JPS59148145A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPS59148145A JPS59148145A JP2227483A JP2227483A JPS59148145A JP S59148145 A JPS59148145 A JP S59148145A JP 2227483 A JP2227483 A JP 2227483A JP 2227483 A JP2227483 A JP 2227483A JP S59148145 A JPS59148145 A JP S59148145A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed information
- surface defect
- signal
- data recording
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
- G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
- G11B7/00375—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ） 発明の技術分野
本発明は光ディスクの欠陥検査装置に係ジ、特にあらか
じめ記録あるいは成形などにより作られた固定情報領域
の信号をデータ記録領域の欠陥信号と誤らないように固
定情報領域分離回路により固定情報領域を抜き取る方法
で検査する表面欠陥 −−−検査装置に関する。
じめ記録あるいは成形などにより作られた固定情報領域
の信号をデータ記録領域の欠陥信号と誤らないように固
定情報領域分離回路により固定情報領域を抜き取る方法
で検査する表面欠陥 −−−検査装置に関する。
（ｂ） 従来技術と問題点
従来光ディスクは第１図（イ〜ハ）に示すようにガラス
、プラスチック等の円板１上に、予めトラックフォロー
するだめの円周方向に複数の固定情報領域Ｂ（溝４のあ
るなしによりコード化した情報、例えばアドレス情報を
入れる）とデータを記録するデータ記録領域Ａの案内溝
（例えば溝幅Ｇ ＝ ０．７μ？７１１溝深さ００７、
トラックピッチＰ−２〜２５μｍのプリーグルブ）３が
設けられ、その円板１上に記録層を蒸着して形成してい
る。
、プラスチック等の円板１上に、予めトラックフォロー
するだめの円周方向に複数の固定情報領域Ｂ（溝４のあ
るなしによりコード化した情報、例えばアドレス情報を
入れる）とデータを記録するデータ記録領域Ａの案内溝
（例えば溝幅Ｇ ＝ ０．７μ？７１１溝深さ００７、
トラックピッチＰ−２〜２５μｍのプリーグルブ）３が
設けられ、その円板１上に記録層を蒸着して形成してい
る。
上記光ディスク２に情報を記録する場合、データ記録領
域Ａの案内溝３のところにレーザ光をあて穴明（ビット
径１μｍ）して情報穴５としている。又光デイスク２上
の情報を復調する場合、レーザ光を当てその反射信号に
より行っている。この場合、例えば上記溝３に図Ｃ→に
示すような欠陥６があった場合、情報の記録及び復調に
おいて欠陥６の箇所ではデータの記録及び復調が行えず
ト−ラックフォローができない。
域Ａの案内溝３のところにレーザ光をあて穴明（ビット
径１μｍ）して情報穴５としている。又光デイスク２上
の情報を復調する場合、レーザ光を当てその反射信号に
より行っている。この場合、例えば上記溝３に図Ｃ→に
示すような欠陥６があった場合、情報の記録及び復調に
おいて欠陥６の箇所ではデータの記録及び復調が行えず
ト−ラックフォローができない。
そとで、欠陥検査を行うために、検査用レーザビームの
径を大きくして、さらにトラックフォローを行わないで
、固定情報領域Ｂのパターンによる電気信号への変調度
を低下させて検査を行っていた。
径を大きくして、さらにトラックフォローを行わないで
、固定情報領域Ｂのパターンによる電気信号への変調度
を低下させて検査を行っていた。
しかし、この方法では固定情報領域信号の変調度を越す
欠陥信号だけが検出対象となるため、大きな欠陥しか検
出できず、信頼性の高い測定は不可能であった。
欠陥信号だけが検出対象となるため、大きな欠陥しか検
出できず、信頼性の高い測定は不可能であった。
（ｃ） 発明の目的
