JPH01260348A - ガラスディスクの表面検査装置 - Google Patents
ガラスディスクの表面検査装置Info
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- JPH01260348A JPH01260348A JP8979588A JP8979588A JPH01260348A JP H01260348 A JPH01260348 A JP H01260348A JP 8979588 A JP8979588 A JP 8979588A JP 8979588 A JP8979588 A JP 8979588A JP H01260348 A JPH01260348 A JP H01260348A
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 95
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明は、ガラスディスクの表面の検査装置に関し、
詳細には下側の欠陥信号を除去し上側の表面の欠陥信号
のみを分離して出力する装置に関するものである。
詳細には下側の欠陥信号を除去し上側の表面の欠陥信号
のみを分離して出力する装置に関するものである。
［従来の技術］
情報の記録媒体として磁気ディスク、または光磁気ディ
スクには基板としてガラスディスクが使用されている。
スクには基板としてガラスディスクが使用されている。
それらの表面に欠陥があるときは製品の品質を阻害する
ので、ガラスディスク表面検査装置により検査される。
ので、ガラスディスク表面検査装置により検査される。
この場合、基板の使用方法により表面側の欠陥は品質を
阻害するが、裏面側の欠陥は品質に無関係な場合がある
。このような場合には、表面検査装置は裏面側の欠陥を
検出しないことが必要である。なぜなら、表面に欠陥が
なくても裏面の欠陥により、有用なディスクが不良とさ
れる不都合が生ずるからである。
阻害するが、裏面側の欠陥は品質に無関係な場合がある
。このような場合には、表面検査装置は裏面側の欠陥を
検出しないことが必要である。なぜなら、表面に欠陥が
なくても裏面の欠陥により、有用なディスクが不良とさ
れる不都合が生ずるからである。
第４図（ａ）、（ｂ）は従来のガラスディスク表面検査
装置の光学部と、これによる欠陥検出信号を示すもので
、図（ａ）において、ガラスディスクｌの使用される表
面１ａを上側に向けて置き、これに対してレーザビーム
Ｔを投射して矢印Ａの方向に走査する。一方、受光レン
ズ２と受光Ｖ！Ａ３よりなる受光系は、上側表面１ａに
おけるレーザビーム。
装置の光学部と、これによる欠陥検出信号を示すもので
、図（ａ）において、ガラスディスクｌの使用される表
面１ａを上側に向けて置き、これに対してレーザビーム
Ｔを投射して矢印Ａの方向に走査する。一方、受光レン
ズ２と受光Ｖ！Ａ３よりなる受光系は、上側表面１ａに
おけるレーザビーム。
の照射点に焦点を合わせて（合焦）、表面上の欠陥ｐに
よるレーザビームの散乱光Ｒを受光レンズにより集光し
て受光器で受光する。しかしながら、ディスクは透明で
あり、厚さｄが１〜２ｍｍ程度の比較的薄いことにより
、表面に対する合焦によっても裏面の欠陥ｑによる散乱
光がある程度集光されて検出されることが避けられない
。第４図（ｂ）は検出波形を示すもので、ディスクの表
面の欠陥ｐと、裏面の欠陥ｑとに対してそれぞれ波形（
ｐ）、（ｑ）が検出される。ただし、裏面側は合焦して
いないので、欠陥ｐとｑとが同一の大きさの場合、波形
（ｑ）は（ｐ）より波高値が小さい。
よるレーザビームの散乱光Ｒを受光レンズにより集光し
て受光器で受光する。しかしながら、ディスクは透明で
あり、厚さｄが１〜２ｍｍ程度の比較的薄いことにより
、表面に対する合焦によっても裏面の欠陥ｑによる散乱
光がある程度集光されて検出されることが避けられない
。第４図（ｂ）は検出波形を示すもので、ディスクの表
面の欠陥ｐと、裏面の欠陥ｑとに対してそれぞれ波形（
ｐ）、（ｑ）が検出される。ただし、裏面側は合焦して
いないので、欠陥ｐとｑとが同一の大きさの場合、波形
（ｑ）は（ｐ）より波高値が小さい。
以上に対して、裏面の欠陥ｑを検出しない方法として、
従来行われたものに第５図に示すスリットを使用方法が
ある。図において受光器３の手前に、欠陥ｐに対する焦
点Ｐ′の位置に小孔のスリット４を設ける。これに対し
て、裏面の欠陥ｑに対する焦点Ｑ′はＰ′と光軸断面上
で異なる位置にあるので、ｑに対する散乱光はスリット
によりカットされて受光器に入力せず、裏面の欠陥は検
出されないとするものである。しかしながら、ディスク
