JPS59193561A - 光学式デイスクの欠陥検査方法 - Google Patents
光学式デイスクの欠陥検査方法Info
- Publication number
- JPS59193561A JPS59193561A JP6690883A JP6690883A JPS59193561A JP S59193561 A JPS59193561 A JP S59193561A JP 6690883 A JP6690883 A JP 6690883A JP 6690883 A JP6690883 A JP 6690883A JP S59193561 A JPS59193561 A JP S59193561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical disk
- optical
- disk
- defect
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B27/00—Editing; Indexing; Addressing; Timing or synchronising; Monitoring; Measuring tape travel
- G11B27/36—Monitoring, i.e. supervising the progress of recording or reproducing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
- G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
- G11B7/00375—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）技術分野
本発明は光学式ディスクの欠陥検査方法に関する。本発
明による方法は、光学式ディスク（光ディスク）の完成
品のみならずその製造工程における各段階例えばガシス
原盤、レジスト原盤等における欠陥検査に用いられる。
明による方法は、光学式ディスク（光ディスク）の完成
品のみならずその製造工程における各段階例えばガシス
原盤、レジスト原盤等における欠陥検査に用いられる。
（２）技術の背景
近年、光学式ビディオ・ディスクあるいは光学式ディジ
タル・オーディオ・ディスクは著しい発展をとげている
。しかしながら、これらの光学式ディスクは１μｍ以下
の微細加工技術を必須とするためにほこシ、きす、凹凸
等に対する工程管理上の問題が非常に重要であり、一方
では各工程における有効な欠陥検査の方法も袂望されて
いる。
タル・オーディオ・ディスクは著しい発展をとげている
。しかしながら、これらの光学式ディスクは１μｍ以下
の微細加工技術を必須とするためにほこシ、きす、凹凸
等に対する工程管理上の問題が非常に重要であり、一方
では各工程における有効な欠陥検査の方法も袂望されて
いる。
（３）従来技術と問題点
従来の光ディスクの欠陥検査方法は、光学ヘッドによっ
て記録・再生ビームと同等のサイズのレーザビームをデ
ィスク上に照射、し、その反射光量の変化を検出する方
法が用いられている。しかしながら、この方法は全光量
の変化すなわち和信号を検出する方式であるために反射
率の変化が顕著にあられれる欠陥例えばディスク上のゴ
ミ、はこシ、汚れ等に対しては可能であるが、ディスク
上の凹凸に対しては反射率が同じであるために光量の変
化が現われ難く、特に微小な凹凸に対しては非常に感度
が悪く検出し難いという問題があった。
て記録・再生ビームと同等のサイズのレーザビームをデ
ィスク上に照射、し、その反射光量の変化を検出する方
法が用いられている。しかしながら、この方法は全光量
の変化すなわち和信号を検出する方式であるために反射
率の変化が顕著にあられれる欠陥例えばディスク上のゴ
ミ、はこシ、汚れ等に対しては可能であるが、ディスク
上の凹凸に対しては反射率が同じであるために光量の変
化が現われ難く、特に微小な凹凸に対しては非常に感度
が悪く検出し難いという問題があった。
この問題は、プリグループディスクにおいては案内溝や
アドレス・セクタ情報等の凹凸が形成されているために
微小な凹凸状の欠陥を検査する場合に顕著に現われてい
た。
アドレス・セクタ情報等の凹凸が形成されているために
微小な凹凸状の欠陥を検査する場合に顕著に現われてい
た。
（４）発明の目的
本発明の目的は、光学式ディスク上の微小な凹凸状欠陥
を検査する方法であって特にプリグループディスク若し
くはプリグループディスクを作成する前段階としてのガ
ラス原盤、レジスト原盤等における微小な凹凸状欠陥を
検査する方法を提供することにある。
を検査する方法であって特にプリグループディスク若し
くはプリグループディスクを作成する前段階としてのガ
ラス原盤、レジスト原盤等における微小な凹凸状欠陥を
検査する方法を提供することにある。