本発明の目的は成形された基板に記録層をつけて構成し
た光ディスクもしくは基板の転写に用いるスタンパのデ
ータ記録領域の表面欠陥の検査を固定情報領域を抜きと
るような形で行い、信頼性のよい検出が行えるようにし
た検査装置を提供することである。
た光ディスクもしくは基板の転写に用いるスタンパのデ
ータ記録領域の表面欠陥の検査を固定情報領域を抜きと
るような形で行い、信頼性のよい検出が行えるようにし
た検査装置を提供することである。
（ｄ） 発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、トラックフォローの
ため案内溝を持つデータ記録領域と円周方向に複数個の
固定情報領域よシなる光ディスク、あるいはディスク基
板の転写に用いるスタンパのデータ記録領域を検査する
光学系と焦点サーボ回路と信号処理部よりなる表面欠陥
検査装置において、前記信号処理部に、前記データ記録
領域だけを抜き取り表面欠陥を検査する′ための固定情
報領域分離回路を設けたことを特徴とする表面欠陥検査
装置を提供することによって達成される。
ため案内溝を持つデータ記録領域と円周方向に複数個の
固定情報領域よシなる光ディスク、あるいはディスク基
板の転写に用いるスタンパのデータ記録領域を検査する
光学系と焦点サーボ回路と信号処理部よりなる表面欠陥
検査装置において、前記信号処理部に、前記データ記録
領域だけを抜き取り表面欠陥を検査する′ための固定情
報領域分離回路を設けたことを特徴とする表面欠陥検査
装置を提供することによって達成される。
（ｅ） 発明の実施例
以下本発明の実施例を図面によって詳述する。
本発明の表面欠陥検査装置は従来よりある第２図に示す
表面欠陥検査装置の信号処理部１０に第３図に示す本発
明の固定情報領域分離回路を付加したものである。第３
図はその固定情報領域分離回路のブロック図、第４図は
第３図のタイムチャートを示す。
表面欠陥検査装置の信号処理部１０に第３図に示す本発
明の固定情報領域分離回路を付加したものである。第３
図はその固定情報領域分離回路のブロック図、第４図は
第３図のタイムチャートを示す。
第２図に示す表面欠陥検査装置７は光学系８と焦点サー
ボ回路９と信号処理部１０より構成される。図において
、１１はレーザ、１２はレンズであわ、レーザビームを
平行光にしている。１３は偏光ビームスプリッタまたは
ハーフミラ−であシ、＝３− ディスク状物体１４からの戻シ光１５を４分割の光検知
器１６へ導ひく。４分割光検知器１６の対角どうしを接
続したものを、それぞれ差動アンプ１７へ入力し、位相
補償回路１８を介し、パワーアンプ１９へ入力する。パ
ワーアンプ１９の出力をムービングコイル型対物レンズ
２ｏへ接続し、レーザビームの焦点がディスク状物体の
表面に結ぶように構成する。なおＬはレンズである。
ボ回路９と信号処理部１０より構成される。図において
、１１はレーザ、１２はレンズであわ、レーザビームを
平行光にしている。１３は偏光ビームスプリッタまたは
ハーフミラ−であシ、＝３− ディスク状物体１４からの戻シ光１５を４分割の光検知
器１６へ導ひく。４分割光検知器１６の対角どうしを接
続したものを、それぞれ差動アンプ１７へ入力し、位相
補償回路１８を介し、パワーアンプ１９へ入力する。パ
ワーアンプ１９の出力をムービングコイル型対物レンズ
２ｏへ接続し、レーザビームの焦点がディスク状物体の
表面に結ぶように構成する。なおＬはレンズである。
一方、４分割光検知器１６の全ての加算を加算器２１で
行ない信号処理部１ｏに入力する。信号処理部１０はコ
ンピュータシステムと結合される。
行ない信号処理部１ｏに入力する。信号処理部１０はコ
ンピュータシステムと結合される。
上記検査装置７を用いてディスク状物体１４を回転させ
、レーザビームを当て＼トラッキングしたとき、（第１
図（ロ）参照）データ記録領域への溝３よシ第５図（イ
）に示すような信号が出る。データ記録領域Ａの溝３に
情報（ビット）がないところｅは信号が大きく、溝３に
情報が記録されているところｆは信号が／Ｊ八さく出て
、信号強度Ｆの２０９６位で変調している。例えば、溝
３に欠陥があると一４＝ るので、スレッショールドレベルＴＬ２を設定して、第
５図（→に示すような、欠陥パルス４１を発生させて検
査できる。ところが反射性のゴミ等４２があると、逆に
