JP2015219085A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査対象基板が薄くなっても、表裏分離して検査精度を維持できる、光学的検査装置を提供する。
【解決手段】基板保持部２と、照明部３と、撮像部４と、検査部を備え、前記照明部は、基板Ｗの第１の面に対して所定の角度をなして照明光を照射するように配置されており、前記撮像部は、前記基板の第１の面側に設定された第１面側検査対象領域を当該第１の面側から観察する基板第１面側撮像部と、前記基板の第１の面と正対する反対側の第２の面側に設定された第２面側検査対象領域を前記第１の面側から撮像する基板第２面側撮像部とを備え、前記第１面撮像部は、前記基板の第１の面に対して所定の角度をなして第１面側検査対象領域を撮像するように配置されており、前記第２面撮像部は、前記基板の第２の面に対して所定の角度をなして第２面側検査対象領域を撮像するように配置されている、基板検査装置１である。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス基板などの透明体の表面側又は裏面側に付着した異物や傷などの欠陥の有無を光学的に検査する装置に関する。

従来の液晶パネルの表面欠陥検査では、表面側と裏面側のそれぞれに検出光学系を対称的に配置し、表面側の欠陥と裏面側の欠陥とを別々に検査している。（例えば、特許文献１）。

また、検査対象基板に対して斜め方向からライン状の照明光を照射し、検査対象基板の厚みよりも小さい焦点深度の結像光学系を基板表面に対して９０度の受光角度に配置し、検査対象基板の表面側と裏面側を混同することなく、一度に検査できる技術が実用化されている（例えば、特許文献２）。

図４は、従来の基板検査装置の一例を示す外観図である。従来の基板検査装置１ｚは、検査対象となる基板Ｗｚの検査対象領域Ｒｚに向けて照明部３から照明光３２を照射し、検査対象領域Ｒｚから放出された散乱光を、基板Ｗｚの上方に備えられた観察部４ｚの撮像カメラ４２ｚを用いて撮像し、撮像した画像に基づいて検査を行っている。なお、基板Ｗｚは、基板載置台２０の上に保持されており、基板載置台２０は、装置フレーム１１ｚ上に取り付けられたＸ軸ステージ６１とＹ軸ステージ６２の上に取り付けられており、ＸＹ方向に所定の速度で移動し、所定の位置に停止することができる。また、撮像カメラ４２ｚは、基板Ｗｚの検査対象領域Ｒｚの法線と光軸方向が一致するように（つまり、基板Ｗｚの表面に対して垂直方向に）、連結部材１５ｚを介して装置フレーム１１ｚに取り付けられている。そのため、基板Ｗｚと撮像部４ｚとを相対させながら、基板Ｗｚ全体を複数回分割スキャンして撮像・検査をしている。

特開平３−１８９４９１号公報 特許４１０４９２４号公報

検査対象基板の表面側及び裏面側に付着した異物や傷などの欠陥の有無を迅速に検査したい場合、特許文献１に示す様な、検査用の光学系を表面側と裏面側に２組配置する装置構成では、検査装置自体のコストアップやサイズアップとなってしまう。

一方、特許文献２に示す様な、検査用の光学系を１つとし、検査対象基板の表面側及び裏面側を分離して検査できる装置を用いても、検査対象基板がますます薄くなると基板の表面側と裏面側と分離すること（つまり、表裏分離）が困難になる。

図５は、従来の基板検査装置を用いて基板の表裏面を検査する様子を示す概念図であり、検査対象となる基板に照明光を照射して基板に付着した異物で乱反射した散乱光を撮像する様子と、撮像した散乱光の強度を複合的に図示したものである。なお、図５（ａ）は、従来より検査対象とされてきた基板Ｗｚ（厚み：ｔｚ）について検査する様子が示されており、図５（ｂ）は、従来より薄い基板Ｗ（厚み：ｔ）について検査する様子が示されている。照明部から照射された照明光３２ｚは、基板Ｗｚ，Ｗの表面側に付着した異物Ｘ１、基板Ｗｚ，Ｗの裏面側に付着した異物Ｘ２の表面でそれぞれ乱反射し、それらの散乱光が、撮像部４ｚの撮像カメラ４２ｚにて撮像される。

従来の基板Ｗｚであれば、表面側の異物Ｘ１，裏面側の異物Ｘ２の散乱光の強度はそれぞれ干渉し合わないため、分離した状態で検出することができた。しかし、従来より薄い基板Ｗでは、表面側の異物Ｘ１，裏面側の異物Ｘ２の散乱光の強度はそれぞれ干渉するため、表裏分離して検査精度を維持することが困難となる。

