JP7104433B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、欠陥検査装置に関する。さらに詳しくは、暗視野を利用した欠陥検査装置に関する。

透明フィルムなどシート状の被検査対象において、その表面の欠陥、たとえば、スジ状の傷などの検査には、光学的手法を用いた検査が行われる。この光学的手法を用いた検査のうち、光源から照射された検査光を、直接的に受光装置に届かないようにし、欠陥において検査光が散乱した光のみを受光装置に届かせるようにする検査手法、すなわち暗視野を用いた検査手法が知られている。特許文献１では、暗視野型の欠陥検査装置が開示されている。

特開２０１９－２１１３２５号公報

特許文献１の欠陥検査装置では、検査光の進行方向に第１遮蔽部と第２遮蔽部とが並べられる遮蔽構造を採用することにより、明視野として検査光が受光装置に到達しないようにしている。
しかるに、この遮蔽構造を用いた方法では、複数の遮蔽部に設けられたスリットの隙間から漏れ出た検査光で検査するため、欠陥検査のために利用される検査光の割合が低いという問題がある。
また、スリットに反射して迷光が発生する場合があり、これにより欠陥検査の品質が低下するという問題がある。
さらに、検査光の進行方向に第１遮蔽部と第２遮蔽部とを設ける必要があり、検査光の進行方向に装置が大型化しやすいという問題がある。

本発明は上記事情に鑑み、暗視野型でありながら第１遮蔽部と第２遮蔽部との組み合わせをなくすることで、欠陥検査に用いられる検査光の割合を高くし、スリットの反射による迷光の発生をなくすことで欠陥検査の品質を高くするとともに、装置の大型化を抑制することができる欠陥検査装置を提供することを目的とする。

第１発明の欠陥検査装置は、シート状の被検査対象の欠陥を検査する装置であって、前記被検査対象に向けて検査光を放出する線光源と、該線光源からの前記検査光を、前記被検査対象を経由して受光する受光装置と、を備え、前記線光源には、前記検査光が明視野として前記受光装置へ到達しないようにするための遮蔽部が設けられ、前記被検査対象と前記線光源との間には、再帰反射が可能な再帰反射素子を有する再帰反射素子保有部材が設けられていることを特徴とする。
第２発明の欠陥検査装置は、第１発明において、前記再帰反射素子保有部材が、２鏡面反射ミラーまたは２面リフレクタアレイのいずれかであることを特徴とする。
第３発明の欠陥検査装置は、第１発明において、前記再帰反射素子保有部材が、再帰反射シートであり、前記線光源から前記被検査対象に至る検査光を、第１反射検査光と透過非検査光とに分割するビームスプリッタを備え、前記再帰反射シートは、前記第１反射検査光を反射し第２反射検査光とし、前記ビームスプリッタは、前記第２反射検査光を、透過検査光と反射非検査光とにさらに分割することを特徴とする。
第４発明の欠陥検査装置は、第１発明から第３発明のいずれかにおいて、前記被検査対象の一方の面側に、前記受光装置が設置され、その他方の面側に、前記線光源と、前記再帰反射素子保有部材と、が設置され、前記受光装置は、前記被検査対象で透過した検査光を受光することを特徴とする。
第５発明の欠陥検査装置は、第１発明から第３発明のいずれかにおいて、前記被検査対象の一方の面側に、前記受光装置と、前記線光源と、前記再帰反射素子保有部材と、が設置され、前記受光装置は、前記被検査対象で反射した検査光を受光することを特徴とする。