反射が犬きくなシ、それを検出するためのスレッショー
ルドレベルＴ Ｌ ＋を設定しておけば、欠陥パルス４
３が検査できる。しかし、このスレッショールドレベル
ＴＬ、により固定情報領域の反射性パターンも同じよう
に欠陥パルスとして発生してしまう。データ記録領域Ａ
へ記録されるビットの大きさは１μｍであるが、固定情
報領域Ｂに記録されているビットの大きさけ４〜５μＭ
と大きく、欠陥が救済され易いので、検査レベルを変え
た方が得策である。しかし前述のように上下ニスレッシ
ョールドレベルＴ Ｌ ２１ Ｔ Ｌ ｒ ヲ設ケて欠
陥パルスを発生させた場合、その欠陥パルスがデータ記
録領域のものか、固定情報領域のものか分離できない。
、レーザビームを当て＼トラッキングしたとき、（第１
図（ロ）参照）データ記録領域への溝３よシ第５図（イ
）に示すような信号が出る。データ記録領域Ａの溝３に
情報（ビット）がないところｅは信号が大きく、溝３に
情報が記録されているところｆは信号が／Ｊ八さく出て
、信号強度Ｆの２０９６位で変調している。例えば、溝
３に欠陥があると一４＝ るので、スレッショールドレベルＴＬ２を設定して、第
５図（→に示すような、欠陥パルス４１を発生させて検
査できる。ところが反射性のゴミ等４２があると、逆に
反射が犬きくなシ、それを検出するためのスレッショー
ルドレベルＴ Ｌ ＋を設定しておけば、欠陥パルス４
３が検査できる。しかし、このスレッショールドレベル
ＴＬ、により固定情報領域の反射性パターンも同じよう
に欠陥パルスとして発生してしまう。データ記録領域Ａ
へ記録されるビットの大きさは１μｍであるが、固定情
報領域Ｂに記録されているビットの大きさけ４〜５μＭ
と大きく、欠陥が救済され易いので、検査レベルを変え
た方が得策である。しかし前述のように上下ニスレッシ
ョールドレベルＴ Ｌ ２１ Ｔ Ｌ ｒ ヲ設ケて欠
陥パルスを発生させた場合、その欠陥パルスがデータ記
録領域のものか、固定情報領域のものか分離できない。
そこで本発明では、従来の表面検査装置の信号処理部１
０に、第３図に示す固定情報領域分離回よりデータ記録
領域Ａの表面欠陥検査をするものである。
０に、第３図に示す固定情報領域分離回よりデータ記録
領域Ａの表面欠陥検査をするものである。
第３図のブロック図、第４図のタイムチャートによシ説
明する○ 上記検査装置７を用いてディスク状物体１４にレーザビ
ームを尚て＼１回転させたとき、光検知器１６で第４図
（イ）のようなホームポジションＨを持った１回転の電
気信号をうる。ディスク状物体１４を回転させて、レー
ザビームによシトラッキングすると、第４図（→のよう
な固定情報領域Ｂより固定情報（アドレス等）信号ｂ１
データ記録領域Ａより欠陥信号ａを得る。第４図（ハ）
はその２ケ所部分を拡大したもの１１このように光検知
器１６で電気信号に変換されたデータ記録領域Ａの表面
欠陥信号ａと固定情報信号すが混在した第４図←うの信
号２３で端子２４に接続され、コンパレータ２５でスレ
ッショールドレベルＶＴと比較サレパルス２６が得られ
る。次にこの信号を再トリガー型のモノマルチバイブレ
ータ２７に入力し、時定数Ｔ、で第４図に）のパルス２
Ｂが作られる。この時定数Ｔ、は固定情報領域（Ｂ）か
ら得られるコード情報（ｂ）の最長周期Ｔ、よりわづか
に長く設定しておく。
明する○ 上記検査装置７を用いてディスク状物体１４にレーザビ
ームを尚て＼１回転させたとき、光検知器１６で第４図
（イ）のようなホームポジションＨを持った１回転の電
気信号をうる。ディスク状物体１４を回転させて、レー
ザビームによシトラッキングすると、第４図（→のよう
な固定情報領域Ｂより固定情報（アドレス等）信号ｂ１
データ記録領域Ａより欠陥信号ａを得る。第４図（ハ）
はその２ケ所部分を拡大したもの１１このように光検知
器１６で電気信号に変換されたデータ記録領域Ａの表面
欠陥信号ａと固定情報信号すが混在した第４図←うの信
号２３で端子２４に接続され、コンパレータ２５でスレ
ッショールドレベルＶＴと比較サレパルス２６が得られ
る。次にこの信号を再トリガー型のモノマルチバイブレ
ータ２７に入力し、時定数Ｔ、で第４図に）のパルス２
Ｂが作られる。この時定数Ｔ、は固定情報領域（Ｂ）か
ら得られるコード情報（ｂ）の最長周期Ｔ、よりわづか
に長く設定しておく。
