JP3020398B2

JP3020398B2 - 板表面の検査方法及び検査装置並びに検査用光源

Info

Publication number: JP3020398B2
Application number: JP5305467A
Authority: JP
Inventors: 成人足立
Original assignee: Kobe Steel Ltd
Current assignee: Kobe Steel Ltd
Priority date: 1993-12-06
Filing date: 1993-12-06
Publication date: 2000-03-15
Anticipated expiration: 2015-03-15
Also published as: JPH07159331A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、自動車外板、プラ
スチック板などの板表面を光学的に検査する検査方法及
び該方法の実施に用いて好適な検査装置並びに検査用光
源に関する。

【０００２】

【従来の技術】逆反射スクリーンを利用した板表面検査
方法として、特開昭 62-502358号公報に開示される公知
のものがあり、その要旨は次の通りである。この検査方
法に用いる検査装置は、図１３に示すように逆反射スク
リーン３０、カメラ３１、光源３２の基本要素によって
構成される。検査対象物３３の表面を逆反射スクリーン
３０と光源３２の間に置き、光源３２の光が検査対象物
３３の表面に当たって反射し、逆反射スクリーン３０に
向かうような相対的位置に配置する。検査対象物３３で
反射し逆反射スクリーン３０に入ってきた光は、入射光
軸と略同じ方向に反射し、再び検査対象物３３の表面で
反射して、光源３２のやや上方に配置されたカメラ３１
に捕らえられる。これによって、検査対象物３３の表面
の凹凸変化が光学的に強調されてなる画像をカメラ３１
に捕らえることができ平滑であるべき表面の欠陥場所を
容易に発見することが可能である。

【０００３】この検出原理を図１４及び図１５によって
説明する。図１４は検査対象物３３の表面に欠陥が無い
場合を示し、図１５は欠陥が有る場合を示している。逆
反射スクリーン３０は、その表面にビーズ状の反射球３
４が密設されており、各反射球３４は、入射光に対し図
示するような指向性の反射パターンを有している。図１
４に示すように表面に欠陥が無い場合、光源方向から来
た光は検査対象物３３の表面で逆反射スクリーン３０の
方向に反射する。光源近傍の光源よりも図上でやや上に
設置されたカメラは、図中のカメラビューイング方向か
ら検査対象物３３表面に向いており、逆反射スクリーン
３０からの反射光が、検査対象物３３で再反射する光を
捕らえている。いま、検査対象物３３の表面のＡ，Ｂ，
Ｃの各点をカメラから見るとき、欠陥の無い平面では、
逆反射スクリーン３０の各反射球３４の角度αで反射さ
れる同じ強さの光を見ていることになり、カメラは濃淡
変化の無い中間的な明るさを持った面として捕らえる。

【０００４】一方、図１５のように検査対象物３３の表
面に欠陥が有る場合、欠陥の無いＡ点では前記と同様に
逆反射スクリーン３０の反射球３４の角度αからの光を
捕らえるが、Ｂ点（カメラ側から見て下り坂）では、反
射角γの強い光を捕らえ、また、Ｃ点（カメラ側から見
て上り坂）では、角度βの弱い光を捕らえることにな
る。従って、Ｂ点の下り坂では明るく、Ｃ点の上り坂で
は暗く見えることになる。逆反射スクリーン３０の反射
球３４の反射パターンの指向性の幅は、約±１度と鋭い
ため、欠陥の微妙な傾きでも、明暗の変化量が激しく、
欠陥の凹凸が強調されて観測されることになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図１４及び図１５にお
いて、仮にＳ点を検査対象物３３の端辺とすると、カメ
ラから見てＳ点からＡ点までの間は、検査対象物３３以
外（図示上Ｓ点より左）からの反射光も入ってくること
になり、従って、Ｓ点からＡ点の間は検査できない領域
となる。例えば、図１６に示すような自動車ドア３６の
表面検査をする場合において、図中手前（下）をカメラ
３１及び光源３２の側とし、奥（上）を逆反射スクリー
ン３０の側とすると、図示するように手前の端辺３７と
開口部３８，３９から奥方向の検査対象物３３の表面以
外の反射が混入する部分は検査できないことになる。こ
れは、光源３２がカメラ３１の下に設置されることによ
る影響である。

