JP2005351825A - 欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 光透過性を有するフィルムに生じたフィッシュアイ等の凹凸状の欠陥検出および欠陥の高さ情報を含んだ欠陥判定を有効に行うことができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 欠陥撮像部３は、フィルム面に対して所定角度θ傾けて配置されているため、欠陥の高さ成分（フィルム１の厚み方向の成分）を撮像可能である。また、複数の欠陥撮像部３を有し、それぞれが相異なる方向から略同一のフィルム面（撮像領域Ｒ）を撮像するため、１つの欠陥に対し、複数の方向から撮像することができる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、光透過性を有するフィルムに生じたフィッシュアイ等の凹凸状の欠陥検出および欠陥の高さ情報により欠陥判定を有効に行う欠陥検査装置に関する。

光透過性を有するフィルムの欠陥検査においては、検査対象とする欠陥として、異物、傷、フィッシュアイと呼ばれる凹凸状欠陥等、多くの種類が存在する。これらの欠陥を検査するための欠陥検査装置には、検出したい欠陥によって、ラインセンサカメラや２次元テレビカメラ等の画像入力部および被検査物に照射するための反射光もしくは透過光として用いられる光源の使用条件を変えて検査するものが一般的である。また、欠陥を判定する検査方法、例えば、欠陥が有色か無色かにより判定させる検査方法（例えば、特許文献１参照）や、前述のフィッシュアイの検査方法において、フィッシュアイの発生起因が異物によるものかゲルによるものかを判定させる検査方法（例えば、特許文献２参照）が公知である。また、凹凸状欠陥を検査するための検査方法（例えば、特許文献３参照）も公知である。
特開２００３−８３９０３号公報 特許第３２２４６２３号公報 特開平８−１２８９６８号公報

しかし、特許文献１や特許文献２のような従来の欠陥検査方法においては、以下のような問題があった。通常、このような欠陥検査を行う場合、フィルム面に垂直にフィルムを挟んで光源およびカメラを配置し、光源からの光を真っ直ぐカメラに入射させることにより、欠陥のフィルム面に平行な成分（欠陥の幅や面積）を検出する。しかし、検査条件によっては欠陥のフィルム面に垂直な成分（すなわち、フィルムの厚み方向の成分、言い換えれば、欠陥の高さ成分）が所定の値以上の場合を検出したい場合がある。特に、例えば、液晶ディスプレイ等のように、検査対象であるフィルムが積層されている場合、積層するフィルム間の界面に厚み方向の凹凸欠陥が発生すると当該欠陥部分が欠陥としてより強調されて見えてしまい、外観上問題となり得る。また、このような界面における所定高さ以上の欠陥は、積層するフィルム等が薄い場合や表面硬度が小さい場合には、当該フィルムを傷付けたり、破損させてしまう。このような問題は、欠陥の幅や面積等である欠陥のフィルム面に平行な成分よりも欠陥の高さである欠陥のフィルム面に垂直な成分がより大きな影響を与える場合が多い。

このように、特許文献１や特許文献２のような従来の欠陥検査では、フィルム面に平行な成分を算出するのみであったため、カメラによる撮像がうまく行えなかった。また、特許文献３のような従来の欠陥検査においては、欠陥の厚み方向を検知するためにカメラをフィルムに対して傾斜させて一方向から撮像しているが、欠陥が様々な形状を有することからカメラと欠陥との位置関係によってはカメラによる撮像がうまく行えない（欠陥として検出できない場合が生じる）ため、高さ成分の有効な情報を得ることができないという問題があった。

本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するべくなされたもので、光透過性を有するフィルムに生じたフィッシュアイ等の凹凸状の欠陥検出および欠陥の高さ情報を含んだ欠陥判定を有効に行うことができる欠陥検査装置を提供することを目的とする。

