る発明は、請求項２〜６のいずれか１つに記載の透明板状体の欠点検出方法において、前記透明板状体の表面で正反射した前記線状照明光を前記ラインセンサで受光する正反射照明系に加えて、前記透明板状体をその裏面側から透過させる第２の線状照明光を第２ラインセンサで受光するとともに、前記第２の線状照明光の一部を前記裏面側で遮蔽して第２ラインセンサの視野に明部と暗部を形成するようにした透過型の半明視野照明系を用いることを要旨とする。

これによれば、正反射照明系と透過型の半明視野照明系を用いることにより、透明板状体の表面欠点と、その内部に存在する欠点（内部欠点）と、その裏面に存在する欠点（裏面欠点）とを、おおまかに区別することができる。例えば、正反射照明系で検出した欠点の情報（欠点位置の情報）を含む画像データによる表示画像と、半明視野照明系で検出した欠点の情報（欠点位置の情報）を含む画像データによる表示画像とを比較することで、上記各欠点を大まかに区別することができる。

この場合、当然、２つのラインセンサの分解能（視野幅）を一致させること、及び、正反射照明系の線状照明光が透過型の半明視野照明系のラインセンサに、半明視野照明系の線状照明光が正反射照明系のラインセンサにそれぞれ影響を及ぼさないようにすることが必要である。また、２つのラインセンサの視野のズレは、各ラインセンサの出力から画像データを作成する画像処理で一致させることができる。

ここで、上記２つの照明系でそれぞれ検出した欠点位置を比較するための表示画像を得る画像処理では、以下の２つのことを考慮する必要がある。
（１´）搬送方向の２つのラインセンサの視野のズレは、透明板状体の厚みごとに変化する。

（２´）同じ厚みの透明板状体でも、測定基準位置が搬送時の振動などにより変動することにより、正反射照明系で検出する欠点位置は、ラインセンサの素子方向に比べて、搬送方向に大きく変動する。

この位置変動（正反射照明系で検出する欠点位置の搬送方向における変動）は、欠点位置の比較の処理で、つまり、半明視野照明系で検出した欠点位置と比較するための表示画像を得る画像処理で、搬送方向に余裕を持たせることにより対処する。

また、ラインセンサの素子方向の位置変動（欠点位置の素子方向における位置ズレ）は、透明板状体中で光が屈折することにより発生するので、透明板状体の表面及び裏面では実際の欠点位置と異なる場合がある。しかし、その位置ズレは、透明板状体の表面では起こることが無く、半明視野照明系で検出した欠点位置を正反射照明系で検出した欠点位置と比較するのに支障はないので、その位置ズレの許容値は小さく設定できる。

請求項８に係る発明は、請求項７に記載の透明板状体の欠点検出方法において、前記透過型の半明視野照明系には、前記第２の線状照明光の一部を前記裏面側で遮蔽する遮蔽板と、前記第２の線状照明光の乱反射光成分を制限するための遮蔽板とを用いることを要旨とする。

これによれば、第２の線状照明光の乱反射光成分を制限するための遮蔽板を用いることで、その乱反射光成分を制限することにより、埃やカレット（ガラス屑）などの歪みを持たない欠点の「明部分」を抑制して「暗部分」のみとして、「明暗」又は「暗明」パターンを持つ歪み欠点と区別することができる。

請求項９に係る発明は、請求項７又は８に記載の透明板状体の欠点検出方法において、前記正反射照明系の前記線状照明光と前記半明視野照明系の前記線状照明光は波長の異なる２種類の線状照明光とし、前記２種類の線状照明光の一方を前記正反射照明系のラインセンサに、その他方を前記半明視野照明系のラインセンサにそれぞれ入射させることを要旨とする。

これによれば、正反射照明系の線状照明光と半明視野照明系の線状照明光を波長の異なる２種類の線状照明光とし、２種類の線状照明光の一方を正反射照明系のラインセンサに、その他方を半明視野照明系のラインセンサにそれぞれ入射させることで、２つの照明系の線状照明光が互いに干渉しないようにしている。このため、正反射照明系と透過型の半明視野照明系を、各々のラインセンサがそれぞれ透明板状体の表面上の同じ位置を見るように配置することができるため、正反射照明系による表面欠点の検査位置と、半明視野照明系による表面欠点の検査位置とを一致させることができる。これにより起こるそれぞれの照明系による欠点の乱反射成分が、他方の照明系の測定結果に及ぼす影響を、照明光の波長域が異なることにより、制御できる。

また、２つのラインセンサの視野を物理的に一致させることにより、上述した（１）の視野ズレを補正する画像処理は必要なくなるが、上述した（２）の位置ズレを補正する画像処理は必要となる。

なお、「波長の異なる２種類の線状照明光」はそれぞれ、単一波長の光である必要はなく、ある幅を持った波長域の光或いは中心波長の光を含む意味で用いる。以下の説明でも同様である。

請求項１０に係る発明は、請求項７又は８に記載の透明板状体の欠点検出方法において、前記正反射照明系の前記線状照明光と前記半明視野照明系の前記第２の線状照明光を波長の異なる２種類の線状照明光とし、前記ラインセンサと前記第２ラインセンサに代えて１つのカラーラインセンサを用い、該カラーラインセンサが、前記２種類の線状照明光の一方が前記表面で正反射された線状の表面反射光と、前記２種類の線状照明光の他方が前記透明板状体を透過した線状の透過光とを受光するようにしたことを要旨とする。

これによれば、２つの照明系に対して１つのカラーラインセンサを用いればよいので、装置の配置スペースをコンパクトにすることができる。
請求項１１に係る発明は、請求項２〜６のいずれか１つに記載の透明板状体の欠点検出方法において、前記透明板状体の表面で正反射した前記線状照明光を前記ラインセンサで受光する正反射照明系に加えて、前記線状照明光が前記透明板状体を透過した透過光を第２ラインセンサで受光する照明系を用いることを要旨とする。

これによれば、１つの照明装置と２つのラインセンサとを使って、透明板状体の表面欠点と、その内部に存在する欠点（内部欠点）と、その裏面に存在する欠点（裏面欠点）とを、おおまかに区別することができる。

請求項１２に係る発明は、請求項７又は８に記載の透明板状体の欠点検出方法において、前記正反射照明系と前記透過型の半明視野照明系とに加えて、前記透明板状体の裏面で正反射した線状照明光を第３のラインセンサで受光する第２の正反射照明系を用いることを要旨とする。

これによれば、透明板状体の裏面欠点を第２の正反射照明系で検出できるので、透明板状体の表面欠点と、その内部欠点と、その裏面欠点とを、厳密に区別することができる。
請求項１３に係る発明は、照明装置から出射される線状照明光を透明板状体の表面に斜めに照射し、前記表面で正反射した前記線状照明光をラインセンサで受光し、前記ラインセンサの出力に基づき前記透明板状体に存在する欠点を検出する透明板状体の欠点検出装置であって、前記線状照明光が前記表面で正反射した線状の表面反射光と、前記線状照明光が前記透明板状体の裏面で反射した線状の裏面反射光とが分離されるように、前記線状照明光の幅を調整する２枚の遮蔽板を備え、前記線状の表面反射光を前記ラインセンサで受光することを要旨とする。

これによれば、線状照明光の幅を２枚の遮蔽板により調整することで、線状の表面反射光の領域（第１の領域）と線状の裏面反射光の領域（第２の領域）とが分離されるようにして、線状の表面反射光をラインセンサで見るようにしている。このため、ラインセンサからは、透明板状体の表面の情報のみを含む出力が得られ、この出力に基づき透明板状体の表面に存在する欠点（表面欠点）のみを検出することができる。したがって、透明板状体の内部や裏面の影響を完全に無くすことができ、透明板状体の表面欠点のみを検出することができる。

また、線状照明光が表面で正反射した線状の表面反射光の反射角度の範囲は、透明板状体の厚み、厚みの変動、屈折率、欠点検出の分解能等の条件にのみ依存するものであり、これらの条件を、その範囲内で、線状照明光を出射する照明装置及びラインセンサの設置条件や照明装置の輝度に合わせて選ぶことができる。