【０００６】前記逆反射スクリーンによる表面検査装置
において、光源からの光が欠陥部分に直接当たる光路を
考えると、図１７に示すように、欠陥部ｄが凹部である
場合には、その凹部が凹面鏡的な役割を演ずる結果、欠
陥部ｄで集光された反射光が逆反射スクリーン３０で反
射されて検査対象物３３に戻り、ｑ点で再反射した光を
カメラ３１が捕らえるとき、図１８に模式的に示すよう
に、欠陥部ｄによる欠陥像Ｄの先の再反射点ｑに相当す
る位置に疑似像Ｑが生じる。また、欠陥部ｄが凸部であ
る場合には、この凸部が凸面鏡的な役割を演ずるため、
図１９に示すように、同じ位置に暗い疑似像Ｑ′が生じ
る。この疑似像Ｑ′は、欠陥の無い位置にあたかもそこ
に欠陥が有るが如きに発生するので、欠陥検査上におい
て、疑似像Ｑ，Ｑ′が発生した位置にも欠陥が有るよう
に誤認することになる問題点がある。

【０００７】ところで、図１３及び図１７を参照して、
逆反射スクリーンによる表面検査装置において、逆反射
スクリーン３０の大きさは、光源３２から検査対象物３
３の距離と逆反射スクリーン３０から検査対象物３３の
距離とが１：１であるとすると、検査対象物３３の４倍
の面積が必要である。即ち、検査対象物３３が平板とし
て４倍、凸曲面の場合はさらに大きな逆反射スクリーン
が必要となる。例えば検査対象物３３を１．７ｍ角の平
板とすると、３．４ｍ角の逆反射スクリーン３０が必要
となる。前項［０００６］において述べるように、疑似
像が逆反射スクリーン上で像を結び、欠陥像が検査対象
物上で像を結ぶことから、逆反射スクリーン３０から検
査対象物３３の距離を光源３２から検査対象物３３の距
離に比べて１：１程度とし、検査対象物３３上にカメラ
の焦点を合わせると疑似像がぼやけてしまう。このこと
から、逆反射スクリーン３０から検査対象物３３の距離
を光源３２から検査対象物３３の距離に比べて短くする
ことは、疑似像がぼやけ難くなり、欠陥像と疑似像との
違いが判別しにくくなる。以上の点を総合して、逆反射
スクリーン３０の大きさは、検査対象物３３（検査領
域）の４倍以上必要で大型とならざるを得ないという問
題があった。

【０００８】一方、このような逆反射スクリーンによる
表面検査装置に用いる光源としては、同じ方向の指向性
を個々に持つ光の束から成る面光源が最適とされるが、
従来は、図２０に例示するように指向性を持ったレーザ
光４２を光ファイバ４１で集めている。即ち、この図に
おいて丸囲みで示すガウス分布（正規分布）になる１つ
の指向性を持った光の直径を０．１mmφとするには、
０．１mmφの光ファイバ４１が必要である。そして、
０．１mmφの光ファイバ４１を使って１００mm角の面積
を持った面光源１を作るには、百万本の光ファイバ４１
と百万台のレーザ発振器４３が必要となり、複雑な構造
で、かつ、高コストとなる。これに対してレーザ発振器
を少なくする試みとして、図２１のようにレーザ光をシ
リンドリカルレンズ４４によってスポット光をライン光
に変換するようにしたものも提案されてはいるが、この
場合でも、１００mm角の面積を持った面光源を作るに
は、百万本の光ファイバ４１と千台のレーザ発振器４３
が必要となり、依然として構造複雑、コスト高であるこ
とは免れ得なく、普通は汎用的なスポット光源が専ら使
用されている。なお、図２２にシリンドリカルレンズ４
４を使用した場合のレーザ光４２の軌跡が示される。

