JPS58147824A - デイスク検査装置 - Google Patents
デイスク検査装置Info
- Publication number
- JPS58147824A JPS58147824A JP2900882A JP2900882A JPS58147824A JP S58147824 A JPS58147824 A JP S58147824A JP 2900882 A JP2900882 A JP 2900882A JP 2900882 A JP2900882 A JP 2900882A JP S58147824 A JPS58147824 A JP S58147824A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- light
- signal
- binary
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
- G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
- G11B7/00375—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、情報信号を光の波長オーダーで記録している
ビデオディスク等の情報トラックの偏芯およびディスク
表面の微小な欠陥などのディスクの廁合的検査！ｔｌＫ
関するものである。
ビデオディスク等の情報トラックの偏芯およびディスク
表面の微小な欠陥などのディスクの廁合的検査！ｔｌＫ
関するものである。
魂柱、情−を記録したディスク、時に悄＠惰号穴の寸法
が光の波長オーダー：Ｑ記録されているビデオディスク
等の検査項目には、ディスク表面の微小なゴミ・キズ等
の欠陥や、情報トラックに関わる偏芯およびトラック歪
などがあり、こｎらはディスク性能を決定する重責な要
素となっている。
が光の波長オーダー：Ｑ記録されているビデオディスク
等の検査項目には、ディスク表面の微小なゴミ・キズ等
の欠陥や、情報トラックに関わる偏芯およびトラック歪
などがあり、こｎらはディスク性能を決定する重責な要
素となっている。
従来、こｎらディスクの検査項目に対する検査方法をし
て、レーザー反射法による情報トラックの規則性を利用
したディスク表面（記録部分）から発生する回折光の検
出方法が採用されていることは周知のとおりで西る。し
かしながら、この方法では例えばディスクの偏芯を測定
する場合、ディスク表面のゴミ・キズ等が測定誤差要因
となって正確な測定かできな力１つたり、単一項目しか
検査できない等の欠点や不便さがあった。
て、レーザー反射法による情報トラックの規則性を利用
したディスク表面（記録部分）から発生する回折光の検
出方法が採用されていることは周知のとおりで西る。し
かしながら、この方法では例えばディスクの偏芯を測定
する場合、ディスク表面のゴミ・キズ等が測定誤差要因
となって正確な測定かできな力１つたり、単一項目しか
検査できない等の欠点や不便さがあった。
本発明の目的は、上記した従来方法の持つ欠点および不
便を解決し、比較的簡単にディスクの総合的検査が出来
るようにしたディスク検査装置を提供することである。
便を解決し、比較的簡単にディスクの総合的検査が出来
るようにしたディスク検査装置を提供することである。
即ち、本発明は、情報信号が記録されているディスク面
を一種の回折格子とみなして、ディスク表面に集束する
光スポットを複数の情報トラックにわたる大きさとし、
ディスクの情報トラックによって回折される零次を除く
回折光を通過させるじゃへい板を設け、このしやへい板
を通過した光を検出器で検出するヘッドをそれぞｎディ
スクの異なった位置に２つ設けることにより、２つのヘ
ッドで検出した出力信号の振幅変化あるいは周波数変化
のそｎぞれの相対的変化からディスクの偏芯およびゴミ
・キズ等の総合的検査を行なうことを特徴とする。
を一種の回折格子とみなして、ディスク表面に集束する
光スポットを複数の情報トラックにわたる大きさとし、
ディスクの情報トラックによって回折される零次を除く
回折光を通過させるじゃへい板を設け、このしやへい板
を通過した光を検出器で検出するヘッドをそれぞｎディ
スクの異なった位置に２つ設けることにより、２つのヘ
ッドで検出した出力信号の振幅変化あるいは周波数変化
のそｎぞれの相対的変化からディスクの偏芯およびゴミ
・キズ等の総合的検査を行なうことを特徴とする。
以下本発明を図に示す実施例にもとづいて具体的に説明
する。ビデオディスクには、オーディオレコードのよう
な溝、もしくは凹部として形成さｎた細穴（ビット）と
、凹部より高いフラット面が連続した一つの列の形状を
した一定の幅の情報トラックを持っている。以下、図面
