JPS59193561A - 光学式デイスクの欠陥検査方法 - Google Patents

光学式デイスクの欠陥検査方法

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Publication number
JPS59193561A
JPS59193561A JP6690883A JP6690883A JPS59193561A JP S59193561 A JPS59193561 A JP S59193561A JP 6690883 A JP6690883 A JP 6690883A JP 6690883 A JP6690883 A JP 6690883A JP S59193561 A JPS59193561 A JP S59193561A
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JP
Japan
Prior art keywords
optical disk
optical
disk
defect
laser beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6690883A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Arai
茂 荒井
Akira Minami
彰 南
Itaru Shibata
格 柴田
Koichi Ogawa
小川 紘一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP6690883A priority Critical patent/JPS59193561A/ja
Publication of JPS59193561A publication Critical patent/JPS59193561A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B33/00Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
    • G11B33/10Indicating arrangements; Warning arrangements
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B27/00Editing; Indexing; Addressing; Timing or synchronising; Monitoring; Measuring tape travel
    • G11B27/36Monitoring, i.e. supervising the progress of recording or reproducing
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/002Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
    • G11B7/0037Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
    • G11B7/00375Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer

Landscapes

  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)技術分野 本発明は光学式ディスクの欠陥検査方法に関する。本発
明による方法は、光学式ディスク(光ディスク)の完成
品のみならずその製造工程における各段階例えばガシス
原盤、レジスト原盤等における欠陥検査に用いられる。
(2)技術の背景 近年、光学式ビディオ・ディスクあるいは光学式ディジ
タル・オーディオ・ディスクは著しい発展をとげている
。しかしながら、これらの光学式ディスクは1μm以下
の微細加工技術を必須とするためにほこシ、きす、凹凸
等に対する工程管理上の問題が非常に重要であり、一方
では各工程における有効な欠陥検査の方法も袂望されて
いる。
(3)従来技術と問題点 従来の光ディスクの欠陥検査方法は、光学ヘッドによっ
て記録・再生ビームと同等のサイズのレーザビームをデ
ィスク上に照射、し、その反射光量の変化を検出する方
法が用いられている。しかしながら、この方法は全光量
の変化すなわち和信号を検出する方式であるために反射
率の変化が顕著にあられれる欠陥例えばディスク上のゴ
ミ、はこシ、汚れ等に対しては可能であるが、ディスク
上の凹凸に対しては反射率が同じであるために光量の変
化が現われ難く、特に微小な凹凸に対しては非常に感度
が悪く検出し難いという問題があった。
この問題は、プリグループディスクにおいては案内溝や
アドレス・セクタ情報等の凹凸が形成されているために
微小な凹凸状の欠陥を検査する場合に顕著に現われてい
た。
(4)発明の目的 本発明の目的は、光学式ディスク上の微小な凹凸状欠陥
を検査する方法であって特にプリグループディスク若し
くはプリグループディスクを作成する前段階としてのガ
ラス原盤、レジスト原盤等における微小な凹凸状欠陥を
検査する方法を提供することにある。
(5)発明の構成 この目的は、本発明によれば光学式ディスクの欠陥検査
方法において、所定のサイズにレーザビームを集光・照
射する光学系を有する光学ヘッドによシ該光学式ディス
ク上に該レーザビームを照射し、該光学式ディスクから
の反射光を該光学ヘッド内のファーフィールド位置に配
置された4分割光検知器によシ検出し、該検知器から得
られる信号を加算する加算器を用いて該信号の和信号。
円周方向の差信号および半径方向の差信号を得。
これらの和信号および差信号を基準値と比較し、基準値
を越えるものを欠陥として検出すること全特徴とする光
学式ディスクの欠陥検査方法、を提供することによシ達
成される。
(6)発明の実施例 第1図は、本発明による欠陥検査方法を実施する装置を
示す全体構成図である。第1図において、1は光ディス
ク、2は光ディスクを回転させる駆動モータ、3は光デ
イスク上をレーザビームにより走査し反射ビームの情報
を読取る光学ヘッド、4は光学ヘッド3内に設けられた
4分割光検知器31から得られる信号の和信号および差
信号を作成する加算器であって、和信号用加算器41、
半径方向の差をとる差信号用加算器42、および円周方
向の差をとる差信号用加算器43によ多構成され、5は
加算器4からの信号を基準値と比較し欠陥検出を行う欠
陥検出回路であって、各加算器41.42および43に
対応して各々検出回路51゜52および53が設けられ
、6は欠陥検出回路5からの情報を一時記憶するデータ
バッファ、そして7はこれらの信号を処理する計算装置
である。
このような構成において、半導体レーザ32がら発出さ
れたレーザビームは、コリメートレンズ33を経て偏光
ビームスプリッタ34にて90反射され1/4 波長板
35にて偏光面が回転された後対物レンズ36によシ収
束されて光デイスク1上に照射される。゛光デイスク1
上ょシ反射されたレーザビームは対物レンズ36を経て
174波長板35にてさらに偏光面が回転され偏光ビー
ムスプリッタ34を透過して光検知器31に検出される
。光検知器31は第2図に示す如く4分割された例えば
2詔角のフォトダイオードの如き受光素子を4個配置し
て構成され、斜線にて示すレーザビームが照査されると
これにょシ生ずる電圧を各々の受光素子から取シ出すよ
うになっている。
第3図(a)は光デイスク上のビットの穴形状と断面を
示すものでディスクのプリグループの案内溝、セクタ部
等において、通常幅帆7〜0.8μm、深さ約700A
 C波長の1/8.λ/8)で設けられる。
このようなビットにレーザビームが照射されて通過する
と第3図(b)に示すような反射ビームの和信号の電圧
波形が得られる。この場合、穴の深さがλ/8の場合に
は点線で示されるような波形となシ。
これは和信号だけでは穴の周囲からと中からとの反射に
よって互に干渉し合い反射光量が減るために生ずるもの
であシ、変化量が少ないために感度が悪くなる一方、穴
の深さがλ/4の場合には実線で示されるような波形と
なシ上述した干渉が少なくなるため反射光量が得られ感
度が良くなる。このように和信号のみの検出ではディス
ク面上の凹凸が微小なときは検出し難い。一方、このよ
うな微小な凹凸に対してビーム照射したときの差信号、
を得ると第3図(c)に示すような電圧波形を得る。
この場合、穴の縁にビームが当ると深さλ/8の場合に
は点線で示すような大なる変化が生じ、これに対し深さ
λ/4の穴は実線で示すような小なる変化しか生じない
。これは微小な凹凸からの反射光が凹凸によシ位相変調
ヲ受け、ファーフィールド位置(レンズの焦点以外の位
数、即ち焦点位置では回折が現われにくく回折を見やす
くするためにファーフィールド位置を用いる)において
、0次光と1次光とが干渉することによ如0仄光の強度
分布が歪むことを利用したものである。この効果は反射
光を分割して差信号として取シ出すとき最も感度が良い
。経験的には凹凸の位相差がλ/2の深さのときは和信
号の方が感度が良いがそれよシも浅い凹凸に対しては差
信号の方が感度が良いことが判明した。従って、第1図
の加算器4によって、和信号、半径方向の差信号、およ
び円周方向の差信号を計算し7欠陥検出回路5にて基準
値と比較して基準値をこえるものをカウントし、データ
バッファ6に一時記憶した後、引算装置7にてテータ処
理すること罠よシ光ティスクの微小な凹凸に対して欠陥
検査が可能である。この場合、光学ヘッド3は通常の光
学式ディスク用の記録書再生ヘッドと同様にフォー力ッ
シング、トラッキングSt行い目的のトラックにビーム
照査する。勿論。
ガラス原盤、レジスト原盤等のグループのないものに関
してはトラッキングは不要であることは太うまでもない
(7)発明の効果 本発明によれば、微小な凹凸状の欠陥に対して感度よく
検出することができ特にプリグループの前段階としての
ガラス原盤、レジスト原盤等の欠陥検出に有効である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による欠陥検査方法を実施する装置を示
す全体構成図、第2図は4分割光検知器の構成を示す図
、および第3図(a)は、ビットの上面図および断面図
でsb、(b) 、 (c)は反射光の電圧波形図であ
る。 (符号の説明) 1・・・光学式ディスク、2・・・駆動モータ、3・・
・光学ヘッド、4・・・加算器、5・・・欠陥検出回路
、6・・・データバッファ、7・・・計算装置、31・
・−4分割光検知器、32・・・半導体レーザ、33・
・コリメートレンズ、34°°偏光ビームスプリツタ、
35・・・1/4  波長板、36・・対物レンズ、4
1・・和信号用加算器、42.43・・・差信号用加算
器、511.・和信号用検出回路、52.53・・・差
信号用検出回路。 特許出願人 富士通株式会社 宅;許出願代理人 弁理士 青水 朗 弁理士 西舘和之 弁理士 内田幸男 弁理士  山 口 昭 之 第1図 第2図 第3図 八ん