本発明に係る欠陥検査装置は、光透過性を有するフィルムに生じた欠陥を検出する欠陥検査装置であって、フィルム面に対して光を照射する光源と、前記光が照射されるフィルム面とは反対側のフィルム面側に配置され、複数の相異なる方向から前記フィルムの所定領域を撮像すべく、前記フィルム面に対し所定角度傾けて配置された複数の欠陥撮像部と、前記複数の欠陥撮像部にて撮像された前記フィルムの所定領域の画像を所定の閾値に基づいてそれぞれ２値化するとともに当該２値化された画像より欠陥の高さ情報を含んだ所定の欠陥情報パラメータを前記２値化された画像ごとにそれぞれ算出し、算出されたそれぞれの欠陥情報パラメータを比較して、前記２値化された画像ごとに算出された欠陥情報パラメータのうち最も大きい欠陥情報パラメータを前記欠陥の欠陥情報として算出し、当該欠陥情報により欠陥判定を行う画像処理部とを具備するものである。

上記構成の欠陥検査装置によれば、検査対象である光透過性を有するフィルムに光源から光が照射される。そして、照射された光は、フィルムを透過し、光が照射された面と反対側に配置された欠陥撮像部に入射する。光が照射された箇所にフィルムが欠陥を有する場合、当該光は、欠陥により乱反射または吸収され、輝点（明欠陥）または影（暗欠陥）となり、欠陥撮像部において撮像される。

ここで、欠陥撮像部は、フィルム面に対して所定角度傾けて配置されているため、欠陥の高さ成分（フィルムの厚み方向の成分）を撮像可能である。また、複数の欠陥撮像部を有し、それぞれが相異なる方向から略同一のフィルム面を撮像するため、１つの欠陥に対し、複数の方向から撮像することができる。

複数の欠陥撮像部で撮像された欠陥の画像は、画像処理部において所定の閾値に基づいて２値化される。さらに、２値化された欠陥画像より、高さ情報を含んだ所定の欠陥情報パラメータ（例えば、欠陥面積、欠陥長さ等）が算出される。そして、画像処理部は、複数の欠陥撮像部で撮像された欠陥画像から算出された欠陥情報パラメータを比較し、その値の最も大きい欠陥画像における欠陥情報パラメータを当該欠陥の欠陥情報として算出する。さらに、このように算出された欠陥情報に基づいて欠陥判定を行う。

以上のように、同一の欠陥に対してフィルム面に対して傾斜した角度から欠陥画像を得、当該欠陥画像からそれぞれ算出した欠陥情報パラメータを合成することにより、欠陥の高さ成分を得ることができるとともに、同一の欠陥に対して複数の方向から撮像することにより、欠陥形状による検出漏れを防止することができる。したがって、光透過性を有するフィルムに生じたフィッシュアイ等の凹凸状の欠陥検出および欠陥の高さ情報を含んだ欠陥判定を有効に行うことができる。

好ましくは、前記フィルムを搬送する搬送部を具備し、前記複数の欠陥撮像部は、フィルムの搬送方向に沿って対向するように設けられるとともに、前記フィルム面に対しそれぞれ略同角度に傾けられており、前記光源は、前記欠陥撮像部に対応して複数配置され、前記欠陥撮像部に向けてそれぞれ傾けられているように構成される。

この場合、フィルムは搬送部により順次搬送される。また、複数の欠陥撮像部がフィルムの搬送方向に沿って対向するように配置され、かつ、欠陥撮像部のフィルム面に対する角度がそれぞれ等しくなるように設置されるため、欠陥撮像部において撮像される画像領域が搬送方向の前から撮像されるか後から撮像されるかの別を除いて略等しい領域となる。したがって、複数の欠陥撮像部で撮像された欠陥画像より算出した欠陥情報パラメータを画像処理部において容易に比較することができる。

好ましくは、前記複数の光源と前記複数の欠陥撮像部とを結ぶ前記光源からの光軸が前記フィルム内で交差するように構成される。

この場合、欠陥撮像部において撮像されるフィルム上の画像領域を中心に複数の光源からの光がそれぞれ照射されることにより、当該画像領域に効率よく光量を集中させるとともに、欠陥撮像部に欠陥による輝線や影をより適正に投影することができる。