請求項１４に係る発明は、請求項１３に記載の透明板状体の欠点検出装置において、前記ラインセンサと前記透明板状体とを、前記ラインセンサの長手方向に直交する方向に或いは前記長手方向に対し任意の角度をなす方向に相対移動することを要旨とする。

これによれば、ラインセンサの出力に基づき、透明板状体の表面の情報のみを含む２次元の画像データを得ることができる。
請求項１５に係る発明は、請求項１３又は１４に記載の透明板状体の欠点検出装置において、前記透明板状体をその裏面側から透過して前記ラインセンサに入射する光を、前記裏面側に配置した遮蔽板により遮蔽することを要旨とする。

これによれば、透明板状体を裏面側から透過してラインセンサに入射する透過光を無くすことが可能になるので、周囲を暗室にできない場合でも透明板状体の表面欠点を検出することができる。

請求項１６に係る発明は、請求項１３〜１５のいずれか１つに記載の透明板状体の欠点検出装置において、前記透明板状体の表面における前記線状照明光の入射位置を調整したときの前記表面の位置を測定基準位置とし、前記測定基準位置が、前記透明板状体の厚みの変化と前記透明板状体の搬送時における振動とにより前記厚み方向に変化する量を変位量Δｄとし、前記表面が前記測定基準位置にあるときに得られる前記線状の表面反射光と、前記表面が前記測定基準位置から前記変位量Δｄだけ変位した変位位置にあるときに得られる前記線状の表面反射光とが重なり量ΔＸだけ重なる領域を、前記線状照明光の前記表面に対する入射角θ１を調整することで作り、前記重なる領域の中心部に前記ラインセンサの視野を合わせることを要旨とする。

これによれば、透明板状体の厚みの変化や前記相対移動時（搬送時）の振動などにより、透明板状体の測定基準位置が重なり量ΔＸの範囲内で変わっても、ラインセンサ等の調整位置を変えずに、透明板状体の表面欠点を検出することができる。

なお、ここでは、「ラインセンサ等の調整位置を変えず」に、ある範囲での透明板状体の厚みの変化や搬送時の振動などにより透明板状体の測定基準位置が変動するのを許容しようとしているので、上述した（１）の視野ズレや（２）の位置ズレを画像処理で補正する必要がある。

このような作用、効果は、透明板状体が薄い場合に特に有効である。その理由は、上述した厚い透明板状体に存在する欠点を正反射照明方式で検査する場合には、前記広い第１の領域を使って検査するので、透明板状体の厚みの変化や振動などを考慮する必要がないからである。

請求項１７に係る発明は、請求項１３〜１６のいずれか１つに記載の透明板状体の欠点検出装置において、前記透明板状体の表面で正反射した前記線状照明光を前記ラインセンサで受光する正反射照明系に加えて、前記透明板状体をその裏面側から垂直に透過させる第２の線状照明光を出射する第２照明装置と、前記透明板状体を透過した前記第２の線状照明光を受光する第２ラインセンサとを有し、前記第２の線状照明光の一部を前記裏面側で遮蔽して前記第２ラインセンサの視野に明部と暗部を形成するようにした透過型の半明視野照明系を備えることを要旨とする。

これによれば、正反射照明系と透過型の半明視野照明系を組み合せることにより、透明板状体の表面欠点を検出できるとともに、その表面欠点と、その内部に存在する欠点（内部欠点）と、その裏面に存在する欠点（裏面欠点）とを、おおまかに区別することができる。

この場合、当然、２つのラインセンサの分解能（視野幅）を一致させること、及び、正反射照明系の線状照明光が透過型の半明視野照明系のラインセンサに、半明視野照明系の線状照明光が正反射照明系のラインセンサにそれぞれ影響を及ぼさないようにすることが必要である。

また、２つのラインセンサの視野のズレは、各ラインセンサの出力から画像データを作成する画像処理で一致させることができる。ここで、上記２つの照明系でそれぞれ検出した欠点位置を比較するための表示画像を得る画像処理では、上記２つのこと（１´）及び（２´）を考慮する必要がある。

請求項１８に係る発明は、請求項１７に記載の透明板状体の欠点検出装置において、前記透過型の半明視野照明系は、前記第２の線状照明光の一部を前記裏面側で遮蔽する遮蔽板と、前記第２の線状照明光の乱反射光成分を制限するための遮蔽板とを有することを要旨とする。

これによれば、第２の線状照明光の乱反射光成分を制限するための遮蔽板を用いることで、その乱反射光成分を制限することにより、埃やカレット（ガラス屑）などの歪みを持たない欠点の「明部分」を抑制して「暗部分」のみとして、「明暗」又は「暗明」パターンを持つ歪み欠点と区別することができる。

請求項１９に係る発明は、請求項１７又は１８に記載の透明板状体の欠点検出装置において、前記正反射照明系の照明装置及び前記透過型の半明視野照明系の第２照明装置は、波長の異なる第１波長の線状照明光及び第２波長の第２の線状照明光をそれぞれ出射し、前記第１波長の線状照明光が前記表面で正反射された第１波長の表面反射光を通して前記ラインセンサへ送る波長選択フィルタと、前記透明板状体をその裏面側から透過した前記第２波長の第２の線状照明光を通して前記第２ラインセンサへ送る波長選択フィルタとを備えることを要旨とする。

これによれば、正反射照明系光と透過型の半明視野照明系の各線状照明光を波長の異なる２種類の線状照明光とし、２種類の線状照明光の一方が表面で正反射された第１波長の表面反射光を正反射照明系のラインセンサに、その他方が表面で正反射された第２波長の表面反射光を半明視野照明系のラインセンサにそれぞれ入射させるようにしている。これにより、２つの照明系の線状照明光が互いに干渉しない。このため、正反射照明系と透過型の半明視野照明系を、各々のラインセンサがそれぞれ透明板状体の表面上の同じ位置を見るように配置することができるため、正反射照明系による表面欠点の検査位置と、半明視野照明系による表面欠点の検査位置とを一致させることができる。これにより起こるそれぞれの照明系による欠点の乱反射成分が、他方の照明系の測定結果に及ぼす影響を、照明光の波長域が異なることにより、制御できる。

また、２つのラインセンサの視野を物理的に一致させることにより、上述した（１）の視野ズレを補正する画像処理は必要なくなるが、上述した（２）の位置ズレを補正する画像処理は必要となる。

請求項２０に係る発明は、請求項１７又は１８に記載の透明板状体の欠点検出装置にお
いて、前記正反射照明系の照明装置及び前記透過型の半明視野照明系の第２照明装置は、波長の異なる線状照明光及び第２の線状照明光をそれぞれ出射し、前記ラインセンサと前記第２ラインセンサに代えて１つのカラーラインセンサを用い、該カラーラインセンサが、前記波長の異なる線状照明光及び第２の線状照明光を受光するように構成したことを要旨とする。

これによれば、２つの照明系に対して１つのカラーラインセンサを用いればよいので、装置の配置スペースをコンパクトにすることができる。
請求項２１に係る発明は、請求項１３〜１６のいずれか１つに記載の透明板状体の欠点検出装置において、前記透明板状体の表面で正反射した前記線状照明光を前記ラインセンサで受光する正反射照明系に加えて、前記線状照明光が前記透明板状体を透過した線状の透過光を第２ラインセンサで受光する透過型の照明系を備えることを要旨とする。

これによれば、１つの照明装置と２つのラインセンサとを使って、透明板状体の表面欠点と、その内部に存在する欠点（内部欠点）と、その裏面に存在する欠点（裏面欠点）とを、おおまかに区別することができる。

請求項２２に係る発明は、請求項１７又は１８に記載の透明板状体の欠点検出装置において、前記正反射照明系と透過型の半明視野照明系とに加えて、裏面側の正反射照明系を設け、前記裏面側の正反射照明系は、第３の線状照明光を前記透明板状体の裏面に斜めに照射する第３照明装置と、前記第３の線状照明光が前記裏面で正反射した線状の裏面照明光を受光する第３ラインセンサと、前記第３の線状照明光が前記裏面で正反射した線状の裏面反射光と、前記第３の線状照明光が前記表面で反射した線状の表面反射光とが分離されるように、前記第３の線状照明光の幅を調整する２枚の遮蔽板を備え、前記線状の裏面反射光を前記第３ラインセンサで受光するように構成したことを要旨とする。

