KR20220112567A - 결함 검사 장치 - Google Patents

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KR20220112567A
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엄동환
오세진
김종우
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동우 화인켐 주식회사
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Abstract

본 발명은, 제1 광원부 및 제2 광원부를 포함하고, 검사 대상체에 광을 조사하는 광원 조립체; 및 상기 검사 대상체로부터 반사된 광을 수용하여 영상을 획득하는 촬영부를 포함하며, 상기 제1 광원부 및 제2 광원부는, 제1 광원부의 광축과 제2 광원부의 광축이 상기 광원 조립체와 검사 대상체 사이에서 교차되도록 배치되는, 결함 검사 장치에 관한 것이다.

Description

결함 검사 장치{DEFECT INSPECTION APPARATUS}
본 발명은 결함 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대상체로부터 반사된 광의 수집을 통한 결함 검사 장치에 관한 것이다.
종래의 육안을 통한 검사 방법들이 자동화 설비를 통해 기계 장치에 의해 자동으로 수행되고 있다. 자동화 검사 장치로서, 광학계 검사 장치는 평탄한 표면을 가진 물질의 표면 결함을 찾아내는 용도로 활용된다.
예를 들면, 화상 표시 장치의 부품으로서 포함되는 유리 및 각종 광학 필름은 화상 표시 장치의 영상 출력 품질을 향상시키기 위해 유리 및 광학 필름의 표면이 매끄럽고 평탄할 것이 요구된다. 특히 표면보호필름, 편광자, 위상차 필름 등으로 화상 표시 장치에 사용되는 광학 필름들의 경우에는 그 표면이 극도로 평평할 필요가 있다.
그러나, 유리 및 광학 필름은 제조 또는 취급 과정에서 그 표면에 긁힘(Scratch), 이물질, 기포, 요철, 찢김, 뒤틀림 또는 접힘 등의 결함이 종종 발생할 수 있다.
화상 표시 장치의 영상 품질을 향상시키기 위해 이러한 결함들을 고감도로 검출해 낼 필요가 있다. 예를 들면, 한국 공개특허공보 제10-2017-0010675호는 광학필름 검사 장치를 개시하고 있으나, 보다 미세한 결함까지 검출하는 데에는 한계를 가지고 있다. 특히 검사 대상체의 기계 방향(MD; Machine Direction)과 일치하는 방향의 선형 결함에 대한 검출 정밀도가 낮은 문제가 있다.
따라서, 결함의 방향성과 상관없이 검출 정밀도를 향상시킬 수 있는 결함 검사 장치에 대한 필요성이 대두된다.
한국 공개특허공보 제10-2017-0010675호
본 발명은 우수한 정밀도를 갖는 결함 검사 장치를 제공하는 것을 발명의 목적으로 한다.
특히, 기존에는 검출이 용이하지 않았던 기계 방향(MD)의 선형 결함에 대하여도 높은 정밀도를 가져, 결함의 방향성과 무관하게 우수한 검출 성능을 갖는 결함 검사 장치를 제공하는 것을 발명의 목적으로 한다.
본 발명은, 제1 광원부 및 제2 광원부를 포함하고, 검사 대상체에 광을 조사하는 광원 조립체; 및 상기 검사 대상체로부터 반사된 광을 수용하여 영상을 획득하는 촬영부를 포함하며, 상기 제1 광원부 및 제2 광원부는, 제1 광원부의 광축과 제2 광원부의 광축이 상기 광원 조립체와 검사 대상체 사이에서 교차되도록 배치되는, 결함 검사 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 그 제1 관점에 있어서, 상기 제1 광원부의 광축과 제2 광원부의 광축이 교차되는 각도는 20° 이상일 수 있다.
본 발명은, 그 제2 관점에 있어서, 상기 제1 광원부 및 제2 광원부는, 복수의 광원이 라인 형태로 배열되는 것일 수 있다.
본 발명은, 그 제3 관점에 있어서, 상기 제1 광원부 및 제2 광원부는, 동일 라인 내에서 교대로 배열되는 것일 수 있다.
본 발명은, 그 제4 관점에 있어서, 상기 광원 조립체는, 상기 제1 광원부가 배치되는 제1 광원부 배치면 및 제2 광원부가 배치되는 제2 광원부 배치면을 구비하는 광원 배치부를 포함하는 것일 수 있다.
본 발명은, 그 제5 관점에 있어서, 상기 광원 조립체로부터 조사되는 광은, 검사 대상체에 경사지게 조사되는 것일 수 있다.