第１発明によれば、線光源に、検査光が明視野として受光装置へ到達しないようにするための遮蔽部が設けられ、被検査対象と線光源との間に再帰反射素子保有部材が設けられていることにより、検査光の進行方向に２段で設ける必要があった遮蔽構造を設けずに暗視野型とすることができるので、欠陥検査に用いられる検査光の割合を高くし、遮蔽構造に設けられているスリットにおける反射による迷光の発生をなくすことができ、欠陥検査の品質を高くすることができる。また、遮蔽構造は、検査光の進行方向に２段で設ける必要があったところ、これを省略することができるので装置の大型化を抑制できる。
第２発明によれば、再帰反射素子保有部材が２鏡面反射ミラーまたは２面リフレクタアレイであることにより、暗視野型の欠陥検査装置をより少ない部材で構成できる。これにより装置全体の大型化をさらに抑制できるとともに、製造工程を短縮できる。
第３発明によれば、再帰反射素子保有部材が再帰反射シートであることにより、部材のコストを少なくすることができる。
第４発明によれば、被検査対象の一方の面側に受光装置が設置され、他方の面側に線光源、再帰反射素子保有部材が設置されているので、受光装置は被検査対象を透過した検査光を受光することとなり、透明な被検査対象の欠陥を検査することができる。
第５発明によれば、被検査対象の一方の面側に受光装置、線光源、再帰反射素子保有部材が設置されているので、受光装置は被検査対象で反射した検査光を受光することとなり、検査光を透過する被検査対象だけでなく、検査光を透過しない被検査対象についても欠陥を検査することができる。

本発明の第１実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成の斜視図である。 図１の欠陥検査装置の側面図である。 図１の欠陥検査装置の受光装置の説明図である。 図１の欠陥検査装置の受光方法の説明図である。（Ａ）は図１の欠陥検査装置の説明図であり、（Ｂ）は従来の明視野型の欠陥検査装置の説明図である。 本発明の第２実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成の斜視図である。 図５の欠陥検査装置の概略構成の側面図である。 本発明の第３実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成の側面図である。 本発明の第４実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成の側面図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。ただし、以下に示す実施の形態は、本発明の技術思想を具体化するための欠陥検査装置を例示するものであって、本発明は欠陥検査装置を以下のものに特定しない。なお、各図面が示す部材の大きさまたは位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。

＜第１実施形態＞
図１に本発明の第１実施形態に係る欠陥検査装置１０の概略構成の斜視図を、図２にその側面図を示す。図１および図２ともに、欠陥検査装置１０の主要構成要素のみを記載し、他の部分は省略している。

図１、図２に示すように、本実施形態に係る欠陥検査装置１０は、被検査対象に向けて検査光を放出する線光源１３と、この線光源１３からの検査光を、被検査対象を経由して受光する受光装置１２とが備えられている。この線光源１３には、検査光が明視野として受光装置１２へ到達しないようにするための遮蔽部１７が設けられている。そして、被検査対象と線光源１３との間には、再帰反射素子保有部材１５が設けられている。

なお本明細書における欠陥検査装置１０は、いわゆる暗視野型である。図１は、この暗視野型の欠陥検査装置１０を示している。ただし、図１で示す一点鎖線（線光源１３に設けられている遮蔽部１７と再帰反射素子保有部材１５との間の一点鎖線、および再帰反射素子保有部材１５と受光装置１２との間の一点鎖線）は、検査光の通過経路をわかりやすくするために、明視野型、すなわち遮蔽部１７に点光源が配置されたと仮定した場合の、点光源からの検査光の通過経路を仮想的に記載したものである。

図２に示すように、本明細書において「検査光」は、線光源１３から放出される光Ｌ１、この放出された光が再帰反射素子保有部材１５で再帰反射された光Ｌ２、この再帰反射された光のうち、被検査対象の欠陥で散乱されたあと受光装置１２で受光される光Ｌ３、のいずれをも含む概念である。

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、被検査対象を透過した検査光を受光装置１２が受光する。この場合、図１に示すように被検査対象の一方の面側、すなわち被検査対象の上側に受光装置１２が設置され、被検査対象の他方の面側、すなわち被検査対象の下側に線光源１３と再帰反射素子保有部材１５とが設置されている。

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、検査光は、シート状の被検査対象の欠陥において散乱し、その散乱した検査光のうち垂直に出射するものの一部が受光装置１２に入射する。加えて、本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、線光源１３は、シート状の被検査対象に対して平行に検査光を照射し、再帰反射素子保有部材１５を経由することで、検査光をシート状の被検査対象に対し垂直に入射させている。なお本明細書では、「平行」、「垂直」の記載は、厳密に平行および垂直である必要はなく、「実質的平行」および「実質的垂直」に該当する。また、本実施形態では、図２に示すように「垂直」、「平行」と記載したが、図２の構成は例示であり、特にこの構成に限定されることはない。