これによれば、透明板状体の裏面欠点を裏面側の正反射照明系で検出できるので、透明板状体の表面欠点と、その内部欠点と、その裏面欠点とを、厳密に区別することができる。

以上説明したように、本発明によれば、透明板状体の表面欠点のみを検出することができる。また、本発明によれば、透明板状体の表面欠点、内部欠点、及び裏面欠点を区別することができる。

以下、本発明を具体化した実施の形態を図面に基づいて説明する。
[第１実施形態]
本発明の第１実施形態を図１及び図２に基づいて説明する。図１は第１実施形態に係る透明板状体の欠点検出装置の概略的構成を示し、図２はその欠点検出装置の原理を示している。なお、本実施形態及び以下の各実施形態では、透明板状体として、液晶表示装置やプラズマ表示装置等のフラットパネルディスプレイに用いられる両面が平行な透明ガラス基板３（以下、単に「ガラス基板３」という）を用いている。

図１に示す透明板状体の欠点検出装置１は、線状照明光２をガラス基板３の表面３ａに斜めに照射する照明装置４と、表面３ａで正反射した線状照明光２を受光する撮像手段としてのラインセンサ５と、画像処理装置６と、表示装置７と、第１遮蔽板８と、第２遮蔽板９と、第３遮蔽板１０とを備える。欠点検出装置１は、ラインセンサ５の出力に基づきガラス基板３に存在する欠点を検出するようになっている。照明装置４と、ラインセンサ５と、第１遮蔽板８と、第２遮蔽板９と、第３遮蔽板１０とにより、正反射照明系が構成
されている。

欠点検出装置１の特徴は、図２に示すように、線状照明光２がガラス基板３の表面３ａで正反射した線状の表面反射光２Ａと、線状照明光２がガラス基板３の裏面３ｂで反射した線状の裏面反射光２Ｂとが分離されるように、線状照明光２の幅を第１遮蔽板８及び第２遮蔽板９により調整し、線状の表面反射光２Ａをラインセンサ５で受光する構成にある。

線状の表面反射光２Ａと線状の裏面反射光２Ｂの関係を図２に基づいて説明する。
ある幅を持った線状照明光２を２本の直線ａ，ｂで表現すると、線状照明光２の幅を変えたとき、表面３ａに入射角θ１で入射する２本の直線ａ，ｂの一方（直線ａ）の表面反射とその他方（直線ｂ）の裏面反射とが一致する間隔Ｘ１が存在する。図２では、線状照明光２の幅を第１遮蔽板８及び第２遮蔽板９により調整することで、直線ａの表面反射と直線ｂの裏面反射とが一致した状態を示している。なお、ここにいう「線状照明光２の幅」とは、細長い長方形状である線状照明光２の短手方向の間隔をいう。また、その長手方向（図２の紙面に垂直な方向）の間隔を、以下の説明では「線状照明光２の長さ」という。

線状照明光２の幅を変えた場合、線状照明光２の反射光の領域は以下のように分けられる。
（ａ）線状照明光２の幅がＸ１未満の場合：
線状の表面反射光２Ａの領域と、線状の裏面反射光２Ｂの領域と、これら２つの領域の間に存在する反射無しの領域とができる。

（ｂ）線状照明光２の幅がＸ１の場合：
線状の表面反射光２Ａの領域と、線状の裏面反射光２Ｂの領域とができる。
（ｃ）線状照明光２の幅がＸ１を超えた場合：
線状の表面反射光２Ａの領域と、線状の裏面反射光２Ｂの領域と、これら２つの領域の間に存在し、ガラス基板３の表面３ａからの反射光と裏面３ｂからの反射光とが混在する領域ができる。

本実施形態で必要な条件である「線状の表面反射光２Ａと線状の裏面反射光２Ｂとが分離されるように」とは、上記（ａ）或いは（ｂ）の場合のような反射光の領域ができるようにすることを意味する。

通常、線状照明光２の反射光の領域が上記（ａ）或いは（ｂ）の場合のようにはっきりとした輪郭を持つ照明光は存在しないので、２枚の遮蔽板８，９を図１に示す位置に配置して、遮蔽板８，９の位置を調整することで、上記（ａ）或いは（ｂ）の場合のようなはっきりした輪郭を持つ反射光の領域ができる。

照明装置４は、ラインセンサ５における一列に並んだ全受光素子が見るだけの幅（細長い長方形状の領域）を照明する線状の照明領域を、均一な分布で作れるもので、図１の紙面に垂直な方向に細長い線状照明光２を出射するようになっている。この照明装置４は、例えば直管形の高周波点灯用蛍光灯や、分布が均一になるようにしたハロゲンランプを使った石英管等の線状の光源であり、光源本体にシリンドリカルレンズ４ａを設けて、線状照明光２の反射光の照度を高めるように構成されている。

ラインセンサ５は、例えば数千個の受光素子を一列に並べたもので、線状の表面反射光２Ａ（図１参照）を受光する位置に配置されている。
画像処理装置６は、ラインセンサ５の出力に基づき画像データを作成し、この画像デー
タを３値化処理して３値化画像データを作成する。ガラス基板３を、照明装置４及びラインセンサ５の長手方向に垂直な方向（図１の矢印で示す搬送方向）に搬送することにより、画像処理装置６から２次元の３値化画像データが出力される。なお、ここにいう「３値化処理」とは、２次元画像データ全体の平均的な明るさを基準の明るさとし、これを基準にして、＋側と−側の閾値を設定し、画像データが＋側の閾値以上の画素では明るい表示（「明部」の表示）をさせ、同データが−側の閾値以下の画素では暗い表示（「暗部」の表示）をさせる処理をいう。

表示装置７は、画像処理装置６から出力される３値化画像データにより、対応する各画素に、「明部」、「暗部」及び「中間輝度」の３種類の表示のいずれかをさせるようになっている。表示装置７で表示される画像からガラス基板３の表面３ａに欠点が存在すること、及びその欠点の種類が分かる。

本例のように、ガラス基板３の表面３ａ側に照明装置４とを正反射位置に配置した表面側正反射照明法（表面側の正反射照明系）による欠点検出装置１では、例えば図６及び図７に示すように、欠点のパターンＡとＢのいずれか一方が表示装置７で表示された画像に存在する場合、その表示された個所に欠点があることが分かる。

図６はガラス基板３の表面３ａに、カレットや傷等が付いたと仮定したときの欠点の分類を示し、図７はその表面３ａにカレットや埃等の無い綺麗な理想的なガラス基板を用いたと仮定したときの欠点の分類を示している。

図６及び図７において、欠点のパターンＡは、「暗部分」（明部分の有無は問わない）があるパターンで、欠点のパターンＢは「明部分のみ」があるパターンである。欠点のパターンＡが表示されることにより、表面３ａに存在する欠点によってラインセンサ５に入射する表面反射光２Ａの光量が減ってラインセンサ５の出力が落ちたことが分かる。欠点のパターンＡの表示から分かる欠点は、図６及び図７においてそのパターンＡの右側にある３つの欄に区分して示してあるように、表面にそれぞれ存在する「破れ泡」、「異物」、「異物跡」、「傷」、「カレット」等である。また、欠点のパターンＢの表示から分かる欠点は、図６及び図７においてそのパターンＢの右側にある１つの欄に区分して示してあるように、ガラス基板３の内部で表面３ａ付近に存在する「泡（表面付近）」である。泡の上面はガラス基板３の裏面３ｂと同じ原理で光を反射する。この反射光が、ラインセンサ５の視野と重なる条件に一致する表面３ａに存在する泡は「明部分」のみの欠点として検出される。

そして、図６及び図７における領域Ｅは、表面側正反射照明法による欠点検出装置１では欠点を検出されない非検出領域である。その非検出領域Ｅの右側にある欄（図６では６つの欄、図７では４つの欄）には、その欠点検出装置１では検出されない欠点を区分して示してある。

遮蔽板８，９，１０はそれぞれ、黒或いはそれに近い反射率の色に表面加工された矩形状の板で、例えば黒アルマイト加工されたアルミ材などで構成されている。遮蔽板８，９は、線状照明光２の幅を調整するために、上記「線状照明光２の長さ」よりも充分に長い長さ（長手方向の間隔）を有している。第１遮蔽板８は、ガラス基板３の表面３ａに近い位置に、表面３ａにほぼ平行に配置され、第２遮蔽板９は、表面３ａに対して垂直に配置されている。