そこで、本発明は、検査対象基板が薄くなっても、表裏分離して検査精度を維持できる、光学的な検査装置を提供することを目的とする。

以上の課題を解決するために、本発明に係る一態様は、
基板保持部と、照明部と、撮像部と、検査部を備え、
前記照明部は、前記基板の第１の面に対して所定の角度をなしてライトシート状の照明光を照射するように配置されており、
前記撮像部は、
前記基板の第１の面側に設定された第１面側検査対象領域若しくは前記基板の第１の面と正対する反対側の第２の面側に設定された第２面側検査対象領域を、当該基板の第１の面側から撮像する撮像部とを備え、
前記撮像部は、前記基板の第１の面の法線に対して所定の角度をなして配置されて
いる、基板検査装置である。

この構成によれば、基板の表面側を撮像して取得した画像であれば、基板の裏面側の状態に影響を受けず、所定の検査を行うことができる。或いは、基板の裏面側を撮像して取得した画像であれば、基板の表面側の状態に影響を受けず、所定の検査を行うことができる。

また、本発明に係る別の一態様は、
基板保持部と、照明部と、撮像部と、検査部を備え、
前記照明部は、前記基板の第１の面に対して所定の角度をなしてライトシート状の照明光を照射するように配置されており、
前記撮像部は、
前記基板の第１の面側に設定された第１面側検査対象領域を当該第１の面側から観察する基板第１面側撮像部と、
前記基板の第１の面と正対する反対側の第２の面側に設定された第２面側検査対象領域を前記第１の面側から撮像する基板第２面側撮像部とを備え、
前記基板第１面撮像部及び前記基板第２面撮像部は、前記基板の第１の面の法線に対して所定の角度をなして第１面側検査対象領域を撮像するように配置されている、基板検査装置である。

この構成によれば、基板の表面側と裏面側とを別々に同時に撮像でき、基板の表面側を撮像して取得した画像は、基板の裏面側の状態に影響を受けず、所定の検査を行うことができる。一方、基板の裏面側を撮像して取得した画像は、基板の表面側の状態に影響を受けず、所定の検査を行うことができる。

検査対象基板が薄くなっても、表裏分離して検査精度を維持できる。

本発明を具現化する形態の一例を示す外観図。 本発明を具現化する基板検査装置を用いて、従来よりも薄い基板の表裏面を検査する様子を示す概念図。 本発明を構成する基板保持部のバリエーションを示す断面図。 従来の基板検査装置の一例を示す外観図。 従来の基板検査装置を用いて基板の表裏面を検査する様子を示す概念図。

本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。
図１は、本発明を具現化する形態の一例を示す外観図である。
図１には、基板を撮像した画像に基づいて光学的な検査を行う基板検査装置１について、各構成機器の斜視図と、画像取得して検査に必要な構成のブロック図が複合的に記載されている。なお、各図においては、直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、ＸＹ平面を水平面、Ｚ方向を鉛直方向とする。特にＺ方向は矢印の方向を上とし、その逆方向を下と表現する。また、検査対象となる基板Ｗは、第１の面Ｓ１と、第１面に対向する第２の面Ｓ２があり、第１の面Ｓ１側を第１面側又は表面側と呼び、それと対向する第２の面Ｓ２側を第２面側又は裏面側と呼ぶ。

本発明を具現化する形態の一例に係る基板検査装置１は、基板保持部２と、照明部３と、撮像部４と、検査部５を備えて構成されている。さらに、基板検査装置１は、必要に応じて相対移動部６を備えた構成としても良い。

基板保持部２は、検査対象となる基板Ｗを保持するものである。
具体的には、基板保持部２は、基板載置台２０により構成することができる。基板載置台２０は、基板Ｗの外形寸法より少し内側が空洞若しくは凹んだ断面形状をしている。また、基板載置台２０は、基板Ｗの外形寸法より少し外側に位置決め用基準ピン２１が備えられている。或いは、図３に示して後述するような構成であっても良い。

照明部３は、基板Ｗの上に設定された検査対象領域に向けて照明光を照射するものである。さらに、照明部３は、基板Ｗの第１の面Ｓ１の法線Ｈ１に対して所定の角度をなして前記照明光を照射するように配置されている。つまり、基板Ｗの第１の面Ｓ１に対して、
斜め方向から照明光が照射される。