（被検査対象）
本発明に係る欠陥検査装置１０は、光学的手法により樹脂フィルム１６などシート状の被検査対象の欠陥を検査する装置である。被検査対象には、表面を平坦面とすることができる樹脂フィルム１６をはじめ、シート状の被検査対象が広く含まれる。本実施形態に係る欠陥検査装置１０は、透明な樹脂フィルム１６のように、光が透過可能であり、張力を付加することで表面を平坦面とすることができるものが被検査対象に含まれるが、他にも、表面が平坦面であり、光を反射可能である金属、または厚みのある押し出し成形樹脂品、ガラスなども被検査対象に含むこともできる。なお、請求項における「被検査対象を経由して」との表現は、「被検査対象を透過して」、または「被検査対象で反射して」の表現の上位概念として使用している。

被検査対象である樹脂フィルム１６等は、欠陥検査装置１０の前後に設けられている２つのロール（不図示）などにより図２の紙面上右から左へ順次送られ、連続して樹脂フィルム１６の欠陥の有無が検査される。

（制御器１１）
欠陥検査装置１０は、受光装置１２および線光源１３と電気的に接続し、これらの制御を行う制御器１１を有する。

（線光源１３）
線光源１３は、被検査対象の幅方向に延びる直線形状をしたＬＥＤを内部に有している。そして線光源１３は、一方向だけが開口したケースを有している。この開口を通過して、内部のＬＥＤから照射される検査光が受光装置１２に向かう。なお線光源１３は、その長手方向、すなわち被検査対象の幅方向（図２の紙面において奥行き方向）の長さが、その短手方向、すなわち図２の紙面において上下方向の長さｄ（図１参照）と同じか、それよりも長い光源であれば問題ない。すなわち線光源１３は、正方形または長方形の開口から光を放出している。また本実施形態では線光源１３はＬＥＤを内部に有しているが、ＬＥＤに限定されない。例えば蛍光灯またはハロゲン光源であっても問題ない。

また線光源１３の開口には、遮蔽部１７が設けられている。この遮蔽部１７は、線光源１３からの検査光を遮り、検査光が明視野として受光装置１２へ到達しないようにしている。遮蔽部１７の大きさ、すなわち線光源１３の長手方向の長さは、受光装置１２の大きさなどにより定められる。また遮蔽部１７は、線光源１３の短手方向のすべてを遮蔽する場合、および線光源１３の短手方向の一部を遮蔽する場合がある。

（受光装置１２）
図３に示すように、受光装置１２は、例えば撮像部２１と、レンズ２２とを備えている。受光装置１２は、被検査対象の欠陥で散乱された検査光を受光するものであり、例えば、ラインセンサまたはエリアセンサ等のように複数の受光素子２１ｓを有している。レンズ２２は、検査光を集光して、撮像部２１の受光素子２１ｓに集光した光を入射する。

なお、撮像部２１がラインセンサ等のように複数の受光素子２１ｓが並んで配設されているものの場合には、受光装置１２は、複数の受光素子２１ｓが並ぶ方向と被検査対象の幅方向とが平行となるように配設される。また、受光装置１２の撮像部２１は、受光素子２１ｓを複数有するものであれば問題ないが、単体であっても同様の機能を有し、被検査対象の表面で反射した光を検出できる受光素子を有する機器であれば、とくに限定されない。

（再帰反射素子保有部材１５）
再帰反射素子保有部材１５は、再帰反射素子を保有する部材である。再帰反射素子は、再帰反射が可能な素子であり、三角プリズム型、対面ミラー型、２面コーナー型などの構造がある。この再帰反射素子を保有する部材としては、再帰反射が可能なシート状部材である再帰反射シート、再帰反射素子により再帰透過を行う２鏡面反射ミラー、２面リフレクタアレイなどが該当する。本実施形態では、再帰反射素子保有部材１５は、２鏡面反射ミラーである。

再帰反射素子保有部材１５が２鏡面反射ミラーまたは２面リフレクタアレイであることにより、暗視野型の欠陥検査装置１０をより少ない部材で構成できる。これにより装置全体の大型化をさらに抑制できるとともに、製造工程を短縮できる。