（５）発明の構成
この目的は、本発明によれば光学式ディスクの欠陥検査
方法において、所定のサイズにレーザビームを集光・照
射する光学系を有する光学ヘッドによシ該光学式ディス
ク上に該レーザビームを照射し、該光学式ディスクから
の反射光を該光学ヘッド内のファーフィールド位置に配
置された４分割光検知器によシ検出し、該検知器から得
られる信号を加算する加算器を用いて該信号の和信号。
方法において、所定のサイズにレーザビームを集光・照
射する光学系を有する光学ヘッドによシ該光学式ディス
ク上に該レーザビームを照射し、該光学式ディスクから
の反射光を該光学ヘッド内のファーフィールド位置に配
置された４分割光検知器によシ検出し、該検知器から得
られる信号を加算する加算器を用いて該信号の和信号。
円周方向の差信号および半径方向の差信号を得。
これらの和信号および差信号を基準値と比較し、基準値
を越えるものを欠陥として検出すること全特徴とする光
学式ディスクの欠陥検査方法、を提供することによシ達
成される。
を越えるものを欠陥として検出すること全特徴とする光
学式ディスクの欠陥検査方法、を提供することによシ達
成される。
（６）発明の実施例
第１図は、本発明による欠陥検査方法を実施する装置を
示す全体構成図である。第１図において、１は光ディス
ク、２は光ディスクを回転させる駆動モータ、３は光デ
イスク上をレーザビームにより走査し反射ビームの情報
を読取る光学ヘッド、４は光学ヘッド３内に設けられた
４分割光検知器３１から得られる信号の和信号および差
信号を作成する加算器であって、和信号用加算器４１、
半径方向の差をとる差信号用加算器４２、および円周方
向の差をとる差信号用加算器４３によ多構成され、５は
加算器４からの信号を基準値と比較し欠陥検出を行う欠
陥検出回路であって、各加算器４１．４２および４３に
対応して各々検出回路５１゜５２および５３が設けられ
、６は欠陥検出回路５からの情報を一時記憶するデータ
バッファ、そして７はこれらの信号を処理する計算装置
である。
示す全体構成図である。第１図において、１は光ディス
ク、２は光ディスクを回転させる駆動モータ、３は光デ
イスク上をレーザビームにより走査し反射ビームの情報
を読取る光学ヘッド、４は光学ヘッド３内に設けられた
４分割光検知器３１から得られる信号の和信号および差
信号を作成する加算器であって、和信号用加算器４１、
半径方向の差をとる差信号用加算器４２、および円周方
向の差をとる差信号用加算器４３によ多構成され、５は
加算器４からの信号を基準値と比較し欠陥検出を行う欠
陥検出回路であって、各加算器４１．４２および４３に
対応して各々検出回路５１゜５２および５３が設けられ
、６は欠陥検出回路５からの情報を一時記憶するデータ
バッファ、そして７はこれらの信号を処理する計算装置
である。
このような構成において、半導体レーザ３２がら発出さ
れたレーザビームは、コリメートレンズ３３を経て偏光
ビームスプリッタ３４にて９０反射され１／４ 波長板
３５にて偏光面が回転された後対物レンズ３６によシ収
束されて光デイスク１上に照射される。゛光デイスク１
上ょシ反射されたレーザビームは対物レンズ３６を経て
１７４波長板３５にてさらに偏光面が回転され偏光ビー
ムスプリッタ３４を透過して光検知器３１に検出される
。光検知器３１は第２図に示す如く４分割された例えば
２詔角のフォトダイオードの如き受光素子を４個配置し
て構成され、斜線にて示すレーザビームが照査されると
これにょシ生ずる電圧を各々の受光素子から取シ出すよ
うになっている。
れたレーザビームは、コリメートレンズ３３を経て偏光
ビームスプリッタ３４にて９０反射され１／４ 波長板
３５にて偏光面が回転された後対物レンズ３６によシ収
束されて光デイスク１上に照射される。゛光デイスク１
上ょシ反射されたレーザビームは対物レンズ３６を経て
１７４波長板３５にてさらに偏光面が回転され偏光ビー
ムスプリッタ３４を透過して光検知器３１に検出される
。光検知器３１は第２図に示す如く４分割された例えば
２詔角のフォトダイオードの如き受光素子を４個配置し
て構成され、斜線にて示すレーザビームが照査されると
これにょシ生ずる電圧を各々の受光素子から取シ出すよ
うになっている。
第３図（ａ）は光デイスク上のビットの穴形状と断面を
示すものでディスクのプリグループの案内溝、セクタ部
等において、通常幅帆７〜０．８μｍ、深さ約７００Ａ
Ｃ波長の１／８．λ／８）で設けられる。
示すものでディスクのプリグループの案内溝、セクタ部
等において、通常幅帆７〜０．８μｍ、深さ約７００Ａ
Ｃ波長の１／８．λ／８）で設けられる。
このようなビットにレーザビームが照射されて通過する
と第３図（ｂ）に示すような反射ビームの和信号の電圧
波形が得られる。この場合、穴の深さがλ／８の場合に
は点線で示されるような波形となシ。
と第３図（ｂ）に示すような反射ビームの和信号の電圧