【０００９】本発明は、このような問題点の解消を図る
ために成されたものであり、本発明の目的は、疑似像の
発生を抑制することができて反射スクリーンの小型化並
びに該スクリーンの検査対象物に対する距離の短縮を図
って検査精度を高めようとするものであり、さらに、装
置のコンパクト化を実現し、併せて、指向性面光源を簡
易化された構造の下で低コストで提供しようとすること
にある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため以下に述べる構成としたものである。即
ち、本発明は、光源、該光源に対向して設けられる回帰
反射スクリーン、前記光源からの光を透過し前記回帰反
射スクリーンからの反射光を正反射するように光源と回
帰反射スクリーンの間に介設されるハーフミラーを備
え、板状の検査対象物の表面に照射可能に形成される指
向性面光源を用いて、この指向性面光源からの光束を板
状の検査対象物に照射するとともに、その反射光を該反
射光軸に対しカメラビューイング方向が若干ずれて配置
されたカメラで捕らえることにより、前記検査対象物の
表面における欠陥部分の凹凸変化を、明暗変化が強調さ
れた画像として得ることを特徴とする板表面の検査方法
である。

【００１１】本発明はまた、光源、該光源に対向して設
けられる回帰反射スクリーン、前記光源からの光を透過
し前記回帰反射スクリーンからの反射光を正反射するよ
うに光源と回帰反射スクリーンの間に介設されるハーフ
ミラーを備え、板状の検査対象物の表面に照射可能に設
けられる指向性面光源と、この指向性面光源が前記検査
対象物の表面に照射する光束の反射光の光軸に対しカメ
ラビューイング方向を若干ずらして該反射光の捕光可能
に設けられるカメラとを含むことを特徴とする板表面の
検査装置である。

【００１２】本発明はまた、光源、該光源に対向して設
けられる回帰反射スクリーン、前記光源からの光を透過
し前記回帰反射スクリーンからの反射光を正反射するよ
うに光源と回帰反射スクリーンの間に介設されるハーフ
ミラーを備え、指向性を個々に持つスポット光が集束さ
れてなる光束をハーフミラーからの正反射により投光す
る指向性面光源に形成されることを特徴とする板表面の
検査用光源である。

【００１３】本発明はさらに、上記の検査用光源におい
て、光源からの光束のうちのハーフミラーで正反射され
る一部光を該ハーフミラーに向けて回帰反射する回帰反
射スクリーンがさらに付設され、この回帰反射スクリー
ンで回帰反射後、ハーフミラーを透過する光が合わされ
ることによって、増光された投光が成されることを特徴
とする。本発明はさらに、上記の検査用光源において、
光源が、ハーフミラーとは反対側の後方部に光反射体を
備えて、ハーフミラーを透過又は／及び正反射する光束
を前記光反射体により該ハーフミラーに向け反射するこ
とによって、さらに増光された投光が成されることを特
徴とする。本発明はまた、上記の検査用光源において、
投光窓部と光源の直前方部との少なくとも投光窓部にレ
ンズが設けられることを特徴とする。

【００１４】

【作用】本発明に従えば、検査対象物上での反射が１回
で、この正反射光をカメラによって受像する検査方式で
あるから、従来の再反射光を捕らえる方式では、図１６
に基づいて説明したように検査ができない領域が生じる
のに対して、本発明では検査不能領域が全く生じない。
また、図１７に示すように従来では防ぐことができなか
った疑似像を生ぜしめないで欠陥像のみを鮮明に発像さ
せることが可能である。さらに、本発明によれば、検査
対象物に対する回帰反射スクリーン及びカメラの距離を
任意に選ぶことができる。また本発明によれば、表面検
査用の面光源を、一般的な構造になる光源とハーフミラ
ーと回帰反射スクリーンとの要素部材によって簡単な構
造の面光源装置に構成することができて簡略化され、か
つ、汎用性に富む装置を提供し得る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照しながら説明する。図１に、本発明の
検査方法に使用する一実施の形態である検査装置の概要
構成が示される。この図１に示されるように実施の形態
に係る検査装置は、板表面を検査するための検査用光源
１と、カメラ５とを含んで構成され、それら１，５は、
板体で実現される検査対象物６に対して、検査用光源１
からの照射光の反射光をカメラ５が受光可能なように光
学的にほぼ対称となる関係で設けられる。検査用光源１
は、光源２、該光源２に対向して設けられる回帰反射ス
クリーン３、前記光源２からの光を透過し前記回帰反射
スクリーン３からの反射光を反射するように光源２と回
帰反射スクリーン３の間に介設されるハーフミラー（反
透鏡）４を備えて、投光窓１０が開けられている筐体７
内に収納される。