具体的には、照明部４は、半導体レーザやＬＥＤ、ランプ光源などを用いたものが例示でき、レンズやミラーなどを介して照明光が検査対象領域に向けて照射される。より具体的には、半導体レーザを用いた場合であれば、シリンドリカルレンズなどを介し、ライトシート状の照明光として照射する構成が例示できる。また、照明部４から照射される照明光は、図１に示す様に、直接検査対象領域に照射しても良いし、反射ミラーなどで反射させてから検査対象領域に照射しても良い。

撮像部４は、検査対象領域を撮像するものである。そして、撮像部４は、基板Ｗの第１の面Ｓ１側に設定された第１面側検査対象領域若しくは基板Ｗの第２の面Ｓ２側に設定された第２面側検査対象領域を、第１の面Ｓ１側から観察するものである。そして、基板第１面撮像部４は、前記基板の第１の面Ｓ１に対して所定の角度θ１をなして第１面側検査対象領域Ｖ１を撮像するように配置されている。つまり、基板Ｗの第１の面Ｓ１に対して、斜め方向から検査対象領域が撮像される。

具体的には、撮像部４は、撮像カメラ４２と、レンズ４３とを含んで構成されている。より具体的には、撮像カメラ４２は、撮像素子４４として、ＣＣＤ，ＣＭＯＳなどのエリアセンサやラインセンサ、ＴＤＩセンサを備えたものが例示できる。そして、撮像カメラ４２は、撮像素子４４で受光した像に対応した映像信号や画像データを外部へ出力することができる。図１には、撮像素子４９として、ラインセンサを備えた構成が示されている。

なお、撮像部４は、基板Ｗの第１の面Ｓ１若しくは基板Ｗの第２の面のどちらか一方に焦点を合わせて撮像する構成としておく。

例えば、撮像部４は、基板Ｗとの距離が固定された状態で装置フレーム１１に取り付けられた構成としておく。そうすることで、撮像部４は、基板Ｗの第１の面Ｓ１若しくは基板Ｗの第２の面のどちらか一方について検査をすることができる。

或いは、撮像部４は、撮像位置を変更する機構（例えば、カメラ位置変更部）を介して装置フレーム１５に取り付けられた構成としても良い。この場合、カメラ位置変更部は、基板Ｗの厚み、基板Ｗの屈折率及び撮像カメラ４２が法線Ｈ１に対して斜めに取り付けられている所定の角度θ１から算出される光路の差分がシフト移動できる構成としておく。このシフト移動の方向は、基板Ｗの厚み、基板Ｗの屈折率、撮像カメラ４２が法線Ｈ１に対して斜めに取り付けられている所定の角度θ１、並びに、撮像部４のレンズ４３の作動距離（いわゆるワーキングディスタンス）により算出される。

なお、カメラ位置変更部の具体的な構成としては、上述のシフト移動の方向に延びるガイドレール、ボールねじ及び手回し用ハンドルを備えた手動アクチュエータや、前記手回しハンドルに代えて回転モータを備えた電動アクチュエータなどが例示できる。なお、上述のアクチュエータは上述のシフト移動方向（つまり、１軸方向）にのみ移動する機構だけでなく、基板Ｗの表面と平行な方向（Ｘ方向）と厚み方向（Ｚ方向）に（つまり、２軸方向に）移動する機構であっても良い。

撮像部４は、この様な構成のカメラ位置変更部を介して取り付けられているので、段取り替えにより、基板Ｗの第１の面Ｓ１若しくは第２の面Ｓ２を選択し、どちらか一方の検査対象領域に焦点を合わせて検査することができる。

検査部５は、撮像部４で撮像した画像に基づいて基板Ｗの表面状態を検査するものである。このとき、検査部５は、基板Ｗの第１の面Ｓ１又は第２の面Ｓ２について、撮像し、それらの表面状態を検査する。具体的には、検査部５は、いわゆる画像処理装置（ハードウェア）と画像処理プログラム（ソフトウェア）により構成することができる。そして、撮像カメラ４２や撮像カメラ４７から出力された映像信号や画像データは、画像処理装置ＩＭに入力された後、検査部５では、所定の画像処理を行いつつ、予め設定された検査基準に基づく検査が行われる。

具体的には、検査部５では、画像に含まれる輝点を検出し、それぞれの輝点の輝度情報や占有画素数などから異物としての粒径を判定し、ラベリング処理し、どれくらいの大きさの粒径の異物が何個存在するかを検査（いわゆる異物検出検査）が行われる。