第３遮蔽板１０は、ガラス基板３をその裏面３ｂ側から透過してラインセンサ５に入射する光を、遮蔽するためのもので、裏面３ｂ側に配置されている。
以上のように構成された第１実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。

○線状照明光２の幅を２枚の遮蔽板８，９により調整することで、線状の表面反射光２Ａの領域と線状の裏面反射光２Ｂの領域とが分離されるようにして、線状の表面反射光２Ａをラインセンサ５で見るようにしている。このため、ラインセンサ５からは、ガラス基板３の表面３ａの情報のみを含む出力が得られ、この出力に基づきガラス基板３の表面３ａに存在する欠点（表面欠点）のみを検出することができる。

例えば、ガラス基板３に表面欠点があると、ラインセンサ５に入射する線状の表面反射光２Ａの光量が減って、ラインセンサ５の出力が落ちるので、その低下量を閾値と比較することで、透明板状体の表面欠点を検出することができる。また、ラインセンサ５に入射する光には、線状の表面反射光２Ａの領域内にあるガラス基板３内部の泡等の欠点により生じる乱反射光が含まれる場合があるが、この乱反射光は欠点の無い表面３ａでの正反射光の基準レベルよりも明るくなるので、ガラス基板３内部の泡等の欠点は暗く検出される表面欠点と区別可能である。

したがって、ガラス基板３の内部や裏面３ｂの影響を完全に無くすことができ、ガラス基板３の表面欠点のみを検出することができる。
○上記作用、効果は、ガラス基板３が薄い場合に特に有効である。

その理由は、厚いガラス基板に存在する欠点を正反射照明方式で検査する場合には、特別に工夫しなくても、広い線状の表面反射光２Ａの領域と、線状の裏面反射光２Ｂの領域と、これら２つの領域の間に存在する反射無しの領域とが得られ、広い表面反射光２Ａの領域をラインセンサ５で見るようにすれば良いからである。

○ガラス基板３の裏面３ｂの影響を完全に無くすことができるため、上記特許文献１に記載されているように、反射角度がガラス基板の透過率や反射率に依存する点を考慮する必要がない。線状照明光２が表面で正反射した線状の表面反射光２Ａの反射角度の範囲は、ガラス基板３の厚み、厚みの変動、屈折率、欠点検出の分解能等の条件にのみ依存するものであり、これらの条件を、その範囲内で、線状照明光２を出射する照明装置４及びラインセンサ５の設置条件や照明装置４の輝度に合わせて選ぶことができる。

○照明装置４及びラインセンサ５で構成される正反射照明系と、ガラス基板３とをラインセンサ５の長手方向に直交する方向に相対移動する、例えばガラス基板３を図１の搬送方向に搬送することで、ラインセンサ５の出力に基づき、ガラス基板３の表面３ａの情報のみを含む２次元の画像データを得ることができる。

○表示装置７で上記パターンＡの表示がされることにより、ガラス基板３の表面３ａに「破れ泡」、「異物」、「異物跡」、「傷（大）」、「カレット（大）」等の表面欠点が存在することが分かる（図６及び図７参照）。

○表示装置７で上記パターンＢの表示がされることにより、ガラス基板３の内部で表面３ａ付近に「泡（表面付近）」の表面欠点が存在することが分かる。
○線状照明光２の幅を調整するのに２枚の遮蔽板８，９を使うことで、両側の境界がはっきりした線状の表面反射光２Ａの領域を容易に作ることができる。

○２枚の遮蔽板８，９の一方（遮蔽板８）により、ラインセンサ５の視野内にある表面欠点で、裏面３ｂへ投影される像（図１の光線１１による像）が遮蔽されるので、同じ表面欠点が二重検出されるのを防止できる。

○ガラス基板３をその裏面３ｂ側から透過してラインセンサ５に入射する光を、第３遮
蔽板１０により遮蔽する構成により、ガラス基板３を裏面３ｂ側から透過してラインセンサ５に入射する透過光を無くすことが可能になるので、周囲を暗室にできない場合でもガラス基板３の表面欠点を検出することができる。

[第２実施形態]
本発明の第２実施形態を図３及び図４に基づいて説明する。本実施形態及び以下の各実施形態の説明において、上記第１実施形態と同様の部位には同一の符号を付して重複した説明を省略する。

通常、ガラス基板３の表面３ａには誘電体多層膜等のパターンが形成されるので、表面３ａの欠点が最も重要である。そのため、ガラス基板３の搬送時には、表面３ａに傷が付かないよう、ローラなどが表面３ａに接触しないような搬送法にする。つまり、表面３ａを上にして裏面３ｂ側をローラに接触させて搬送する。そして、表面３ａ側に照明装置４及びラインセンサ５を含む正反射照明系を配置し、正反射照明系の位置を表面３ａに対して調整した上で、欠点の検査作業を行う。

このような搬送法及び正反射照明系の配置によりガラス基板３の欠点を検出する方法において、厚みの大きいガラス基板の欠点を検査する場合には、広い表面反射領域を使って検査するので、厚みの変化や搬送時の振動などを考慮する必要がなかった。しかし、そのような欠点検出方法において、厚みの薄いガラス基板３の欠点を検査する場合には、ガラス基板３の厚みの変化や搬送時の振動により表面３ａの位置が変わるので、その位置変化に応じて正反射照明系をガラス基板３の表面３ａに対して調整する必要があった。

そこで、本実施形態の欠点検出装置１は、上記第１実施形態において、ガラス基板３の厚みの変化や搬送時の振動等に対する照明幅の余裕（重なり量ΔＸ）を持たせることにより、ガラス基板３の測定基準位置がΔＸの範囲内で変わっても、正反射照明系の調整位置を変えずに、ガラス基板３の表面欠点を検出できるようにした構成に特徴がある。

図３は第２実施形態に係る透明板状体の欠点検出装置１の原理を示している。
図３において、ガラス基板３の表面３ａにおける線状照明光２の入射位置とその入射角θ１を調整したときの表面３ａの位置を測定基準位置３Ａとし、その測定基準位置３Ａが、ガラス基板３の厚みの変化と搬送時の振動とにより厚み方向に変位量Δｄだけ変位した位置を変位位置３Ｂとしている。

表面３ａが測定基準位置３Ａにあるときに得られる線状の表面反射光２Ａと、表面３ａが変位位置３Ｂにあるときに得られる線状の表面反射光２Ａ´とが重なり量ΔＸだけ重なる領域１２を、線状照明光２の表面３ａに対する入射角θ１を調整することで作る。そして、重なり量ΔＸだけ重なる領域１２の中心部にラインセンサ５の視野を合わせる。その重なる領域１２の重なり量ΔＸが前記照明幅の余裕であり、その重なり量ΔＸが、ガラス基板３の厚み変化量、搬送時の振動による表面３ａ（測定基準位置３Ａ）の変位量、検査の分解能等に関係する。

＜最適な照明幅の余裕を持たせるための照明の角度条件の計算例＞
その計算式は一般的に良く知られているので省略し、その計算結果のみを図４に示す。
図４は、屈折率が１．５３で、厚みが１．８から２．８ｍｍのガラス基板３を検査するための照明の角度条件についての計算結果を示す。ガラス基板３の基準厚みを２．８ｍｍ、ガラス基板３の厚み変位と搬送時の振動の影響を併せた表面３ａの変位量Δｄを１．１０ｍｍとすると、図４に示すように、入射角θ１（°）に対する照明幅の余裕（重なり量ΔＸ（ｍｍ））が得られる。なお、図４において、出射角θ２（°）は図２に示す屈折角θ２であり、重なりの無い照明幅Ｘ１´及びＸ１（ｍｍ）と、表面変位による光路変位Ｘ
２´及びＸ２（ｍｍ）とは、それぞれ図３で示す通りである。