好ましくは、前記画像処理部において算出された欠陥情報に基づいて、前記フィルムの所定箇所に、マーキングを行うマーキング部を具備するように構成される。

この場合、画像処理部において算出された欠陥情報、すなわち、判定結果に基づいて直接検査したフィルムの所定箇所（例えば、フィルムの欠陥部分、欠陥周辺部分または欠陥部分に対応するフィルム端部等）に、マーキング部によるマーキングが行われる。したがって、欠陥検査終了後、改めて画像処理部にある欠陥情報を見直す必要なく、直接フィルムを目視することにより欠陥の位置を容易に確認することができる。

好ましくは、前記光源と前記フィルムとの間または前記欠陥撮像部と前記フィルムとの間の少なくとも一方に配置される偏光板と、当該偏光板の軸方向を切替可能とする軸可変機構とを具備するように構成される。

この場合、光源−フィルム間または欠陥撮像部−フィルム間の少なくとも一方に、偏光板（円偏光板および直線偏光板の少なくともいずれか一方）が配置されるため、フィルムが光学特性を有している場合にも本発明の欠陥検査装置を適用可能とすることができる。この際、軸可変機構により、適宜、搬送されるフィルムの軸方向を好適に合わせることができる。また、搬送されるフィルムの中に複数の光学特性を有する場合であっても軸可変機構により迅速かつ容易に軸方向を適正な位置に合わせることができ、より効率よく欠陥検査を行うことができる。

本発明に係る欠陥検査装置によれば、同一の欠陥に対してフィルム面に対して傾斜した角度から欠陥画像を得、当該欠陥画像からそれぞれ算出した欠陥情報パラメータを合成することにより、欠陥の高さ成分を得ることができるとともに、同一の欠陥に対して複数の方向から撮像することにより、欠陥形状による検出漏れを防止することができる。したがって、光透過性を有するフィルムに生じたフィッシュアイ等の凹凸状の欠陥検出および欠陥の高さ情報を含んだ欠陥判定を有効に行うことができる。

以下、添付図面を参照しつつ、本発明を実施するための最良の形態について説明する。図１は本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置の検査状態を示す概略図である。本発明に係る欠陥検査装置は、図１に示すように、光透過性を有するフィルム１に生じた欠陥を検出する欠陥検査装置であって、フィルム面に対して光を照射する光源２と、前記光が照射されるフィルム面とは反対側のフィルム面側に配置され、複数の相異なる方向から前記フィルム１の所定領域（撮像領域Ｒ）を撮像すべく、前記フィルム面に対し所定角度θだけ傾けて配置された複数（２つ）の欠陥撮像部３と、前記複数の欠陥撮像部３にて撮像された前記フィルム１の所定領域（撮像領域Ｒ）の画像を所定の閾値に基づいてそれぞれ２値化するとともに当該２値化された画像より欠陥の高さ情報を含んだ所定の欠陥情報パラメータを前記２値化された画像ごとにそれぞれ算出し、算出されたそれぞれの欠陥情報パラメータを比較して、前記２値化された画像ごとに算出された欠陥情報パラメータのうち最も大きい欠陥情報パラメータを前記欠陥の欠陥情報として算出し、当該欠陥情報により欠陥判定を行う画像処理部４とを具備するものである。

検査対象となるフィルム１は、光透過性を有するフィルムであれば、特に限定されない。ここで、光透過性を有するとは、光源２からの光がフィルム１を透過し、欠陥撮像部３に入射し、かつフィルム１に欠陥が存在するか否かにより光の透過量が変化する程度を意味し、この条件を満たす限りにおいて、透明、半透明、場合によっては不透明なフィルムでもよく、有色、無色の別やフィルムの材質等についても特に限定されない。

光源２は、検査対象となるフィルム１に応じて適宜適用可能であり、例えば、蛍光灯、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、ＬＥＤランプ等を適用可能である。また、欠陥撮像部３は、ラインセンサカメラ、２次元テレビカメラ、ＣＣＤカメラ等が適宜適用可能である。画像処理部４は、ＣＰＵ、メモリ、モニタやプリンタ等の出力部、キーボードやマウス等の入力部等からなり、上記演算を可能とするプログラムが記憶された一般的なパーソナルコンピュータ等を適用可能である。画像処理部４は、撮像された欠陥画像をモニタ等で確認したり、算出された欠陥情報等を表示および記憶可能に構成される。