なお、請求の範囲では、「被検査対象と線光源１３との間には再帰反射素子保有部材１５は、」と記載しているが、ここでの「間には」とは、線光源１３から放出し被検査対象に至る検査光の通過途中を意味する。

図４を用いて再帰反射素子保有部材１５を用いた場合の作用を説明する。図４（Ａ）は本実施形態に係る欠陥検査装置１０の検査光の状態を示した説明図であり、図４（Ｂ）は、暗視野型ではなく、従来の明視野型の欠陥検査装置の検査光の状態を示した説明図である。図４では、光源を図の下に配置するとともに、受光装置１２を図の上に配置している。そして、光源から放出した検査光の通過軌跡に沿って、下から上に検査光がどのように通過するかを示している。

図４（Ｂ）は、本実施形態における線光源１３の遮蔽部１７の位置に点光源５１が配置されている。この図４（Ｂ）における一点鎖線は、受光装置１２で受光される検査光の幅方向の境界を示している。点光源５１から放出された検査光は、再帰反射素子保有部材１５で再帰反射される。この再帰反射された検査光は、樹脂フィルム１６を通過し、受光装置１２で受光される。樹脂フィルム１６の欠陥において検査光は散乱するため、この欠陥は受光装置１２では検査光が受光されない部分として認識される。

図４（Ａ）では、線光源１３に遮蔽部１７が設けられているため、再帰反射素子保有部材１５で再帰反射された検査光は、明視野としては受光装置１２で受光されない。すなわち遮蔽部１７は、線光源１３からの検査光が、明視野として受光装置１２で受光されないように設けられる。遮蔽部１７が存在する部分以外の線光源１３から検査光は放出する。図４（Ａ）ではこの検査光の一部をＬ１として表示している。この検査光は再帰反射素子保有部材１５で再帰反射され、その再帰反射した検査光（Ｌ２に該当）が、樹脂フィルム１６へ到達する。樹脂フィルム１６に欠陥がある場合、その欠陥において検査光は散乱し、散乱した検査光の一部（Ｌ３に該当）が受光装置１２により受光される。

線光源１３に、検査光が明視野として受光装置１２へ到達しないようにするための遮蔽部１７が設けられ、被検査対象と線光源１３との間に再帰反射素子保有部材１５が設けられていることにより、検査光の進行方向に２段で設ける必要があった遮蔽構造を設けずに暗視野型とすることができるので、欠陥検査に用いられる検査光の割合を高くし、遮蔽構造に設けられているスリットにおける反射による迷光の発生をなくすことができ、欠陥検査の品質を高くすることができる。また、遮蔽構造は、検査光の進行方向に２段で設ける必要があったところ、これを省略することができるので装置の大型化を抑制できる。

被検査対象の一方の面側に受光装置１２が設置され、他方の面側に線光源１３、再帰反射素子保有部材１５が設置されているので、受光装置１２は被検査対象を透過した検査光を受光することとなり、透明な被検査対象の欠陥を検査することができる。

＜第２実施形態＞
図５に本発明の第２実施形態に係る欠陥検査装置１０の概略構成の斜視図を、図６にその側面図を示す。図５および図６ともに、欠陥検査装置１０の主要構成要素のみを記載し、他の部分は省略している。また以下の説明では、第１実施形態と異なる部分について説明し、同じ部分については説明を省略する。

図１と同様、図５、図６は暗視野型の欠陥検査装置１０を示している。ただし、図５で示す一点鎖線は、検査光の通過経路をわかりやすくするために、明視野型、すなわち遮蔽部１７に点光源が配置されたと仮定した場合の、点光源からの検査光の通過経路を仮想的に記載したものである。