波形が得られる。この場合、穴の深さがλ／８の場合に
は点線で示されるような波形となシ。
これは和信号だけでは穴の周囲からと中からとの反射に
よって互に干渉し合い反射光量が減るために生ずるもの
であシ、変化量が少ないために感度が悪くなる一方、穴
の深さがλ／４の場合には実線で示されるような波形と
なシ上述した干渉が少なくなるため反射光量が得られ感
度が良くなる。このように和信号のみの検出ではディス
ク面上の凹凸が微小なときは検出し難い。一方、このよ
うな微小な凹凸に対してビーム照射したときの差信号、
を得ると第３図（ｃ）に示すような電圧波形を得る。
よって互に干渉し合い反射光量が減るために生ずるもの
であシ、変化量が少ないために感度が悪くなる一方、穴
の深さがλ／４の場合には実線で示されるような波形と
なシ上述した干渉が少なくなるため反射光量が得られ感
度が良くなる。このように和信号のみの検出ではディス
ク面上の凹凸が微小なときは検出し難い。一方、このよ
うな微小な凹凸に対してビーム照射したときの差信号、
を得ると第３図（ｃ）に示すような電圧波形を得る。
この場合、穴の縁にビームが当ると深さλ／８の場合に
は点線で示すような大なる変化が生じ、これに対し深さ
λ／４の穴は実線で示すような小なる変化しか生じない
。これは微小な凹凸からの反射光が凹凸によシ位相変調
ヲ受け、ファーフィールド位置（レンズの焦点以外の位
数、即ち焦点位置では回折が現われにくく回折を見やす
くするためにファーフィールド位置を用いる）において
、０次光と１次光とが干渉することによ如０仄光の強度
分布が歪むことを利用したものである。この効果は反射
光を分割して差信号として取シ出すとき最も感度が良い
。経験的には凹凸の位相差がλ／２の深さのときは和信
号の方が感度が良いがそれよシも浅い凹凸に対しては差
信号の方が感度が良いことが判明した。従って、第１図
の加算器４によって、和信号、半径方向の差信号、およ
び円周方向の差信号を計算し７欠陥検出回路５にて基準
値と比較して基準値をこえるものをカウントし、データ
バッファ６に一時記憶した後、引算装置７にてテータ処
理すること罠よシ光ティスクの微小な凹凸に対して欠陥
検査が可能である。この場合、光学ヘッド３は通常の光
学式ディスク用の記録書再生ヘッドと同様にフォー力ッ
シング、トラッキングＳｔ行い目的のトラックにビーム
照査する。勿論。
は点線で示すような大なる変化が生じ、これに対し深さ
λ／４の穴は実線で示すような小なる変化しか生じない
。これは微小な凹凸からの反射光が凹凸によシ位相変調
ヲ受け、ファーフィールド位置（レンズの焦点以外の位
数、即ち焦点位置では回折が現われにくく回折を見やす
くするためにファーフィールド位置を用いる）において
、０次光と１次光とが干渉することによ如０仄光の強度
分布が歪むことを利用したものである。この効果は反射
光を分割して差信号として取シ出すとき最も感度が良い
。経験的には凹凸の位相差がλ／２の深さのときは和信
号の方が感度が良いがそれよシも浅い凹凸に対しては差
信号の方が感度が良いことが判明した。従って、第１図
の加算器４によって、和信号、半径方向の差信号、およ
び円周方向の差信号を計算し７欠陥検出回路５にて基準
値と比較して基準値をこえるものをカウントし、データ
バッファ６に一時記憶した後、引算装置７にてテータ処
理すること罠よシ光ティスクの微小な凹凸に対して欠陥
検査が可能である。この場合、光学ヘッド３は通常の光
学式ディスク用の記録書再生ヘッドと同様にフォー力ッ
シング、トラッキングＳｔ行い目的のトラックにビーム
照査する。勿論。
ガラス原盤、レジスト原盤等のグループのないものに関
してはトラッキングは不要であることは太うまでもない
。
してはトラッキングは不要であることは太うまでもない
。
（７）発明の効果
本発明によれば、微小な凹凸状の欠陥に対して感度よく
検出することができ特にプリグループの前段階としての
ガラス原盤、レジスト原盤等の欠陥検出に有効である。
検出することができ特にプリグループの前段階としての
ガラス原盤、レジスト原盤等の欠陥検出に有効である。
第１図は本発明による欠陥検査方法を実施する装置を示
す全体構成図、第２図は４分割光検知器の構成を示す図
、および第３図（ａ）は、ビットの上面図および断面図
でｓｂ、（ｂ） 、 （ｃ）は反射光の電圧波形図であ
る。 （符号の説明） １・・・光学式ディスク、２・・・駆動モータ、３・・
・光学ヘッド、４・・・加算器、５・・・欠陥検出回路
、６・・・データバッファ、７・・・計算装置、３１・
・−４分割光検知器、３２・・・半導体レーザ、３３・
・コリメートレンズ、３４°°偏光ビームスプリツタ、
３５・・・１／４ 波長板、３６・・対物レンズ、４
１・・和信号用加算器、４２．４３・・・差信号用加算
器、５１１．・和信号用検出回路、５２．５３・・・差
信号用検出回路。 特許出願人 富士通株式会社 宅；許出願代理人 弁理士 青水 朗 弁理士 西舘和之 弁理士 内田幸男 弁理士 山 口 昭 之 第１図 第２図 第３図 八ん