の厚さが前記のように薄いので、スリットによる分離は
確実に行われず、効果が期待できない。
従来行われたものに第５図に示すスリットを使用方法が
ある。図において受光器３の手前に、欠陥ｐに対する焦
点Ｐ′の位置に小孔のスリット４を設ける。これに対し
て、裏面の欠陥ｑに対する焦点Ｑ′はＰ′と光軸断面上
で異なる位置にあるので、ｑに対する散乱光はスリット
によりカットされて受光器に入力せず、裏面の欠陥は検
出されないとするものである。しかしながら、ディスク
の厚さが前記のように薄いので、スリットによる分離は
確実に行われず、効果が期待できない。
［解決しようとする課題］
以上の課題に対して、信号処理の段階で裏面側の欠陥信
号を除去し、表面側の欠陥信号のみを出力することによ
り結果として裏面の欠陥を検出しないとすることができ
る。この発明はこのような課題を解決して表面の欠陥に
対する欠陥信号のみを出力するガラスディスク表面検査
装置を提供することを目的とするものである。
号を除去し、表面側の欠陥信号のみを出力することによ
り結果として裏面の欠陥を検出しないとすることができ
る。この発明はこのような課題を解決して表面の欠陥に
対する欠陥信号のみを出力するガラスディスク表面検査
装置を提供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
この発明は、ガラスディスクの表面にレーザビームを投
射して走査し、表面に存在する欠陥によるレーザビーム
の散乱光を受光して欠陥を検出する検査装置において、
ガラスディスクの上側の表面の欠陥に対して合焦する受
光レンズを有する表面受光系と、ガラスディスクの下側
の裏面の欠陥に対して合焦する受光レンズを有する裏面
受光系とを設け、裏面受光系の出力する欠陥信号に対し
て、該欠陥信号に含まれる裏面の欠陥に対する欠陥信号
の波高値と、表面受光系の出力する裏面の欠陥に対する
欠陥信号の波高値とを等しくする一定の減少率を乗じて
減少信号を出力する乗算器と、表面受光系の出力する欠
陥信号よりこの減少信号を減算する減算器とにより構成
されたガラスディスクの表面検査装置である。
射して走査し、表面に存在する欠陥によるレーザビーム
の散乱光を受光して欠陥を検出する検査装置において、
ガラスディスクの上側の表面の欠陥に対して合焦する受
光レンズを有する表面受光系と、ガラスディスクの下側
の裏面の欠陥に対して合焦する受光レンズを有する裏面
受光系とを設け、裏面受光系の出力する欠陥信号に対し
て、該欠陥信号に含まれる裏面の欠陥に対する欠陥信号
の波高値と、表面受光系の出力する裏面の欠陥に対する
欠陥信号の波高値とを等しくする一定の減少率を乗じて
減少信号を出力する乗算器と、表面受光系の出力する欠
陥信号よりこの減少信号を減算する減算器とにより構成
されたガラスディスクの表面検査装置である。
［作用コ
以上の構成によるこの発明のガラスディスク表面検査装
置においては、裏面の欠陥による散乱光は表面受光系と
裏面受光系の双方に受光されるが、同一・欠陥に対して
裏面受光系の出力する欠陥信号の波高値の方が表面受光
系のそれより大きい。そこで、裏面受光系の欠陥信号に
一定の減少率を乗じて、両者における裏面欠陥に対する
欠陥信号の波高値を等しくする。表面受光系の欠陥信号
より裏面受光器の欠陥信号を減算することにより、表面
の欠陥に対する欠陥信号のみが残って出力されるわけで
ある。この場合、一定の減少率は予め計測により定めて
、乗算器にその減少率を設定する。
置においては、裏面の欠陥による散乱光は表面受光系と
裏面受光系の双方に受光されるが、同一・欠陥に対して
裏面受光系の出力する欠陥信号の波高値の方が表面受光
系のそれより大きい。そこで、裏面受光系の欠陥信号に
一定の減少率を乗じて、両者における裏面欠陥に対する
欠陥信号の波高値を等しくする。表面受光系の欠陥信号
より裏面受光器の欠陥信号を減算することにより、表面
の欠陥に対する欠陥信号のみが残って出力されるわけで
ある。この場合、一定の減少率は予め計測により定めて
、乗算器にその減少率を設定する。
以上において、表面の欠陥に対する裏面受光系の欠陥信
号の波高値は、表面受光系のそれより小さく、前者は一
定の減少率が乗ぜられてさらに小さくなって、上記の減
算によっても表面の欠陥に対する欠陥信号の波高値にあ
まり影響を与えないもので、欠陥の大きさの計、’ＩＩ
Ｉに殆ど支障することがない。
号の波高値は、表面受光系のそれより小さく、前者は一
定の減少率が乗ぜられてさらに小さくなって、上記の減
算によっても表面の欠陥に対する欠陥信号の波高値にあ
まり影響を与えないもので、欠陥の大きさの計、’ＩＩ
Ｉに殆ど支障することがない。
［実施例］