본 발명에 따른 결함 검사 장치에 의하면, 광축이 서로 교차되는 교차광을 사용함으로써 검사 대상체의 결함에 도달하는 광의 산란정도 및 세기가 커지므로, 검사 대상체 상의 결함을 그 방향성과 무관하게 높은 정밀도로 검출할 수 있어, 종래 검사 장치 대비 제품의 품질을 더욱 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다.
도 1 및 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 장치를 나타내는 개략적인 사시도이다.
도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른 광원 조립체를 나타내는 개략적인 정면도이다.
도 4는, 비교예에 따른 결함 검사 장치를 나타내는 개략적인 사시도이다.
도 5는, 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 장치를 나타내는 개략적인 측면도이다.
도 6은, 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 장치를 이용하여 획득한 영상으로부터 결함부위의 결함 강도를 도출하여 나타낸 도이다.
본 발명은, 결함 검사 장치에 관한 것으로, 검출이 용이하지 않았던 기계 방향(MD)의 선형 결함에 대하여도 높은 정밀도를 가져, 결함의 방향성과 무관하게 우수한 검출 성능을 갖는 결함 검사 장치를 제공하는 것을 발명의 목적으로 한다.
구체적으로, 본 발명은, 제1 광원부 및 제2 광원부를 포함하고, 검사 대상체에 광을 조사하는 광원 조립체; 및 상기 검사 대상체로부터 반사된 광을 수용하여 영상을 획득하는 촬영부를 포함하며, 상기 제1 광원부 및 제2 광원부는, 제1 광원부의 광축과 제2 광원부의 광축이 상기 광원 조립체와 검사 대상체 사이에서 교차되도록 배치되는, 결함 검사 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 결함 검사 장치에 의하면, 광축이 서로 교차되는 교차광을 사용함으로써 검사 대상체의 결함에 도달하는 광의 산란정도 및 세기가 커지므로, 검사 대상체 상의 결함을 그 방향성과 무관하게 높은 정밀도로 검출할 수 있어, 종래 검사 장치 대비 제품의 품질을 더욱 향상시킬 수 있는 효과를 나타낼 수 있다.
본 발명에서의 “결함”은 검사 대상인 검사 대상체의 제조과정 또는 제조 전처리, 후처리 및/또는 유통 과정에서 발생하는 일체의 결함을 포함하며, 예를 들어, 긁힘(Scratch), 이물질, 기포, 요철, 찢김, 뒤틀림 또는 접힘 등의 결함일 수 있다. 따라서, 검사 대상체를 관찰할 때 명도 등의 색이 불균일하게 관찰되는 비정형 결함을 포함하는 것일 수 있으며, 예를 들어 결함이 포함된 영역은 주변부에 비하여 명도가 높거나 낮을 수 있다.
또한, 상기 결함은 검사 대상체의 기계 방향(MD; Machine Direction)으로 연장되는 것일 수 있다. 상기 기계 방향(MD) 과 수직인 방향은 횡방향(TD; Transverse Direction)으로 정의될 수 있다. 일 실시 예에 있어서, 상기 결함은 검사 대상체의 기계 방향(MD)으로 반복하여 형성되는 것일 수 있다.
이하, 도면을 참고하여, 본 발명의 실시 예들을 보다 구체적으로 설명하도록 한다. 다만, 본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 것이며, 전술한 발명의 내용과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않은 한 복수형도 포함한다.
명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자 이외의 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는 의미로 사용한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조부호는 동일 구성 요소를 지칭하며, 원활한 설명을 위해 도면 상에 나타난 구성 요소들은 과장, 축소 또는 생략될 수 있다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 구성을 뒤집을 경우, 다른 구성의 "아래(below)"또는 "아래(beneath)"로 기술된 구성은 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 각 구성은 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
<결함 검사 장치>
도 1 및 도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 결함 검사 장치(100)는 광원 조립체(110) 및 촬영부(130)를 포함하며, 광원 조립체(110)가 검사 대상체(150)에 광을 조사하고, 검사 대상체(150)로부터 반사된 광을 촬영부(130)가 수용하여 영상을 획득한다.
이하, 본 발명의 결함 검사 장치의 각 구성 요소를 살펴본다.
광원 조립체
광원 조립체(110)는 광을 조사하여 검사 대상체(150)에 존재하는 결함(151)을 가시화하기 위한 것으로, 검사 대상체(150)의 일면에 구비될 수 있다.
본원의 광원 조립체(110)는 제1 광원부(111) 및 제2 광원부(112)를 포함하며, 상기 제1 광원부(111) 및 제2 광원부(112)는, 제1 광원부의 광축과 제2 광원부의 광축이 상기 광원 조립체(110)와 검사 대상체(150) 사이에서 교차되도록 배치된다.