第１実施形態と同様、本実施形態において「検査光」は、線光源１３から放出される光Ｌ１、この放出された光が再帰反射素子保有部材１５で再帰反射された光Ｌ２、この再帰反射された光のうち、被検査対象の欠陥で散乱されたあと受光装置１２で受光される光Ｌ３、のいずれをも含む概念である。さらに、検査光には、ビームスプリッタ１４により、線光源１３から被検査対象に至る検査光が分割された「第１反射検査光３０ａ」、この「第１反射検査光３０ａ」が再帰反射素子保有部材１５で反射された「第２反射検査光３０ｂ」、およびこの「第２反射検査光３０ｂ」がビームスプリッタ１４により分割された「透過検査光３０ｃ」を含む概念である。すなわち「第１反射検査光３０ａ」は、光Ｌ１のうち、ビームスプリッタ１４を通過した後の光である。「第２反射検査光３０ｂ」は、光Ｌ２のうち、ビームスプリッタ１４に到達する前の光である。「透過検査光３０ｃ」は、光Ｌ２のうちビームスプリッタ１４を通過した後の光と、光Ｌ３を含む。

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、被検査対象を透過した検査光を受光装置１２が受光する。この場合、図１に示すように被検査対象の一方の面側、すなわち被検査対象の上側に受光装置１２が設置され、被検査対象の他方の面側、すなわち被検査対象の下側に線光源１３と再帰反射素子保有部材１５とが設置されている。

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、検査光は、シート状の被検査対象の欠陥において散乱し、その散乱した検査光のうち垂直に出射するものの一部が受光装置１２に入射する。加えて、本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、線光源１３は、シート状の被検査対象に対して平行に検査光を照射し、再帰反射素子保有部材１５を経由することで、検査光をシート状の被検査対象に対し垂直に入射させている。本実施形態では、図６に示すように「垂直」、「平行」と記載したが、図６の構成は例示であり、特にこの構成に限定されることはない

（ビームスプリッタ１４）
本実施形態に係る欠陥検査装置１０は、ビームスプリッタ１４を備えている。このビームスプリッタ１４は、線光源１３から放出された検査光を第１反射検査光３０ａと透過非検査光（不図示）とに分割する。ビームスプリッタ１４は、このように光束を２つに分割する装置である。本実施形態のビームスプリッタ１４は、反射光と透過光の強さがほぼ１：１となるハーフミラーである。ただし、ビームスプリッタ１４はハーフミラーに限定されない。ビームスプリッタ１４の構成は、プリズム型、平面型、ウェッジ基板型などがあるが、特に限定されない。

（再帰反射素子保有部材１５）
本実施形態では、再帰反射素子保有部材１５は、再帰反射シートが貼り付けられた平板状の部材である。再帰反射素子保有部材１５が、再帰反射可能なシート状部材を含んでいるので、再帰反射素子保有部材１５の製造コストを抑制できる。

図５、６を用いて本実施形態における再帰反射素子保有部材１５の作用を説明する。線光源１３から放出された検査光は、所定角度で広がりながらビームスプリッタ１４を通過する。ビームスプリッタ１４では、線光源１３から放出された検査光は第１反射検査光３０ａと透過非検査光（不図示）とに分割される。ここで、再帰反射素子保有部材１５では、第１反射検査光３０ａが再帰反射し、第２反射検査光３０ｂとなる。そして再度ビームスプリッタ１４により第２反射検査光３０ｂは、透過検査光３０ｃと反射非検査光（不図示）とに分割される。そして、この透過検査光３０ｃが、樹脂フィルム１６の欠陥において散乱され、散乱された光の一部が受光装置１２で受光され、欠陥が検出される。

なお、本実施形態では受光装置１２とビームスプリッタ１４との間に樹脂フィルム１６が位置している場合について説明したが、これに限定されない。ビームスプリッタ１４と再帰反射素子保有部材１５との間に被検査対象である樹脂フィルム１６が位置する場合もある。

＜第３実施形態＞
図７に本発明の第３実施形態に係る欠陥検査装置１０の概略構成の側面図を示す。図７では欠陥検査装置１０の主要構成要素のみを記載し、他の部分は省略している。また第１実施形態と第３実施形態との相違点は、構成要素の配置であり、各構成要素は、第１実施形態と同じであるので説明を省略する。

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、被検査対象で反射した検査光を受光装置１２が受光する。この場合、図７に示すように被検査対象の一方の面側、すなわち被検査対象の上側に、受光装置１２と線光源１３と再帰反射素子保有部材１５とが設置されている。