により説明を行なう。
する。ビデオディスクには、オーディオレコードのよう
な溝、もしくは凹部として形成さｎた細穴（ビット）と
、凹部より高いフラット面が連続した一つの列の形状を
した一定の幅の情報トラックを持っている。以下、図面
により説明を行なう。
第１図を１、本発明に使用した光学系の実施例を示し、
これより光学系の各動作を簡単に説明する。レーザー発
振器１を出たレーザー光３はミラー４と５を経て対物レ
ンズ６と７によってディスク８の複数（Ｎ個）の情報ト
ラック２２に相当する集束されたスポット光９となって
、そｎぞれディスク８表面に入射する。ディスク８から
反射される光のうち対物レンズ６と７に再び入って（る
光は、ビームスプリッタ１０および１１によってその一
部が検出器１５あるいは１６＠へ向って反射する。検出
器１５あるいは１６側へ向う光は、ディスク８の情報を
得るために設けられたしやへい板１２によって、特定の
光のみが検出器１５あるいは１６で検出される。
これより光学系の各動作を簡単に説明する。レーザー発
振器１を出たレーザー光３はミラー４と５を経て対物レ
ンズ６と７によってディスク８の複数（Ｎ個）の情報ト
ラック２２に相当する集束されたスポット光９となって
、そｎぞれディスク８表面に入射する。ディスク８から
反射される光のうち対物レンズ６と７に再び入って（る
光は、ビームスプリッタ１０および１１によってその一
部が検出器１５あるいは１６＠へ向って反射する。検出
器１５あるいは１６側へ向う光は、ディスク８の情報を
得るために設けられたしやへい板１２によって、特定の
光のみが検出器１５あるいは１６で検出される。
ここで、ディスク８から反射される光と検出器１５ある
いは１６で検出する光の関係について述べる。第３図に
示すディスクの無配録部分２３にスポット光９が照射さ
れているとき、この部分はＴｌｔ＠トラック２２のない
平担な面であるため、反射される光は単純反射光２Ｂと
なって反射される。
いは１６で検出する光の関係について述べる。第３図に
示すディスクの無配録部分２３にスポット光９が照射さ
れているとき、この部分はＴｌｔ＠トラック２２のない
平担な面であるため、反射される光は単純反射光２Ｂと
なって反射される。
この部分からの光は、ディスク８の情報を含まないため
、しやへい板１２によって全てしゃ断されて、検出器１
５あるいは１６には検出されない。
、しやへい板１２によって全てしゃ断されて、検出器１
５あるいは１６には検出されない。
また、ｍ４図に示すディスク８の記録部分２４にスポッ
ト光９が照射さｎているとき、この部分は一定の幅の情
報トラック２２を持つ凹凸面であるため、反射さｎる光
は、情報トラック２２によって回折さｎた第２図に示す
ような円錐状の発散型のか次の回折光２９となって反射
される。この部分でめ光は、デ′イスクの情報を含んで
いるた゛め、しやへい板１２を通過して検出器１５ある
いは１６に検出される。°このしやへい板１２には、デ
ィスク８の情報を持つ光を通過させる役目があるが、第
４図に示すディスク８の記録部分２４における情報トラ
ック２２とその記録部分２４に発生した欠陥とを識別す
るために、ｎ１次の回折光２９のうち零次回折光２５を
除くル次の回折光２９の一部が通過できる形状のものを
使用している。
ト光９が照射さｎているとき、この部分は一定の幅の情
報トラック２２を持つ凹凸面であるため、反射さｎる光
は、情報トラック２２によって回折さｎた第２図に示す
ような円錐状の発散型のか次の回折光２９となって反射
される。この部分でめ光は、デ′イスクの情報を含んで
いるた゛め、しやへい板１２を通過して検出器１５ある
いは１６に検出される。°このしやへい板１２には、デ
ィスク８の情報を持つ光を通過させる役目があるが、第
４図に示すディスク８の記録部分２４における情報トラ
ック２２とその記録部分２４に発生した欠陥とを識別す
るために、ｎ１次の回折光２９のうち零次回折光２５を
除くル次の回折光２９の一部が通過できる形状のものを
使用している。
次に本発゛明め偏芯検出法と欠陥検出法の実施例を説明
する。１ｍ１図においてディスク８の記録部分２４に、
複数ＣＮ１１４’）の情報トラック２２にわたって一定
の大きさに維持するように制御される手段を持つ封書レ
ンズ６と７によって集束さｎる２つのスポット光９がそ
れぞれ１８０度異なった位置で照射されている。ディス
ク８が乗っているターンテーブル１９を一定速度で回転
するように制御される手段を持つモータ２０によって回
転させると、ディスク８に偏芯がなけｎば第９図に示す
ようにディスク１回転４２の間での検出信号１７．’１
８の出力変化は、゛わずかに１回であるが、第゛７図に
示すようにディスク匹偏芯があると集束されたスポット
光９の照射点内を情報トラック２２が次々に横切るのが