【００１６】図２には、検査用光源１の原理図が示さ
れ、図３（イ），（ロ）及び図４には、図２における各
部の光の分布状態がそれぞれ示される。図２の検査用光
源１において、光源２から出た光（Ａの部分の光）は、
図３（イ）に示されるように指向性が弱いガウス分布の
光であって、ハーフミラー４を透過して（この場合にハ
ーフミラー４で反射した範囲Ｐの方向の光は不利用）、
図３（イ）と同様の図３（ロ）に示されるＢの部分の光
となって回帰反射スクリーン３に入射する。この回帰反
射スクリーン３は、回帰性反射パターンを有するもので
あって、図５に該スクリーン３の部分拡大図で示される
ように、例えば硝子のビーズ球（直径数十μｍ程度）１
３が密に反射面に敷つめられてなる構造であるとする
と、図４に示す回帰反射スクリーン３の反射光源パター
ンのように、図２のＢ部分においては各ビーズ球１３単
位に強い指向性を持つ光の束となって反射し、指向性の
幅は、±１度（半値幅≦±２°）となる。この指向性を
持つ反射光がハーフミラー４で正反射し（この場合にハ
ーフミラー４を透過した範囲Ｓの方向の光は不利用）、
範囲Ｒの方向に図４のＢに示す分布を有する光が照射す
る。このように範囲Ｒの方向に照射される光は、個々に
指向性を持った光の束からなる面光源を形成し得るもの
である。

【００１７】上述する構成になる検査用光源１から出る
光を、図１に示すように検査対象物６の表面に照射して
正反射させ、この反射光をカメラ５によって受光する。
ただし、カメラ５のビューイング方向は、僅かにずらす
ようにカメラ５を配置するものとする。即ち、ハーフミ
ラー４から検査対象物６に向かう光の光源パターンの最
も強い方向の光である主光の方向からα度ずれた光を見
るようにカメラ５を配置するものである。なお、ハーフ
ミラー４における光の透過量と正反射量との割合は、５
０：５０が普通であるが、その他の割合であってもよ
い。

【００１８】図６及び図７には、検査対象物６が表面欠
陥の無い平面の場合及び表面欠陥の有る平面の場合につ
いての図１に対応する光路の説明図が示される。上述す
るように検査用光源１及びカメラ５を配置することによ
り、検査対象物６表面のＡ，Ｂ，Ｃの各点をカメラ５か
ら見るとき、図６のように表面欠陥の無い平面では、光
源パターンの主光の方向からの角度αの強さの光を見て
いることになり、カメラ５は濃淡変化の無い中間的な明
るさを一様に有する面として捕らえる。一方、図７のよ
うに表面欠陥の有る平面の場合、欠陥の無いＡ点では前
記と同様に光源パターンの主光の方向からの角度αの強
さの光を捕らえるが、Ｂ点（カメラ５側から見て下り
坂）では、光源パターンの主光の方向からの角度γの強
さの光を捕らえ、また、Ｃ点（カメラ５側から見て上り
坂）では、光源パターンの主光の方向からの角度βの弱
い光を捕らえることになる。従って、Ｂ点の下り坂では
明るく、Ｃ点の上り坂では暗く見えることになる。光源
パターンの指向性の幅は前述するように約±１度と尖鋭
であるため、欠陥の微妙な傾きでも明暗の変化量が激し
くて、欠陥の凹凸が強調されて観測されることになる。

【００１９】図８乃至図１１に、本発明の検査方法に使
用する他の各実施形態に係る検査装置の概要構成が示さ
れる。これら各図において図１に示される一実施形態に
類似し、対応する各部材には同一の参照符号を付してい
る。図８に示される検査装置において注目すべきは、投
光窓１０が開けられている筐体７を断面形状が凸形の十
面直方体に形成して、ハーフミラー４を挟んで投光窓１
０とは反対側の突出部内壁に、回帰反射スクリーン３１
を追加配設した構造を有することである。この検査装置
において、光源２から出た光のうち、ハーフミラー４で
正反射した光（図８に範囲Ｐで示される）が、回帰反射
スクリーン３１で回帰性反射パターンを持った（指向性
を個々に持った）光の束となる。回帰反射スクリーン３
１で反射した光は、ハーフミラー４を透過して（この場
合にハーフミラー４で反射して光源２に向かう光は不利
用）、図５の範囲Ｒで示す方向に図４の指向性パターン
分布を持った光で照射する。このＲ方向に照射される光
は、回帰反射スクリーン３で回帰反射した後、ハーフミ
ラー４で正反射する光と重畳されることから、図１に示
す実施例と比較して約２倍の光量となる。