す全体構成図、第２図は４分割光検知器の構成を示す図
、および第３図（ａ）は、ビットの上面図および断面図
でｓｂ、（ｂ） 、 （ｃ）は反射光の電圧波形図であ
る。 （符号の説明） １・・・光学式ディスク、２・・・駆動モータ、３・・
・光学ヘッド、４・・・加算器、５・・・欠陥検出回路
、６・・・データバッファ、７・・・計算装置、３１・
・−４分割光検知器、３２・・・半導体レーザ、３３・
・コリメートレンズ、３４°°偏光ビームスプリツタ、
３５・・・１／４ 波長板、３６・・対物レンズ、４
１・・和信号用加算器、４２．４３・・・差信号用加算
器、５１１．・和信号用検出回路、５２．５３・・・差
信号用検出回路。 特許出願人 富士通株式会社 宅；許出願代理人 弁理士 青水 朗 弁理士 西舘和之 弁理士 内田幸男 弁理士 山 口 昭 之 第１図 第２図 第３図 八ん
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光学式ディスクの欠陥検査方法において。 所定のサイズにレーザビームを集光・照射する光学系を
有する光学ヘッドによシ該光学式ディスク上に該レーザ
ビームを照射し、該光学式ディスクからの反射光を該光
学ヘッド内のファーフィールド位置に設けられた４分割
光検知器によシ検出し、該検知器から得られる信号を加
算する加算器を用いて該信号の和信号、円周方向の差信
号および半径方向の差信号を得、これらの和信号および
差信号を基準値と比較し、基準値を越えるものを欠陥と
して検出することを特徴とする光学式ディスクの欠陥検
査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6690883A JPS59193561A (ja) | 1983-04-18 | 1983-04-18 | 光学式デイスクの欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6690883A JPS59193561A (ja) | 1983-04-18 | 1983-04-18 | 光学式デイスクの欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59193561A true JPS59193561A (ja) | 1984-11-02 |
Family
ID=13329525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6690883A Pending JPS59193561A (ja) | 1983-04-18 | 1983-04-18 | 光学式デイスクの欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59193561A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61104439A (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-22 | Toshiba Ii M I Kk | 記録媒体の非接触式欠陥検出方法及び装置 |
| JPS61104440A (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-22 | Toshiba Ii M I Kk | 記録媒体の非接触式欠陥検出方法及び装置 |
| JP2001033400A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-02-09 | Komag Inc | 基板を検査する方法および装置 |
-
1983
- 1983-04-18 JP JP6690883A patent/JPS59193561A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61104439A (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-22 | Toshiba Ii M I Kk | 記録媒体の非接触式欠陥検出方法及び装置 |
| JPS61104440A (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-22 | Toshiba Ii M I Kk | 記録媒体の非接触式欠陥検出方法及び装置 |
| JP2001033400A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-02-09 | Komag Inc | 基板を検査する方法および装置 |
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