上記構成の欠陥検査装置によれば、検査対象である光透過性を有するフィルム１に光源２から光が照射される。そして、照射された光は、フィルム１を透過し、光が照射された面と反対側に配置された欠陥撮像部３に入射する。光が照射された箇所（撮像領域Ｒ）にフィルム１が欠陥を有する場合、当該光は、欠陥により乱反射または吸収され、輝点（明欠陥）または影（暗欠陥）となり、欠陥撮像部３において撮像される。

ここで、欠陥撮像部３は、フィルム面に対して所定角度θだけ傾けて配置されているため、欠陥の高さ成分（フィルム１の厚み方向の成分）を撮像可能である。また、複数の欠陥撮像部３を有し、それぞれが相異なる方向から略同一のフィルム面（撮像領域Ｒ）を撮像するため、１つの欠陥に対し、複数の方向から撮像することができる。

本実施形態においては、前記フィルム１を搬送する搬送部としての搬送ローラ５を具備し、前記複数の欠陥撮像部３は、フィルム１の搬送方向Ｘに沿って対向するように設けられるとともに、前記フィルム面に対しそれぞれ略同角度θに傾けられており、前記光源２は、前記欠陥撮像部３に対応して複数（２つ）配置され、前記欠陥撮像部３に向けてそれぞれ傾けられているように構成される。

これにより、フィルム１は搬送部としての搬送ローラ５により順次搬送される。また、複数の欠陥撮像部３がフィルム１の搬送方向Ｘに沿って対向するように配置され、かつ、欠陥撮像部３のフィルム面に対する角度がそれぞれ等しくなるように設置されるため、欠陥撮像部３において撮像される画像領域（撮像領域Ｒ）が搬送方向Ｘの前から撮像されるか後から撮像されるかの別を除いて略等しい領域となる。したがって、複数の欠陥撮像部３で撮像された欠陥画像より算出した欠陥情報パラメータを画像処理部４において容易に比較することができる。

さらに、本実施の形態においては、前記複数の光源２と前記複数の欠陥撮像部３とを結ぶ前記光源３からの光軸Ｌが前記フィルム１内で交差するように構成される。

このように、欠陥撮像部３において撮像されるフィルム１上の画像領域（撮像領域Ｒ）を中心に複数の光源２からの光がそれぞれ照射されることにより、当該撮像領域Ｒに効率よく光量を集中させるとともに、欠陥撮像部３に欠陥による輝線や影をより適正に投影することができる（欠陥に光が欠陥撮像部に対して正面から照射されることにより、欠陥により生じる輝点や影が不必要に伸びたりすることなく撮像することができる）。

複数の欠陥撮像部３で撮像された欠陥の画像は、欠陥を明確化するために、画像処理部４において所定の閾値に基づいて２値化される。例えば、欠陥が明欠陥の場合は、所定の輝度以上を“１”、当該輝度未満を“０”とし、欠陥が暗欠陥の場合は、所定の輝度以上を“０”、当該輝度未満を“１”とする。なお、欠陥の種類に応じて閾値を変える等、２値化の設定は適宜可能である。さらに、２値化された欠陥画像より、高さ情報を含んだ所定の欠陥情報パラメータが算出される。上記例において、“１”の値を得た部分について欠陥情報パラメータを算出する。当該欠陥情報パラメータとしては、欠陥の面積、欠陥の長さ（最長部分もしくは画像の縦または横成分の長さ）等を適宜採用可能である。例えば、欠陥の面積を欠陥情報パラメータとする場合には、上記例において“１”の値を得た部分の画素数を算出すればよいし、欠陥の欠陥画像における縦成分を欠陥情報パラメータとする場合には、上記例において“１”の値を得た部分の最上端の縦座標と最下端の縦座標との距離を算出すればよい。この後、画像処理部４は、複数の欠陥撮像部３で撮像された欠陥画像から算出された欠陥情報パラメータを比較し、その値の最も大きい欠陥画像における欠陥情報パラメータを当該欠陥の欠陥情報として算出する。なお、撮像領域Ｒに複数の欠陥が認められる場合（２値化における“１”の値を得た領域が所定間隔以上離間して存在していることで判定できる）には、当該欠陥ごとに上記比較を行い、欠陥ごとの欠陥情報を算出することも可能である。さらに、このように算出された欠陥情報に基づいて欠陥判定を行う。より具体的には、例えば、所定の閾値（例えば、欠陥の面積を欠陥情報パラメータとする場合には、所定の画素数、欠陥の欠陥画像における縦成分を欠陥情報パラメータとする場合には、所定の距離等）を予め設定しておき、この閾値を基準に閾値を超えるものについては検出すべき欠陥として判定する。