【００２０】図９に示される装置は、図１の実施形態に
対して反射ミラー又は回帰反射スクリーンで実現される
光反射体８が追加して設けられている点が注目される構
成である。この光反射体８は、光源２の後方、即ち、ハ
ーフミラー４とは反対側の近部に設けられる。このよう
に構成することによって、光源２から出て回帰反射スク
リーン３で反射した光のうち、ハーフミラー４を通過し
た光、即ち、図９に範囲Ｓで示される光は、光反射体９
によって反射し、光源２から照射した光と合わさって再
びハーフミラー４に向かう。従って、範囲Ｓで示される
光が有効に利用されることによって、範囲Ｒで示す方向
に照射される光は、図１に示す実施例と比較して約２倍
の光量となる。

【００２１】図１０に示される装置において注目すべき
は、ハーフミラー４の反射光の出側にレンズ９を設けて
なる構成としたことである。このようにすることによっ
て、カメラ５とハーフミラー４との距離を変えることが
可能である。カメラ５の最良なポジションは、主光の大
きさがカメラのレンズ口径と同様の大きさになるような
位置であり、光源パターンの最も強い方向の光である主
光の方向からα度ずれた光を見るようにしながら最良な
ポジションを決めればよい。また、光源２の前方にレン
ズ９１を介設することにより、カメラビューイング方向
での光の焦点を変えることができ、これも好ましい態様
である。

【００２２】図１１に示される装置において注目すべき
は、検査用光源１を、光源２と、光ファイバー１１と、
これに対応させた同数のレンズ１２とによって構成した
ことである。この検査装置において、光源２から出た光
を光ファイバー１１の束に通し、各光ファイバー１１の
光出側に設けたレンズ９を通すことによって、個々のス
ポット光に対して±１度の指向性を持たせることが可能
である。この指向性パターン束を実施例と同要領でカメ
ラ５によって観測すると、欠陥の凹凸が強調されて観測
されることになる。

【００２３】図１２には、本発明の実施の形態に係る検
査装置に用いられる検査用光源１の例が示される。この
例は、図８及び図９に示される各検査用光源１を組み合
わせた構造であって、回帰反射スクリーン３１と光反射
体８とを設けることによって、範囲Ｒの方向に照射され
る光は、図１に図示する検査用光源１の照射光量の約４
倍に増大する。

【００２４】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、検査
対象物上での検査用光束の反射が１回で済む検査方式で
あるから、従来の検査方法では検査不能領域が生じてい
た点を解消して効率のよい検査が行えるとともに、欠陥
部による欠陥像の先の再反射点に相当する位置に現れる
疑似像を生じないようにして検査精度を高めることが可
能である。更に、疑似像が生じなくなったことから、回
帰反射スクリーンから検査対象物の距離と、検査対象物
からカメラの距離とを検査の態様に応じて遠近任意にと
ることができ、その結果、回帰反射スクリーンの大きさ
を検査対象物の検査領域の大きさ以上にする必要がある
としても、両者間の距離を短くすることによって、回帰
反射スクリーンの小型化が可能であり、検査装置をコン
パクトに纏め得る。さらに本発明によれば、レーザ光を
用いずに１個の光源を使用して、指向性を個々に持つス
ポット光が集束されてなる面光源を簡単、かつ、低コス
トで製作することができ、汎用性に富む装置を提供する
等、種々の優れた実用的効果が奏される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査方法に使用する一実施形態である
検査装置の概要構成図である。