ラインセンサ５の分解能を２０μｍとすると、入射角θ１が３５°以上のときには、照明幅の余裕（ΔＸ）が０．０４ｍｍ（４０μｍ）以上となり、照明幅の余裕（ΔＸ）をラインセンサ５の分解能の整数倍以上（「２」以上）にするという条件を満たす。実際には、遮蔽板８，９の加工精度や表面３ａの角度変動の影響、照明装置４の輝度や設置場所などの諸条件を総合的に判断して、なるべく入射角θ１が大きくなるように選ぶことができる。例えば、θ１＝６０°の時は、ΔＸ＝１．４２ｍｍとなり、遮蔽板８，９にアルミの押し出し材のような安価な材料が使用可能になる。

以上のように構成された第２実施形態によれば、上記第１実施形態の奏する作用効果に加えて、以下の作用効果を奏する。
○ガラス基板３の厚みの変化や搬送時の振動等により、ガラス基板３の表面３ａの位置が重なり量ΔＸ（照明幅の余裕）の範囲内で変わっても、正反射照明系の調整位置を変えずに、ガラス基板３の表面欠点を検出することができる。

○また、ここでは、「ラインセンサ５等の調整位置を変えず」に、ある範囲でのガラス基板３の厚みの変化や搬送時の振動などによりガラス基板３の測定基準位置３Ａの位置が変動するのを許容しようとしているので、以下に述べる（１）の視野ズレや（２）の位置ズレを画像処理で補正する必要がある。このような補正を行うことにより、ガラス基板３の厚みの許容範囲にある別々の欠点候補を同一の欠点候補と見なす誤判断の可能性を著しく低減することができる。

（１）許容範囲内で表面３ａの位置が変動したときの搬送方向におけるラインセンサ５の視野のズレは、ガラス基板３の厚みごとに変化する。
（２）同じ厚みのガラス基板３でも、測定基準位置３Ａの位置が搬送時の振動などにより変動することにより、正反射照明系で検出する欠点位置は、ラインセンサ５の素子方向に比べて、搬送方向に大きく変動する。

上記（１）の視野ズレの補正は、例えば、予め使用するガラス基板３の厚み情報を取得して測定基準位置３Ａからの表面３ａの位置ズレ量を計算して、その位置ズレ量だけズレた測定基準位置３Ａ，変位位置３Ｂに対応する２つのラインセンサ５の視野のズレ量から加減して、２つの表示画像の座標位置を一致させるように行う。また、上記（２）の位置ズレの補正は、検出した欠点候補の位置の比較の許容値を、ガラス基板３の厚みの許容範囲と振動による測定基準位置３Ａの変位量とによって加減することで行う。

上記（１）の視野ズレの補正をしない場合は、上記（２）の位置ズレの補正値が大きくなり、その許容範囲内にある別々の欠点候補を同一の欠点候補と見なす可能性がある。このことを図３及び図４に基づいて説明する。

図３の領域１２の上側の破線をラインセンサ５の視線とすると、その視線１２´が測定基準位置３Ａと変位位置３Ｂのそれぞれと交差する点が検査位置となり、これら２つの検査位置（３Ａ，３Ｂ）の左右方向（搬送方向）の距離は、Ｘ２´／２となる。図４の条件（入射角θ＝６０°、２種類のガラス基板の厚みの差（１ｍｍ）と厚みの許容値と振動による変位量（０．１ｍｍ）の合計がΔｄ＝１．１０ｍｍ）では、Ｘ２´／２＝１．９１ｍｍとなる。

上記（１）の視野ズレの補正をしない場合は、同じ厚みのガラス基板３の場合でも、上記（２）の許容値は、搬送方向で１．９１ｍｍとなり、上記許容範囲内にある別々の欠点候補を同一の欠点候補と見なす誤判断の可能性が高いことがわかる。

上記（１）の視野ズレの補正をする場合は、その補正処理により、２つの検査位置（３Ａ，３Ｂ）に対応する２つのラインセンサ５の視野のズレ量から、ガラス基板の厚みの差１ｍｍ分の１．７３ｍｍを予め加減しておく。これにより、上記（２）の補正処理での許容値は０．１８ｍｍとなり、上記（１）の補正をしない場合に比べて、上記誤判断の可能性を著しく低減することができる。

○このような作用、効果は、ガラス基板３が薄い場合に特に有効である。
○重なり量ΔＸ（照明幅の余裕）がラインセンサ５の分解能より狭いと、反射光の光量（輝度レベル）がガラス基板３の厚みの変化と搬送時の振動による測定基準位置３Ａの変位により大きく変動する。重なり量ΔＸをラインセンサ５の分解能の整数倍以上（「２」以上）とすることで、反射光の光量（輝度レベル）が測定基準位置３Ａの変位により変動するのを抑制できる。

○重なり量ΔＸ（照明幅の余裕）をラインセンサ５の分解能の整数倍以上（「２」以上）という条件を満たすように、なるべく入射角θ１を大きくすることで、遮蔽板８，９の加工精度や表面３ａの角度変動の影響、照明装置４の輝度や設置場所などの諸条件を緩和することができ、装置の製造が容易になる。これとともに、遮蔽板８，９にアルミの押し出し材のような安価な材料が使用可能になり、安価な装置を実現できる。

[第３実施形態]
本発明の第３実施形態を図５〜図７に基づいて説明する。
本実施形態の欠点検出装置１は、図１に示す上記第１実施形態において、ガラス基板３の表面３ａで正反射した線状照明光２（線状の表面反射光２Ａ）をラインセンサ５で受光する正反射照明系に加えて、透過型の半明視野照明系を用いた構成に特徴がある。

透過型の半明視野照明系は、ガラス基板３をその裏面３ｂ側から透過させる第２の線状照明光２０を出射する第２照明装置としての照明装置２１と、第２の線状照明光２０の透過光（線状の透過光２０Ａ）を受光する第２ラインセンサ２２と、２つの遮蔽板２３，２４とを備える。照明装置２１と第２ラインセンサ２２は、ガラス基板３に対して垂直な位置に配置されている。

照明装置２１は、図１に示す照明装置４と同様の線状の光源であり、光源本体にシリンドリカルレンズ２１ａを設けてある。第２ラインセンサ２２は、図１に示すラインセンサ５と同様のラインセンサである。

遮蔽板２３は、第２の線状照明光２０の一部（ほぼ半分）を裏面３ｂ側で遮蔽して第２ラインセンサ２２の視野に明部と暗部を形成するためのものである。
遮蔽板２４は、第２の線状照明光２０の乱反射光成分を裏面３ｂ側で制限するためのものである。

本実施形態の欠点検出装置１では、２つのラインセンサ５，２２の分解能（視野幅）を一致させること、及び、正反射照明系の線状照明光２が透過型の半明視野照明系のラインセンサ２２に、半明視野照明系の線状照明光２０が正反射照明系のラインセンサ５にそれぞれ影響を及ぼさないようにすることが必要である。また、２つのラインセンサ５，２２の視野のズレは、画像処理装置６により各ラインセンサ５，２２の出力から画像データ（上記３値化画像データ）を作成する画像処理で一致させることができる。

そして、画像処理装置６は、ラインセンサ５の出力を上述したように３値化処理して３値化画像データを作成するとともに、第２ラインセンサ２２の出力に基づき画像データを
作成し、この画像データを３値化処理して３値化画像データを作成する。これにより、表示装置７は、第２ラインセンサ２２の出力に基づいて作成した３値化画像データに応じて、欠点の種類や欠点のある個所によって、ガラス基板の搬送方向に明部分（「明部」）と暗部分（「暗部」）が画素で表示される欠点のパターンから、欠点の種類及び位置を識別するようにしている。

本例の欠点検出装置１では、上記第１実施形態の正反射照明系に加えて、透過型の半明視野照明系を用いているため、図６及び図７に示す欠点のパターンＣ及びＤにより、上記第１実施形態では検出されない欠点を検出することができる。

例えば、図６及び図７に示すように、明部分と暗部分の両方が順に表示される欠点のパターンＣの表示から分かる欠点は、そのパターンＣの下側にある５つの欄に区分して示してある。それらの欠点は、表面３ａに存在する「破れ泡」や「異物」等の欠点、裏面３ｂに存在する「破れ泡」や「異物」等の欠点、内部に存在する「泡」や「異物（歪み有り）」等の欠点、表面３ａに存在する欠点、及び、「泡（表面付近）」などである。