これにより固定情報領域（Ｂ）で得られるパルスはほぼ
固定情報領域Ｂと等しい一つのパルスが得られる。また
、欠陥信号の部分ａからも幅Ｔ３のパルスが得られ、両
者の合成された第４図（→の信号２８となる。
固定情報領域Ｂと等しい一つのパルスが得られる。また
、欠陥信号の部分ａからも幅Ｔ３のパルスが得られ、両
者の合成された第４図（→の信号２８となる。
次に信号２８の立上りエツジをトリガにし、時定数Ｔ４
のモノマルチバイブレータ２９に接続し、さらに時定数
Ｔ、のモノマルチバイブレータ３０に接続し第４図（ホ
）のパルス３１を作成する０こ＼で時定数Ｔ４は時定数
Ｔ３よシ長く設定しておく。
のモノマルチバイブレータ２９に接続し、さらに時定数
Ｔ、のモノマルチバイブレータ３０に接続し第４図（ホ
）のパルス３１を作成する０こ＼で時定数Ｔ４は時定数
Ｔ３よシ長く設定しておく。
次に第４図（ホ）の信号３１と第４図（ロ）の信号２８
でＡＮＤ回路３２によりＡＮＤをとシ、このパルスの立
上りエツジでモノマルチバイブレータ３３をトリガーし
、時定数Ｔ、で第４図（へ）のパルス３４を作成する。
でＡＮＤ回路３２によりＡＮＤをとシ、このパルスの立
上りエツジでモノマルチバイブレータ３３をトリガーし
、時定数Ｔ、で第４図（へ）のパルス３４を作成する。
この信号は欠陥信号部分ａのＡＮＤが得られないので、
固定情報領域（Ｂ）のみでパルスｂが発生する。
固定情報領域（Ｂ）のみでパルスｂが発生する。
さらに、第４図（ハ）のパルス３４とモノマルチバー７
＝ ・ イブレータ２７の出力第”４図（→のパルスのＡＮ
ＤをＡＮＤ回路３５でとり、このパルスの立下りエツジ
でモノマルチバイブレータ３６をトリガーし、時定数Ｔ
７で第４図０うのパルスを作成する○Ｔ７は固定情報領
域間の時間よりもわづかに短かくしておく。そして第４
図（ト）の信号と、コンパレータ２５の出力２６とモノ
マルチバイブレータ２７の出力２８とをＡＮＤ回路３８
でＡＮＤをとることで、固定情報領域すを抜き取ったデ
ータ記録領域の表面欠陥信号３９が検出される。
＝ ・ イブレータ２７の出力第”４図（→のパルスのＡＮ
ＤをＡＮＤ回路３５でとり、このパルスの立下りエツジ
でモノマルチバイブレータ３６をトリガーし、時定数Ｔ
７で第４図０うのパルスを作成する○Ｔ７は固定情報領
域間の時間よりもわづかに短かくしておく。そして第４
図（ト）の信号と、コンパレータ２５の出力２６とモノ
マルチバイブレータ２７の出力２８とをＡＮＤ回路３８
でＡＮＤをとることで、固定情報領域すを抜き取ったデ
ータ記録領域の表面欠陥信号３９が検出される。
従って、従来光ディスク、もしくはディスク基板の転写
に用いられるスタンパ−の表面欠陥検査が従来レーザビ
ーム径を大きくして、ラフな精度で検査していた固定情
報領域信号の変調度を越す欠陥信号しか検出できなかっ
たデータ記録領域の表面欠陥が、固定情報領域分離回路
により固定情報領域を抜き取られるので、精度のよい検
出ができ、信頼性の高い検査が可能となる。
に用いられるスタンパ−の表面欠陥検査が従来レーザビ
ーム径を大きくして、ラフな精度で検査していた固定情
報領域信号の変調度を越す欠陥信号しか検出できなかっ
たデータ記録領域の表面欠陥が、固定情報領域分離回路
により固定情報領域を抜き取られるので、精度のよい検
出ができ、信頼性の高い検査が可能となる。
（ｆ） 発明の効果
８−
検査装置は信号処理部に設けられた固定情報領域分離回
路により固定情報領域が抜き取られてデータ記録領域の
表面欠陥が検出されるので、従来のようなレーザビーム
径を大きくしてラフな精度で検査しなくともよく、精度
よい検査ができ、信頼性が向上する。
路により固定情報領域が抜き取られてデータ記録領域の
表面欠陥が検出されるので、従来のようなレーザビーム
径を大きくしてラフな精度で検査しなくともよく、精度
よい検査ができ、信頼性が向上する。
第１図は光ディスクを説明するための図で、信）はディ
スク平面図、（口〜ハ）はトラック案内溝の状態を説明
する図、第２図は本発明の表面欠陥検チャート、第５図
はディスク状物体をレーザビームがトラッキングしたと
きの発生信号を示す図である。 図において、７は表面欠陥検査装置、８は光学系、９は
焦点サーボ回路、１ｏは信号処理部、１１はレーザ、１
２はレンズ、１３は偏光ビームスプリッタ、１４はディ