見られる。この照射点内を横切っている情報トラック２
２の数は１、ディスク・８．に一定寸法の大きさのスポ
ット光９によって照射される情報トラック２２の数的変
化による光量変化から求めることができる。すなわち、
スポット光９が照射する情報トラック２２の数が、第５
図に示すようにＮトラック３２の場合と、ａ１！６図に
示すようにＮ−１トラツク３３の場合とも、ディスク８
の情報トラック２２が一樵゛−の回折格子の役目をして
、光の回折現象によって一つの情報トラック２２を一つ
の点光源５０としてみなすことができるようになる。こ
のため、この点光源３０から発した光３１の相互干渉に
よってできる３次の回折光２９の光量は、その時点での
点光源３０の数、すなわち情報トラック２２の数に比例
し、Ｎトラック時とＮ−１トラツク時との間には約１点
光源３０程度の光量差が生じることになる。しかしなが
ら、実際のディスク８には、記録部分２４において、第
８１図に示すようなゴミ３９またはキズ４０等の欠陥が
存在しており、こｎら欠陥によって検出器１５あるいは
１６では、第１０図に示すような出力信号１？および１
８に情報トラック２２ｇ１号のない信号欠損４４が発生
する。
する。１ｍ１図においてディスク８の記録部分２４に、
複数ＣＮ１１４’）の情報トラック２２にわたって一定
の大きさに維持するように制御される手段を持つ封書レ
ンズ６と７によって集束さｎる２つのスポット光９がそ
れぞれ１８０度異なった位置で照射されている。ディス
ク８が乗っているターンテーブル１９を一定速度で回転
するように制御される手段を持つモータ２０によって回
転させると、ディスク８に偏芯がなけｎば第９図に示す
ようにディスク１回転４２の間での検出信号１７．’１
８の出力変化は、゛わずかに１回であるが、第゛７図に
示すようにディスク匹偏芯があると集束されたスポット
光９の照射点内を情報トラック２２が次々に横切るのが
見られる。この照射点内を横切っている情報トラック２
２の数は１、ディスク・８．に一定寸法の大きさのスポ
ット光９によって照射される情報トラック２２の数的変
化による光量変化から求めることができる。すなわち、
スポット光９が照射する情報トラック２２の数が、第５
図に示すようにＮトラック３２の場合と、ａ１！６図に
示すようにＮ−１トラツク３３の場合とも、ディスク８
の情報トラック２２が一樵゛−の回折格子の役目をして
、光の回折現象によって一つの情報トラック２２を一つ
の点光源５０としてみなすことができるようになる。こ
のため、この点光源３０から発した光３１の相互干渉に
よってできる３次の回折光２９の光量は、その時点での
点光源３０の数、すなわち情報トラック２２の数に比例
し、Ｎトラック時とＮ−１トラツク時との間には約１点
光源３０程度の光量差が生じることになる。しかしなが
ら、実際のディスク８には、記録部分２４において、第
８１図に示すようなゴミ３９またはキズ４０等の欠陥が
存在しており、こｎら欠陥によって検出器１５あるいは
１６では、第１０図に示すような出力信号１？および１
８に情報トラック２２ｇ１号のない信号欠損４４が発生
する。
このため、単一ヘッドによる測定では、信号欠損４４に
よる影響で測定誤差を生じるが、本発明のように同一の
ヘッドを２つ設けることによりディスクの欠陥による影
響をなくすことができる。以下、偏芯および欠陥の測定
法について説明する。検出器１５あるいは１６からの出
力信号１７および１８は、ディスク８の情報トラック２
２の数の変化に対する電圧変化であるため、 ４１１図
に示すように増幅器４Ｂでそれぞれ増幅された後、合成
回路４９で加算される。加算さｒＩた信号４５はしきい
値回路５０でもってしきい値４６と比較さｎて２１［！
ｆ化偏号が得られこの２値化信号カウンタ回路を持つｙ
Ｌ、算回路５１で計数することＶこよりディスクの欠陥
が測定される。また、その一方として、直接合成偏分４
５がカウンタ回路を持つ演算回路５１に送られこの２億
化信号を計数しこの演算回路５１はこの合成信号４５を
微分し、この微分信号を２値化し、ディスク１回転侶号
５２にもとづいてディスク１回転当りの上記計数値を求
めることによりディスクの偏芯が測定される。なε第９
図、及び第１０図に２いて４３はグランドレベル、４４
は信号欠損部分、４７は信号欠損区間である。
よる影響で測定誤差を生じるが、本発明のように同一の
ヘッドを２つ設けることによりディスクの欠陥による影
響をなくすことができる。以下、偏芯および欠陥の測定
法について説明する。検出器１５あるいは１６からの出
力信号１７および１８は、ディスク８の情報トラック２
２の数の変化に対する電圧変化であるため、 ４１１図
に示すように増幅器４Ｂでそれぞれ増幅された後、合成
回路４９で加算される。加算さｒＩた信号４５はしきい