また、明部分又は暗部分のみが表示される欠点のパターンＤの表示から分かる欠点は、そのパターンＤの下側にある４つの欄に区分して示してある。それらの欠点は、表面表面に存在する「傷（小）」等の欠点、裏面に存在する「傷（小）」等の欠点、内部に存在する「異物（歪み無）」、及び、表面３ａに存在する欠点などである。そして、図６及び図７における領域Ｆは、透過照明（透過型の半明視野照明系）では欠点を検出されない非検出領域であり、図６の非検出領域Ｆの下側にある２つの欄に、透過照明では検出されない欠点を区分して示してある。

なお、本例では、図６及び図７から分かるように、正反射照明系と透過型の半明視野照明系の照明方式の違いによる感度差と、上記３値化処理における３値化のスライスレベルの設定により、一方の照明系で検出された欠点候補が他方の照明系で検出されないことが起こりえる。また、３値化のスライスレベルの設定により、本来の区画とは別の区画に欠点が分類される可能性があることも明らかである。これらを踏まえて、上記３値化処理において、確実に検出したい欠点の大部分が本来の区画に区分されるように、上記２つの照明系のスライスレベルを調整する。

以上のように構成された第３実施形態によれば、上記第１実施形態の奏する作用効果に加えて、以下の作用効果を奏する。
○正反射照明系と透過型の半明視野照明系を組み合せることにより、第１実施形態により検出できる「破れ泡」等の表面欠点と「泡（表面付近）」の欠点に加えて、欠点のパターンＣ及びＤにより表面、裏面及び内部に存在する各種の欠点（図６，７参照）を検出できる。したがって、最も重要なガラス基板３の表面欠点を検出できるとともに、その表面欠点と、その内部に存在する欠点（内部欠点）と、その裏面に存在する欠点（裏面欠点）と、表面３ａ付近に存在する欠点とをおおまかに区別することができる。例えば、正反射照明系で検出した欠点の情報（欠点位置の情報）を含む画像データによる表示画像と、半明視野照明系で検出した欠点の情報（欠点位置の情報）を含む画像データによる表示画像とを比較することで、上記各欠点を大まかに区別することができる。

なお、図６及び図７において、透過型の半明視野照明系により得られる欠点のパターンＣ（「明部分と暗部分の両方」）に分類されている欠点のうち、「破れ泡」と「異物跡」は搬送方向での明暗パターンの現れ方により区別可能であるが、歪みが大きくなると明暗パターンも複雑になり両者の区別が困難になる。しかし、そのように分類困難となるような「破れ泡」や「異物跡」は、区別するまでも無く欠点と判断できるので、問題は無い。

○本例では、２つのラインセンサ５，２２の分解能（視野幅）を一致させること、及び、正反射照明系の線状照明光２Ａが透過型の半明視野照明系のラインセンサ２２に、半明視野照明系の線状照明光２０Ａが正反射照明系のラインセンサ５にそれぞれ影響を及ぼさないようにすることが必要である。また、２つのラインセンサ５，２２の視野のズレは、各ラインセンサ５，２２の出力から画像データを作成する画像処理で一致させることができる。

ここで、上記２つの照明系でそれぞれ検出した欠点位置を比較するための表示画像を得る画像処理では、以下の２つのことを考慮する必要がある。
（１´）搬送方向の２つのラインセンサ５，２２の視野のズレは、ガラス基板３の厚みごとに変化する。

（２´）同じ厚みのガラス基板３でも、測定基準位置が搬送時の振動などにより変動することにより、正反射照明系で検出する欠点位置は、ラインセンサ５の素子方向に比べて、搬送方向に大きく変動する。

この位置変動（正反射照明系で検出する欠点位置の搬送方向における変動）は、欠点位置の比較の処理で、つまり、半明視野照明系で検出した欠点位置と比較するための表示画像を得る画像処理で、搬送方向に余裕を持たせることにより対処する。

また、ラインセンサ５の素子方向の位置変動（欠点位置の素子方向における位置ズレ）は、ガラス基板３中で光が屈折することにより発生するので、ガラス基板３の表面３ａ及び裏面３ｂでは実際の欠点位置と異なる場合がある。しかし、その位置ズレは、ガラス基板３の表面３ａでは起こることが無く、半明視野照明系で検出した欠点位置を正反射照明系で検出した欠点位置と比較するのに支障はないので、その位置ズレの許容値は小さく設定できる。

○透過型の半明視野照明系に第２の線状照明光２０の乱反射光成分を制限するための遮蔽板２４を用いることで、その乱反射光成分を制限することにより、埃やカレット（ガラス屑）などの歪みを持たない欠点の「明部分」を抑制して「暗部分」のみとして、「明暗」又は「暗明」パターンを持つ歪み欠点と区別することができる。

[第４実施形態]
本発明の第４実施形態を図８に基づいて説明する。
本実施形態の欠点検出装置１は、上記第３実施形態において、正反射照明系の線状照明光２と半明視野照明系の線状照明光２０を波長の異なる２種類の光（波長λ１の光と波長λ２の光）としている。そして、波長λ１の線状照明光２を正反射照明系のラインセンサ５に、波長λ２の線状照明光２０を半明視野照明系のラインセンサ２２にそれぞれ入射させるようにした構成に特徴がある。

そのために、この欠点検出装置１には、照明装置４から出射される線状照明光２から波長λ１の光のみを通して波長λ１の線状照明光２を作る波長選択フィルタ３１と、波長λ１の線状照明光２が表面３ａで正反射された波長λ１の表面反射光２Ａを通してラインセンサ５へ送る波長選択フィルタ３２とが設けられている。また、欠点検出装置１には、第２の線状照明光２０から波長λ２の光のみを通して波長λ２の第２の線状照明光２０を作る波長選択フィルタ３３と、ガラス基板３を裏面３ｂ側から透過した波長λ２の第２の線状照明光２０の透過光を通してラインセンサ２２へ送る波長選択フィルタ３４とが設けられている。

照明装置４と波長選択フィルタ３１とにより、波長λ１（第１波長）の線状照明光２を
出射する照明装置が構成され、また、照明装置２１と波長選択フィルタ３３とにより、波長λ２（第２波長）の第２の線状照明光２０を出射する照明装置が構成されている。

そして、正反射照明系と透過型の半明視野照明系は、各々のラインセンサ５，２２がそれぞれガラス基板３の表面３ａ上の同じ位置を見るように配置されている。
以上のように構成された第４実施形態によれば、上記第３実施形態の奏する作用効果に加えて、以下の作用効果を奏する。

○２つの照明系（正反射照明系と透過型の半明視野照明系）の線状照明光２，２０を波長の異なる２種類の線状照明光とし、２種類の線状照明光の一方を正反射照明系のラインセンサ５に、その他方を半明視野照明系のラインセンサ２２にそれぞれ入射させることで、２つの照明系の線状照明光２，２０が互いに干渉しないようにしている。このため、正反射照明系と透過型の半明視野照明系を、各々のラインセンサ５，２２がそれぞれガラス基板３の表面３ａ上の同じ位置を見るように配置することができるため、正反射照明系による表面欠点の検査位置と、半明視野照明系による表面欠点の検査位置とを一致させることができる。これにより起こるそれぞれの照明系による欠点の乱反射成分が、他方の照明系の測定結果に及ぼす影響を、照明光の波長域が異なることにより、制御できる。

○２つのラインセンサ５，２２の視野を物理的に一致させることにより、上述した（１）の視野ズレを補正する画像処理は必要なくなるが、上述した（２）の位置ズレを補正する画像処理は必要となる。上述した（１）の視野ズレを補正する画像処理は必要ないので、画像処理装置６が実行する処理が軽減され、画像処理装置６の処理速度が向上する。

[第５実施形態]
本発明の第５実施形態を図９に基づいて説明する。
本実施形態の欠点検出装置１は、上記第３実施形態において、正反射照明系の線状照明光２と半明視野照明系の線状照明光２０を波長（色）の異なる２種類の光（例えば赤色の光Ｒと緑色の光Ｇ）としている。また、赤色の線状照明光２（Ｒ）の線状の表面反射光２Ａと、緑色の線状照明光２０（Ｇ）の透過光（線状の透過光２０Ａ）とを１つのカラーラインセンサ４０で受光するようにしている。そして、波長の異なる線状の表面反射光２Ａと線状の透過光２０Ａとに対応するカラーラインセンサ４０の２種類の出力信号を、画像処理装置６で個別に画像処理するようになっている。