以上のように、同一の欠陥に対してフィルム面に対して傾斜した角度θから欠陥画像を得、当該欠陥画像からそれぞれ算出した欠陥情報パラメータを合成することにより、欠陥の高さ成分を得ることができるとともに、同一の欠陥に対して複数の方向から撮像することにより、欠陥形状による検出漏れを防止することができる。したがって、光透過性を有するフィルム１に生じたフィッシュアイ等の凹凸状の欠陥検出および欠陥の高さ情報を含んだ欠陥判定を有効に行うことができる。

本実施の形態においては、図１に示すように、前記画像処理部４において算出された欠陥情報に基づいて、前記フィルム１の所定箇所に、マーキングを行うマーキング部６をさらに具備するように構成される。

この場合、画像処理部４において算出された欠陥情報、すなわち、判定結果に基づいて直接検査したフィルム１の所定箇所（例えば、フィルム１の欠陥部分、欠陥周辺部分または欠陥部分に対応するフィルム端部（幅方向端部）等）に、マーキング部６によるマーキングが行われる。したがって、欠陥検査終了後、改めて画像処理部４に記憶される欠陥情報を見直す必要なく、直接フィルム１を目視することにより欠陥の位置を容易に確認することができる。

なお、マーキング部６はマジックマーカやインクジェットプリンタにより構成され、該当箇所に所定の印を付けることに加え、当該欠陥の高さ情報やその位置についての情報をフィルム１上に印字することとしてもよい。また、図１に例示されるように、マーキング部６は、撮像領域Ｒ近傍にある必要はなく（もちろん、光源２からの光を邪魔しない限り撮像領域Ｒ近傍に配置してもよい）、撮像領域Ｒより下流のフィルム搬送位置に適宜配置可能である。この際、欠陥撮像部３で撮像された時点（撮像領域Ｒの位置）からフィルム１の撮像箇所がマーキング部６の配置位置に来るまでの時間を予め設定しておき、欠陥が撮像されてから前記時間後にマーキング部６においてマーキングを行うことで実現できる。

また、図２は図１の欠陥検査装置の応用例における検査状態を示す概略図である。なお、図１におけるマーキング部６は、便宜上図示を省略してある。図２に示すように、本実施形態において、光学特性を有するフィルム１を検査する場合は、前記光源２と前記フィルム１との間または前記欠陥撮像部３と前記フィルム１との間の少なくとも一方に（本実施形態においては双方に）配置される偏光板７と、当該偏光板７の軸方向を切替可能とする軸可変機構８とをさらに具備するように構成される。なお、軸可変機構８は偏光板７の軸方向を回転可能または切り替え可能に構成されるものであれば、種々適用可能であるが、本実施形態においては、偏光板７をギヤやベルト等を介して回転可能に構成される軸可変機構８を用いている。また、本実施形態の軸可変機構８は、画像処理部４の入力部（図示せず）により画像処理部４のモニタ（図示せず）を見ながら操作可能に構成されている。もちろん、画像処理部４とは別の操作系を有していてもよい。