第１図はこの発明によるガラスディスクの表面検査装置
の実施例における光学部の構成図を示すもので、ガラス
ディスク１に対してレーザビームＴを垂直に投射し矢印
Ａの方向に走査する。これに対する受光系として、受光
レンズ６と受光器７よりなる表面受光系５と、受光レン
ズ９と受光器ｌＯよりなる裏面受光系８とを設ける。こ
こで、表面受光系は受光レンズをディスクの表面におけ
るレーザビームの照射点ｒに合焦させ、表面の欠陥を良
好に検出する。また、裏面受光系は受光レンズを裏面に
おけるレーザビームの照射点Ｓに合焦させて裏面の欠陥
を良好に検出するようにする。
の実施例における光学部の構成図を示すもので、ガラス
ディスク１に対してレーザビームＴを垂直に投射し矢印
Ａの方向に走査する。これに対する受光系として、受光
レンズ６と受光器７よりなる表面受光系５と、受光レン
ズ９と受光器ｌＯよりなる裏面受光系８とを設ける。こ
こで、表面受光系は受光レンズをディスクの表面におけ
るレーザビームの照射点ｒに合焦させ、表面の欠陥を良
好に検出する。また、裏面受光系は受光レンズを裏面に
おけるレーザビームの照射点Ｓに合焦させて裏面の欠陥
を良好に検出するようにする。
なお、表面および裏面受光系の光軸はレーザビームの光
軸に対して対称的な同一の角度０の方向としてバランス
をとる。以上の構成により、表面受光系には散乱光Ｒが
、また裏面受光系には散乱光Ｒ′が受光される。
軸に対して対称的な同一の角度０の方向としてバランス
をとる。以上の構成により、表面受光系には散乱光Ｒが
、また裏面受光系には散乱光Ｒ′が受光される。
第２図は両受光系によりそれぞれ検出された検出信号を
示すもので、ディスク１の表面の欠陥をｐ１裏面の欠陥
をｑとすると、表面受光系の欠陥信号（Ｒ）には欠陥ｐ
に対する波形（ｐ）と欠陥ｑに対する波形（ｑ）が含ま
れる。また、裏面受光系の欠陥信号（Ｒ′）には、同様
に波形（ｐ′）と（ｑ′ ）が含まれる。この場合、裏
面の欠陥ｑに対して裏面受光系は合焦しているが表面受
光系は非合焦であるので、波形（ｑ′）の波高値は（ｑ
）より大きい。そこで、欠陥信号（Ｒ′）に−・定の減
少率αを乗じて（ｑ′）を（ｑ）と等しい（ｑ＃）とす
る。
示すもので、ディスク１の表面の欠陥をｐ１裏面の欠陥
をｑとすると、表面受光系の欠陥信号（Ｒ）には欠陥ｐ
に対する波形（ｐ）と欠陥ｑに対する波形（ｑ）が含ま
れる。また、裏面受光系の欠陥信号（Ｒ′）には、同様
に波形（ｐ′）と（ｑ′ ）が含まれる。この場合、裏
面の欠陥ｑに対して裏面受光系は合焦しているが表面受
光系は非合焦であるので、波形（ｑ′）の波高値は（ｑ
）より大きい。そこで、欠陥信号（Ｒ′）に−・定の減
少率αを乗じて（ｑ′）を（ｑ）と等しい（ｑ＃）とす
る。
欠陥信号（Ｒ）から（αＲ’ ）を減算すれば裏面の欠
陥に対する波形は０となり、表面の欠陥に対する欠陥信
号のみかえられる。ここで、減少率αの値は予めの測定
により定めて乗算器に設定する。
陥に対する波形は０となり、表面の欠陥に対する欠陥信
号のみかえられる。ここで、減少率αの値は予めの測定
により定めて乗算器に設定する。
なお、欠陥信号（Ｒ′）における表面の欠陥ｐに対する
波形（ｐ′）は、欠陥信号（Ｒ）における波形（ｐ）よ
り小さいが、これに減少率αを乗することによりさらに
小さい（ｐ＃）となり、上記の減算によっても波形（ｐ
）の波高値はあまり減少しない。
波形（ｐ′）は、欠陥信号（Ｒ）における波形（ｐ）よ
り小さいが、これに減少率αを乗することによりさらに
小さい（ｐ＃）となり、上記の減算によっても波形（ｐ
）の波高値はあまり減少しない。
従って、波高値より欠陥の大きさを計測するときの誤差
は僅かである。
は僅かである。
第３図は、この発明によるガラスディスクの表面検査装
置の実施例における回路構成図を示すもので、表面受光
系５より出力される欠陥信号（Ｒ）は演算増幅器Ｈによ
り適当なレベルに調整される。
置の実施例における回路構成図を示すもので、表面受光
系５より出力される欠陥信号（Ｒ）は演算増幅器Ｈによ
り適当なレベルに調整される。
また、裏面受光系８よりの欠陥信号（Ｒ′）は乗算器１
２に人力し、その抵抗ｒにより減少率αを調整して、第
２図における波形（ｑ′）の波高値を（ｑ）と等しくす
る。これにより裏面受光系の欠陥信号（Ｒ′）は減少信
号（αＲ’ ）となる。欠陥信号（Ｒ）と減少信号（α
Ｒ’ ）は減算器１３において減算され、差の欠陥信号
が（Ｒ−αＲ’ ）が出力される。これが求めるもので
ある。
２に人力し、その抵抗ｒにより減少率αを調整して、第
２図における波形（ｑ′）の波高値を（ｑ）と等しくす
る。これにより裏面受光系の欠陥信号（Ｒ′）は減少信
号（αＲ’ ）となる。欠陥信号（Ｒ）と減少信号（α