相対移動部６は、検査対象となる基板Ｗに対して、照明部３及び撮像部４を相対的に移動させるものである。

具体的には、相対移動部６は、いわゆるＸＹステージを用いて具現化することができ、装置フレーム１１上に取り付けられてスライダーをＸ方向に所定の速度で移動させ所定の位置で静止させるＸ軸ステージ６１と、Ｘ軸ステージ６１のスライダー上に取り付けられてスライダーをＹ方向に所定の速度で移動させ所定の位置で静止させるＹ軸ステージ６２を備えて構成されている。Ｙ軸ステージ６２のスライダー上には、基板載置台２０が取り付けられている。そうすることで、基板載置台２０に載置された基板Ｗに対して、照明部３と撮像部４とを相対移動させることができ、基板Ｗ全体を複数回分割スキャンして撮像・検査することができる。

また、必要に応じて、Ｙ軸ステージ６２のスライダーと基板載置台２０との間には、回転テーブル機構を備えた構成であっても良い。そうすることで、基板Ｗの角度を変更することができ、基板Ｗの位置ずれ修正をしたり、基板の撮像・検査や受取・受渡などの方向を９０度、１８０度、２７０度と変更したりすることができる。

図２は、本発明を具現化する基板検査装置を用いて、従来よりも薄い基板の表裏面を検査する様子を示す概念図であり、検査対象となる基板に照明光を照射して基板に付着した異物で乱反射した散乱光を撮像する様子と、撮像した散乱光の強度を複合的に図示したものである。照明部から照射された照明光３２は、基板Ｗの表面側に付着した異物Ｘ１、基板ＷＷ（厚み：ｔ）の裏面側に付着した異物Ｘ２の表面でそれぞれ乱反射し、それらの散乱光が、撮像部４の撮像カメラ４２にて撮像される。この場合、観察部４が、基板Ｗの表面側（つまり、第１の面Ｓ１側）の法線Ｈ１に対して所定の角度θ１をなして配置されている。

なお、本発明を適用するにあたり、ライトシート状の照明光の厚み３２ｔ（つまり、ＸＺ方向の幅）は、検査対象となる基板Ｗの厚さの１／３以下（好ましくは、１／４以下）に設定しておく。これは、照明光の厚みを基板Ｗの厚さに対して十分に薄くしておくことで、同一面（第１の面の検査時なら第１の面）や反対側（第１の面の検査時なら第２の面）に存在する他の異物からの散乱光が同時に撮像されることを防止し、所望の検査結果を得ることができる。

この様な構成をしているため、基板検査装置１を用いて検査することで、基板の表面側（つまり、第１の面Ｓ１側）を撮像して取得した画像は、基板の裏面側（つまり、第２の面Ｓ２側）の状態に影響を受けずに所定の検査を行うことができる。さらに、基板の裏面側（つまり、第２の面Ｓ２側）を撮像して取得した画像は、基板の表面側（つまり、第１の面Ｓ１側）の状態に影響を受けず、所定の検査を行うことができる。そのため、検査対象基板が薄くなっても、表裏分離して検査精度を維持できる。

［別の形態］
上述では本発明を具現化する形態として、撮像部４に一組の撮像カメラ４２とレンズ４３とを備えた構成の基板検査装置１を例示した。しかし、以下に示す様な構成の基板検査装置１Ｂを用いても、本発明を具現化することができる。

つまり、基板検査装置１Ｂは、基本的な構成が基板検査装置１と同様であるが、撮像部４、検査部５に代えて、撮像部４Ｂ、検査部５Ｂを備えた構成となっている。そして、撮像部４Ｂは、基板第１面側撮像部４１と、基板第２面側撮像部４６とを別々に備えた構成となっている。

基板第１面側撮像部４１は、基板Ｗの第１の面Ｓ１側に設定された第１面側検査対象領域を当該第１の面Ｓ１側から観察するものである。そして、基板第１面撮像部４１は、前記基板の第１の面Ｓ１の法線Ｈ１に対して所定の角度θ１をなして第１面側検査対象領域Ｖ１を撮像するように配置されている。

基板第２面側撮像部４６は、基板Ｗの第１の面Ｓ１と正対する反対側の第２の面Ｓ２側に設定された第２面側検査対象領域を前記第１の面Ｓ１側から撮像するものである。そして、基板第２面撮像部４６は、前記基板の第１の面Ｓ１の法線Ｈ１に対して所定の角度θ１をなして第２面側検査対象領域Ｖ２を撮像するように配置されている。