도 1 및 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검사 장치를 나타내는 개략적인 사시도이다. 보다 구체적으로, 도 1은 일부 실시예에서 검사 대상체(150)에 결함(151)이 존재하는 경우에 관한 것이고, 도 2는 일부 실시예에서 검사 대상체(150)에 결함(151)이 존재하지 않는 경우에 관한 것이다.
도 1을 참조하면, 광원 조립체(110)를 통해 조사된 교차광이 검사 대상체(150)에 도달하게 되고, 이들 중 결함(151)에 도달한 광은 해당 결함 부위에서 회절, 산란 또는 굴절됨에 따라 광의 진행 경로가 변경된다. 이와 같이 경로가 변경된 광은 촬영부(130)에 입사되지 못하므로 해당 결함 부위는 어둡게 나타나게 되고, 이러한 명도 차이를 이용하여 검사 대상체(150)상의 결함(151)을 검출할 수 있다.
도 2를 참조하면, 검사 대상체(150)에 결함이 없는 경우 광원 조립체(110)를 통해 조사된 교차광이 회절, 산란 또는 굴절되지 않고 모두 촬영부(130)에 입사되므로 명도의 차이가 없는 영상을 얻을 수 있다.
본원의 광원 조립체(110)는 교차광을 조사하는 것을 특징으로 하며, 이에 따라 검사 대상체(150)에 서로 다른 경로의 광이 동시에 입사된다. 따라서, 검사 대상체(150)에 일정 방향으로 연장된 선형 결함(151)이 존재하는 경우에도, 상기 선형 결함의 연장방향과 일치되지 않는 경로의 광이 언제나 해당 결함 부위에 도달하게 되므로, 광 경로와 선형 결함의 방향이 일치함에 따라 광의 산란 및 세기가 줄어드는 현상을 방지할 수 있다.
이러한 본원발명의 특징은, 종래의 결함 검사 장치(200)와의 대비를 통해 더욱 명확해질 수 있다.
도 4는 종래의 결함 검사 장치를 나타내는 도면으로, 종래의 결함 검사 장치(200)는 검사 대상체(250)에 기계 방향(MD)과 평행한 직진광을 조사하여 결함을 검출한다. 그러나 검사 대상체(250)의 표면에 상기 직진광의 경로와 일치되는 방향으로 연장되는 선형의 결함(251)이 존재하게 되면, 결함 부위에 도달한 광의 산란정도 및 세기가 현저히 줄어들며, 결함 부위에서 산란되지 않은 광은 검사 대상체(250)에 반사되어 촬영부(230)에 입사된다. 따라서, 광의 경로와 일치되는 방향으로 연장되는 선형의 결함(251)은 주변부와의 명도 차이가 충분치 못하므로, 특정 방향의 선형 결함 검출에 한계가 존재한다.
이에 반하여, 본원의 결함 검사 장치는 서로 다른 광축을 가지는 둘 이상의 교차광을 조사하는 것을 특징으로 하며, 조사된 교차광 중 적어도 하나는 일정 방향으로 연장되는 선형의 결함(151)과 광 경로가 일치하지 않을 수 있다. 따라서, 광 경로와 선형 결함의 방향이 일치함에 따라 광의 산란 및 세기가 줄어드는 현상을 방지할 수 있으므로, 결함의 방향성과 무관하게 모든 결함에 대해 우수한 검출 성능을 나타낼 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광원 조립체를 나타내는 개략적인 정면도이다. 일 실시예에 있어서, 본원의 광원 조립체(110)는 광원 배치부(113)를 더 포함할 수 있으며, 상기 광원 배치부(113)는 상기 제1 광원부가 배치되는 제1 광원부 배치면 및 제2 광원부가 배치되는 제2 광원부 배치면을 구비한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 광원부의 광축과 제2 광원부의 광축이 교차되는 각도(θ)는 20° 이상일 수 있으며, 바람직하게는 20° 내지 60° 일 수 있다. 제1 광원부의 광축과 제2 광원부의 광축이 교차되는 각도(θ)가 상기 범위를 만족하는 경우 MD방향의 선형 결함을 용이하게 검사할 수 있으므로 바람직하다.