この場合、光源２−フィルム１間および欠陥撮像部３−フィルム１間に、偏光板７（円偏光板および直線偏光板の少なくともいずれか一方）が配置される。これにより、フィルム１が光学特性を有している場合にも本発明の欠陥検査装置を適用可能とすることができる。この際、軸可変機構８により、適宜、搬送されるフィルム１の軸方向を好適に合わせることができる。また、搬送されるフィルム１の中に複数の光学特性を有する場合であっても軸可変機構８により迅速かつ容易に軸方向を適正な位置に合わせることができ、より効率よく欠陥検査を行うことができる。

なお、偏光板７の配置の具体的な組み合わせについては、例えば、光源２−フィルム１間に円偏光板（直線偏光板）が配置される一方、欠陥撮像部３−フィルム１間に直線偏光板（円偏光板）が配置されたり、光源２−フィルム１間および欠陥撮像部３−フィルム１間にそれぞれ円偏光板（直線偏光板）が配置されたり、光源２−フィルム１間または欠陥撮像部３−フィルム１間のいずれかにだけ円偏光板（直線偏光板）が配置される等が挙げられる。また、本実施形態においては、図２に示すように、フィルム１に平行に偏光板７を配置することとしたが、光源２または欠陥撮像部３に平行に偏光板７を配置することとしてもよい。

以上、本実施形態においては、光源２を複数用いる場合について説明したが、光源２は、１つであってもよい。図３は本発明の他実施形態に係る欠陥検査装置の検査状態を示す概略図である。図３においては、光源２を撮像領域Ｒの直下に配置し、フィルム面に対して垂直に光を照射している。光源２の光量が十分担保できる場合は、省スペースにも資するため効果的である。

また、本実施形態においては、欠陥撮像部３において撮像される画像領域（撮像領域Ｒ）が搬送方向Ｘの前から撮像されるか後から撮像されるかの別を除いて略等しい領域となっているが、スペースが取れない場合等には、複数の欠陥撮像部３が異なる撮像領域Ｒを撮像し、画像処理部４において、フィルム１の同じ領域同士を比較することとしてもよい。図４は本発明の他実施形態に係る欠陥検査装置の検査状態を示す概略図である。図４においては、複数の欠陥撮像部３の直下に光源２をそれぞれ配置し、フィルム１がそれぞれ所定の角度θ₁，θ₂だけ傾いている。フィルム１がフィルム１の搬送方向Ｘに対して上流側の撮像領域Ｒ₁の位置から下流側の撮像領域Ｒ₂の位置に来るまでの時間を予め設定しておき、撮像領域Ｒ₁で撮像された画像と当該撮像領域Ｒ₁で撮像されてから前記時間後に撮像領域Ｒ₂で撮像された画像とを比較することにより、略同一領域のフィルム１の欠陥判定を行うことができる。

以下、本発明の実施例および比較例を示す。本例においては、フィッシュアイと呼ばれる凹凸状の欠陥（高さ５μｍ以上）が含まれている有色で光透過性を有するフィルム１を使用した。欠陥検出すべき欠陥の高さ（閾値）を５μｍ以上とした。光源２にはメタルハライドランプ、欠陥撮像部３にはラインセンサカメラを用いた。欠陥撮像部３は、２つ用い、図１のように配置した。また、欠陥情報パラメータとして、欠陥の面積を採用した。したがって、２つの欠陥撮像部３における欠陥情報パラメータを比較した後の欠陥情報も欠陥の面積に基づくものである。したがって、本実施例は、当該欠陥情報として得られた欠陥の面積と実際の欠陥の高さとをプロットすることにより、当該欠陥情報として得られた欠陥の面積と実際の欠陥の高さとに相関関係があるか否かについて評価した。

＜比較例１＞
比較例として、上記実施例１のいずれか一方の欠陥撮像部３のみを用いて欠陥判定を行った。すなわち、１つの欠陥撮像部３における欠陥情報パラメータ（面積）と実際の欠陥の高さとをプロットした。他の条件は、実施例１と同様である。