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、光学式ディスクの欠陥検査方法において。 所定のサイズにレーザビームを集光・照射する光学系を
    有する光学ヘッドによシ該光学式ディスク上に該レーザ
    ビームを照射し、該光学式ディスクからの反射光を該光
    学ヘッド内のファーフィールド位置に設けられた4分割
    光検知器によシ検出し、該検知器から得られる信号を加
    算する加算器を用いて該信号の和信号、円周方向の差信
    号および半径方向の差信号を得、これらの和信号および
    差信号を基準値と比較し、基準値を越えるものを欠陥と
    して検出することを特徴とする光学式ディスクの欠陥検
    査方法。
JP6690883A 1983-04-18 1983-04-18 光学式デイスクの欠陥検査方法 Pending JPS59193561A (ja)

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JP6690883A JPS59193561A (ja) 1983-04-18 1983-04-18 光学式デイスクの欠陥検査方法

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JP6690883A Pending JPS59193561A (ja) 1983-04-18 1983-04-18 光学式デイスクの欠陥検査方法

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61104439A (ja) * 1984-10-26 1986-05-22 Toshiba Ii M I Kk 記録媒体の非接触式欠陥検出方法及び装置
JPS61104440A (ja) * 1984-10-26 1986-05-22 Toshiba Ii M I Kk 記録媒体の非接触式欠陥検出方法及び装置
JP2001033400A (ja) * 1999-06-21 2001-02-09 Komag Inc 基板を検査する方法および装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61104439A (ja) * 1984-10-26 1986-05-22 Toshiba Ii M I Kk 記録媒体の非接触式欠陥検出方法及び装置
JPS61104440A (ja) * 1984-10-26 1986-05-22 Toshiba Ii M I Kk 記録媒体の非接触式欠陥検出方法及び装置
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