상기 제1 광원부(111) 및 제2 광원부(112)의 광원은, 결함을 가시화하는 역할을 수행하는 것이면 특별히 제한되지 않으나, 바람직하게는 LED 광원이 사용되는 것일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 광원부(111) 및 제2 광원부(112)는, 복수의 광원이 라인 형태로 배열되는 것을 특징으로 할 수 있다. 또한, 상기 제1 광원부(111) 및 제2 광원부(112)는, 동일 라인 내에 배열되는 것일 수 있고, 바람직하게는 동일 라인 내에서 교대로 배열되는 것을 특징으로 할 수 있다. 상기 라인은 직선을 의미하는 것일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 상기 제1 광원부(111) 및 제2 광원부(112)가 동일 라인 내에 배열되는 경우, 제1 광원부와 제2 광원부가 동일 라인에 배열되지 않는 경우와 달리, 검사 대상체(150)에 대해 수직인 방향을 기준으로 제1 광원부 및 제2 광원부의 광축과 촬영부(130)의 광축이 일치되도록 할 수 있다. 이에 따라, 검사 대상체(150)로부터 반사되어 촬영부(130)로 입사되는 광의 광량을 최대화함으로써 결함이 있는 부위와 주변부 사이의 명도 차이를 더욱 향상시킬 수 있으므로 바람직하다.
상기 광원 배치부(113)는 제1 광원부의 광축과 제2 광원부의 광축을 조절하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들어, 제1 광원부의 광축을 조절하기 위하여 상기 제1 광원부 배치면을 검사 대상체(150)와 평행한 면을 기준으로 경사지게 형성할 수 있으며, 마찬가지로 제2 광원부의 광축을 조절하기 위하여 상기 제2 광원부 배치면을 검사 대상체(150)와 평행한 면을 기준으로 경사지게 형성할 수 있다. 이와 같이, 검사 대상체(150)와 평행한 면을 기준으로 경사지게 형성된 제1 광원부 배치면 및 제2 광원부 배치면 각각에 제1 광원부 및 제2 광원부를 배치함에 따라 제1 광원부의 광축과 제2 광원부의 광축을 조절할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 광원부 배치면 및 제2 광원부 배치면은 동일 라인 내에서 교대로 배열되는 것을 특징으로 할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 광원 조립체(110)는 바(bar) 형상을 가지는 것일 수 있다. 상기 바(bar) 형상은 검사 대상체(150)의 폭 이상의 길이를 가지는 것일 수 있다.
일 실시예에 따르면, 광원 조립체(110) 및 촬영부(130)는 검사 대상체(150)에 대해 수직인 방향으로 일렬로 배열될 수 있고, 상기 광원 조립체(100)로부터 조사되는 광은 결함 검출 향상의 측면에서, 검사 대상체(150)에 경사지게 조사되는 것일 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 광원 조립체(110) 및 촬영부(130)가 검사 대상체(150)에 대해 수직인 방향으로 일렬로 배열된 경우, 검사 대상체(150)의 표면상에 초점을 형성하는 것이 용이해지며, 상기 초점에 대칭적으로 광이 입사함에 따라 다양한 방향으로 형성되는 결함의 검출력을 증가시킬 수 있다.
촬영부
촬영부(130)는, 광원 조립체(110)로부터 조사된 광에 의해 결함이 가시화된 검사 대상체(150)를 촬영하여 영상을 획득하기 위한 것이다. 상기 촬영부(130)는, 검사 대상체(150)의 일면에 구비되는 것일 수 있고, 바람직하게는 광원 조립체(110)에 대향하여 구비되는 것일 수 있다.
촬영부(130)는 얼룩이 가시화된 검사 대상체(150)의 화상을 얻을 수 있는 것이면 특별히 제한되지 않는다. 예를 들어 컬러 라인 스캔(Line-Scan)카메라, 디지털 카메라 등이 있을 수 있으며, 배경 영역과 결함 영역의 대비를 강조하기 위하여 컬러 라인 스캔(Line-Scan)카메라인 것이 바람직하다.
검사 대상체
검사 대상체(150)는, 소정량의 광을 투과시키는 필름이거나, 광을 투과시키지 않는 불투명한 기재일 수 있으며, 일 실시예에서 상기 검사 대상체(150)는 불투명 기재일 수 있다.
상기 불투명 기재는 롤투롤(RTR) 공정을 통해 생산되는 것이라면 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어, 편광필름 또는 파우치필름 등을 들 수 있다.
상기 검사 대상체(150)와 광원 조립체(110) 사이의 거리는 조사되는 광에 의해 결함을 시인할 수 있는 것이면 특별히 제한되지 않으나, 20 내지 300mm인 것이 바람직하다.
<결함 검사 방법>
본 발명은, 상술한 결함 검사 장치를 이용한 얼룩 자동 검사 방법을 포함한다.