＜比較例２＞
比較例１と同様に、上記実施例１のいずれか他方の欠陥撮像部３のみを用いて欠陥判定を行った。すなわち、比較例１で用いたものとは異なる１つの欠陥撮像部３における欠陥情報パラメータ（面積）と実際の欠陥の高さとをプロットした。他の条件は、実施例１と同様である。

＜評価＞
図５は実施例１のプロット結果を示すグラフであり、図６は比較例１のプロット結果を示すグラフであり、図７は比較例２のプロット結果を示すグラフである。図５に示すように、実施例１においては、欠陥情報として得られた欠陥面積が大きくなる程実際の欠陥高さも高くなるという結果が得られた。すなわち、欠陥情報と実際の欠陥高さとが相関関係を有しており、本発明の欠陥検査装置を用いて、有効な欠陥判定を行うことができる旨の結果が得られた。

一方、比較例１および比較例２においては、図６および図７に示すように、測定された欠陥面積と実際の欠陥の高さとが対応しておらず、相関関係を有していないという結果が得られた。すなわち、１つの欠陥撮像部３のみを用いて撮像するだけでは、有効な欠陥の高さ判定が行えない旨の結果が得られた。

以上より、本発明の欠陥検査装置において、複数の欠陥撮像部３を用いることの有効性が示された。

本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置の検査状態を示す概略図である。 図１の欠陥検査装置の応用例における検査状態を示す概略図である。 本発明の他実施形態に係る欠陥検査装置の検査状態を示す概略図である。 本発明の他実施形態に係る欠陥検査装置の検査状態を示す概略図である。 実施例１のプロット結果を示すグラフである。 比較例１のプロット結果を示すグラフである。 比較例２のプロット結果を示すグラフである。

符号の説明

１ フィルム
２ 光源
３ 欠陥撮像部
４ 画像処理部
５ 搬送ローラ（搬送部）
６ マーキング部
７ 偏光板
Ｌ 光軸
Ｒ，Ｒ₁，Ｒ₂ 撮像領域
Ｘ フィルムの搬送方向
θ，θ₁，θ₂ フィルムに対する欠陥撮像部の角度

Claims (5)

1. 光透過性を有するフィルムに生じた欠陥を検出する欠陥検査装置であって、
   フィルム面に対して光を照射する光源と、
   前記光が照射されるフィルム面とは反対側のフィルム面側に配置され、複数の相異なる方向から前記フィルムの所定領域を撮像すべく、前記フィルム面に対し所定角度傾けて配置された複数の欠陥撮像部と、
   前記複数の欠陥撮像部にて撮像された前記フィルムの所定領域の画像を所定の閾値に基づいてそれぞれ２値化するとともに当該２値化された画像より欠陥の高さ情報を含んだ所定の欠陥情報パラメータを前記２値化された画像ごとにそれぞれ算出し、算出されたそれぞれの欠陥情報パラメータを比較して、前記２値化された画像ごとに算出された欠陥情報パラメータのうち最も大きい欠陥情報パラメータを前記欠陥の欠陥情報として算出し、当該欠陥情報により欠陥判定を行う画像処理部とを具備することを特徴とする欠陥検査装置。
2. 前記フィルムを搬送する搬送部を具備し、
   前記複数の欠陥撮像部は、フィルムの搬送方向に沿って対向するように設けられるとともに、前記フィルム面に対しそれぞれ略同角度に傾けられており、
   前記光源は、前記欠陥撮像部に対応して複数配置され、前記欠陥撮像部に向けてそれぞれ傾けられていることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
3. 前記複数の光源と前記複数の欠陥撮像部とを結ぶ前記光源からの光軸が前記フィルム内で交差することを特徴とする請求項２記載の欠陥検査装置。
4. 前記画像処理部において算出された欠陥情報に基づいて、前記フィルムの所定箇所に、マーキングを行うマーキング部を具備することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の欠陥検査装置。
5. 前記光源と前記フィルムとの間または前記欠陥撮像部と前記フィルムとの間の少なくとも一方に配置される偏光板と、
   当該偏光板の軸方向を切替可能とする軸可変機構とを具備することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の欠陥検査装置。

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