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、検査光は、シート状の被検査対象の欠陥において、図７にあるように側面視で所定の角度γをもって散乱した光Ｌ３が受光装置１２に入射する。加えて、本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、線光源１３から照射された光Ｌ１は、再帰反射素子保有部材１５を経由し光Ｌ２となって、シート状の被検査対象に対し、所定の角度γとして入射している。

被検査対象の一方の面側に受光装置１２、線光源１３、再帰反射素子保有部材１５が設置されているので、受光装置１２は被検査対象の欠陥において散乱した検査光を受光することとなり、検査光を透過する被検査対象だけでなく、検査光を透過しない被検査対象についても欠陥を検査することができる。なお、検査光を透過する被検査対象において、被検査対象で反射した検査光を受光する場合、例えば被検査対象の表面にあるコーティングの異常などの欠陥を検出することが可能となる。

なお、本実施形態においては、被検査対象に対して検査光が被検査対象に角度γで入射し、角度γで出射する正反射について説明したが、これに限定されない。

＜第４実施形態＞
図８に本発明の第４実施形態に係る欠陥検査装置１０の概略構成の側面図を示す。図８では欠陥検査装置１０の主要構成要素のみを記載し、他の部分は省略している。また第１実施形態と第４実施形態との相違点は、構成要素の配置であり、各構成要素は、第１実施形態と同じであるので説明を省略する。

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、第３実施形態と同様、被検査対象で反射した検査光を受光装置１２が受光する。この場合、図８に示すように被検査対象の一方の面側、すなわち被検査対象の上側に、受光装置１２と線光源１３と再帰反射素子保有部材１５とが設置されている。ここで第３実施形態との相違点は、検査光が被検査対象に入射する点を基準として、図８の紙面において一方側（具体的に右側）に受光装置１２が配置され、他方側（具体的に左側）に線光源１３が配置されている点である。

本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、検査光は、シート状の被検査対象の欠陥において、図８にあるように側面視で所定の角度γをもって散乱した光Ｌ３が受光装置１２に入射する。加えて、本実施形態に係る欠陥検査装置１０では、線光源１３から照射された光Ｌ１は、再帰反射素子保有部材１５を経由し光Ｌ２となって、シート状の被検査対象に対し、所定の角度γとして入射している。第３実施形態と比較すると、第４実施形態では線光源１３および受光装置１２の配置の自由度が高くなる。

なお、本実施形態においては、被検査対象に対して検査光が被検査対象に角度γで入射し、角度γで出射する正反射について説明したが、これに限定されない。

１０ 欠陥検査装置
１２ 受光装置
１３ 線光源
１５ 再帰反射素子保有部材
１７ 遮蔽部

Claims (5)

1. シート状の被検査対象の欠陥を検査する装置であって、
   前記被検査対象に向けて検査光を放出する線光源と、
   該線光源からの前記検査光を、前記被検査対象を経由して受光する受光装置と、を備え、
   前記線光源には、前記検査光が明視野として前記受光装置へ到達しないようにするための遮蔽部が設けられ、
   前記被検査対象と前記線光源との間には、再帰反射が可能な再帰反射素子を有する再帰反射素子保有部材が設けられている、
   ことを特徴とする欠陥検査装置。
2. 前記再帰反射素子保有部材が、
   ２鏡面反射ミラーまたは２面リフレクタアレイのいずれかである、
   ことを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
3. 前記再帰反射素子保有部材が、
   再帰反射シートであり、
   前記線光源から前記被検査対象に至る検査光を、第１反射検査光と透過非検査光とに分割するビームスプリッタを備え、
   前記再帰反射シートは、前記第１反射検査光を反射し第２反射検査光とし、
   前記ビームスプリッタは、前記第２反射検査光を、透過検査光と反射非検査光とにさらに分割する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
4. 前記被検査対象の一方の面側に、前記受光装置が設置され、
   その他方の面側に、前記線光源と、前記再帰反射素子保有部材と、が設置され、
   前記受光装置は、前記被検査対象で透過した検査光を受光する、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の欠陥検査装置。
5. 前記被検査対象の一方の面側に、前記受光装置と、前記線光源と、前記再帰反射素子保有部材と、が設置され、
   前記受光装置は、前記被検査対象で反射した検査光を受光する、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の欠陥検査装置。

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