値回路５０でもってしきい値４６と比較さｎて２１［！
ｆ化偏号が得られこの２値化信号カウンタ回路を持つｙ
Ｌ、算回路５１で計数することＶこよりディスクの欠陥
が測定される。また、その一方として、直接合成偏分４
５がカウンタ回路を持つ演算回路５１に送られこの２億
化信号を計数しこの演算回路５１はこの合成信号４５を
微分し、この微分信号を２値化し、ディスク１回転侶号
５２にもとづいてディスク１回転当りの上記計数値を求
めることによりディスクの偏芯が測定される。なε第９
図、及び第１０図に２いて４３はグランドレベル、４４
は信号欠損部分、４７は信号欠損区間である。
以上説明したように本発明によｎば次のような作用効果
８″＃する。
８″＃する。
１１７ ディスクに集束するスポットの大きさを、４
１数の情報トラックにわたる寸法としたためとｎを集束
する光学系を藺単にした。 −＝（２）上記スポッ
ト径を集束するための光学系に開口数の小さい（焦点深
度の長い）対物レンズが使用できるようになり、スポッ
ト径を一定保持するための制御系に要求される制御精度
を１＆和した。
１数の情報トラックにわたる寸法としたためとｎを集束
する光学系を藺単にした。 −＝（２）上記スポッ
ト径を集束するための光学系に開口数の小さい（焦点深
度の長い）対物レンズが使用できるようになり、スポッ
ト径を一定保持するための制御系に要求される制御精度
を１＆和した。
（３）ディスク情報溝と同等大の微小欠陥の識別検査が
実現できる。
実現できる。
［４３測定誤差の少ない偏芯の測定が実現できる。
亀５）ディスクの検査項目である欠陥・偏芯等を同一の
測定ヘッドで、しかも同時に、かつ簡単な光学系および
自動焦点調整機構を用いることで実現できるため、技術
的・経済的効果は非常に大きい。
測定ヘッドで、しかも同時に、かつ簡単な光学系および
自動焦点調整機構を用いることで実現できるため、技術
的・経済的効果は非常に大きい。
錨１図は、本発明に使用した光学系の一実施例を示す図
、硝２図は、第１図に２ける対物レンズによって集束さ
れたスポット光がディスクの情報トラックに照射されて
い今ときの反射光の発生状況を示す図、第３図は、本発
明の説明を支援するための、ディスクの情報トラックの
無い部分にスポット光が照射されているときの反射光の
発生状況を示す図、第４図は、第３図同様本発明の説明
をするためのディスクの情報トラック部分にスポット光
が照射されているときの反射光の発生状況を示す図、第
５図は、記録部分の情報トラックのＮトラックに、また
第６図は、情報トラックのＮ−１トラツクにそｎぞれス
ポット光が照射さｎているときの、反射状況を示す図、
第７図はディスクの情報トラックの偏芯状態を示す図、
第８図は、ディスクの情報トラック部分における欠陥の
状態を示す図・、第９図は、２つの測定ヘッドにより検
出した情報トラック部分臀おける偏芯ゼロのときの検出
器の出力信号赦珍を示す図、第１０図は、本発明に使用
したディスクの偏芯・トラック化、および欠陥等を総合
的に検査するための内定回路に入る検出器の出力信号と
その後、合成された信号波形を示す図、第１１図は、そ
の測定回路の一実施例を示す図である。 １・・・レーザー発畿器、２・・・レンズ、３・・・レ
ーザ−光、４・５・・・ミラー、６１１７・・・対物レ
ンズ、８・・・ディスク、９・・・スポット光、１０・
１１・・・ビームスプリッタ、１２・・・しやへい板、
１５・１４・・・レンズ、１５＠１６・・・検出器、１
７・１８・・・出力信号、１９・・ターンテーブル、２
０・・・モータ、２１・・・制御駆動回路、２２・・・
情報トラック、２５−・・零次回折光。 ｐＨ図 閉５図 閘４図 フら ９ ￥ｉＵ５図 ￥１６図 ４７図 〒８図 〒３図 １′７ ！ｐＨ０図 １り
、硝２図は、第１図に２ける対物レンズによって集束さ
れたスポット光がディスクの情報トラックに照射されて
い今ときの反射光の発生状況を示す図、第３図は、本発
明の説明を支援するための、ディスクの情報トラックの
無い部分にスポット光が照射されているときの反射光の
発生状況を示す図、第４図は、第３図同様本発明の説明
をするためのディスクの情報トラック部分にスポット光
が照射されているときの反射光の発生状況を示す図、第
５図は、記録部分の情報トラックのＮトラックに、また
第６図は、情報トラックのＮ−１トラツクにそｎぞれス
ポット光が照射さｎているときの、反射状況を示す図、
第７図はディスクの情報トラックの偏芯状態を示す図、
第８図は、ディスクの情報トラック部分における欠陥の
状態を示す図・、第９図は、２つの測定ヘッドにより検
出した情報トラック部分臀おける偏芯ゼロのときの検出
器の出力信号赦珍を示す図、第１０図は、本発明に使用
したディスクの偏芯・トラック化、および欠陥等を総合