본 발명의 결함 검사 방법은, 광원 조립체로부터 검사 대상체에 교차광을 조사하여 영상을 획득하는 단계; 및 상기 획득한 영상으로부터 결함의 검출강도를 도출하는 단계를 포함하고, 상기 교차광은 광원 조립체와 검사 대상체 사이에서 광축이 교차되는 것일 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일실시 예인 결함 검사 방법을 설명하나, 이에 한정되는 것이 아님은 전술한 바와 같다.
우선, 검사 대상체에 백라이트 유닛(BLU; Back Light Unit), LED광원 또는 메탈 할라이드(Metal Halide Lamp) 등의 광원을 포함하는 광원 조립체로부터 광을 조사하여, 검사 대상체의 결함을 가시화한다. 상기 조사된 광에 의해 결함이 가시화된 검사 대상체를 컬러 라인 스캔(Line-Scan)카메라 또는 디지털 카메라 등을 이용하여 상기 검사 대상체를 촬영한다.
이후, 상기 촬영된 검사 대상체 영상으로부터 결함부위의 최대 명도(그레이스케일)와 상기 결함부위를 둘러싼 인접 영역의 평균 명도와의 차이로부터 결함의 검출강도를 도출한다.
상기 결함 자동 검사 방법에 개시된 구성 요소들은, 상기 항목 <결함 검사 장치>에서 서술한 모든 특성을 나타내는 것일 수 있다.
또한, 상기 얼룩 자동 검사 방법의 각 단계는, 상기 항목 <결함 검사 장치>에서 서술된 구성 요소들에 의해 실시되는 것일 수 있다.
이하, 구체적으로 본 발명의 실시예를 기재한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
<실시예 및 비교예>
기계 방향(MD)으로 연장된 선형 결함(결함번호 #1 내지 #4)을 갖는 검사 대상체를 준비하였다. 본원의 결함 검사 장치(실시예, 교차각도 20°의 교차광) 및 종래의 결함 검사 장치(비교예, 직진광)를 각각 이용하여, 상기 검사 대상체의 법선 방향에 대하여 약 45° 각도로 광을 조사하였다. 상기 조사된 광이 검사 대상체에 반사된 광의 경로상에 배치된 카메라(Linea 16k, Dalsa社)를 통해 검사 영상을 획득하였다.
상기 획득한 영상으로부터 결함 강도를 도출하여 도 6에 나타내었다. 도 6에 기재되는 결함 강도는 결함 부위의 최대 명도(그레이 스케일)와 상기 결함 부위를 둘러싼 인접 영역의 평균 명도의 차이로서 계산되었다. 상기 명도는 이미지 센서(CCD 또는 CMOS)에서 취득되는 그레이 레벨(0~255)로부터 획득된다.
도 6을 참조하면, 검사 대상체에 대하여 교차광을 조사한 실시예의 경우, 기계 방향(MD)으로 연장된 선형 결함에 대한 검출강도가 비교예 대비 높게 측정되어, 특정 방향의 결함 검출에 대한 정밀도가 크게 향상된 점을 확인할 수 있다.
100, 200: 결함 검사 장치
110, 210: 광원 조립체
111: 제1 광원부
112: 제2 광원부
113: 광원 배치부
130, 230: 촬영부
150, 250: 검사 대상체
151, 251: 결함

Claims (6)

  1. 제1 광원부 및 제2 광원부를 포함하고, 검사 대상체에 광을 조사하는 광원 조립체; 및
    상기 검사 대상체로부터 반사된 광을 수용하여 영상을 획득하는 촬영부를 포함하며,
    상기 제1 광원부 및 제2 광원부는, 제1 광원부의 광축과 제2 광원부의 광축이 상기 광원 조립체와 검사 대상체 사이에서 교차되도록 배치되는, 결함 검사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 광원부의 광축과 제2 광원부의 광축이 교차되는 각도는 20° 이상인, 결함 검사 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 광원부 및 제2 광원부는, 복수의 광원이 라인 형태로 배열되는, 결함 검사 장치.

  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 광원부 및 제2 광원부는, 동일 라인 내에 배열되는, 결함 검사 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 광원 조립체는, 상기 제1 광원부가 배치되는 제1 광원부 배치면 및 제2 광원부가 배치되는 제2 광원부 배치면을 구비하는 광원 배치부를 포함하는, 결함 검사 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 광원 조립체로부터 조사되는 광은, 검사 대상체에 경사지게 조사되는 것인, 결함 검사 장치.
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