【図２】図１図示検査用光源１の構造原理図である。

【図３】図２図示検査用光源１におけるＡ，Ｂ各部の光
分布状態図である。

【図４】図２図示検査用光源１におけるるＢ部の光分布
状態図である。

【図５】図１図示検査用光源１の回帰反射スクリーン３
の部分拡大図である。

【図６】検査対象物が表面欠陥の無い場合の図１に対応
する光路の説明図である。

【図７】検査対象物が表面欠陥を有する場合の図１に対
応する光路の説明図である。

【図８】本発明の検査方法に使用する他の実施形態であ
る検査装置の概要構成図である。

【図９】本発明の検査方法に使用する他の実施形態であ
る検査装置の概要構成図である。

【図１０】本発明の検査方法に使用する他の実施形態で
ある検査装置の概要構成図である。

【図１１】本発明の検査方法に使用する他の実施形態で
ある検査装置の概要構成図である。

【図１２】本発明の実施形態の検査装置に係る検査用光
源１の構造原理図である。

【図１３】従来の表面検査装置の概念図である。

【図１４】従来の表面検査方法における欠陥部分の無い
場合の光路の説明図である。

【図１５】従来の表面検査方法における欠陥部分が有る
場合の光路の説明図である。

【図１６】従来の表面検査方法における検査不能領域を
示す説明図である。

【図１７】従来の逆反射スクリーンによる表面検査装置
の概念図である。

【図１８】検査対象物の表面欠陥部分が凹部であるとき
の疑似像発生の画像図である。

【図１９】検査対象物の表面欠陥部分が凸部であるとき
の疑似像発生の画像図である。

【図２０】従来の表面検査装置の検査用光源の例の概念
図である。

【図２１】従来の表面検査装置の検査用光源の他の例の
概念図である。

【図２２】図２１に示す検査用光源の要部説明図であ
る。

【符号の説明】

１…検査用光源２…光源３…回帰反射スクリーン４…ハーフミラー５…カメラ６…検査対象物７…筐体８…光反射体９…レンズ１０…投光窓

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 21/892 G01B 11/30 G01N 21/84 H04N 7/18

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】光源、該光源に対向して設けられる回帰
反射スクリーン、前記光源からの光を透過し前記回帰反
射スクリーンからの反射光を正反射するように光源と回
帰反射スクリーンの間に介設されるハーフミラーを備
え、板状の検査対象物の表面に照射可能に形成される指
向性面光源を用いて、この指向性面光源からの光束を板
状の検査対象物に照射するとともに、その反射光を該反
射光軸に対しカメラビューイング方向が若干ずれて配置
されたカメラで捕らえることにより、前記検査対象物の
表面における欠陥部分の凹凸変化を、明暗変化が強調さ
れた画像として得ることを特徴とする板表面の検査方
法。
【請求項２】光源、該光源に対向して設けられる回帰
反射スクリーン、前記光源からの光を透過し前記回帰反
射スクリーンからの反射光を正反射するように光源と回
帰反射スクリーンの間に介設されるハーフミラーを備
え、板状の検査対象物の表面に照射可能に設けられる指
向性面光源と、この指向性面光源が前記検査対象物の表
面に照射する光束の反射光の光軸に対しカメラビューイ
ング方向を若干ずらして該反射光の捕光可能に設けられ
るカメラとを含むことを特徴とする板表面の検査装置。
【請求項３】光源、該光源に対向して設けられる回帰
反射スクリーン、前記光源からの光を透過し前記回帰反
射スクリーンからの反射光を正反射するように光源と回
帰反射スクリーンの間に介設されるハーフミラーを備
え、指向性を個々に持つスポット光が集束されてなる光
束をハーフミラーからの正反射により投光する指向性面
光源に形成されることを特徴とする板表面の検査用光
源。
【請求項４】光源からの光束のうちのハーフミラーで
正反射される一部光を該ハーフミラーに向けて回帰反射
する回帰反射スクリーンがさらに付設され、この回帰反
射スクリーンで回帰反射後、ハーフミラーを透過する光
が合わされることによって、増光された投光が成される
ことを特徴とする請求項３に記載の板表面の検査用光
源。
【請求項５】光源が、ハーフミラーとは反対側の後方
部に光反射体を備えて、ハーフミラーを透過又は／及び
正反射する光束を前記光反射体により該ハーフミラーに
向け反射することによって、さらに増光された投光が成
されることを特徴とする請求項３または４に記載の板表
面の検査用光源。
【請求項６】投光窓部と光源の直前方部との少なくと
も投光窓部にレンズが設けられることを特徴とする請求
項３，４または５に記載の板表面の検査用光源。