スク状物体、１５は光、１６□ 回路、１９はパワアン
プ、２０は対物レンズ、２１は加算器、２２は固定情報
領域分離回路、２３は信号、２４は端子、２５はコンパ
レータ、２６゜２８．３１，３４，３７．３９はパルス
（信号）、２７゜２９．３０，３３．３６はモノマルチ
バイブレータ、３２．３５．３８はＡＮＤ回路を示す。 １１− 兇１ 図 （ロ） 晃２ 図 第５ 図 １４ 図 第夕 図 （ロ） ／４３／４′
スク平面図、（口〜ハ）はトラック案内溝の状態を説明
する図、第２図は本発明の表面欠陥検チャート、第５図
はディスク状物体をレーザビームがトラッキングしたと
きの発生信号を示す図である。 図において、７は表面欠陥検査装置、８は光学系、９は
焦点サーボ回路、１ｏは信号処理部、１１はレーザ、１
２はレンズ、１３は偏光ビームスプリッタ、１４はディ
スク状物体、１５は光、１６□ 回路、１９はパワアン
プ、２０は対物レンズ、２１は加算器、２２は固定情報
領域分離回路、２３は信号、２４は端子、２５はコンパ
レータ、２６゜２８．３１，３４，３７．３９はパルス
（信号）、２７゜２９．３０，３３．３６はモノマルチ
バイブレータ、３２．３５．３８はＡＮＤ回路を示す。 １１− 兇１ 図 （ロ） 晃２ 図 第５ 図 １４ 図 第夕 図 （ロ） ／４３／４′
Claims (1)
- トラックフォローのため案内溝を持つデータ記録領域と
円周方向に複数個の固定情報領域よりなる光ディスク、
あるいはディスク基板の転写に使用するスタンパの前記
データ記録領域を検査する光学系と焦点サーボ回路と信
号処理部よシなる表面欠陥検査装置において、前記信号
処理部に、前記データ記録領域だけを抜き取シ表面欠陥
を検査するための固定情報領域分離回路を設けたことを
特許とする表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2227483A JPS59148145A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2227483A JPS59148145A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59148145A true JPS59148145A (ja) | 1984-08-24 |
Family
ID=12078177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2227483A Pending JPS59148145A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59148145A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63121734A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-25 | Seiko Epson Corp | 光学デイスク検査装置 |
| EP0432977A2 (en) * | 1989-12-11 | 1991-06-19 | International Business Machines Corporation | Optical device for detecting modulation in a light beam |
-
1983
- 1983-02-14 JP JP2227483A patent/JPS59148145A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63121734A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-25 | Seiko Epson Corp | 光学デイスク検査装置 |
| EP0432977A2 (en) * | 1989-12-11 | 1991-06-19 | International Business Machines Corporation | Optical device for detecting modulation in a light beam |
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