具体的には、基板第１面撮像部４１は、上述の撮像部４と同様の、撮像カメラ４２と、レンズ４３とを含んで構成され、基板第２面撮像部４６は、撮像カメラ４２と同様の撮像カメラ４７と、レンズ４３と同様のレンズ４８とを含んで構成されている。

なお、基板Ｗの品種替えがなければ（つまり、厚みと屈折率とが一定であれば）、基板第１面側撮像部４１の撮像カメラ４２と、基板第２面側撮像部４６の撮像カメラ４７とは、互いに固定された状態にしておく。一方、基板Ｗの品種切替がある（つまり、厚み若しくは屈折率が一定でない）場合には、撮像カメラ４２，４７の少なくともどちらか一方が、基板Ｗの厚み方向に位置を変更する機構を介して装置フレーム１５に取り付けられた構成としても良い。

この形態の場合、検査部５Ｂは、基本的な構成は上述の検査部５と同様であるが、基板Ｗの第１の面Ｓ１と第２の面Ｓ２の双方を撮像し、それらの表面状態を検査する構成としておく。

［別の形態］
上述では、検査対象となる基板に対して照明部３及び撮像部４を相対的に移動させる相対移動部６を備え、
撮像部４は、相対的に移動させる方向と直交する方向に所定の長さを有するラインセンサを備え、
照明部３は、ラインセンサで撮像する検査対象領域に対してライトシート状の照明光を照射するものである構成について示した。

この構成であれば、解像度の高いラインセンサを用いて検査を行うことができ、照明光線の照射範囲を最小限にすることができるため、コストダウンやサイズダウンが容易となる。さらに、同一面（第１の面の検査時なら第１の面）や反対側（第１の面の検査時なら第２の面）に存在する他の異物からの散乱光を同時に撮像してしまうことに起因して、所望の検査結果を正しく得ることができないと言う不具合を防ぐことができるので、より好ましい形態と言える。

しかし、本発明を具現化する上では、この形態に限らず、下記の様な構成として良い。
つまり、撮像部４にはエリアセンサを用い、照明部３は、エリアセンサーで撮像する検査対象領域を含む範囲に照明光を照射する構成である。この場合、検査対象となる基板Ｗに対して照明部３と撮像部４とを相対移動させながら、照明光をストロボ発光させて撮像を繰り返す（いわゆる、分割撮像）構成、若しくは、照明光を連続照射しながら、断続的に撮像を行う（これも、分割撮像の一類型）構成とする。或いは、相対移動部を備えず、検査対象領域Ｒをエリアセンサーカメラを用いて一括で撮像する構成としても良い。

［別の形態］
なお、本発明を具現化する上で、照明部３は、照明光が基板Ｗの第１の面Ｓ１の法線Ｈ１に対して１０〜２０度の範囲内で照射されるように配置されており、撮像部４の撮像カメラ４２は、基板Ｗの第１の面Ｓ１の法線Ｈ１に対する角度θ１が４０〜８０度の範囲内に設定されて、検査対象領域を観察する様に配置されていることが好ましい。

撮像部４の設定角度θ１は、９０度より小さくなるなるにつれ、表裏分離特性が向上する。しかし、小さく（傾斜）しすぎると、第１の面Ｓ１での表面反射成分が増えてしまい、第２の面Ｓ２の検査に必要な光量が低下してしまう。そのため、撮像部４を傾斜させる角度θ１は、上述の範囲内が好ましい。

この様な構成にしておくことで、正反射の影響を受けず、散乱光を正確に撮像することができる。さらに、第２の面側の検査を行う際に、光量低下を招くこともなく、表裏分離して検査精度を維持できる。

なお、撮像部４Ｂとして、基板第１面側撮像部４１と、基板第２面側撮像部４６とを別々に備えた構成であれば、撮像カメラ４２，４７がいずれも、基板Ｗの第１の面Ｓ１の法線Ｈ１に対する角度が４０〜８０度の範囲内に設定し、検査対象領域を観察する様に配置されていることが好ましい。

［別の形態］
なお、基板保持部２は、上述の様な構成に限らず、図３に示す様な、基板載置台２０Ｂ，２０Ｃなどにより構成することができる。図３は、本発明を構成する基板保持部のバリエーションを示す断面図である。
図３（ａ）は、上述の基板載置台２０の断面図である。基板載置台２０は、基板Ｗの検査対象となる面の下方に凹み２２が設けられている。そして、基板載置台２０は、基板Ｗの外周部を下方から支える構成をしている。