的に検査するための内定回路に入る検出器の出力信号と
その後、合成された信号波形を示す図、第１１図は、そ
の測定回路の一実施例を示す図である。 １・・・レーザー発畿器、２・・・レンズ、３・・・レ
ーザ−光、４・５・・・ミラー、６１１７・・・対物レ
ンズ、８・・・ディスク、９・・・スポット光、１０・
１１・・・ビームスプリッタ、１２・・・しやへい板、
１５・１４・・・レンズ、１５＠１６・・・検出器、１
７・１８・・・出力信号、１９・・ターンテーブル、２
０・・・モータ、２１・・・制御駆動回路、２２・・・
情報トラック、２５−・・零次回折光。 ｐＨ図 閉５図 閘４図 フら ９ ￥ｉＵ５図 ￥１６図 ４７図 〒８図 〒３図 １′７ ！ｐＨ０図 １り
Claims (1)
- 複数の情報トラックにわたる大きさの光スポットを照射
する照射手段と、該照射手段によって照射された光スポ
ットが情報トラックによって回折される回折光の内少く
とも零次光を除去する除去手段と、該除去手段によって
除去さｎた回折光を受光する受光手段とを備え付けた光
学装置を一定の１−の情報トラックを持つディスクの異
なる同一半径上に設け、上記ディスクの情報トラックと
欠陥とを同時に検出するようにしたことをｑ！！黴とす
るディスク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2900882A JPS58147824A (ja) | 1982-02-26 | 1982-02-26 | デイスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2900882A JPS58147824A (ja) | 1982-02-26 | 1982-02-26 | デイスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58147824A true JPS58147824A (ja) | 1983-09-02 |
Family
ID=12264373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2900882A Pending JPS58147824A (ja) | 1982-02-26 | 1982-02-26 | デイスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58147824A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60147945A (ja) * | 1984-01-10 | 1985-08-05 | Victor Co Of Japan Ltd | 光デイスク検査装置 |
| JPS60171651A (ja) * | 1984-02-17 | 1985-09-05 | Toshiba Corp | デイスク検査方法 |
| FR2608790A1 (fr) * | 1986-12-18 | 1988-06-24 | Yokogawa Electric Corp | Dispositif perfectionne de test pour disques optiques |
| JPH01217243A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-08-30 | Hitachi Ltd | 異物検出方法及びその装置 |
-
1982
- 1982-02-26 JP JP2900882A patent/JPS58147824A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60147945A (ja) * | 1984-01-10 | 1985-08-05 | Victor Co Of Japan Ltd | 光デイスク検査装置 |
| JPS60171651A (ja) * | 1984-02-17 | 1985-09-05 | Toshiba Corp | デイスク検査方法 |
| FR2608790A1 (fr) * | 1986-12-18 | 1988-06-24 | Yokogawa Electric Corp | Dispositif perfectionne de test pour disques optiques |
| JPH01217243A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-08-30 | Hitachi Ltd | 異物検出方法及びその装置 |
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