Ｒ’ ）は減算器１３において減算され、差の欠陥信号
が（Ｒ−αＲ’ ）が出力される。これが求めるもので
ある。
なお、以上における減算はアナログ回路によるものとし
たが、欠陥信号をＡ／Ｄ変換してデジタル化し、デジタ
ル乗算器、減算器により演算することも勿論可能である
。この場合の回路は図示を省略する。
たが、欠陥信号をＡ／Ｄ変換してデジタル化し、デジタ
ル乗算器、減算器により演算することも勿論可能である
。この場合の回路は図示を省略する。
［発明の効果コ
以上の説明により明らかなように、この発明によるガラ
スディスクの表面検査装置においては、ディスクの表面
および裏面にそれぞれ合焦した表面受光系と裏面受光系
とを設け、裏面受光系の検出した欠陥信号に一定の減少
率を乗じて、表面受光系の欠陥信号より減算することに
より、表面の欠陥に対する欠陥信号のみかえられる。ま
た、減算により表面の欠陥信号に生ずる誤差は僅少で計
測に支障することがなく、ガラスディスクに限らずプラ
スチックなどの透明なディスクに適用できるもので、裏
面の欠陥が問題とされない透明なディスクの欠陥検査に
寄与するところには大きいものがある。
スディスクの表面検査装置においては、ディスクの表面
および裏面にそれぞれ合焦した表面受光系と裏面受光系
とを設け、裏面受光系の検出した欠陥信号に一定の減少
率を乗じて、表面受光系の欠陥信号より減算することに
より、表面の欠陥に対する欠陥信号のみかえられる。ま
た、減算により表面の欠陥信号に生ずる誤差は僅少で計
測に支障することがなく、ガラスディスクに限らずプラ
スチックなどの透明なディスクに適用できるもので、裏
面の欠陥が問題とされない透明なディスクの欠陥検査に
寄与するところには大きいものがある。
第１図はこの発明によるガラスディスクの表面検査装置
の実施例における光学部の構成図、第２図は第１図の光
学部により検出される欠陥信号の波形と、これに一定の
減少率を乗じた波形および減算した波形を示す図、第３
図はこの発明によるガラスディスクの表面検査装置の実
施例における回路のブロック構成図、第４図（ａ）およ
び（ｂ）は、従来のガラスディスクの表面検査装置の光
学部の構成図、第５図はガラスディスクの表面検査装置
における従来の表面と裏面の欠陥を分離する方法の説明
図である。 １・・・ガラスディスク、２，８．９・・・受光レンズ
、３、 ７．１０・・・受光器、 ４・・・スリット
、５・・・表面受光系、 ８・・・裏面受光系、目
・・・演算増幅器、 １２・・・乗算器、１３・・
・減３７７：ｉ。 第１図 Ｔ 第２図
の実施例における光学部の構成図、第２図は第１図の光
学部により検出される欠陥信号の波形と、これに一定の
減少率を乗じた波形および減算した波形を示す図、第３
図はこの発明によるガラスディスクの表面検査装置の実
施例における回路のブロック構成図、第４図（ａ）およ
び（ｂ）は、従来のガラスディスクの表面検査装置の光
学部の構成図、第５図はガラスディスクの表面検査装置
における従来の表面と裏面の欠陥を分離する方法の説明
図である。 １・・・ガラスディスク、２，８．９・・・受光レンズ
、３、 ７．１０・・・受光器、 ４・・・スリット
、５・・・表面受光系、 ８・・・裏面受光系、目
・・・演算増幅器、 １２・・・乗算器、１３・・
・減３７７：ｉ。 第１図 Ｔ 第２図
Claims (1)
- ガラスディスクの表面にレーザビームを投射して走査し
、該表面に存在する欠陥による該レーザビームの散乱光
を受光して該欠陥を検出する検査装置において、上記ガ
ラスディスクの上側の表面の欠陥に対して合焦する受光
レンズを有する表面受光系と、上記ガラスディスクの下
側の裏面の欠陥に対して合焦する受光レンズを有する裏
面受光系とを設け、該裏面受光系の出力する欠陥信号に
対して、該欠陥信号に含まれる上記裏面の欠陥に対する
欠陥信号の波高値と、上記表面受光系の出力する上記裏
面の欠陥に対する欠陥信号の波高値とが等しくなる一定
の減少率を乗じて減少信号を出力する乗算器と、上記表
面受光系の出力する欠陥検出信号より該減少信号を減算
する減算器とにより構成されたことを特徴とする、ガラ
スディスクの表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8979588A JPH01260348A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | ガラスディスクの表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8979588A JPH01260348A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | ガラスディスクの表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01260348A true JPH01260348A (ja) | 1989-10-17 |