図３（ｂ）に示す基板載置台２０Ｂは、位置決め基準ピン２１に代えて、基板外周部に凹み２３がある、いわゆる、落とし込み構造をしている。なお、上述の基板載置台２０と同様、基板Ｗの検査対象となる面の下方には凹み２２が設けられている。

図３（ｃ）に示す基板載置台２０Ｃは、基板Ｗの下面を多数の支持ピン２５で支える構成をしている。

なお、相対移動部６は、上述の様な構成に限らず、基板Ｗを回転ローラを用いて搬送を行う構成（いわゆる、コンベア搬送）や、ウォーキングビームと把持部を用いて搬送を行う構成（いわゆる、シャトル搬送）などであっても良い。

１ 基板検査装置
２ 基板保持部
３ 照明部
４ 撮像部
５ 検査部
１１ 装置フレーム
１５ 連結部材
２０ 基板載置台
２０Ｂ 基板載置台
２０Ｃ 基板載置台
２１ 位置決め基準ピン
２２ 凹み
２３ 凹み
２５ 支持ピン
３１ ライトシート照明ユニット
３２ ライトシート状の照明光
３２ｔ ライトシート状の照明光の厚み
４１ 基板第１面側撮像部
４２ 撮像カメラ
４２ｚ 撮像カメラ
４３ レンズ
４３ｚ レンズ
４４ 撮像素子
４６ 基板第２面側撮像部
４７ 撮像カメラ
４８ レンズ
４９ 撮像素子
Ｒ 検査対象領域
Ｗ 基板
Ｓ１ 基板の第１の面
Ｓ２ 基板の第２の面
θ１ 所定の角度（基板第１面撮像部の撮像カメラの角度）
θ２ 所定の角度（基板第２面撮像部の撮像カメラの角度）
Ｘ１ 異物
Ｘ２ 異物

Claims (4)

1. 検査対象となる基板を保持する基板保持部と、
   前記基板上に設定された検査対象領域に向けて照明光を照射する照明部と、
   前記検査対象領域を撮像する撮像部と、
   前記撮像部で撮像した画像に基づいて前記基板の表面状態を検査する検査部を備え、
   前記照明部は、前記基板の第１の面の法線に対して所定の角度をなしてライトシート状の照明光を照射するように配置されており、
   前記撮像部は、
   前記基板の第１の面側に設定された第１面側検査対象領域若しくは前記基板の第１の面と正対する反対側の第２の面側に設定された第２面側検査対象領域を、当該基板の第１の面側から撮像する撮像部とを備え、
   前記撮像部は、前記基板の第１の面の法線に対して所定の角度をなして配置されて
   いる、基板検査装置。
2. 検査対象となる基板を保持する基板保持部と、
   前記基板上に設定された検査対象領域に向けて照明光を照射する照明部と、
   前記検査対象領域を撮像する撮像部と、
   前記撮像部で撮像した画像に基づいて前記基板の表面状態を検査する検査部を備え、
   前記照明部は、前記基板の第１の面の法線に対して所定の角度をなしてライトシート状の照明光を照射するように配置されており、
   前記撮像部は、
   前記基板の第１の面側に設定された第１面側検査対象領域を当該第１の面側から観察する基板第１面側撮像部と、
   前記基板の第１の面と正対する反対側の第２の面側に設定された第２面側検査対象領域を前記第１の面側から撮像する基板第２面側撮像部とを備え、
   前記基板第１面撮像部及び前記基板第２面撮像部は、前記基板の第１の面の法線に対して所定の角度をなして第１面側検査対象領域を撮像するように配置されている、
   基板検査装置。
3. 前記基板に対して前記照明部及び前記撮像部を相対的に移動させる相対移動部を備え、
   前記撮像部は、前記相対的に移動させる方向と直交する方向に所定の長さを有するラインセンサを備え、
   前記照明部は、前記ラインセンサで撮像する検査対象領域に対して前記ライトシート状の照明光を照射するものである
   ことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の基板検査装置。
4. 前記照明部は、照明光が前記基板の第１の面の法線に対して１０〜２０度の範囲内で照射されるように配置されており、
   前記撮像部は、前記基板の第１の面の法線に対する角度が４０〜８０度の範囲内に設定されて前記検査対象領域を観察するように配置されている
   ことを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の基板検査装置。

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