そのために、この欠点検出装置１には、照明装置４から出射される線状照明光２から赤色の光Ｒのみを通して赤色の線状照明光２を作る波長選択フィルタ４１と、照明装置２１から出射される第２の線状照明光２０から緑色の光Ｇのみを通して緑色の第２の線状照明光２０を作る波長選択フィルタ４２とが設けられている。

照明装置４と波長選択フィルタ４１とにより、赤色の線状照明光２を出射する照明装置が構成され、また、照明装置２１と波長選択フィルタ４３とにより、緑色の線状照明光２０を出射する照明装置が構成されている。

そして、正反射照明系の照明装置４と透過型の半明視野照明系の照明装置２１は、赤色の線状照明光２が表面３ａに入射する位置と緑色の第２の線状照明光２０がガラス基板３を透過して表面３ａから出射する位置とが同じになるように配置されている。

以上のように構成された第５実施形態によれば、上記第３実施形態の奏する作用効果に加えて、以下の作用効果を奏する。
○２つの照明系に対して１つのカラーラインセンサ４０を用いればよいので、装置の配置スペースをコンパクトにすることができる。

[第６実施形態]
本発明の第６実施形態を図１０に基づいて説明する。
本実施形態の欠点検出装置１では、上記第１実施形態において、ガラス基板３の表面３ａで正反射した線状照明光２をラインセンサ５で受光する正反射照明系に加えて、線状照明光２がガラス基板３を透過した線状の透過光２Ｃを第２ラインセンサ２２で受光する透過型の照明系を設けてある。

以上のように構成された第６実施形態によれば、上記第１実施形態の奏する作用効果に加えて、以下の作用効果を奏する。
○１つの照明装置４と２つのラインセンサ５，２２とを使って、ガラス基板３の表面欠点と、その内部に存在する欠点（内部欠点）と、その裏面に存在する欠点（裏面欠点）とを、おおまかに区別することができる。

[第７実施形態]
本発明の第７実施形態を図１１に基づいて説明する。
本実施形態の欠点検出装置１では、上記第３実施形態において、正反射照明系と透過型の半明視野照明系とに加えて、裏面側の正反射照明系（第２の正反射照明系）を設けた構成に特徴がある。

裏面側の正反射照明系は、第３の線状照明光５２をガラス基板３の裏面３ｂに斜めに照射する照明装置５４（第３照明装置）と、第３の線状照明光５２が裏面３ｂで正反射した線状の裏面照明光５２Ａを受光する第３ラインセンサ５５とを備える。照明装置５４には、照明装置４と同様に、光源本体にシリンドリカルレンズ５４ａが設けられている。

また、裏面側の正反射照明系は、第３の線状照明光５２が裏面３ｂで正反射した線状の裏面反射光と、第３の線状照明光が表面３ａで反射した線状の表面反射光とが分離されるように、第３の線状照明光の幅を調整する２枚の遮蔽板５８，５９とを備え、線状の裏面反射光を第３ラインセンサ５５で受光するように構成されている。

そして、裏面側の正反射照明系は、正反射照明系及び透過型の半明視野照明系とは離れた位置において、ガラス基板３の裏面に存在する欠点を検出するようになっている。
以上のように構成された第７実施形態によれば、上記第３実施形態の奏する作用効果に加えて、以下の作用効果を奏する。

○ガラス基板３の裏面に存在する欠点（裏面欠点）を裏面側の正反射照明系で検出できるので、ガラス基板３の表面欠点と、その内部欠点と、その裏面欠点とを、厳密に区別することができる。

なお、この発明は以下のように変更して具体化することもできる。
・上記第１実施形態では、透明板状体として、液晶表示装置やプラズマ表示装置等のフラットパネルディスプレイに用いられる両面が平行な透明ガラス基板３を用いているが、本発明は両面が平行な透明ガラス基板の欠点を検出するのに広く適用可能である。

・上記各実施形態では、欠点検出装置に用いる電気的構成の一例として、画像処理装置６と表示装置７とを備えた構成を説明したが、本発明の欠点検出装置に用いる電気的構成は、各ラインセンサの出力に基づいて透明ガラス基板３に欠点が有るか否かを判別し、その判別結果を表示或いは音等で作業者に知らせるような構成であってもよい。

・上記第１実施形態では、ラインセンサ５と透明ガラス基板３とを相対移動させる搬送
方向をラインセンサ５に直交する方向としているが、その搬送方向はラインセンサ５に直交する方向に限らない。その搬送方向に平行に存在する傷及び内部の歪み欠点を検出するには、その搬送方向をラインセンサ５に対して９０°以外の任意の角度にすると効果的である。

第１実施形態に係る透明板状体の欠点検出装置の概略的構成を示す構成図。 同欠点検出装置の原理説明図。 第２実施形態に係る透明板状体の欠点検出装置の原理説明図。 同欠点検出装置における照明の角度条件の計算結果を示す説明図。 第３実施形態に係る透明板状体の欠点検出装置の概略的構成を示す構成図。 透明ガラス基板の表面にカレット等が付いたときの欠点の分類を示す説明図。 同表面が綺麗なガラス基板を用いたときの欠点の分類を示す説明図。 第４実施形態に係る透明板状体の欠点検出装置の概略的構成を示す構成図。 第５実施形態に係る透明板状体の欠点検出装置の概略的構成を示す構成図。 第６実施形態に係る透明板状体の欠点検出装置の概略的構成を示す構成図。 第７実施形態に係る透明板状体の欠点検出装置の概略的構成を示す構成図。

符号の説明

Ｅ，Ｆ，１２…領域、Ｇ，Ｒ…光、λ１，λ２…波長、ΔＸ…重なり量、１…欠点検出装置、２，２Ａ，２０，２０Ａ…線状照明光、２Ａ…表面反射光、２Ｂ…裏面反射光、２Ｃ，２０Ａ…透過光、３…透明ガラス基板、３ａ…表面、３ｂ…裏面、３Ａ…測定基準位置、３Ｂ…変位位置、４，２１，５４…照明装置、５，２２…ラインセンサ、８，９，１０，２３，２４，５８，５９…遮蔽板、２０…第２の線状照明光、２２…第２ラインセンサ、３１，３２，３３，３４，４１，４２，４３…波長選択フィルタ、４０…カラーラインセンサ、５２…第３の線状照明光、５２Ａ…裏面照明光、５５…第３ラインセンサ。

Claims (22)