Family
ID=13980634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8979588A Pending JPH01260348A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | ガラスディスクの表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01260348A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005098970A (ja) * | 2003-08-25 | 2005-04-14 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 異物識別方法及び異物識別装置 |
| KR100493401B1 (ko) * | 2002-07-04 | 2005-06-07 | 엘에스산전 주식회사 | 회로차단기용 부속장치의 트립기구 구동장치 |
| WO2006097879A2 (en) * | 2005-03-16 | 2006-09-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Reflection measurements on optical disks |
| JP2010169453A (ja) * | 2009-01-20 | 2010-08-05 | Yamanashi Gijutsu Kobo:Kk | 異物検査装置及び検査方法 |
| JP2011069749A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Fujitsu Ltd | 表面検査装置及び表面検査方法 |
| TWI485392B (zh) * | 2010-02-08 | 2015-05-21 | Ygk Corp | Foreign body inspection device and inspection method |
-
1988
- 1988-04-12 JP JP8979588A patent/JPH01260348A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100493401B1 (ko) * | 2002-07-04 | 2005-06-07 | 엘에스산전 주식회사 | 회로차단기용 부속장치의 트립기구 구동장치 |
| JP2005098970A (ja) * | 2003-08-25 | 2005-04-14 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 異物識別方法及び異物識別装置 |
| JP4523310B2 (ja) * | 2003-08-25 | 2010-08-11 | 株式会社日立国際電気 | 異物識別方法及び異物識別装置 |
| WO2006097879A2 (en) * | 2005-03-16 | 2006-09-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Reflection measurements on optical disks |
| WO2006097879A3 (en) * | 2005-03-16 | 2008-03-27 | Koninkl Philips Electronics Nv | Reflection measurements on optical disks |
| JP2010169453A (ja) * | 2009-01-20 | 2010-08-05 | Yamanashi Gijutsu Kobo:Kk | 異物検査装置及び検査方法 |
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| TWI485392B (zh) * | 2010-02-08 | 2015-05-21 | Ygk Corp | Foreign body inspection device and inspection method |
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