1. 線状照明光を透明板状体の表面に斜めに照射し、前記表面で正反射した前記線状照明光を撮像手段で受光し、前記撮像手段の出力に基づき前記透明板状体に存在する欠点を検出する透明板状体の欠点検出方法であって、
   前記線状照明光が前記表面で正反射した線状の表面反射光と、前記線状照明光が前記透明板状体の裏面で反射した線状の裏面反射光とが分離されるように、前記線状照明光の幅を調整し、
   前記線状の表面反射光を前記撮像手段で受光することを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
2. 請求項１に記載の透明板状体の欠点検出方法において、
   前記撮像手段はラインセンサであり、前記ラインセンサと前記透明板状体とを、前記ラインセンサの長手方向に直交する方向に或いは前記長手方向に対し任意の角度をなす方向に相対移動することを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
3. 請求項２に記載の透明板状体の欠点検出方法において、
   前記線状照明光の幅を２枚の遮蔽板により調整することを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
4. 請求項２又は３に記載の透明板状体の欠点検出方法において、
   前記透明板状体をその裏面側から透過して前記ラインセンサに入射する光を、前記裏面側に配置した遮蔽板により遮蔽することを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
5. 請求項２〜４のいずれか１つに記載の透明板状体の欠点検出方法において、
   前記透明板状体の表面における前記線状照明光の入射位置を調整したときの前記表面の位置を測定基準位置とし、前記測定基準位置が、前記透明板状体の厚みの変化と前記透明板状体の搬送時における振動とにより前記厚み方向に変化する量を変位量Δｄとし、
   前記表面が前記測定基準位置にあるときに得られる前記線状の表面反射光と、前記表面が前記測定基準位置から前記変位量Δｄだけ変位した変位位置にあるときに得られる前記線状の表面反射光とが重なり量ΔＸだけ重なる領域を、前記線状照明光の前記表面に対する入射角θ１を調整することで作り、前記重なる領域の中心部に前記ラインセンサの視野を合わせることを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
6. 請求項５に記載の透明板状体の欠点検出方法において、
   前記重なり量ΔＸを前記ラインセンサの分解能の整数倍以上とすることを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
7. 請求項２〜６のいずれか１つに記載の透明板状体の欠点検出方法において、
   前記透明板状体の表面で正反射した前記線状照明光を前記ラインセンサで受光する正反射照明系に加えて、
   前記透明板状体をその裏面側から透過させる第２の線状照明光を第２ラインセンサで受光するとともに、前記第２の線状照明光の一部を前記裏面側で遮蔽して第２ラインセンサの視野に明部と暗部を形成するようにした透過型の半明視野照明系を用いることを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
8. 請求項７に記載の透明板状体の欠点検出方法において、
   前記透過型の半明視野照明系には、前記第２の線状照明光の一部を前記裏面側で遮蔽する遮蔽板と、前記第２の線状照明光の乱反射光成分を制限するための遮蔽板とを用いることを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
9. 請求項７又は８に記載の透明板状体の欠点検出方法において、
   前記正反射照明系の前記線状照明光と前記半明視野照明系の前記線状照明光は波長の異なる２種類の線状照明光とし、前記２種類の線状照明光の一方を前記正反射照明系のラインセンサに、その他方を前記半明視野照明系のラインセンサにそれぞれ入射させることを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
10. 請求項７又は８に記載の透明板状体の欠点検出方法において、
    前記正反射照明系の前記線状照明光と前記半明視野照明系の前記第２の線状照明光を波長の異なる２種類の線状照明光とし、前記ラインセンサと前記第２ラインセンサに代えて１つのカラーラインセンサを用い、該カラーラインセンサが、前記２種類の線状照明光の一方が前記表面で正反射された線状の表面反射光と、前記２種類の線状照明光の他方が前記透明板状体を透過した線状の透過光とを受光するようにしたことを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
11. 請求項２〜６のいずれか１つに記載の透明板状体の欠点検出方法において、
    前記透明板状体の表面で正反射した前記線状照明光を前記ラインセンサで受光する正反射照明系に加えて、
    前記線状照明光が前記透明板状体を透過した透過光を第２ラインセンサで受光する照明系を用いることを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
12. 請求項７又は８に記載の透明板状体の欠点検出方法において、
    前記正反射照明系と前記透過型の半明視野照明系とに加えて、前記透明板状体の裏面で正反射した線状照明光を第３のラインセンサで受光する第２の正反射照明系を用いることを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
13. 照明装置から出射される線状照明光を透明板状体の表面に斜めに照射し、前記表面で正反射した前記線状照明光をラインセンサで受光し、前記ラインセンサの出力に基づき前記透明板状体に存在する欠点を検出する透明板状体の欠点検出装置であって、
    前記線状照明光が前記表面で正反射した線状の表面反射光と、前記線状照明光が前記透明板状体の裏面で反射した線状の裏面反射光とが分離されるように、前記線状照明光の幅を調整する２枚の遮蔽板を備え、
    前記線状の表面反射光を前記ラインセンサで受光することを特徴とする透明板状体の欠点検出装置。
14. 請求項１３に記載の透明板状体の欠点検出装置において、
    前記ラインセンサと前記透明板状体とを、前記ラインセンサの長手方向に直交する方向に或いは前記長手方向に対し任意の角度をなす方向に相対移動することを特徴とする透明板状体の欠点検出装置。
15. 請求項１３又は１４に記載の透明板状体の欠点検出装置において、
    前記透明板状体をその裏面側から透過して前記ラインセンサに入射する光を、前記裏面側に配置した遮蔽板により遮蔽することを特徴とする透明板状体の欠点検出装置。
16. 請求項１３〜１５のいずれか１つに記載の透明板状体の欠点検出装置において、
    前記透明板状体の表面における前記線状照明光の入射位置を調整したときの前記表面の位置を測定基準位置とし、前記測定基準位置が、前記透明板状体の厚みの変化と前記透明板状体の搬送時における振動とにより前記厚み方向に変化する量を変位量Δｄとし、
    前記表面が前記測定基準位置にあるときに得られる前記線状の表面反射光と、前記表面が前記測定基準位置から前記変位量Δｄだけ変位した変位位置にあるときに得られる前記
    線状の表面反射光とが重なり量ΔＸだけ重なる領域を、前記線状照明光の前記表面に対する入射角θ１を調整することで作り、前記重なる領域の中心部に前記ラインセンサの視野を合わせることを特徴とする透明板状体の欠点検出装置。
17. 請求項１３〜１６のいずれか１つに記載の透明板状体の欠点検出装置において、
    前記透明板状体の表面で正反射した前記線状照明光を前記ラインセンサで受光する正反射照明系に加えて、
    前記透明板状体をその裏面側から垂直に透過させる第２の線状照明光を出射する第２照明装置と、前記透明板状体を透過した前記第２の線状照明光を受光する第２ラインセンサとを有し、前記第２の線状照明光の一部を前記裏面側で遮蔽して前記第２ラインセンサの視野に明部と暗部を形成するようにした透過型の半明視野照明系を備えることを特徴とする透明板状体の欠点検出装置。
18. 請求項１７に記載の透明板状体の欠点検出装置において、
    前記透過型の半明視野照明系は、前記第２の線状照明光の一部を前記裏面側で遮蔽する遮蔽板と、前記第２の線状照明光の乱反射光成分を制限するための遮蔽板とを有することを特徴とする透明板状体の欠点検出装置。
19. 請求項１７又は１８に記載の透明板状体の欠点検出装置において、
    前記正反射照明系の照明装置及び前記透過型の半明視野照明系の第２照明装置は、波長の異なる第１波長の線状照明光及び第２波長の第２の線状照明光をそれぞれ出射し、
    前記第１波長の線状照明光が前記表面で正反射された第１波長の表面反射光を通して前記ラインセンサへ送る波長選択フィルタと、前記透明板状体をその裏面側から透過した前記第２波長の第２の線状照明光を通して前記第２ラインセンサへ送る波長選択フィルタとを備えることを特徴とする透明板状体の欠点検出装置。
20. 請求項１７又は１８に記載の透明板状体の欠点検出装置において、
    前記正反射照明系の照明装置及び前記透過型の半明視野照明系の第２照明装置は、波長の異なる線状照明光及び第２の線状照明光をそれぞれ出射し、
    前記ラインセンサと前記第２ラインセンサに代えて１つのカラーラインセンサを用い、該カラーラインセンサが、前記波長の異なる線状照明光及び第２の線状照明光を受光するように構成したことを特徴とする透明板状体の欠点検出装置。
21. 請求項１３〜１６のいずれか１つに記載の透明板状体の欠点検出装置において、
    前記透明板状体の表面で正反射した前記線状照明光を前記ラインセンサで受光する正反射照明系に加えて、
    前記線状照明光が前記透明板状体を透過した線状の透過光を第２ラインセンサで受光する透過型の照明系を備えることを特徴とする透明板状体の欠点検出装置。
22. 請求項１７又は１８に記載の透明板状体の欠点検出装置において、
    前記正反射照明系と透過型の半明視野照明系とに加えて、裏面側の正反射照明系を設け、
    前記裏面側の正反射照明系は、第３の線状照明光を前記透明板状体の裏面に斜めに照射する第３照明装置と、前記第３の線状照明光が前記裏面で正反射した線状の裏面照明光を受光する第３ラインセンサと、前記第３の線状照明光が前記裏面で正反射した線状の裏面反射光と、前記第３の線状照明光が前記表面で反射した線状の表面反射光とが分離されるように、前記第３の線状照明光の幅を調整する２枚の遮蔽板を備え、
    前記線状の裏面反射光を前記第３ラインセンサで受光するように構成したことを特徴とする透明板状体の欠点検出装置。

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